JP2008158586A - 画像処理装置及び画像処理プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像出力部40から出力された検査対象画像を画像読取部30で読取って、読取った検査対象画像の画像データの投影波形を投影波形算出部22で算出し、算出した投影波形のn次近似式をn次近似式算出部24で算出し、算出したn次近似式により検査対象画像の背景ムラを背景ムラ補正部26で補正し、背景ムラが補正された画像データに基づいて検査対象画像の欠陥領域を欠陥領域検出部28で検出する。
【選択図】図1
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本実施の形態の画像処理装置10は、画像出力部40で出力された画像の欠陥を検出するものである。
なお、n=1(1次関数)の場合、上記(1)式は、直線となり、図3及び図4に例示した投影波形とは異なる形状になるため、好ましくない。一方、nが大きいほど欠陥検出精度は向上するが、処理が複雑になるため、nは、所望の検出精度や処理時間等の兼ね合い等により定めればよく、通常は、n=2(2次関数)でよい。この場合、具体的には、最小二乗法等により上記(1)式を求めればよい。
本実施の形態では、検査対象画像の仮欠陥領域を検出し、検出した仮欠陥領域の数及びサイズに基づいて検査対象画像の背景ムラを補正している。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本実施の形態は第1の実施の形態と略同様の構成であるので、同一部分及び同一処理には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態では、検査対象画像の仮欠陥領域を検出し、仮欠陥領域が大きい(画像欠陥多く生じている)場合は、記憶部に記憶している投影波形のうち、検査対象画像から算出した投影波形に最も近似した投影波形を用いて検査対象画像の背景ムラを補正している。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本実施の形態は第1の実施の形態及び第2の実施の形態と略同様の構成であるので、同一部分には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施の形態に係る画像処理装置10’の概略構成は、第2の実施の形態(図10)と同様なため、ここでは詳細な説明を省略する。
本実施の形態では、検査対象画像の仮欠陥領域を検出した結果、画像欠陥が生じているものの、生じている度合いが多くも少なくもない場合は、仮欠陥領域を正常領域と置換した画像の投影波形を用いて検査対象画像の背景ムラを補正している。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本実施の形態は第1の実施の形態及び第2の実施の形態と略同様の構成であるので、同一部分には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施の形態に係る画像処理装置10’の概略構成は、第2の実施の形態(図10)と同様なため、ここでは詳細な説明を省略する。
12、12’、14、14’ 画像欠陥領域検出処理プログラム
20 制御部
22、62 投影波形算出部
24、64 n次近似式算出部
26 背景ムラ補正部
28 欠陥領域検出部
30 画像読取部
32 欠陥表示部
40 画像出力部
60 仮欠陥検出部
61 n次近似式決定部
66 記憶部
Claims (10)
- 検査対象画像を読取る画像読取手段と、
前記画像読取手段で読取った検査対象画像の画像データから投影波形を算出する投影波形算出手段と、
前記投影波形算出手段で算出した投影波形のn次近似式を算出するn次近似式算出手段と、
前記n次近似式算出手段で算出したn次近似式に基づいて前記画像データを補正する画像補正手段と、
前記補正手段で補正した画像データに基づいて、前記画像読取手段で読取った検査対象画像の欠陥領域を検出する欠陥領域検出手段と、
を備えた画像処理装置。 - 前記欠陥領域検出手段で検出した前記欠陥領域を表示する表示手段をさらに備えた請求項1に記載の画像処理装置。
- 検査対象画像を読取る画像読取手段と、
前記画像読取手段で読取った検査対象画像の画像データに基づいて前記検査対象画像の欠陥領域を検出する第1の欠陥領域検出手段と、
前記第1の欠陥領域検出手段の検出結果に基づいて、所定画像の投影波形のn次近似式を決定するn次近似式決定手段と、
前記n次近似式決定手段で決定したn次近似式に基づいて前記画像データを補正する画像補正手段と、
前記画像補正手段で補正した画像データに基づいて、前記画像読取手段で読取った検査対象画像の欠陥領域を検出する第2の欠陥領域検出手段と、
を備えた画像処理装置。 - 前記第2の欠陥領域検出手段で検出した前記画像補正手段で補正した画像データに基づく画像の欠陥領域を表示する表示手段をさらに備えた請求項3に記載の画像処理装置。
- 前記第1の欠陥領域検出手段は、前記検査対象画像の欠陥領域の数及び欠陥領域の大きさの少なくとも一方を検出する請求項3または請求項4に記載の画像処理装置。
- 前記検査対象画像の画像データから投影波形を算出し、算出した投影波形からn次近似式を算出するn次近似式算出手段と、
n次近似式及び投影波形の少なくとも一方を記憶する記憶手段と、
をさらに備え、
前記n次近似式決定手段は、前記第1の欠陥領域検出手段の検出結果に基づいて、前記n次近似式算出手段で算出したn次近似式、前記記憶手段に記憶された前記n次近似式、及び前記記憶手段に記憶された前記投影波形から算出したn次近似式のいずれかを決定する請求項3乃至請求項5の何れか1項に記載の画像処理装置。 - 前記記憶手段は、前記n次近似式算出手段で算出した前記検査対象画像の画像データから算出した投影波形及び前記n次近似式の少なくとも一方を記憶する請求項6に記載の画像処理装置。
- 前記第1の欠陥領域検出手段で検出した欠陥領域を、欠陥非検出の正常領域に置換える欠陥領域置換手段をさらに備え、
前記n次近似式決定手段は、前記欠陥領域置換手段により置換された仮欠陥領域を含む検査対処画像のn次近似式を決定する請求項3乃至請求項7の何れか1項に記載の画像処理装置。 - 検査対象画像を読取るステップと、
読取った検査対象画像の画像データから投影波形を算出するステップと、
算出した投影波形のn次近似式を算出するステップと、
算出したn次近似式に基づいて前記画像データを補正するステップと、
補正した画像データに基づいて、読取った検査対象画像の欠陥領域を検出するステップと、
を含む処理をコンピュータで実行させる画像処理プログラム。 - 検査対象画像を読取るステップと、
読取った検査対象画像の画像データから前記検査対象画像の欠陥領域を検出するステップと、
欠陥領域の検出結果に基づいて、所定画像の投影波形のn次近似式を決定するステップと、
決定されたn次近似式に基づいて前記画像データを補正するステップと、
補正した画像データに基づいて、読取った検査対象画像の欠陥領域を検出するステップと、
を含む処理をコンピュータで実行させる画像処理プログラム。
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- 2006-12-20 JP JP2006343502A patent/JP4840126B2/ja not_active Expired - Fee Related
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