JP2008188888A - インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】平型柔軟基板がアクチュエータからどの程度剥離しているかを容易に把握する。
【解決手段】アクチュエータユニット２１が、圧電シート１４１と、圧電シート１４１の接合面に配置された多数の個別電極に対応する個別ランド及び検査ランド１３７と、圧電シート１４１の接合面の反対面に配置された共通電極１３４とを有している。ＣＯＦ５０の表面に、個別ランドに接合される出力端子と、検査ランド１３７に接合される検査端子５９ａ〜５９ｄとが形成されている。ドライバＩＣが、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を計測する電気特性計測部と、電気特性計測部の計測結果に基づいて検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する剥離判断部とを有している。
【選択図】図１０

Description

本発明は、インク滴を吐出して印刷を行うインクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェット記録装置に関する。

印刷用紙等の被記録媒体にインク滴を吐出するインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル及びノズルに連通した圧力室を含む多数の個別インク流路を備えた流路ユニットと、各圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータとを有するものがある。このアクチュエータは、圧力室の容積を変化させることにより圧力室に圧力を付加するものであり、多数の圧力室に跨る圧電シートと、圧電シートの表面において各圧力室と対向するように配置された多数の個別電極と、圧電シートを介して多数の個別電極と対向するように配置された共通電極とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このアクチュエータの表面には、個別電極や共通電極の接続ランドが配置されており、これら接続ランドがフラットケーブル（平型柔軟基板）の一方端部近傍に配置された多数の端子に接合されている。フラットケーブルは内部配線に接続された端子を介してアクチュエータに駆動信号を供給するものである。アクチュエータは、フラットケーブルを介して各個別電極にパルス状の駆動信号が供給されることによって、当該個別電極と共通電極との間に挟まれた圧電シートの部分に対してその厚み方向に電界が作用し、この部分の圧電シートを厚み方向に伸長させる。このとき、圧力室の容積が変化して圧力室内のインクに圧力が付与される。

特開２００２−３６５６８号公報（図１）

フラットケーブルは、その一端近傍においてアクチュエータの表面に接合されており、他端において上位の制御基板などに接続される。このとき、フラットケーブルの取り回しによってフラットケーブルにおけるアクチュエータとの接合部分にストレスが発生し、アクチュエータの接続ランドからフラットケーブルの端子が剥離することがある。このようなフラットケーブルとアクチュエータとの接合不良の発生が、インクジェットヘッドの歩留まりを低下させる原因となっている。したがって、インクジェットヘッドの製造工程やインクジェットヘッドの検査時においては、フラットケーブルとアクチュエータとが確実に接合されるように、接合条件を調整しなければならない。接合条件の調整を行うためには、現在の接合条件においてフラットケーブルがアクチュエータからどの程度剥離しているかを把握することが必要となる。しかしながら、フラットケーブルの端子とアクチュエータの接続ランドとの接合状態を目視などで確認するのは難しい。

本発明の目的は、平型柔軟基板がアクチュエータからどの程度剥離しているかを容易に把握することができるインクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェット記録装置を提供することにある。

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータとを、前記複数の圧力室と前記複数の個別電極とがそれぞれ対向するように固定する固定工程と、複数の出力端子、及び、複数の検査端子を有する平型柔軟基板を、前記アクチュエータにおける前記流路ユニットの反対側の面である接合面に前記複数の検査端子が接合されるように、且つ、前記複数の出力端子と前記複数の個別ランドとがそれぞれ接合されるように、前記アクチュエータに接合する接合工程とを備えている。さらに、前記アクチュエータの前記接合面に接合された前記平型柔軟基板における前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測工程と、前記計測工程の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断工程とを備えている。

本発明のインクジェットヘッドの検査方法は、圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された複数の検査端子を有する平型柔軟基板とを有するインクジェットヘッドの検査方法である。そして、前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測工程と、前記計測工程の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断工程とを備えている。

本発明のインクジェット記録装置は、圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された複数の検査端子を有する平型柔軟基板とを備えている。さらに、前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測手段と、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断手段とを備えている。

これら本発明によると、アクチュエータの接合面から剥離した検査端子の数を判断することにより、平型柔軟基板がアクチュエータからどの程度剥離しているかを容易に把握することができる。これにより、接合工程における接合条件を調整するのが容易になり、インクジェットヘッドの歩留まりを向上させることができる。また、インクジェットヘッドを検査して、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離して故障に至る可能性があるか否かを容易に判断することができる。

本発明においては、前記計測工程において、前記共通電極と各検査端子との間の静電容量をそれぞれ計測することが好ましい。

または、前記検査端子と前記複数の個別電極の１つである検査個別電極とが電気的に接続されており、前記計測工程において、前記共通電極と前記検査端子との間、及び、前記共通電極と前記検査個別電極との間の各静電容量の合計値を計測することが好ましい。

さらには、前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記共通電極と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、前記接合工程において、前記検査端子を、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合し、前記計測工程において、前記共通電極と各検査端子との間の抵抗値を計測することが好ましい。

または、前記流路ユニットが金属部材を含んでおり、前記アクチュエータが、前記接合面に配置された検査ランドをさらに有しており、前記固定工程において、前記検査ランドが前記金属部材と電気的に接続されるように、前記アクチュエータを前記流路ユニットに固定し、前記接合工程において、前記検査端子を、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合し、前記計測工程において、前記金属部材と各検査端子との間の抵抗値を計測することが好ましい。

さらには、前記計測工程において、前記検査端子に検査信号を出力したときの消費電流に基づいて前記検査端子の電気特性を計測することが好ましい。

これらによると、各検査端子がアクチュエータの接合面から剥離したか否かを容易に判断することができる。

本発明においては、前記接合工程において、前記平型柔軟基板が前記アクチュエータから一方に向かって延在するように、前記平型柔軟基板を前記アクチュエータに接合し、前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子が前記一方に沿って配列していることが好ましい。これによると、アクチュエータの接合面から剥離している検査端子の数を検出することで、平型柔軟基板がアクチュエータからどの程度剥離しているかを正確に把握することができる。

このとき、前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子の少なくとも１つが、前記複数の出力端子の前記一方側に配置されていることが好ましい。これによると、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離するのを効率よく抑制することができる。

さらに、本発明においては、前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子が、前記複数の出力端子の前記一方に直交する方向に関する両側に配置されていることがより好ましい。これによると、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離するのをさらに効率よく抑制することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明に係る第１実施形態であるインクジェットプリンタの全体的な構成を示す概略側面図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１０１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーインクジェットプリンタである。このインクジェットプリンタ１０１には、図中左方に給紙部１１が、図中右方に排紙部１２がそれぞれ構成されている。

インクジェットプリンタ１０１の内部には、給紙部１１から排紙部１２に向かって用紙（被記録媒体）Ｐが搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙部１１のすぐ下流側には、用紙を狭持搬送する一対の送りローラ５ａ、５ｂが配置されている。一対の送りローラ５ａ、５ｂは、用紙Ｐを給紙部１１から図中右方に送り出すためのものである。用紙搬送経路の中間部には、２つのベルトローラ６、７と、両ローラ６、７の間に架け渡されるように巻き回されたエンドレスの搬送ベルト８と、搬送ベルト８によって囲まれた領域内においてインクジェットヘッド１と対向する位置に配置されたプラテン１５とを含むベルト搬送機構１３が設けられている。プラテン１５は、インクジェットヘッド１と対向する領域において搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持するものである。ベルトローラ７と対向する位置には、ニップローラ４が配置されている。ニップローラ４は、給紙部１１から送りローラ５ａ、５ｂによって送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付けるものである。

図示しない搬送モータがベルトローラ６を回転させることによって、搬送ベルト８が駆動される。これにより、搬送ベルト８が、ニップローラ４によって外周面８ａに押さえ付けられた用紙Ｐを粘着保持しつつ排紙部１２に向けて搬送する。

用紙搬送経路に沿う搬送ベルト８のすぐ下流側には、剥離機構１４が設けられている。剥離機構１４は、搬送ベルト８の外周面８ａに粘着されている用紙Ｐを外周面８ａから剥離して、図中左方の右方の排紙部１２に向けて送るように構成されている。

４つのインクジェットヘッド１は、４色のインク（マゼンタ、イエロー、シアン、ブラック）に対応して、搬送方向に沿って４つ並べて固定されている。つまり、このインクジェットプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。４つのインクジェットヘッド１は、その下端にヘッド本体２をそれぞれ有している。ヘッド本体２は、搬送方向に直交した方向に長尺な細長い直方体形状となっている。また、ヘッド本体２の底面が外周面８ａに対向するインク吐出面２ａとなっている。搬送ベルト８によって搬送される用紙Ｐが４つのヘッド本体２のすぐ下方側を順に通過する際に、この用紙Ｐの上面すなわち印刷面に向けてインク吐出面２ａから各色のインクが吐出されることで、用紙Ｐの印刷面に所望のカラー画像を形成できるようになっている。

次に、図２を参照しつつインクジェットヘッド１について詳細に説明する。図２は、インクジェットヘッド１の短手方向に沿った断面図である。図２に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１とを含むヘッド本体２、ヘッド本体２の上面に配置されていると共にヘッド本体２にインクを供給するリザーバユニット７１、一端がアクチュエータユニット２１に接続され、ドライバＩＣ５２が実装されたＣＯＦ（Chip On Film：平型柔軟基板）５０、ＣＯＦ５０と電気的に接続された制御基板５４、並びに、アクチュエータユニット２１、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０及び制御基板５４を覆い、外部からインクやインクミストが浸入するのを防ぐためのサイドカバー５３及びヘッドカバー５５を有している。

リザーバユニット７１は、プレート９１〜９４の４枚のプレートが互いに位置合わせされて積層されたものであり、その内部に、図示しないインク流入流路、インクリザーバ６１、及び、１０個のインク流出流路６２が互いに連通するように形成されている。なお、図２においては、１つのインク流出流路６２のみが表れている。インク流入流路は図示しないインクタンクからのインクが流入するものである。インクリザーバ６１はインク流入流路及びインク流出流路６２と連通しており、インクを一時的に貯溜する。インク流出流路６２は、流路ユニット９の上面に形成されたインク供給口１０５ｂ（図３参照）を介して流路ユニット９と連通している。インクタンクからのインクがインク流入流路を介してインクリザーバ６１に流れ込む。インクリザーバ６１に流れ込んだインクはインク流出流路６２を通過し、インク供給口１０５ｂを介して流路ユニット９に供給される。

また、プレート９４には、凹部９４ａが形成されている。プレート９４の凹部９４ａが形成された部分では、流路ユニット９との間に空隙を形成しており、この空隙内に、アクチュエータユニット２１が配置されている。

ＣＯＦ５０は、その一方端部近傍がアクチュエータユニット２１の上面である接合面に接着されている。さらに、ＣＯＦ５０は、アクチュエータユニット２１の接合面から水平方向に延在した後、上方に向かって直角に湾曲するように折り曲げられ、さらに、サイドカバー５３とリザーバユニット７１との間を通過するように上方に引き出されている。そして、ＣＯＦ５０の他方端部がコネクタ５４ａを介して制御基板５４のコネクタ５４ａに接続されている。このため、アクチュエータユニット２１の接合面における、ＣＯＦ５０の折り曲げ部に最も近い位置にある領域に、アクチュエータユニット２１からＣＯＦ５０を剥離する方向にストレスが集中する。

また、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２が、リザーバユニット７１の側面に貼り付けられたスポンジ８２によってサイドカバー５３に付勢されている。ドライバＩＣ５２は、放熱シート８１を介してサイドカバー５３の内側面と密着することによってサイドカバー５３と熱的に結合されている。これにより、ドライバＩＣ５２からの熱がサイドカバー５３を介して外部に放熱される。

制御基板５４は、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２を介してアクチュエータユニット２１の駆動を制御するものである。ドライバＩＣ５２は、アクチュエータユニット２１を駆動する駆動信号を生成する。

サイドカバー５３は、流路ユニット９の上面における短手方向両端部近傍から上方に延在するように取り付けられた金属製の板部材である。ヘッドカバー５５は、流路ユニット９より上方の空間を封止するようにサイドカバー５３の上方に取り付けられている。このように、２つのサイドカバー５３とヘッドカバー５５とにより囲まれる空間内に、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０及び制御基板５４が配置されている。

次に、図３〜図６を参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図３は、ヘッド本体２の平面図である。図４は、図３の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。なお、図４では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１１０、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。図５は、図４に示すV−V線に沿った部分断面図である。図６（ａ）はアクチュエータユニット２１の拡大断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）においてアクチュエータユニット２１の表面に配置された個別電極を示す平面図である。

ヘッド本体２は、図３に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含んでいる。図４に示すように、流路ユニット９は、圧力室１１０等を含むインク流路が内部に形成されている。アクチュエータユニット２１は、各圧力室１１０に対応した複数のアクチュエータを含んでおり、圧力室１１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。

流路ユニット９は、リザーバユニット７１のプレート９４とほぼ同じ平面形状を有する直方体形状となっている。流路ユニット９の上面９ａには、リザーバユニット７１のインク流出流路６２（図２参照）に対応して、計１０個のインク供給口１０５ｂが開口している。流路ユニット９の内部には、図３及び図４に示すように、インク供給口１０５ｂに連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。流路ユニット９の下面には、図４及び図５に示すように、多数のノズル１０８がマトリクス状に配置されたインク吐出面２ａが形成されている。圧力室１１０も流路ユニット９におけるアクチュエータユニット２１の固定面においてノズル１０８と同様マトリクス状に多数配列されている。

本実施形態では、等間隔に流路ユニット９の長手方向に並ぶ圧力室１１０の列が、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室１１０の数は、後述のアクチュエータユニット２１の外形形状（台形形状）に対応して、その長辺側（下底側）から短辺側（上底側）に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル１０８も、これと同様の配置がされている。

流路ユニット９は、図５に示すように、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚のステンレス鋼等の金属プレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する。これらプレート１２２〜１３０を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット９内に、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経てノズル１０８に至る多数の個別インク流路１３２が形成される。

流路ユニット９におけるインクの流れについて説明する。図３〜図５に示すように、リザーバユニット７１からインク供給口１０５ｂを介して流路ユニット９内に供給されたインクは、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａに分岐される。副マニホールド流路１０５ａ内のインクは、各個別インク流路１３２に流れ込み、絞りとして機能するアパーチャ１１２及び圧力室１１０を介してノズル１０８に至る。

次に、アクチュエータユニット２１について説明する。図３に示すように、４つのアクチュエータユニット２１は、それぞれ台形の平面形状を有しており、インク供給口１０５ｂを避けるよう千鳥状に配置されている。さらに、各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット９の幅方向（副走査方向）に関して互いにオーバーラップしている。

図６（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる３枚の圧電シート１４１〜１４３から構成されている。最上層の圧電シート１４１の表面（アクチュエータユニット２１の接合面）における圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間にはシート全面に形成された共通電極１３４が介在している。個別電極１３５は、図６（ｂ）に示すように、圧力室１１０と相似な略菱形の平面形状を有する。平面視で、個別電極１３５の大部分は、圧力室１１０の領域内にある。略菱形の個別電極１３５における鋭角部の一方は圧力室１１０の外に延出され、その先端には個別電極１３５と電気的に接続された円形の個別ランド１３６が設けられている。また、圧電シート１４１の表面には、共通電極１３４と電気的に接続された図示しないＣＯＭランドと検査ランド１３７（図７及び図９参照）とが形成されている。なお、検査ランド１３７は、圧電シート１４１の長辺（台形の下底）に関する各端部近傍において、アクチュエータユニット２１の長辺に直交する方向に沿って４つ配列されている。また、各端部近傍に配列された４つの検査ランド１３７のうちの２つは、多数の個別電極１３５よりも長辺側の端部に近い位置に配置されている。また、圧電シート１４１の表面が、後述のようにＣＯＦ５０が接合される接合面である。

共通電極１３４は、すべての圧力室１１０に対応する領域において等しくグランド電位が付与されている。一方、個別電極１３５は、ＣＯＦ５０を介してドライバＩＣ５２の各出力端子と電気的に接続されており、ドライバＩＣ５２からの駆動信号が選択的に供給されるようになっている。

ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されており、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。つまり、アクチュエータユニット２１において、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室１１０の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。例えば、分極方向と電界の印加方向とが同じであれば、活性部は分極方向に直交する方向（平面方向）に縮む。つまり、アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０から離れた上側１枚の圧電シート１４１を活性部を含む層とし、且つ圧力室１１０に近い下側２枚の圧電シート１４２、１４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプのアクチュエータである。図６（ａ）に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されているため、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１１０内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、ノズル１０８からインク滴が吐出される。

なお、本実施形態においては、予め個別電極１３５に所定の電位を付与しておき、吐出要求があるごとに一旦個別電極１３５をグランド電位にした後、所定のタイミングで再び個別電極１３５に所定の電位を付与するような駆動信号をドライバＩＣ５２から出力させる。この場合、個別電極１３５がグランド電位となるタイミングで圧電シート１４１〜１４３が元の状態に戻り、圧力室１１０の容積は初期状態（予め電圧が印加された状態）と比較して増加し、副マニホールド流路１０５ａから個別インク流路１３２へとインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極１３５に所定の電位が付与されたタイミングで圧電シート１４１〜１４３において活性領域と対向する部分が圧力室１１０側に凸となるように変形し、圧力室１１０の容積低下によりインクの圧力が上昇し、ノズル１０８からインクが吐出される。

次に、図７を参照しつつ、ＣＯＦ５０について詳細に説明する。図７は、ＣＯＦ５０の平面図である。なお、図７においては、説明の都合上、ＣＯＦ５０の長手方向の長さを短くしている。図７に示すように、ＣＯＦ５０は、アクチュエータユニット２１と実質的に同じ台形の平面外形を有する端子配置領域５０ａと、端子配置領域５０ａの長辺から外側に向かって延在している配線領域５０ｂと、制御基板５４のコネクタ５４ａに接続される配線領域５０ｂの端部に配置されたターミナル５０ｃとを含んでいる。

端子配置領域５０ａは、アクチュエータユニット２１の接合面に接合される領域である。端子配置領域５０ａには、個別電極１３５の個別ランド１３６に接合される多数の出力端子５８と、共通電極１３４と電気的に接続されたＣＯＭランド（図示せず）に接合されるグランド端子６０と、検査ランド１３７（図９参照）に接合される８つの検査端子５９ａ〜５９ｄとが配置されている。端子配置領域５０ａの長辺（台形形状の下底）に関する各端部近傍において、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが、端子配置領域５０ａにおける長辺側、すなわち配線領域５０ｂ側からＣＯＦ５０の延在方向（ＣＯＦ５０の引き出し方向の反対方向）に沿って、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に配列されている。これら４つの検査端子５９ａ〜５９ｄは、互いに電気的に接続されている。また、各端部近傍に配列された４つの検査端子５９ａ〜５９ｄのうち、端子配置領域５０ａの長辺側に位置する２つの検査端子５９ａ、５９ｂが、多数の出力端子５８よりも長辺側に配置されている。このため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１の接合面に接合された状態においては、検査端子５９ａ〜５９ｄが、圧電シート１４１の長辺（台形形状の下底）に関する各端部近傍において、ＣＯＦ５０の引き出し方向に沿って４つずつ配列されている。また、計４つの検査端子５９ａ、５９ｂが、アクチュエータユニット２１の長辺の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置される。

配線領域５０ｂの中央（幅方向に関する中央）には、ドライバＩＣ５２が実装されている。また、配線領域５０ｂには、ドライバＩＣ５２の図示しない出力端子と出力端子５８とを接続する出力配線５７ａと、ドライバＩＣ５２の図示しない制御端子とターミナル５０ｃとを接続する制御配線５７ｂと、端子配置領域５０ａの長辺に関する各端部近傍に配置された４つの検査端子５９ａ〜５９ｄに電気的に接続された検査配線７３とが形成されている。そして、ＣＯＦ５０の短手方向の両端近傍には、端子配置領域５０ａ及び配線領域５０ｂの外縁に沿って延在するＣＯＭパターン７２が形成されている。端子配置領域５０ａにおけるＣＯＭパターン７２内にグランド端子６０が配置されている。

ターミナル５０ｃは、制御基板５４のコネクタ５４ａに接続されるものであり、制御配線５７ｂ及びＣＯＭパターン７２と接続された多数の端子（図示せず）を有している。

次に、図８〜図１０を参照しつつ、ドライバＩＣ５２について詳細に説明する。図８は、ドライバＩＣ５２の機能ブロック図である。図９は、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との位置関係を説明するための図である。なお、図９（ａ）は、ＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図であり、図９（ｂ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図であり、図９（ｃ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。図９（ｂ）及び図９（ｃ）においては、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄのうち、検査端子５９ａのみが表れている。図１０は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したときの図９（ａ）に示すX-X線に関する部分断面図である。

図８に示すように、ドライバＩＣ５２は、駆動信号出力部（駆動信号出力部材）８１と、電気特性計測部（計測手段）８２と、剥離判断部（判断手段）８３と、通信部８４とを有している。駆動信号出力部８１は、図示しない上位の装置（例えば、ホストコンピュータ）からの指令に基づいてアクチュエータユニット２１を駆動させる駆動信号を出力するものである。駆動信号出力部８１が出力した駆動信号は、ドライバＩＣ５２の出力端子から出力配線５７ａ及び出力端子５８を介して、対応する個別電極１３５に供給される。

図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときは、検査端子５９ａと共通電極１３４とが圧電シート１４１を介して近接しているため、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の静電容量が１０ｐＦ程度になる。また、図９（ｃ）に示すように、検査端子５９ａが検査ランド１３７から剥離されると、検査端子５９ａと共通電極１３４とが近接しなくなるため、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の静電容量が０ｐＦになる。

図１０に示すように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離するとき、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが、配線領域５０ｂ側から順に、具体的には、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に検査ランド１３７から剥離される。このように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離する程度によって、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数が変化する。したがって、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離する程度によって、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が変化する。つまり、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが検査ランド１３７から剥離していないときは、静電容量の合計値が１０×４＝４０ｐＦ程度になる。そして、検査端子５９ａのみが検査ランド１３７から剥離したときは、静電容量の合計値が３×１０＝３０ｐＦ程度となる。さらに検査端子５９ａ、５９ｂまでが検査ランド１３７から剥離したときは、静電容量の合計値が２×１０＝２０ｐＦ程度となる。さらに検査端子５９ａ〜５９ｃまでが検査ランド１３７から剥離したときは、静電容量の合計値が１×１０＝１０ｐＦ程度となる。最後に、全ての検査端子５９ａ〜５９ｄが検査ランド１３７から剥離したときは、静電容量の合計値が０ｐＦとなる。

電気特性計測部８２は、検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性を計測するものであり、静電容量測定回路８２ａを有している。静電容量測定回路８２ａは、検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性として、アクチュエータユニット２１の長辺の各端部近傍に配置された４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を測定する。

図１１をさらに参照しつつ、静電容量測定回路８２ａについて説明する。図１１は、静電容量測定回路８２ａの内部構成を示す概略回路図である。静電容量測定回路８２ａは、一対のインバータ９６、９７と、Ａ／Ｄコンバータ９８とを有している。インバータ９６は、パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介して検査端子５９ａに検査パルス信号を出力するものである。インバータ９７は、インバータ９６からの検査パルス信号をＡ／Ｄコンバータ９８に出力するものである。Ａ／Ｄコンバータ９８は、インバータ９７からの出力電位をデジタル信号で出力するものである。上述したように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していない場合は、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が４０ｐＦ程度となり、インバータ９６からの検査パルス信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が、入力されたパルス信号よりも長くなる。そして、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離して、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に検査ランド１３７から剥離されると、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が３０ｐＦ→２０ｐＦ→１０ｐＦ→０ｐＦの順に変化する。この変化に伴って、インバータ９６からの検査パルス信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が段階的に短くなり、最終的に静電容量の合計が０ｐＦとなったときに、検査パルス信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が、入力されたパルス信号とほぼ一致する。

Ａ／Ｄコンバータ９８は、インバータ９６に入力されるパルス信号が立ち上がって所定時間経過したタイミングで、インバータ９７からの出力電位をサンプリングする。このとき、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が小さくなるほど、パルスの立ち上がり時間が早くなり、サンプリングした出力電位が高くなる。静電容量測定回路８２ａは、サンプリングした出力電位を示すデジタル信号を静電容量の合計値に対応する計測結果として剥離判断部８３に出力する。

図８及び図９に戻って、剥離判断部８３は、静電容量測定回路８２ａからの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを判断するものである。具体的には、静電容量測定回路８２ａからの計測結果（検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値）に基づいて、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する。なお、この判断は、端子配置領域５０ａの長辺に関する各端部近傍に配置された４つの検査端子５９ａ〜５９ｄ毎に行われる。具体的には、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が４０ｐＦの場合は検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を０と判断し、静電容量の合計値が３０ｐＦの場合は検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を１（検査端子５９ａのみ剥離）と判断し、静電容量の合計値が２０ｐＦの場合は検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を２（検査端子５９ａ、５９ａのみ剥離）と判断し、静電容量の合計値が１０ｐＦの場合は検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を３（検査端子５９ａ〜５９ｃのみ剥離）と判断し、静電容量の合計値が０ｐＦの場合は検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を４（全ての検査端子５９ａ〜５９ｃが剥離）と判断する。

通信部８４は、剥離判断部８３の判断結果を制御基板５４に送信するものである。なお、通信部８４の通信先は、後述するインクジェットヘッド１の製造工程においてインクジェットヘッド１の検査を行う検査装置であってもよい。

次に、図１２を参照しつつ、インクジェットヘッド１の製造工程に含まれるインクジェットヘッド１の検査工程について説明する。図１２は、インクジェットヘッド１の検査工程を示す工程図である。図１２に示すように、インクジェットヘッド１の検査工程は、固定工程、接合工程、負荷試験工程、計測工程、判断工程及び管理工程が含まれる。固定工程では、流路ユニット９と、アクチュエータユニット２１とを、各圧力室１１０と対応する個別電極１３５とがそれぞれ対向するように固定する（図６参照）。その後、接合工程では、アクチュエータユニット２１の接合面において、出力端子５８と個別ランド１３６とが接合されるように、且つ、グランド端子６０とＣＯＭランドとが接合されるように、且つ、検査端子５９ａ〜５９ｄと検査ランド１３７とが接合されるように、ＣＯＦ５０をアクチュエータユニット２１に接合する（図９参照）。この接合工程においては、ＣＯＦ５０をアクチュエータユニット２１に接合するにあたって、予め決定された、接合時の加熱温度、加熱時間、押圧力などの各種接合条件が適用される。

負荷試験工程では、固定工程及び接合工程が終了したインクジェットヘッド１を、所定ロッド毎に１つ選択し、選択したインクジェットヘッド１に対して負荷試験を行う。この負荷試験は、インクジェットヘッド１の環境温度を急速に変化させるサーマルショック試験であり、ＣＯＦ５０とアクチュエータユニット２１との接合部に負荷を与えるものである。サーマルショック試験においては、インクジェットヘッド１を気相の試験層内に配置した状態で、試験層内の温度を変化させる。例えば、試験層内の温度を−４０℃と１００℃との間で各３０分ずつ交互に変化させる。これを２００サイクルほど繰り返す。なお、気相の試験層の代わりに液層の試験層を用いてもよい。これによると、気相の試験層を用いる場合より、短時間でサーマルショック試験を完了させることができる。

このとき、アクチュエータユニット２１を高速駆動させる加速試験を行ってもよい。加速試験においては、アクチュエータユニット２１を通常駆動するときの電圧よりも高い電圧でアクチュエータユニット２１を駆動する。ＣＯＦ５０とアクチュエータユニット２１との接合部の信頼性がアレニウス則に従うとともに、アクチュエータユニット２１の駆動電圧が高くなるので、アクチュエータユニット２１の変位量が大きくなる。これにより、接合部にかかる負荷がより大きくなる。また、アクチュエータユニット２１を通常駆動されるときの駆動周期よりも短い駆動周期でアクチュエータユニット２１を駆動してもよい。これにより、接合部に与える時間当たりの負荷の回数を多くすることができる。さらには、試験層内を高温多湿条件、例えば、温度を８５℃、湿度を８５％などに設定することでさらに加速試験にかかる時間を短くすることができる。これらの条件は、インクジェットヘッド１において規定される寿命及び使用される条件をふまえたうえで、最適なものを取捨選択して設定すればよい。

そして、計測工程では、負荷試験工程を経たインクジェットヘッド１のＣＯＦ５０を制御基板５４のコネクタ５４ａに接続し、電気特性計測部８２の静電容量測定回路８２ａが、検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性、すなわち、本実施形態においては、上述したように、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を測定する。最後に、判断工程では、剥離判断部８３が、静電容量測定回路８２ａからの計測結果に基づいて、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する。これにより、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを把握することができる。

管理工程では、上述した接合工程において適用された各種接合条件と、ＣＯＦ５０のアクチュエータユニット２１からの剥離具合とを検証し、この検証結果から異常と判断されたインクジェットヘッド１に関する接合工程における各種接合条件の見直しを図る。

上述した計測工程及び判断工程は、インクジェットヘッド１の製造工程のみならず、インクジェットヘッド１またはインクジェットプリンタ１０１として出荷された後においても、定期的あるいはユーザの指示によって実行することが可能である。この場合、出荷時においては、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１に完全に接合されている場合であっても、経時的な温度変化などにより、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から徐々に剥離していることを検出することができる。これにより、ユーザは、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から完全に剥離することによって、インクジェットヘッド１からインク滴が吐出されなくなる前に、メーカに対して修理を依頼するなどの対策をとることができる。なお、インクジェットヘッド１の製造工程においては、上述した電気特性計測部８２及び剥離判断部８３を備える検査装置を別途準備し、計測工程及び判断工程をこの検査装置を用いて行うようにしてもよい。この場合、インクジェットプリンタ自体が電気特性計測部及び剥離判断部を備えない構成であってもよい。

以上、説明した本実施形態によると、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を計測するという簡単な方法で、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断することによって、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを容易に判断することができる。これにより、インクジェットヘッド１を製造するときの接合工程における接合条件を調整するのが容易になり、インクジェットヘッド１の歩留まりを向上させることができる。また、インクジェットヘッド１の製造後においても、インクジェットヘッド１を検査して、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離して故障に至る可能性があるか否かを容易に判断することができる。これにより、故障に至る可能性のあるインクジェットヘッド１の交換など、事前の対処が可能となる。

また、電気特性計測部８２は、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を計測すればよいため、電気特性計測部８２を簡単な回路構成で実現することができる。

４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが、端子配置領域５０ａの長辺側からＣＯＦ５０の引き出し方向の反対方向に沿って、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に配列されているため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離するとき、検査端子５９ａ〜５９ｄが、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順で検査ランド１３７から剥離されることになる。このため、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断することによって、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを正確に判断することができる。

さらに、計４つの検査端子５９ａ及び５９ｂが、アクチュエータユニット２１の長辺の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置されているため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離するのを効率よく抑制することができる。

なお、本実施形態においては、検査ランド１３７が共通電極１３４と電気的に接続される構成となっているが、検査ランド１３７が金属部材である流路ユニット９と電気的に接続される構成であってもよい。この場合、流路ユニット９が図示しないフレームなどを介してグランド電位が付与されていることが好ましい。

また、本実施形態においては、電気特性計測部８２は、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を計測する構成となっているが、電気特性計測部が、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量を個別に計測する構成であってもよい。この場合、ＣＯＦにおいて、各検査端子５９ａ〜５９ｄが互いに電気的に独立した構成にする必要がある。

＜変形例＞
図１３を参照しつつ本実施形態に係る変形例について説明する。図１３は、本変形例におけるＣＯＦ５０の部分拡大平面図である。図１３に示すように、ＣＯＦ５０において、検査端子５９ａ〜５９ｄに接続された検査配線７３ａが、検査端子５９ａ〜５９ｄに隣接する個別電極１３５である検査個別電極１３５ａに接続された出力配線５７ａに接続されている。これにより、検査端子５９ａ〜５９ｄと検査個別電極１３５ａとが電気的に接続されている。そして、静電容量測定回路８２ａは、共通電極１３４と検査端子５９ａ〜５９ｄとの間、及び、共通電極１３４と検査個別電極１３５ａとの間の各静電容量の合計値を計測する。なお、静電容量測定回路８２ａのインバータ９６は、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するための駆動回路の一部が用いられている。

本変形例によると、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するための駆動回路の一部が用いられているため、ドライバＩＣ５２の回路規模が大きくなるのを抑制することができる。

なお、本変形例においては、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するため駆動回路が、検査個別電極１３５ａを含む各個別電極１３５に対応するアクチュエータユニット２１の駆動特性が同じになるように、検査個別電極１３５ａに出力する駆動信号の電流値を、検査個別電極１３５ａを除く他の個別電極１３５に出力する駆動信号の電流値よりも大きくなるように構成されていることが好ましい。具体的には、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するため駆動回路のトランジスタのＯＮ抵抗を、他の駆動回路よりも小さくする。これによると、アクチュエータユニット２１の駆動特性のばらつきを抑制することができる。

＜第２実施形態＞
次に、図１４及び図１５を参照しつつ、本発明に係る第２実施形態のインクジェットプリンタについて説明する。なお、第１実施形態と実質的に同一の部材及び機能部については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。図１４は、第２実施形態のインクジェットプリンタが有するドライバＩＣ１５２の機能ブロック図である。図１５は、検査端子５９ａと共通電極１３４との位置関係を説明するための図である。図１５（ａ）は、ＣＯＦ１５０及びアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である。図１５（ｂ）は、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときのＣＯＦ１５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。図１５（ｃ）は、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１から剥離したときのＣＯＦ１５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。なお、図１５（ｂ）及び図１５（ｃ）においては、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄのうち、検査端子５９ａのみが表れている。図１４に示すように、ドライバＩＣ１５２は、駆動信号出力部８１と、電気特性計測部（計測手段）１８２と、剥離判断部（判断手段）１８３と、通信部８４とを有している。

図１４及び図１５（ａ）に示すように、ＣＯＦ１５０には、対応する検査端子５９ａ〜５９ｄにそれぞれ接続された検査配線１７３が形成されている。各検査配線１７３はドライバＩＣ１５２に独立して接続されている。

図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示すように、圧電シート１４１には、圧電シート１４１を厚み方向に貫通しつつ共通電極１３４と検査ランド１３７とを接続する内部配線１３４ａが形成されている。このため、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときは、検査端子５９ａと共通電極１３４とが、検査ランド１３７及び内部配線１３４ａを介して電気的に接続され、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度になる。また、図１５（ｃ）に示すように、検査端子５９ａが検査ランド１３７から剥離されると、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωになる。そして、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１から剥離するとき、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが、配線領域５０ｂ側から順に、具体的には、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に検査ランド１３７から剥離される。このように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離する程度によって、共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωとなる検査端子５９ａ〜５９ｄの数が変化する（図１０参照）。

電気特性計測部１８２は、各検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性を計測するものであり、抵抗測定回路１８２ａを有している。抵抗測定回路１８２ａは、検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性として、各検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の抵抗値を測定する。図１６をさらに参照しつつ、抵抗測定回路１８２ａについて説明する。

図１６は、抵抗測定回路１８２ａの内部構成を示す概略回路図である。なお、図１６においては、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値を測定する回路構成のみを示している。他の検査端子５９ｂ〜５９ｄと共通電極１３４との間の抵抗値を測定する回路構成は、図１６に示す回路構成と実質的に同じである。抵抗測定回路１８２ａは、一対のインバータ９６、９７と、コンパレータ１９８とを有している。インバータ９６は、連続パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介して検査端子５９ａに検査信号を出力するものである。インバータ９７は、インバータ９６からの検査信号をコンパレータ１９８に出力するものである。コンパレータ１９８は、インバータ９７からの出力電位と、ハイレベルの参照電圧とを比較するものである。上述したように、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１から剥離していない場合、すなわち、検査端子５９ａが検査ランド１３７から剥離していない場合は、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度となるため、インバータ９６の出力電位が常にローとなり、インバータ９７の出力電位が常にハイとなる。一方、検査端子５９ａが検査ランド１３７から剥離している場合は、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωとなるため、インバータ９６の出力電位が入力された連続パルス信号に合わせてハイレベル及びローレベルの間で変化し、インバータ９７の出力電位もハイレベル及びローレベルの間で変化する。

したがって、コンパレータ１９８は、インバータ９７の出力電位と参照電圧とが一致（共にハイレベル）しているときは、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度とする計測結果を剥離判断部１８３に出力し、インバータ９７の出力が参照電圧と一致しなくなったとき、つまり、インバータ９７の出力が一度でもローレベルとなったときは、検査端子５９ａと共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωとする計測結果を剥離判断部１８３に出力する。電気特性計測部１８２は、各検査端子５９ｂ〜５９ｄについても、同様の構成で共通電極１３４との間の抵抗値をそれぞれ計測し、その計測結果を剥離判断部１８３に出力する。

図１４及び図１５に戻って、剥離判断部１８３は、抵抗測定回路１８２ａからの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを判断するものである。具体的には、抵抗測定回路１８２ａからの計測結果（抵抗値）に基づいて、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する。すなわち、剥離判断部１８３は、各検査端子５９ａ〜５９ｄにおいて、抵抗測定回路１８２ａからの計測結果である抵抗値が０．１Ω程度であれば、検査端子５９ａ〜５９ｄが検査ランド１３７から剥離していないと判断し、抵抗値が∞Ωであれば、検査端子５９ａ〜５９ｄが検査ランド１３７から剥離したと判断する。これにより、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する。

以上、剥離状態として抵抗値が∞Ωの場合を説明したが、ＣＯＦ１５０の接合部に外力が働いたとき、接合部が損傷して部分的な剥離状態となることがある。この場合、抵抗値は、損傷状態に対応した高抵抗状態となる。

剥離判断部１８３は、接合部がこのような高抵抗状態にあるときにもＣＯＦ１５０が剥離したと判断する。一例として、ドライブ抵抗Ｒ１が１００Ωで、インバータ９６は、２４Ｖで１０ｍＡの電流を流すことができるとして説明する。この場合、インバータ９７の閾値を２．５Ｖとして、剥離の有無が決められる。接合部が良好な接続状態（抵抗値：０．１Ω程度）にある場合、インバータ９７の出力電圧は１．００１Ｖとなる。インバータ９７の閾値は２．５Ｖであるので、インバータ９７の出力はハイレベルとなり、剥離判断部１８３は接合部が剥離していないと判断する。一方、接合部が損傷して１ｋΩの抵抗値を持つ場合、インバータ９７の出力電圧は１０Ｖとなり、閾値の２．５Ｖより高くなる。このとき、インバータ９７の出力はローレベルとなり、剥離判断部１８３は接合部が剥離したと判断する。この例の場合、接合部の抵抗が１５０Ω以上となると、剥離判断部１８３によって、接合部が剥離したと判断される。

このように、インバータ９６の駆動能力とドライブ抵抗とは、アクチュエータユニット２１の駆動特性によって決定される。使用電圧範囲と剥離状態に対応する抵抗値を設定し、上記のように閾値を決めることで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

なお、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、第１実施形態と実質的に同様であるので説明を省略する。

以上、説明した本実施形態によると、各検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の抵抗値を計測するという簡単な方法で、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断することによって、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを容易に判断することができる。これにより、インクジェットヘッドを製造するときの接合工程における接合条件を調整するのが容易になり、インクジェットヘッドの歩留まりを向上させることができる。また、インクジェットヘッドの製造後においても、インクジェットヘッドを検査して、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離して故障に至る可能性があるか否かを容易に判断することができる。これにより、故障に至る可能性のあるインクジェットヘッドの交換など、事前の対処が可能となる。

＜第３実施形態＞
次に、図１７を参照しつつ、本発明に係る第３実施形態のインクジェットプリンタについて説明する。なお、第１実施形態と実質的に同一の部材及び機能部については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。図１７は、第３実施形態のインクジェットプリンタが有するドライバＩＣ２５２及び制御基板２５４の機能ブロック図である。図１７に示すように、ドライバＩＣ２５２は、駆動信号出力部８１と、検査信号出力部２８５とを有している。また、制御基板２５４は、電気特性計測部（電気特性計測手段）２８２と、剥離判断部（判断手段）２８３とを有している。

図１８を参照しつつ検査信号出力部２８５及び電気特性計測部２８２について説明する。図１８は、検査信号出力部２８５及び電気特性計測部２８２の内部構成を示す概略回路図である。図１８に示すように、検査信号出力部２８５は、パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介してＣＯＦ５０における４つの検査端子５９ａ〜５９ｄ毎に検査パルス信号を出力するインバータ２９６を有している。電気特性計測部２８２は、検査端子５９ａ〜５９ｄの電気特性を計測するものであり、検査端子５９ａ〜５９ｄに検査パルス信号（周波数Ｆ、電圧Ｖ）を出力したときのインバータ２９６の消費電力を計測する。また、電気特性計測部２８２は、計測結果を剥離判断部２８３に出力する。

図１７に戻って、剥離判断部２８３は、電気特性計測部２８２からの計測結果（インバータ２９６の消費電力ｉ）に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているか、すなわち、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する。なお、この判断は、端子配置領域５０ａの長辺に関する各端部近傍に配置された４つの検査端子５９ａ〜５９ｄ毎に行われる。インバータ２９６が、検査端子５９ａ〜５９ｄに対して、周波数Ｆ、電圧Ｖの検査パルス信号を出力したとき、インバータ２９６の消費電力ｉは、ｉ＝ＦＣＶ^２となる。剥離判断部２８３は、この式に基づいて、消費電力ｉから４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量Ｃを算出する。上述したように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離して、検査端子５９ａ〜５９ｄが、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に検査ランド１３７から剥離されると、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値が３０ｐＦ→２０ｐＦ→１０ｐＦ→０ｐＦの順に変化する（図９及び図１０参照）。これにより、剥離判断部２８３は、算出した静電容量Ｃに基づいて、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断することができる。

また、本実施形態でも、上述の第２実施形態と同様に、電気特性計測部２８２が計測するインバータ２９６の消費電力に対して閾値を設定することで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

なお、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、第１実施形態と実質的に同様であるので説明を省略する。

以上、説明した本実施形態によると、インバータ２９６の消費電力を計測するという簡単な方法で、検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断することによって、ＣＯＦ１５０がアクチュエータユニット２１からどの程度剥離しているかを容易に判断することができる。これにより、インクジェットヘッドを製造するときの接合工程における接合条件を調整するのが容易になり、インクジェットヘッドの歩留まりを向上させることができる。また、インクジェットヘッドの製造後においても、インクジェットヘッドを検査して、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離して故障に至る可能性があるか否かを容易に判断することができる。これにより、故障に至る可能性のあるインクジェットヘッドの交換など、事前の対処が可能となる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した第１及び第２実施形態においては、４つの検査端子５９ａ〜５９ｄが、端子配置領域５０ａの長辺側からＣＯＦ５０、１５０の引き出し方向の反対方向に沿って、検査端子５９ａ→検査端子５９ｂ→検査端子５９ｃ→検査端子５９ｄの順に配列される構成であるが、ＣＯＦ５０、１５０におけるアクチュエータユニット２１との接合領域内であれば、これら検査端子が任意の位置に配置されてよい。また、検査端子の数も２以上であれば任意の数であってよい。

また、上述した第１及び第２実施形態においては、４つの検査端子５９ａ、５９ｂが、アクチュエータユニット２１の長辺の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置される構成であるが、上述したように、各検査端子は任意の位置に配置されていてよい。

加えて、上述した第１実施形態においては、アクチュエータユニット２１の圧電シート１４１の表面に検査ランド１３７が形成されており、ＣＯＦ５０の検査端子５９ａ〜５９ｄが検査ランド１３７に接合される構成となっているが、検査端子５９ａ〜５９ｄが接着剤などにより圧電シート１４１の表面に直接接合されてもよい。

また、上述した第１実施形態においては、電気特性計測部８２が、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計を計測する構成となっており、上述した第２実施形態においては、電気特性計測部１８２が、各検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の抵抗値を計測する構成となっているが、電気特性計測部は、検査ランド１３７からの剥離の有無により変化する検査端子５９ａ〜５９ｄの他の電気特性を計測する構成であってもよい。

また、上述の第２実施形態では、２つのインバータ９６、９７の組み合わせによって、各検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の抵抗値から接合部の状態を判断していたが、第３実施形態のように、インバータの消費電力から接合部の状態を判断してもよい。例えば、図１９に示すように、インバータ２９６は、内部配線１３４ａを介して共通電極１３４に接続された検査端子５９に対してハイレベルを出力するように駆動されている。接合部が良好な接合状態であれば、このハイレベル出力に対応した直流電流が電気特性計測部２８２にも流れる。接合部が剥離状態であれば、電気特性計測部２８２に電流は流れない。また、接合部が損傷していると、そのときの各検査端子５９ａ〜５９ｄにおける抵抗値に対応した電流が流れる。この場合でも、上述の実施形態と同様に、電気特性計測部２８２が計測するインバータ２９６の消費電力に対して閾値を設定することで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

上述した第１及び第２実施形態においては、インクジェットプリンタ１０１としてインクジェット記録装置が構成されたものであるが、インクジェット記録装置がインクジェットヘッド１単体として構成されたものであってもよい。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの外観側面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの短手方向に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体の平面図である。 図３に示す一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４に示すV−V線断面図である。 図４に示すアクチュエータユニットを説明するための図である。 図２に示すＣＯＦの平面図である。 図２に示すドライバＩＣの機能ブロック図である。 図２に示す検査端子と共通電極との位置関係を説明するための図である。 ＣＯＦがアクチュエータユニットから剥離したときの図９（ａ）に示すX-X線に関する部分断面図である。 図８に示す静電容量測定回路の内部構成を示す概略回路図である。 図１に示すインクジェットヘッドの検査工程を示す工程図である。 変形例であるＣＯＦの部分拡大平面図である。 本発明の第２実施形態に係るドライバＩＣの機能ブロック図である。 図１４に示す検査端子と共通電極との位置関係を説明するための図である。 図１４に示す抵抗測定回路の内部構成を示す概略回路図である。 本発明の第３実施形態に係るドライバＩＣの機能ブロック図である。 図１７に示す検査信号出力部及び電気特性計測部の内部構成を示す概略回路図である。 本発明の第３実施形態の変形例である電気特性計測部の内部構成を示す概略回路図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２１ アクチュエータユニット
５０、１５０ ＣＯＦ
５０ａ 端子配置領域
５０ｂ 配線領域
５０ｃ ターミナル
５４、２５４ 制御基板
５４ａ コネクタ
５５ ヘッドカバー
５７ａ 出力配線
５７ｂ 制御配線
５８ 出力端子
５９ａ〜５９ｄ 検査端子
６０ グランド端子
７２ ＣＯＭパターン
７３、１７３ 検査配線
８１ 駆動信号出力部
８２、１８２、２８２ 電気特性計測部
８２ａ 静電容量測定回路
１８２ａ 抵抗測定回路
８３、１８３、２８３ 剥離判断部
８４ 通信部
９６、９７ インバータ
９８ Ａ／Ｄコンバータ
１０１ インクジェットプリンタ
１３４ 共通電極
１３４ａ 内部配線
１３５ 個別電極
１３６ 個別ランド
１３７ 検査ランド
１４１〜１４３ 圧電シート
１９８ コンパレータ
２８５ 検査信号出力部
５２、１５２ ドライバＩＣ
Ｒ１ ドライブ抵抗

Claims (11)

1. 圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータとを、前記複数の圧力室と前記複数の個別電極とがそれぞれ対向するように固定する固定工程と、
   複数の出力端子、及び、複数の検査端子を有する平型柔軟基板を、前記アクチュエータにおける前記流路ユニットの反対側の面である接合面に前記複数の検査端子が接合されるように、且つ、前記複数の出力端子と前記複数の個別ランドとがそれぞれ接合されるように、前記アクチュエータに接合する接合工程と、
   前記アクチュエータの前記接合面に接合された前記平型柔軟基板における前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測工程と、
   前記計測工程の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 前記計測工程において、前記共通電極と各検査端子との間の静電容量をそれぞれ計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3. 前記検査端子と前記複数の個別電極の１つである検査個別電極とが電気的に接続されており、
   前記計測工程において、前記共通電極と前記検査端子との間、及び、前記共通電極と前記検査個別電極との間の各静電容量の合計値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記共通電極と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、
   前記接合工程において、前記検査端子を、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合し、
   前記計測工程において、前記共通電極と各検査端子との間の抵抗値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 前記流路ユニットが金属部材を含んでおり、
   前記アクチュエータが、前記接合面に配置された検査ランドをさらに有しており、
   前記固定工程において、前記検査ランドが前記金属部材と電気的に接続されるように、前記アクチュエータを前記流路ユニットに固定し、
   前記接合工程において、前記検査端子を、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合し、
   前記計測工程において、前記金属部材と各検査端子との間の抵抗値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. 前記計測工程において、前記検査端子に検査信号を出力したときの消費電流に基づいて前記検査端子の電気特性を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7. 前記接合工程において、前記平型柔軟基板が前記アクチュエータから一方に向かって延在するように、前記平型柔軟基板を前記アクチュエータに接合し、
   前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子が前記一方に沿って配列していることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子の少なくとも１つが、前記複数の出力端子の前記一方側に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9. 前記平型柔軟基板の前記複数の検査端子が、前記複数の出力端子の前記一方に直交する方向に関する両側に配置されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10. 圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された複数の検査端子を有する平型柔軟基板とを有するインクジェットヘッドの検査方法であって、
    前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測工程と、
    前記計測工程の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
11. 圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、
    前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、
    前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された複数の検査端子を有する平型柔軟基板と、
    前記複数の検査端子の電気特性を計測する計測手段と、
    前記計測手段の計測結果に基づいて、前記アクチュエータの前記接合面から剥離した前記検査端子の数を判断する判断手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。

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