JP2008178285A - 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータを用いた電子機器 - Google Patents

圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータを用いた電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】 小型で大変位、高剛性が得られるとともに制御性が良く、安定性に富んだ圧電アクチュエータを実現する。
【解決手段】 そこで、上記課題を解決する為に本発明の圧電アクチュエータは、厚み方向に屈曲変位する第一の圧電部材と、第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、を二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、第一の圧電部材の長手方向中央部と第二の圧電部材の長手方向中央部とを、もしくは第一の圧電部材の両端部と第二の圧電部材の両端部とを固定した構造とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、圧電アクチュエータに係り、特にカメラ、情報記録機器等の電子機器に搭載され、レンズ等の駆動部を精密に動かす駆動源となるアクチュエータ及びこれを用いた電子機器に関する。
近年、電子機器の高機能化、高性能化が進んでおり、ここで使われるアクチュエータにも様々な原理のものが採用されている。これらの中でも圧電素子を用いた圧電アクチュエータは精密位置決めが可能で応答性に優れ、ダイレクト駆動が可能であることからレンズや情報記録機器におけるピックアップの位置決め等への応用が試みられている。特に二枚の圧電素子を接合した構造からなり屈曲変位を発生するバイモルフ型の圧電アクチュエータは、他のタイプの圧電アクチュエータと比較して変位が大きいことから広く使われている。しかしながら、更なる大変位出力への要求に対応するには圧電素子の長さを長く、そして厚みを薄くしなければならないため大きさや剛性、強度の面で実用的ではなかった。
そこで、複数のバイモルフ素子を厚み方向(屈曲変位方向)に重ねて配置し、互いのバイモルフ素子の一端で接合することで大きな変位を得る構造が知られており、一対のバイモルフ素子をX字型に交差させたユニットを2段もしくは偶数段積み上げ、相互を固定する構造が提案されている。
特開平2006−121769号公報
しかしながら、特許文献1に記載のアクチュエータはX字型に交差させる部分を有するため構造が複雑になり組み立ても難しくなるとともに、X字構造とするために交差するバイモルフ素子間に隙間を設けなければならずアクチュエータの大型化を招いてしまった。またこれによりアクチュエータの剛性が低くなり、応答性並びに位置決め制御性の低下を招いてしまった。そして同時に、使用する姿勢差や外部からの振動等の外乱の影響を受けやすくなるという問題を招いてしまった。
本発明の目的は、小型で大変位、高剛性が得られるとともに制御性が良く、安定性に富んだ圧電アクチュエータを提供することにある。
そこで、上記課題を解決する為に本発明の圧電アクチュエータは厚み方向に屈曲変位する第一の圧電部材と、第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、を二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、第一の圧電部材の長手方向中央部と第二の圧電部材の長手方向中央部と、を固定した構造とする。これによれば、剛性が大きく変位の大きな圧電アクチュエータが実現できる。
更にこの圧電アクチュエータを屈曲変位の方向へ複数設け、二つの圧電アクチュエータ同士が隣り合う位置にある圧電部材の長手方向両端部同士を固定して圧電アクチュエータを構成する。これによれば、更に変位の大きな圧電アクチュエータが実現できる。
また本発明の圧電アクチュエータの別の構成として、厚み屈曲変位する第一の圧電部材と、第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、を二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、第一の圧電部材の長手方向両端部と第二の圧電部材の長手方向両端部と、を固定した構造とする。これによれば、剛性が大きく変位の大きな圧電アクチュエータが実現できる。
更にこの圧電アクチュエータを屈曲変位の方向へ複数設け、圧電アクチュエータ同士が隣り合う位置にある圧電部材の長手方向両端部同士を固定して圧電アクチュエータを構成する。これによれば、更に変位の大きな圧電アクチュエータが実現できる。
また、これらの圧電アクチュエータを圧電部材の長手方向へ複数設け、隣り合う二つの圧電部材同士を固定して圧電アクチュエータを構成する。これによれば圧電アクチュエータの剛性は更に増大する。
本発明によれば、大きな変位を発生可能であるとともに、大きな剛性を有する構造の圧電アクチュエータが得られる。従って、本発明の圧電アクチュエータは制御性、信頼性に富む。また、このアクチュエータを搭載した電子機器の小型化、低消費電力化が可能になる。
以下、図面を基にして本発明の実施の形態について説明する。
(実施の形態1)
図1、2、3を基にして本発明の圧電アクチュエータ100、101の構造、動作について説明する。図1は圧電アクチュエータ100、101の全体構造を示した図である。図2は圧電部材1、2の電極構造を示した図である。図2(a)は圧電部材1,2を構成する圧電素子1b、2bの上面に設けられた電極を示す図であり、図2(b)は圧電部材1,2を構成する圧電素子1a、2a上面に設けられた電極を示す図である。図2(c)は圧電素子1a、1bの下面に設けられた電極14,19を示す図である。図3は圧電アクチュエータ100、101の駆動状態を示す図である。
本発明の圧電アクチュエータ101は、互いに厚み方向に重ねて配置された矩形形状の圧電部材1、2と、圧電部材1と圧電部材2の間に配置され、圧電部材1の長手方向中央部と圧電部材2の中央部を固定する固定部材7と、圧電部材1、2を圧電部材1,2の厚み方向両側から挟み込むように配置された稼動部材4と支持部材3と、圧電部材1の長手方向両端部で圧電部材1と稼動部材4とを固定する固定部材8、9と、圧電部材2の長手方向両端部で圧電部材2と支持部材3とを固定する固定部材17、18から構成されている。圧電アクチュエータ100は圧電部材1と圧電部材2と固定部材7とで構成される部分を指す。
圧電部材1は二枚の圧電素子1a、1bを積層した構造からなり、いわゆるバイモルフ型の圧電アクチュエータとして機能する。圧電素子1bの上面には圧電素子1bの長手方向中央部付近を除いて二分される領域に電極10、11が設けられている。圧電素子1aの上面には圧電部材2の長手方向両端部付近を除いて全面に電極14が設けられている。圧電素子1aの下面には圧電素子1aの長手方向中央部付近を除いて二分される領域に電極12、13が設けられている。圧電部材2も二枚の圧電素子2a、2bかならるバイモルフ構造となっており圧電部材1と同じ構造である。圧電部材1における電極10、11、12、13、14は夫々圧電部材2における電極15、16、17、18、19に相当する。
圧電素子1a、1b、2a、2bは図中矢印1000、1001の方向に分極処理されている。分極処理は電極14と電極10、11、12、13の間、並びに電極19と電極15、16、17、18の間に高電圧を掛ける事により行われる。圧電部材1の長手方向中央部側面には側面電極21が設けられ電極14と短絡する。圧電部材1の長手方向両端側面には側面電極20、22が設けられており、側面電極20は電極10、12と短絡し、側面電極22は電極11、13と短絡する。また圧電部材2の長手方向中央部側面には側面電極24が設けられ電極19と短絡する。圧電部材2の長手方向両端側面には側面電極23、25が設けられ、側面電極23は電極15、17と短絡し、側面電極25は電極16、18と短絡する。尚これらの側面電極20、21、22、23、24、25は分極処理の後で塗付される。固定部材7の側面に電極を設けて側面電極21と側面電極24を短絡しても良く、この場合電極と接続される図示しないリード線の数を減らすことが可能となる。
次に圧電アクチュエータ100,101の駆動方法を説明する。圧電アクチュエータ100、101に印加する駆動信号は直流電圧であり、側面電極21、24をGNDとして側面電極20、22と側面電極23、25には互いに極性の異なる電圧を印加する。例えば側面電極21、24をGNDとして側面電極20、22に+10Vを印加し、側面電極23、25には−10Vの電圧を印加する。するとバイモルフ型のアクチュエータである圧電部材1と圧電部材2は共に図3に示すように圧電部材1,2の厚み方向に屈曲変位するが、変位方向は互いに逆となる。これにより圧電アクチュエータ100,101の変位は図中y軸方向となる。この様な原理により、一つの圧電部材だけの場合に比べ、2倍の変位量が得られる。また、変位方向を逆にするには側面電極20、22に印加する信号の極性並びに側面電極23、25に印加する信号の極性を夫々逆にすれば良い。また、圧電アクチュエータ100、101の変位量は圧電部材1,2に印加される信号の電圧の大きさを変えることにより制御される。
このように、圧電部材1と圧電部材2同士を固定する部分、圧電部材1と稼動部材4とを固定する部分、並びに圧電部材2と支持部材3と固定する部分は駆動信号の印加による圧電効果によって歪が生じない非駆動部となるため、駆動中に互いの固定部が剥離することを防止することができる。
また、側面電極20,21,22,23,24,25を、この圧電部材1,2の非駆動部となる部分に設けることで、圧電部材1,2の他の部分には全面に渡って駆動用電極を設けることが出来るから圧電アクチュエータ100、101の変位は大きくなると共に全体の変位分布にアンバランスが生じない。
ところで、以上圧電部材1,2の構成、分極方向、駆動信号について詳細に説明したが、圧電部材1,2はバイモルフ素子として機能するものであればその形態にとらわれるものではなく、3枚以上の圧電素子を積層した積層圧電素子で構成しても良い。
また、圧電アクチュエータ100、101の作製方法であるが、圧電部材1,2、固定部材7,8,9、稼動部材4、支持部材3の接合は接着剤を用いても良いが、少なくとも圧電部材1,2、固定部材7を圧電セラミクスで構成することによりこれらを一体的に製造することが可能となる。例えば、圧電素子2aを含む圧電シートと圧電素子2bを含む圧電シートと固定部材7を含む圧電シートと圧電素子1aを含む圧電シートと、圧電素子1bを含む圧電シートとを積層して一体的に焼結する。ここで、固定部材7を含む圧電シートにおいて固定部材7の周囲に樹脂やカーボンペーストを設けておけば、焼結時に焼け落ちたり、溶けてなくなるため固定部材7のみが残ることとなる。この様なプロセスを採ることにより信頼性が高く、性能バラツキの小さな圧電アクチュエータ100を大量に安価で製造することが可能となる。
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2について、図4を基にして説明する。ここでは実施の形態1で示した圧電アクチュエータ100、101との相違点を中心に説明する。
圧電アクチュエータ200は実施の形態1で示した圧電アクチュエータ100における圧電部材1,2と固定部材7で構成される圧電アクチュエータ100を圧電部材1,2の屈曲変位の方向(図中矢印y軸方向)へ二つ設け、隣り合う圧電アクチュエータを構成する圧電部材1,2の長手方向両端部同士で固定部材32,33を介して固定して圧電アクチュエータ200を構成し、更に圧電アクチュエータ200の矢印y軸方向両端に位置する二つの圧電部材1の長手方向両端部で固定部材30,31を介して稼動部材4を固定し、圧電部材2の長手方向両端部で固定部材34,35を介して支持部材3を固定したことで圧電アクチュエータ201を構成している。圧電アクチュエータ100,101と同様に圧電部材1と圧電部材2を互いに逆方向に屈曲変位させることにより圧電アクチュエータ200,201は各圧電部材1,2の変位の和として図中y軸方向へ変位する。
ここでは、圧電部材1,2と固定部材7で構成される圧電アクチュエータ100を二つ設ける例を示したが、更に設ければその数に比例して圧電アクチュエータ200,201の変位は大きくなる。
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3について、図5を基にして説明する。ここでは実施の形態1で示した圧電アクチュエータ100、101との相違点を中心に説明する。
圧電アクチュエータ300は実施の形態1で示した圧電アクチュエータ100における圧電部材1,2をその厚み方向に重ねて配置し、圧電部材1,2の長手方向両端部同士で固定部材37,38を介して固定して圧電アクチュエータ300を構成し、更に圧電部材2の長手方向中央部で固定部材36を介して稼動部材4を固定し、圧電部材1の長手方向中央部で固定部材39を介して支持部材3とを固定したことで圧電アクチュエータ301を構成している。ここでも圧電アクチュエータ100,101と同様に圧電部材1と圧電部材2を互いに逆方向に屈曲変位させることにより圧電アクチュエータ300,301は各圧電部材1,2の変位の和として図中y軸方向へ変位する。
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4について、図6を基にして説明する。ここでは実施の形態3で示した圧電アクチュエータ300、301との相違点を中心に説明する。
圧電アクチュエータ400は実施の形態3で示した圧電アクチュエータ301における圧電部材1,2と固定部材37,38で構成される圧電アクチュエータ300を圧電部材1,2の屈曲変位の方向(y軸方向)へ二つ設け、隣り合う圧電アクチュエータを構成する圧電部材1,2の長手方向中央部同士で固定部材41を介して固定して圧電アクチュエータ400を構成し、更に圧電アクチュエータ400のy軸方向両端に位置する圧電部材2の長手方向中央部で固定部材40を介して稼動部材4を固定し、圧電部材2の長手方向中央部で固定部材42を介して支持部材3を固定したことで圧電アクチュエータ401を構成している。ここでも圧電アクチュエータ300,301と同様に圧電部材1と圧電部材2を互いに逆方向に屈曲変位させることにより圧電アクチュエータ400,401は各圧電部材1,2の変位の和として図中y軸方向へ変位する。
ここでは、圧電部材1,2と固定部材37,38で構成される圧電アクチュエータ300を二つ設ける例を示したが、更に設ければその数に比例して圧電アクチュエータ400,401の変位は大きくなる。
(実施の形態5)
本発明の実施の形態5について、図7を基にして説明する。ここでは実施の形態1、3で示した圧電アクチュエータ100,101,300、301との相違点を中心に説明する。
本発明の圧電アクチュエータ500は矩形形状の圧電部材1、2、と別の圧電部材1をこれらの厚み方向に順次重ねて配置し、圧電部材1の長手方向中央部と圧電部材2の長手方向中央部とを、固定部材46を介して固定し、更に圧電部材2ともう一つの圧電部材1とを、これら圧電部材1,2の長手方向両端部において固定部材44,45を介して固定して構成する。そして、別の圧電部材1の長手方向中央部において固定部材4を介して稼動部材4と固定し、圧電部材1の長手方向両端部と支持部材3とを圧電素子1の長手方向両端部において固定部材47,48を介して固定することで圧電アクチュエータ501を構成する。
圧電部材1と圧電部材2を互いに逆方向に屈曲変位させることにより圧電アクチュエータ500,501は各圧電部材1,2の変位の和として図中y軸方向へ変位する。圧電アクチュエータ500,501は圧電アクチュエータ100,101並びに圧電アクチュエータ300,301に更に圧電部材1もしくは圧電部材2を重ねて接続した構成と見ることが出来る。従って、実施の形態4で示した圧電アクチュエータ200または実施の形態6で示した圧電アクチュエータ400に更に圧電部材1もしくは圧電部材2を重ねて接続して圧電アクチュエータを構成しても良い。
圧電アクチュエータ200に圧電部材1を接続する場合には、圧電アクチュエータ200を構成しy軸方向端部にある圧電部材2の長手方向両端部において固定部材を介して新たに圧電部材1を接続する。圧電アクチュエータ200に圧電部材2を接続する場合には、圧電アクチュエータ200を構成しy軸方向端部にある圧電部材1の長手方向両端部において固定部材を介して新たに圧電部材2を接続する。
圧電アクチュエータ400に圧電部材1を接続する場合には、圧電アクチュエータ400を構成しy軸方向端部にある圧電部材2の長手方向中央部において固定部材を介して新たに圧電部材1を接続する。圧電アクチュエータ400に圧電部材2を接続する場合には、圧電アクチュエータ400を構成しy軸方向端部にある圧電部材1の長手方向中央部において固定部材を介して新たに圧電部材2を接続する。
(実施の形態6)
本発明の実施の形態6について、図8を基にして説明する。ここでは上記実施の形態で示した圧電アクチュエータ200,201との相違点を中心に説明する。
本発明の圧電アクチュエータ600は、矩形形状の圧電部材50,51が夫々2枚と、圧電部材50,51を結合する固定部材52,53,54,55,56で構成される。圧電部材50,51をこれらの厚み方向に図中上から圧電部材50,51,50,51の順に配置する。圧電部材50は実施の形態1に示した圧電部材1を二つ、この圧電部材1の長手方向に並べて結合した構造となっている。圧電部材50は一つの圧電部材で構成しても良いし、二つの圧電部材1を接着等の手段により結合したものでも良い。圧電部材51は実施の形態1に示した圧電部材2を二つこの圧電部材1の長手方向に並べて結合した構造となっている。圧電部材51は一つの圧電部材で構成しても良いし、二つの圧電部材1を接着等の手段により結合したものでも良い。
図中一番上にある圧電部材50と二番目にある圧電部材51とは、これらを構成する二つの圧電部材1及び圧電部材2の長手方向中央部において固定部材55,56を介して結合する。二番目の圧電部材51と三番目の圧電部材50とはこれらの圧電部材の長手方向両端部及び長手方向中央部において夫々固定部材52,54,53を介して結合する。三番目の圧電部材50と四番目の圧電部材51とは、これらを構成する二つの圧電部材1及び圧電部材2の長手方向中央部において固定部材55,56を介して結合する。
圧電アクチュエータ601は圧電アクチュエータ600とこれを固定する支持部材63と、圧電アクチュエータ600により駆動される稼動部材49と、圧電アクチュエータ600と支持部材63、稼動部材49とを結合する固定部材57,58,59,60,61,62とで構成されている。支持部材63と圧電アクチュエータ600とは圧電アクチュエータ600を構成する上から4番目の圧電部材51の長手方向両端部及び中央部において固定部材60,62,61を介して結合される。稼動部材49と圧電アクチュエータ600とは圧電アクチュエータ600を構成する上から一番目の圧電部材50の長手方向両端部及び中央部において固定部材57,59,58を介して結合される
圧電アクチュエータ600,601の駆動方法であるが、圧電部材50と圧電部材51を互いに逆方向に屈曲変位させる、即ち圧電部材1と圧電部材2を互いに逆方向に屈曲変位させることにより圧電アクチュエータ600,601は各圧電部材50,51のy軸方向の変位の和として図中y軸方向へ変位する。
この様に圧電アクチュエータ600,601は、圧電アクチュエータ200,201をこれらを見かけ上構成する圧電部材1,2の長手方向に二つ設けて隣り合う圧電部材同士を結合した構成と見ることが出来る。従って、圧電アクチュエータ100,101,300、301,400,401,500,501を用いて、これらを構成する圧電部材の長手方向に同じ構成の圧電アクチュエータ100,101,300、301,400,401,500,501を一つ以上配置して隣り合う圧電部材を固定してなる構造にして圧電アクチュエータを構成しても良い。並列配置する圧電アクチュエータ200,201,300,30,400,401,500,501,の数が多ければその分だけ最終的に構成される圧電アクチュエータの剛性は増大する。
この様に、同じ構成の圧電アクチュエータを変位方向(y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に複数配置して互いを結合することにより、一つの圧電アクチュエータを使用した場合に比べて変位は同じでありながら剛性を上げることが可能となる。また、圧電アクチュエータを構成する圧電素子を焼成した際の変形に対しても強くなるため製造ばらつきが小さく出来る。
(実施の形態7)
本発明の実施の形態7について図9,10を基にして説明する。
図9は本発明の電子機器に搭載される圧電アクチュエータ700を示す図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。圧電アクチュエータ700は、平行に配置された二つの圧電アクチュエータ200の上下に夫々稼動部材71、支持部材70を固定した構造からなる。そして、稼動部材71の中央部には制御対象部材となるレンズ72が設けられ、支持部材70の上には撮像素子73が設けられている。ここで撮像素子73はCCDやC−MOSセンサからなる。二つの圧電アクチュエータ200に駆動信号を与え、稼動部材71並びに制御対象部材(レンズ)72を図中y方向に駆動することにより制御対象部材(レンズ)72を透過した光は撮像素子73上にフォーカスされる。このような構成により圧電アクチュエータ700はオートフォーカス駆動装置として機能する。
図10は本発明の圧電アクチュエータ700を搭載した電子機器800を示すブロック図である。ここで、電子機器800はデジタルカメラである。図示しないシャッターにユーザーが触れると、制御回路75からの指令信号に基づき駆動回路74は圧電アクチュエータ700に駆動信号を与える。圧電アクチュエータ700の動作に基づき制御対象部となるレンズ72が動作し、図示しない撮像素子73からの情報を基に制御回路75は指令信号を駆動回路74に出力し、フォーカスが合うようにレンズ72の位置決めを行う。この状態で図示しないシャッターが押されると、撮像素子73に写し出された画像が図示しないメモリーに取り込まれる。
本実施の形態において、圧電アクチュエータ700の駆動源として圧電アクチュエータ200を例に示したが、実施の形態1から6に示した圧電アクチュエータの何れを用いても構わない。また、電子機器800としてデジタルカメラを例に説明したが他の電子機器、例えばDVDの球面収差補正等に用いても構わない。何れの場合においても本発明の圧電アクチュエータを用いた電子機器800の小型化、低消費電力化が可能となる。
本発明の圧電アクチュエータは、小型でありながら大きな変位を発生可能であると共に、精密な位置決めが可能で低消費電力であるという特徴を有することから、光ディスクや磁気ディスクにおけるピックアップの駆動や、光ディスクにおける光学系の調整機構(レンズやプリズム等の部品)の駆動、カメラのオートフォーカス機構におけるレンズ駆動、等への適用が可能である。また、圧電アクチュエータを複数用いることにより多軸駆動も可能であるから顕微鏡や計測装置におけるx−y微動装置のほか、カメラやビデオカメラにおける手振れ補正装置としても適用可能である。
本発明の実施の形態1の圧電アクチュエータの全体構造を示す図である。 本発明の実施の形態1の圧電アクチュエータに用いられる圧電素子の電極構成 を示す図である。 本発明の実施の形態1の圧電アクチュエータの駆動状態を示す図である。 本発明の実施の形態2の圧電アクチュエータの構造を示す図である。 本発明の実施の形態3の圧電アクチュエータの構造を示す図である。 本発明の実施の形態4の圧電アクチュエータの構造を示す図である。 本発明の実施の形態5の圧電アクチュエータの構造を示す図である。 本発明の実施の形態6の圧電アクチュエータの構造を示す図である。 本発明の実施の形態7の電子機器に搭載される圧電アクチュエータの構造を示 す図である。 本発明の実施の形態7の電子機器を示すブロック図である。
符号の説明
1,2,49,50 圧電部材
100,101,200,201,300,301,400
401,500,501,600,601、700 圧電アクチュエータ
3,63 支持部材
4,49、71 稼動部材
7,8,9,17,18,32,33,44,45,52
53,54,55,56,57,58,59,60,61,62 固定部材

Claims (14)

  1. 厚み方向に屈曲変位する第一の圧電部材と、
    前記第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、
    を前記二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、前記第一の圧電部材の長手方向中央部と前記第二の圧電部材の長手方向中央部と、を固定した構造から成ることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  2. 厚み方向に屈曲変位する第一の圧電部材と、
    前記第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、
    を前記二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、第一の圧電部材の長手方向両端部と第二の圧電部材の長手方向両端部と、を固定した構造から成ることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  3. 請求項1記載の圧電アクチュエータを前記屈曲変位の方向へ複数設け、隣り合う圧電部材の長手方向両端部同士を固定して構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  4. 請求項2記載の圧電アクチュエータを前記屈曲変位の方向へ複数設け、隣り合う圧電部材の長手方向中央部同士を固定して構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  5. 請求項1又は3の何れか一つに記載の圧電アクチュエータに、更に屈曲変位する一つの圧電部材を、前記圧電アクチュエータを構成する圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、隣り合う圧電部材の長手方向両端部で固定して構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  6. 請求項1又は3の何れか一つに記載の圧電アクチュエータにおいて、両端に位置する二つの圧電部材のうち一方の圧電部材の長手方向両端部で稼動部材を固定し、他方の圧電部材の長手方向両端部で支持部材を固定したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  7. 請求項2又は4の何れか一つに記載の圧電アクチュエータに、更に屈曲変位する一つの圧電部材を、前記圧電アクチュエータを構成する圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、隣り合う圧電部材の長手方向中央部で固定して構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  8. 請求項2又は4の何れか一つに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記複数の圧電部材のうち両端に位置する二つの圧電部材のうち一方の圧電部材の長手方向中央部で稼動部材を固定し、他方の圧電部材の長手方向中央部で支持部材を固定したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  9. 請求項5又は7の何れか一つに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記複数の圧電部材のうち両端に位置する二つの圧電部材のうち一方の圧電部材の長手方向両端部で稼動部材を固定し、他方の圧電部材の長手方向中央部で支持部材を固定したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  10. 請求項1乃至9の何れか一つに記載の圧電アクチュエータを前記圧電部材の長手方向に複数設け、この長手方向において隣り合う圧電部材同士を固定した構造からなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  11. 請求項10に記載の圧電アクチュエータにおいて、変位方向両端に位置する二つの圧電部材のうち一方に稼動部材を固体し、他方に支持部材を固定したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  12. 請求項1乃至11の何れか一つに記載の圧電アクチュエータを構成する圧電部材のうち圧電部材同士の固定が成される部分には、圧電アクチュエータ駆動信号の入力によって歪を発生しない非駆動部を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
  13. 請求項6乃至9又は11の何れか一つに記載の圧電アクチュエータを構成する圧電部材のうち圧電部材と前記支持部材の固定が成される部分もしくは圧電部材と前記稼動部材の固定が成される部分には、圧電アクチュエータ駆動信号の入力によって歪を発生しない非駆動部を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
  14. 請求項1乃至13の何れか一つに記載の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータによって駆動される制御対象部と、前記圧電アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、前記駆動回路を制御する制御回路と、を有する電子機器。
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