JP2008171892A - 半導体ウエハの支持装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 様々な表面形状の半導体ウエハに対応可能な支持装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハを支持する装置は、半導体ウエハを載置する載置面を有する載置台と、載置面に配列されているとともに載置面に対して進退可能に設けられている複数のピン部材と、ピン部材毎に設けられており、そのピン部材の進退位置を他のピン部材から独立して調整するアクチュエータを備えている。この支持装置では、複数のピン部材進退位置を独立して調整することによって、様々な表面形状の半導体ウエハを複数のピン部材で支持することができる。
【選択図】図7
【解決手段】 半導体ウエハを支持する装置は、半導体ウエハを載置する載置面を有する載置台と、載置面に配列されているとともに載置面に対して進退可能に設けられている複数のピン部材と、ピン部材毎に設けられており、そのピン部材の進退位置を他のピン部材から独立して調整するアクチュエータを備えている。この支持装置では、複数のピン部材進退位置を独立して調整することによって、様々な表面形状の半導体ウエハを複数のピン部材で支持することができる。
【選択図】図7
Description
本発明は、半導体ウエハを支持する装置に関する。特に、半導体ウエハに各種の加工処理や検査処理を実施する際に、半導体ウエハを支持する装置に関する。
半導体装置の製造工程では、半導体ウエハに各種の加工処理や検査処理が実施される。半導体ウエハに各種の処理を実施する場合、半導体ウエハをその平面度を維持しながら支持する必要がある。
特許文献1には、半導体ウエハの電気特性を検査する際に、半導体ウエハを支持する装置が記載されている。この装置は、半導体ウエハが載置される略円板状の載置台を備えている。略円板状の載置台は複数のリング体に分割されており、各リング体がアクチュエータによって上下移動できるようになっている。そして、各リング体の表面には、半導体ウエハを吸引エアによって吸着するための吸着溝が形成されている。
この支持装置では、それぞれのリング体の上下位置を調整することによって、載置台の表面形状を凹形に変化させることができる。それにより、支持する半導体ウエハが凹形に変形している場合でも、半導体ウエハを各リング体の吸着溝に吸着できるように構成されている。さらにこの支持装置では、半導体ウエハを各リング体の吸着溝に吸着させた状態で、各リング体の上下位置を同一平面内に復帰させる。それにより、半導体ウエハに生じている変形を矯正しつつ、半導体ウエハを支持することができるように構成されている。
特許文献1には、半導体ウエハの電気特性を検査する際に、半導体ウエハを支持する装置が記載されている。この装置は、半導体ウエハが載置される略円板状の載置台を備えている。略円板状の載置台は複数のリング体に分割されており、各リング体がアクチュエータによって上下移動できるようになっている。そして、各リング体の表面には、半導体ウエハを吸引エアによって吸着するための吸着溝が形成されている。
この支持装置では、それぞれのリング体の上下位置を調整することによって、載置台の表面形状を凹形に変化させることができる。それにより、支持する半導体ウエハが凹形に変形している場合でも、半導体ウエハを各リング体の吸着溝に吸着できるように構成されている。さらにこの支持装置では、半導体ウエハを各リング体の吸着溝に吸着させた状態で、各リング体の上下位置を同一平面内に復帰させる。それにより、半導体ウエハに生じている変形を矯正しつつ、半導体ウエハを支持することができるように構成されている。
半導体ウエハは、必ずしも凹形に湾曲するのみでなく、例えば鞍型や波型に変形することもある。さらに近年では、その表面に凹凸プロファイルが形成された半導体ウエハも利用されるようになっている。特許文献1に記載の支持装置では、凹形に変形した半導体ウエハを支持することはできても、鞍型や波型に変形した半導体ウエハや、その表面に凹凸プロファイルが形成された半導体ウエハを支持することができない。様々な表面形状の半導体ウエハに対応可能な支持装置が必要とされている。
本発明は、上記の課題を解決する。本発明は、様々な表面形状の半導体ウエハに対応可能な支持装置を提供する。
本発明は、上記の課題を解決する。本発明は、様々な表面形状の半導体ウエハに対応可能な支持装置を提供する。
本発明によって具現化される半導体ウエハを支持する装置は、半導体ウエハを載置する載置面を有する載置台と、載置面に配列されているとともに載置面に対して進退可能に設けられている複数のピン部材と、ピン部材毎に設けられており、そのピン部材の進退位置を他のピン部材から独立して調整するアクチュエータを備えている。
この支持装置では、複数のピン部材の進退位置を個別に調整することによって、様々な表面形状の半導体ウエハを複数のピン部材で支持することができる。
この支持装置によれば、様々な表面形状の半導体ウエハを支持することが可能となる。
この支持装置では、複数のピン部材の進退位置を個別に調整することによって、様々な表面形状の半導体ウエハを複数のピン部材で支持することができる。
この支持装置によれば、様々な表面形状の半導体ウエハを支持することが可能となる。
上記の支持装置において、前記ピン部材には、大気を吸引することによって半導体ウエハを吸着する吸着孔が形成されていることが好ましい。
それにより、様々な表面形状の半導体ウエハをしっかりと支持することができる。また、半導体ウエハをピン部材に吸着させた状態でピン部材の進退位置を調整することによって、半導体ウエハに生じている変形を矯正しつつ、半導体ウエハを支持することもできる。
それにより、様々な表面形状の半導体ウエハをしっかりと支持することができる。また、半導体ウエハをピン部材に吸着させた状態でピン部材の進退位置を調整することによって、半導体ウエハに生じている変形を矯正しつつ、半導体ウエハを支持することもできる。
上記の支持装置において、前記アクチュエータは、前記ピン部材の進退位置を、前記ピン部材が前記載置面から突出する位置と突出しない位置との間で調整可能であることが好ましい。
それにより、ピン部材と載置面の両者によって、様々な表面形状の半導体ウエハを十分な面積で支持することが可能となる。
それにより、ピン部材と載置面の両者によって、様々な表面形状の半導体ウエハを十分な面積で支持することが可能となる。
本発明によって、様々な表面形状の半導体ウエハをしっかりと支持することが可能となり、半導体ウエハに実施する加工処理や検査処理の精度を向上することが可能となる。
最初に、以下に説明する実施例の主要な特徴を列記する。
(特徴1) 支持装置は、ピン部材の進退位置を調整するピン駆動素子と、ピン駆動素子の動作を制御するピン部材制御装置を備えている。
(特徴2) ピン駆動素子は、圧電素子を用いて構成されている。ピン部材制御装置は、ピン駆動素子に印加する電圧を調整することによって、載置面に対するピン部材の突出量を調整する。
(特徴3) 支持装置は、吸引ポンプを備えている。吸引ポンプは、ピン部材に形成されている吸着孔に連通している。
(特徴1) 支持装置は、ピン部材の進退位置を調整するピン駆動素子と、ピン駆動素子の動作を制御するピン部材制御装置を備えている。
(特徴2) ピン駆動素子は、圧電素子を用いて構成されている。ピン部材制御装置は、ピン駆動素子に印加する電圧を調整することによって、載置面に対するピン部材の突出量を調整する。
(特徴3) 支持装置は、吸引ポンプを備えている。吸引ポンプは、ピン部材に形成されている吸着孔に連通している。
本発明を実施した実施例について図面を参照しながら説明する。図1は、半導体ウエハ100を支持する支持装置10を示している。支持装置10は、半導体ウエハ100の表側表面100aに各種の加工処理や検査処理を実施する際に、半導体ウエハ100をその裏側表面100bから支持する装置である。特に、支持装置10は、裏側表面100bが平坦な半導体ウエハ100のみでなく、裏側表面100bに所定の凹凸プロファイルが形成されている半導体ウエハ100でも、その平面度を維持しつつ支持することができる。また、支持装置10は、凹形や鞍形や波形に変形している半導体ウエハ100でも、その変形を矯正しつつ支持することができる。なお、半導体ウエハ100の変形を矯正する必要がなければ、変形している半導体ウエハ100をその形状のままで支持することもできる。
図1に示すように、支持装置10は、半導体ウエハ100が載置される載置台20と、載置台20の位置を調整する位置調整装置40と、ウエハ形状入力装置42と、ピン部材制御装置44と、吸引ポンプ46を備えている。載置台20には、半導体ウエハ100を載置するための載置面20aが形成されている。載置面20aは、略円形の平面であり、その径は半導体ウエハ100の径よりも大きい。
図2は、載置台20の載置面20aを図1中の上方から見た平面図である。図1、図2に示すように、載置台20の載置面20aには、複数のピン部材30が配設されている。複数のピン部材30は、載置面20a上に所定の配置パターンで配設されている。本実施例の配置パターンでは、一つのピン部材30のまわりに、6つのピン部材30が等しい距離で隣接している。
図2は、載置台20の載置面20aを図1中の上方から見た平面図である。図1、図2に示すように、載置台20の載置面20aには、複数のピン部材30が配設されている。複数のピン部材30は、載置面20a上に所定の配置パターンで配設されている。本実施例の配置パターンでは、一つのピン部材30のまわりに、6つのピン部材30が等しい距離で隣接している。
図3は、図2中のIII−III線断面図を示している。図3に示すように、載置台20には、載置面20aから垂直に伸びる複数のピン収容孔22と、ピン収容孔22に連通している負圧流路24が形成されている。ピン収容孔22のそれぞれには、ピン部材30と、ピン駆動素子32が配設されている。負圧流路24は、管路48を介して吸引ポンプ46に接続されている。負圧流路24には、吸引ポンプ46によって負圧(大気圧より低い圧力)が発生するようになっている。ピン駆動素子32は、ピン部材制御装置44に接続されている。
ピン部材30は、吸着孔30bを有する円筒形状を有している。ピン部材30は、ピン収容孔22に所定のクリアランスを有して収容されており、載置面20aに対して進退可能に設けられている。ピン部材30の先端面30aは平坦面であり、ピン部材30がピン収容孔22に完全に収容された状態で、ピン部材30の先端面30aと載置台20の載置面20aが同一平面を構成するようになっている。ピン部材30の先端面30aには、吸着孔30bが開口している。
ピン駆動素子32は、載置面20aに対してピン部材30を進退可能させるアクチュータである。本実施例のピン駆動素子32は、圧電素子を用いて構成されている。ピン駆動素子32は、交互に配置されている複数の負電極板34および正電極板38と、負電極板34と正電極板38との間に配置されている複数の圧電素子36を備えている。複数の負電極板34は接地されており、複数の正電極板38はピン部材制御装置44に接続されている。図4に示すように、複数の正電極板38には、ピン部材制御装置44によって電圧が印加される。それぞれの圧電素子36は、複数の正電極板38に印加された電圧に応じて、ピン収容孔22の軸方向(図3中の上下方向)に変形する。それにより、ピン駆動素子32の全体がピン収容孔22の軸方向に変形する。ピン部材30とピン駆動素子32は互いに接合されており、ピン駆動素子32が変形することによって、ピン部材30は載置面20aに対して進退する。ピン駆動素子32は、ピン部材30の進退位置を、ピン部材30が載置面20aから突出しない位置と突出する位置との間で調整することができる。詳しくは、ピン部材30の先端面30aが載置面20aと同一平面を構成する位置と、ピン部材30の先端面30aが載置面20aよりも突出する位置との間で、ピン部材30の進退位置を調整することができる。ピン部材30が載置面20aから突出する突出量xは、ピン駆動素子32に印加された電圧に応じて変化する。ピン駆動素子32に印加される電圧は、ピン部材制御装置44によって調整される。ピン部材制御装置44は、それぞれのピン駆動素子32に印加する電圧を独立に調整することによって、それぞれのピン部材30の載置面20aに対する突出量xを独立に調整することができる。
ピン駆動素子32には、連通孔32bが形成されている。ピン駆動素子32の連通孔32bは、ピン部材30の吸着孔30bと負圧流路24とを連通している。即ち、それぞれのピン部材30の吸着孔30bは、ピン駆動素子32の連通孔32bと載置台20の負圧流路24と管路48を通じて、吸引ポンプ46に連通している。吸引ポンプ46を運転すると、ピン部材30の先端面30aに開口する吸着孔30bから大気が吸引され、載置された半導体ウエハ100が吸着されるようになっている。
図1に示すように、ピン部材制御装置44には、ウエハ形状入力装置42が接続されている。ウエハ形状入力装置42は、半導体ウエハ100の裏側表面100bの凹凸プロファイルを記述する形状データを入力するための装置である。入力する形状データは、コンピュータ支援設計(CAD)装置等によって作成したCADデータでもよいし、形状測定器等によって裏側表面100bの凹凸プロファイルを測定した測定データであってもよい。
ウエハ形状入力装置42に入力された形状データは、ピン部材制御装置44に教示される。ピン部材制御装置44は、教示された形状データに基づいて、それぞれのピン部材30の突出量xを決定する。そして、ピン部材制御装置44は、それぞれのピン部材30に対して決定した突出量xに対応する電圧を、それぞれのピン部材30を動かすピン駆動素子32に印加する。それにより、載置面20aに設けられた複数のピン部材30が、半導体ウエハ100の裏側表面100bの凹凸プロファイルに応じて突出する。
ウエハ形状入力装置42に入力された形状データは、ピン部材制御装置44に教示される。ピン部材制御装置44は、教示された形状データに基づいて、それぞれのピン部材30の突出量xを決定する。そして、ピン部材制御装置44は、それぞれのピン部材30に対して決定した突出量xに対応する電圧を、それぞれのピン部材30を動かすピン駆動素子32に印加する。それにより、載置面20aに設けられた複数のピン部材30が、半導体ウエハ100の裏側表面100bの凹凸プロファイルに応じて突出する。
図5、図6は、裏側表面100bが凹凸プロファイルを有する半導体ウエハ100の一例を示している。図5は、半導体ウエハ100の裏側表面100bを拡大して示している。図6は、図5中のVI−VI線断面図を示している。図5、図6に示すように、半導体ウエハ100には、格子状に伸びる厚肉部100dと、厚肉部100dによって区画されている複数の薄肉部100cが形成されている。格子状に伸びる厚肉部100dは、半導体ウエハ100の裏側表面100bに突出している。厚肉部100dはダイシングラインに対応しており、薄肉部100cは半導体素子の形成領域に対応している。ダイシングラインとは、半導体ウエハ100の各薄肉部100cに半導体素子を形成した後に、形成した半導体素子を分離(ダイシング)する切断線である。この半導体ウエハ100では、薄肉部100cでは半導体素子に要求される薄さを実現しつつ、ダイシング時で除去されるダイシングライン上に厚肉部100dを形成することによって、半導体ウエハの強度を確保することができる。
半導体ウエハ100が上記のような凹凸プロファイルを有する場合、従来の支持装置では、厚肉部100dのみが支持されることとなる。その結果、半導体素子の形成領域である薄肉部100cは、加工処理時や検査処理時に受ける様々な外力や自重によって、撓んでしまうことがある。半導体素子の形成領域に撓みが生じていると、半導体素子の加工処理や検査処理を正しく実施することができない。
半導体ウエハ100が上記のような凹凸プロファイルを有する場合、従来の支持装置では、厚肉部100dのみが支持されることとなる。その結果、半導体素子の形成領域である薄肉部100cは、加工処理時や検査処理時に受ける様々な外力や自重によって、撓んでしまうことがある。半導体素子の形成領域に撓みが生じていると、半導体素子の加工処理や検査処理を正しく実施することができない。
図7は、本実施例の支持装置10が、上記した凹凸プロファイルを有する半導体ウエハ100を支持している様子を示している。図7に示すように、支持装置10は、厚肉部100dに対向するピン部材30を載置台20内に収容するとともに、薄肉部100cに対向するピン部材30を載置面20aから突出させることができる。それにより、薄肉部100cと厚肉部100dの両者を、ピン部材30の先端面30aと載置台20の載置面20aによって支持することができる。各ピン部材30の突出量(ゼロも含む)xは、ウエハ形状入力装置42に入力された形状データに基づいて、ピン部材制御装置44が決定する。半導体ウエハ100は、ピン部材30の吸着孔30bに吸着され、その位置が固定される。支持装置10は、裏側表面100bに凹凸プロファイルを有する半導体ウエハ100を、その平面度を維持しながら支持することができる。
支持装置10は、裏側表面100bに凹凸プロファイルを有する半導体ウエハ100のみでなく、凹形、鞍形、波形のように様々に変形している半導体ウエハ100を支持することもできる。この場合、先ず、半導体ウエハ100の変形に応じて、各ピン部材30を突出/収容する。次いで、半導体ウエハ100を支持し、吸引ポンプ46を動作させる。この状態では、半導体ウエハ100が変形した形状のままでピン部材30の吸着孔30bにされる。次いで、全てのピン部材30を、それらの先端面30aが載置面20aと同一平面を構成する位置まで、載置台20に収容する。それにより、半導体ウエハ100の変形を矯正しつつ、半導体ウエハ100を支持することができる。なお、半導体ウエハ100の変形を矯正する必要がなければ、ピン部材30を載置台20に収容する必要はなく、ピン部材30の進退位置をそのまま維持すればよい。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
例えば、半導体ウエハ100を支持するのに必要な各ピン部材30の突出量xを外部装置を用いて別途計算し、そのデータをピン部材制御装置44に直接入力する構成にしてもよい。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
例えば、半導体ウエハ100を支持するのに必要な各ピン部材30の突出量xを外部装置を用いて別途計算し、そのデータをピン部材制御装置44に直接入力する構成にしてもよい。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
10:支持装置
20:載置台
20a:載置面
30:ピン部材
32:ピン駆動素子
40:位置調整装置
42:ウエハ形状入力装置
44:ピン部材制御装置
46:吸引ポンプ
48:管路
100:半導体ウエハ
100c:半導体ウエハの薄肉部
100c:半導体ウエハの厚肉部
20:載置台
20a:載置面
30:ピン部材
32:ピン駆動素子
40:位置調整装置
42:ウエハ形状入力装置
44:ピン部材制御装置
46:吸引ポンプ
48:管路
100:半導体ウエハ
100c:半導体ウエハの薄肉部
100c:半導体ウエハの厚肉部
Claims (3)
- 半導体ウエハを支持する装置であって、
半導体ウエハを載置する載置面を有する載置台と、
載置面に配列されているとともに、載置面に対して進退可能に設けられている複数のピン部材と、
ピン部材毎に設けられており、そのピン部材の進退位置を他のピン部材の進退位置から独立して調整するアクチュエータと、
を備える支持装置。 - 前記ピン部材には、大気を吸引することによって半導体ウエハを吸着する吸着孔が形成されていることを特徴とする請求項1の支持装置。
- 前記アクチュエータは、前記ピン部材の進退位置を、前記ピン部材が前記載置面から突出しない位置と突出する位置との間で調整可能であることを特徴とする請求項1又は2の支持装置。
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JP2011097027A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-05-12 | Denso Corp | 半導体装置の金属電極形成方法及び金属電極形成装置 |
CN108145586A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 抛光设备及抛光方法 |
KR20190035443A (ko) * | 2017-09-26 | 2019-04-03 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 동적 지지 핀들을 갖는 웨이퍼 테이블 |
JP2021106218A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | エイブリック株式会社 | 吸着保持装置、吸着保持方法、及び半導体装置の製造方法 |
-
2007
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100999633B1 (ko) | 2008-11-07 | 2010-12-08 | 현대자동차주식회사 | 스템핑 로케이터 스토리지 장치 |
JP2011097027A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-05-12 | Denso Corp | 半導体装置の金属電極形成方法及び金属電極形成装置 |
KR20190035443A (ko) * | 2017-09-26 | 2019-04-03 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 동적 지지 핀들을 갖는 웨이퍼 테이블 |
US10522385B2 (en) | 2017-09-26 | 2019-12-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
KR102101746B1 (ko) * | 2017-09-26 | 2020-04-21 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 동적 지지 핀들을 갖는 웨이퍼 테이블 |
US10651075B2 (en) | 2017-09-26 | 2020-05-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
US10811300B2 (en) | 2017-09-26 | 2020-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
US11217475B2 (en) | 2017-09-26 | 2022-01-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
US11302566B2 (en) | 2017-09-26 | 2022-04-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
CN108145586A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 抛光设备及抛光方法 |
JP2021106218A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | エイブリック株式会社 | 吸着保持装置、吸着保持方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP7390889B2 (ja) | 2019-12-26 | 2023-12-04 | エイブリック株式会社 | 吸着保持装置 |
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