JP2008166029A - 有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【手段】有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、基板上に第1電極を形成する工程と、第1電極上に有機機能層を形成する有機機能層形成工程と、有機機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、を含み、第2電極形成工程は、少なくとも、プレ第2電極を形成するプレ第2電極形成工程と、プレ第2電極から第2電極を形成するポスト第2電極形成工程とを含み、プレ第2電極の面積が第2電極の面積より大である。
【選択図】図11
Description
基板上に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極上に有機機能層を形成する有機機能層形成工程と、
前記有機機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、を含み、
前記第2電極形成工程は、少なくとも、プレ第2電極を形成するプレ第2電極形成工程と、前記プレ第2電極から前記第2電極を形成するポスト第2電極形成工程とを含み、前記プレ第2電極の面積が前記第2電極の面積より大であることを特徴とする。
上記有機EL表示パネルの製造方法を、図4のAAの断面を示す図7などを用いて説明する。
実施例1として、パッシブ駆動型有機EL表示パネルを作製した。
接続電極Cnを2回目のポスト第2電極パターニングの時に同時にパターニングすることができる。
13 第1電極
14 有機機能層
15 第2電極
19 配線電極
141 第1有機機能層
142 第2有機機能層
151 プレ第2電極パターン
Claims (9)
- 各々が第1及び第2電極並びに前記第1及び第2電極間に挟持されかつ発光層を含む複数の有機機能層からなる複数の有機エレクトロルミネッセンス素子と、前記有機エレクトロルミネッセンス素子を担持する基板と、を有する有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、
基板上に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極上に有機機能層を形成する有機機能層形成工程と、
前記有機機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、を含み、
前記第2電極形成工程は、少なくとも、プレ第2電極を形成するプレ第2電極形成工程と、前記プレ第2電極から前記第2電極を形成するポスト第2電極形成工程とを含み、前記プレ第2電極の面積が前記第2電極の面積より大であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。 - 前記プレ第2電極形成工程と前記ポスト第2電極形成工程の間に前記有機機能層のパターニング工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記有機機能層の前記パターニング工程が、前記プレ第2電極をマスクにして、前記有機機能層をエッチングする工程を含むことを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記有機機能層の前記パターニング工程の後に行われる前記ポスト第2電極形成工程において少なくとも画素を画定するための前記プレ第2電極の一部を除去する工程を含むことを特徴とする請求項2〜3のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記基板上に配線電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記第2電極と前記配線電極を接続する接続電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記接続電極を形成する工程が前記ポスト第2電極パターニング工程の後に行われることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記接続電極を形成する工程が前記プレ第2電極形成工程と前記ポスト第2電極形成工程の間に行われることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
- 前記接続電極を形成する工程が前記ポスト第2電極形成工程と同時に行われることを特徴とする請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。
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