JP2008167447A - プローバで画像を記録するための装置および方法 - Google Patents
プローバで画像を記録するための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008167447A JP2008167447A JP2007337423A JP2007337423A JP2008167447A JP 2008167447 A JP2008167447 A JP 2008167447A JP 2007337423 A JP2007337423 A JP 2007337423A JP 2007337423 A JP2007337423 A JP 2007337423A JP 2008167447 A JP2008167447 A JP 2008167447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- led
- time
- color
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/006—Optical details of the image generation focusing arrangements; selection of the plane to be imaged
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 この課題は、照射機構が、画像評価ユニットによる制御が可能な少なくとも3つの色を生成するユニットとして構成され、該ユニットが、照明手段として少なくとも1つの発光ダイオード(LED)を有することによって解決される。
【選択図】 図1
Description
2 XYクロステーブル
3 ハウジング
4 クランプ装置
5 検査対象
6 探針
7 プローブホルダ
8 ブローブホルダプレート
9 開口部
10 検査対象の表面
11 画像取得装置
12 顕微鏡
13 照射機構
14 対物レンズ
15 ビデオカメラ
16 画像評価ユニット
17 プローブカード
18 プローブカード針
19 プローブカードアダプタ
20 顕微鏡対物レンズ合焦機構
21 半透鏡
22 LED
23 コンデンサレンズ
24 光路
25 シャッタフレーム時間
26 中間時間
27 ビデオカメラと画像評価ユニットとの結線
Claims (20)
- プローバ(1)で画像を記録するための装置であって、移動装置(2)と、その上に配置された検査対象(5)用クランプ装置(4)と、該検査対象(5)に接触可能な探針(6;18)と、該探針(6;18)用ホルダ(7;17)と、上にホルダ(7;17)が固定可能であり、検査対象(5)の表面(10)を可視的に開放する観察開口部(9)を有する、前記クランプ装置(4)の上方に配置されたクランププレート(8)と、前記観察開口部(9)の上方に配置された画像取得装置(11)とを具備し、該画像取得装置が画像評価ユニット(16)に接続されており、該画像取得装置に検査対象(5)の表面(10)方向への光放射を生成できる照射機構(13)が備えられている装置において、
前記照射機構(13)が、前記画像評価ユニット(16)による制御が可能な少なくとも3つの色を生成するユニットとして構成されており、該ユニットが照明手段として少なくとも1つの発光ダイオード(LED)(22)を有することを特徴とする装置。 - 前記LED(22)が、3色の光を制御可能に生成する3色LEDからなることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記照射機構が3個のLEDを含み、該LEDのそれぞれが別の色の光を生成することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記単数または複数のLED(22)が、赤色および緑色および青色の光を生成するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記画像取得装置(11)が、ビデオカメラ(15)として構成されており、該ビデオカメラが、1つのシャッタ時点に1つのシャッタ信号を発するスイッチング出力部を有し、該スイッチング出力部が、前記画像評価ユニット(16)に接続されており、前記単数または複数のLED(22)のオン時点を制御することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ビデオカメラ(15)が、グレースケール値を記録する黒/白カメラとして構成されていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記画像取得装置(11)にモータによって変位可能な対物レンズ(14)が備えられており、該対物レンズを、前記画像評価ユニット(16)によって前記照射機構(13)の制御に合わせて制御できることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記対物レンズ(14)に圧電駆動部(20)が備えられていることを特徴とする請求項7に記載の装置。
- プローバ(1)で画像を記録するための方法であって、検査対象(5)の表面(10)に、第1および第2および第3の色の光が次々と照射され、該表面(10)について、画像取得装置によってそれぞれグレースケールマップが得られ、該3つのグレースケールマップから、画像評価ユニット(16)によって全体画像が生成される方法において、
各色の光がLEDによって生成され、スイッチング時点が、前記画像取得装置に合わせて制御されることを特徴とする方法。 - 前記光が、3色LED(22)によって生成されることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記光が、それぞれ1つのLED(22)によって生成されることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記3色として赤色および緑色および青色が選択されることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記グレースケールマップが、ビデオカメラ(15)によって生成され、該ビデオカメラが、それぞれ時間的に制限された連続的なシャッタ時間(シャッタフレーム時間)(25)中にのみ撮像待機状態になっており、該ビデオカメラにおいて、各シャッタフレーム時間(25)の開始時にシャッタ開始信号が生成されること、および、前記単数または複数のLED(22)が、シャッタ開始信号に応じて、シャッタフレーム時間(25)内において、一定時間、オンになるように制御され、その際、連続して生じる各シャッタフレーム時間(25)内においてそれぞれ別の色が生成されることを特徴とする請求項9〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記単数または複数のLED(22)がオンである時間が、最長でもシャッタフレーム時間(25)の長さと同じであることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記LEDがオンである時間が、シャッタフレーム時間よりも短いことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- LED(22)のオン時間とシャッタフレーム時間(25)との比が1:1から1:100であることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記単数または複数のLED(22)が、オンである間、許容ダイオード連続電流よりも高いダイオード電流で駆動されることを特徴とする請求項14または16に記載の方法。
- 各色に対応して合焦信号が生成され、前記画像取得装置(11)へ送信されること、および、該画像取得装置(11)が、各色に対応する各オン時間よりも前に合焦されることを特徴とする前記請求項9〜17のいずれか1項に記載の方法。
- 前記画像取得装置に対して相対的に検査対象が移動する際、前記全体画像がグレースケール画像として表示されることを特徴とする前記請求項9〜18のいずれか1項に記載の方法。
- 検査対象に、白色光が、または前記3色の素早い一連のフラッシュが、シャッタフレーム時間内に照射されることを特徴とする前記請求項9〜19のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006062297 | 2006-12-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008167447A true JP2008167447A (ja) | 2008-07-17 |
Family
ID=39583494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007337423A Pending JP2008167447A (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-27 | プローバで画像を記録するための装置および方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20080158664A1 (ja) |
JP (1) | JP2008167447A (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080212078A1 (en) * | 2006-12-27 | 2008-09-04 | Suss Micro Tec Test Systems Gmbh | Arrangement and method for focusing a multiplane image acquisition on a prober |
US20090179019A1 (en) * | 2008-01-16 | 2009-07-16 | International Business Machines Corporation | Removing material from defective opening in glass mold |
US8237086B2 (en) | 2008-01-16 | 2012-08-07 | International Business Machines Corporation | Removing material from defective opening in glass mold |
US8284246B2 (en) * | 2008-01-18 | 2012-10-09 | Olympus Corporation | Microscope system, control method used for microscope system, and recording medium for reproducing a microscope state based on microscope operation history and a microscope operation item |
JP5381984B2 (ja) | 2008-06-17 | 2014-01-08 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置および顕微鏡装置制御プログラム |
DE102009059274B4 (de) * | 2009-12-22 | 2012-07-19 | Max-Joseph Kraus | Verfahren zur Messung der Dynamik der Änderungen von Blutplättchen |
US9110131B2 (en) | 2010-04-13 | 2015-08-18 | Cascade Microtech, Inc. | Method and device for contacting a row of contact areas with probe tips |
US10698025B2 (en) * | 2018-07-20 | 2020-06-30 | Formfactor Beaverton, Inc. | Probe systems and methods that utilize a flow-regulating structure for improved collection of an optical image of a device under test |
CN112435955B (zh) * | 2019-08-26 | 2024-04-16 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种晶圆裂片的支撑装置及其固定方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005151123A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Apic Yamada Corp | 画像取り込み装置 |
WO2005071372A1 (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Olympus Corporation | 画像処理システム、カメラ |
WO2006050395A2 (en) * | 2004-11-02 | 2006-05-11 | Umech Technologies, Co. | Optically enhanced digital imaging system |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0606736A3 (en) * | 1992-12-11 | 1995-03-15 | Nippon Kogaku Kk | A multi-LED color scanning device and associated color image scanning method. |
US5394100A (en) * | 1993-05-06 | 1995-02-28 | Karl Suss America, Incorporated | Probe system with automatic control of contact pressure and probe alignment |
JPH1079849A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-03-24 | Nikon Corp | 画像読取システム及び画像読取システムに対する制御手順を記憶する記憶媒体 |
US6590612B1 (en) * | 1999-03-18 | 2003-07-08 | Cellavision Ab | Optical system and method for composing color images from chromatically non-compensated optics |
US20040102903A1 (en) * | 2002-11-27 | 2004-05-27 | Graessle Josef A. | Biological growth plate scanner |
US6861856B2 (en) * | 2002-12-13 | 2005-03-01 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
DE10309138A1 (de) * | 2003-02-28 | 2004-09-16 | Till I.D. Gmbh | Mikroskopvorrichtung |
US20080212078A1 (en) * | 2006-12-27 | 2008-09-04 | Suss Micro Tec Test Systems Gmbh | Arrangement and method for focusing a multiplane image acquisition on a prober |
-
2007
- 2007-12-27 JP JP2007337423A patent/JP2008167447A/ja active Pending
- 2007-12-27 US US11/964,747 patent/US20080158664A1/en not_active Abandoned
-
2010
- 2010-07-30 US US12/847,308 patent/US20110181710A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005151123A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Apic Yamada Corp | 画像取り込み装置 |
WO2005071372A1 (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Olympus Corporation | 画像処理システム、カメラ |
WO2006050395A2 (en) * | 2004-11-02 | 2006-05-11 | Umech Technologies, Co. | Optically enhanced digital imaging system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080158664A1 (en) | 2008-07-03 |
US20110181710A1 (en) | 2011-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008167447A (ja) | プローバで画像を記録するための装置および方法 | |
US20080212078A1 (en) | Arrangement and method for focusing a multiplane image acquisition on a prober | |
US9690088B2 (en) | Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium | |
JP3893184B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
US7128423B2 (en) | Illumination apparatus, and image capturing apparatus and projector apparatus using this illumination apparatus | |
US9386233B2 (en) | Image acquisition apparatus, image acquisition method, and computer program | |
JP2006250656A (ja) | 発光素子アレイの照度むら測定方法及び装置 | |
US7586073B2 (en) | Imaging system with high-spectrum resolution and imaging method for the same | |
JP2006332646A (ja) | ウェハーを検査するための装置と方法 | |
KR930014868A (ko) | 본딩와이어 검사방법 | |
KR930014867A (ko) | 본딩와이어 검사장치 | |
JPH0875429A (ja) | ボンディングワイヤ検査方法 | |
US8658989B2 (en) | Fluorometric assay apparatus and fluorometric assay method | |
JP2010256623A (ja) | 顕微鏡観察装置 | |
KR100878955B1 (ko) | 카메라모듈 이물검사장치 및 검사방법 | |
CN112986282A (zh) | 检查装置及检查方法 | |
JP4279412B2 (ja) | 半導体デバイス検査装置 | |
US10151908B2 (en) | Image acquisition device and image acquisition method | |
JP2006170830A (ja) | 撮像素子検査装置 | |
JP2011080932A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2006112939A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2002023062A (ja) | レーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法 | |
KR100576392B1 (ko) | 비전 검사 장치 | |
JP4372928B2 (ja) | 光源および画像読取装置 | |
JP3948962B2 (ja) | 被写体を照射するための光源を有する撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100317 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111101 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111201 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111206 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120327 |