JP2006050356A - 画像処理方法及び検査装置 - Google Patents
画像処理方法及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006050356A JP2006050356A JP2004229943A JP2004229943A JP2006050356A JP 2006050356 A JP2006050356 A JP 2006050356A JP 2004229943 A JP2004229943 A JP 2004229943A JP 2004229943 A JP2004229943 A JP 2004229943A JP 2006050356 A JP2006050356 A JP 2006050356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image data
- data
- singular point
- foreign matter
- original image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Facsimile Image Signal Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】元画像データ取得部2は、被検査物6としての例えばデジタルカメラの光学系で撮影されたシェーディングと特異点を含む画像データ7を元画像データとして取得する(S01)。元画像データ平坦化部3は、その元画像データを最小2乗法により平坦化して元画像データの平坦化データを得る(S02)。差分データ算出部4は、元画像データ9と平坦化データ10との差分を算出する(S03)。異物判定部5は、算出された差分の値が予め設定されている所定の値以上が否かを判断し(S04)、所定の値以上なら(S04がY)、そのデータは異物による特異点であると判定し(S05)、検査装置1は「異物あり」等の警告報知を行う。他方差分の値が予め設定されている所定の値未満であれば(S04がN)、問題となるほどの特異点ではないと判定する(S06)。
【選択図】 図2
Description
図1に示す元画像データ取得部2は、被検査物6としての例えばデジタルカメラの光学系で撮影されたシェーディングと特異点を含む画像データ7を、元画像データとして取得する(S01)。
上記取得されている元画像データは、図3(b) に示したような1ライン分の画素データが全ライン分集合したものである。この平坦化に当たっては、上記の主走査方向1ラインの輝度分布データ毎に、最小2乗法を用いる。最小2乗法は、測定結果とその時近似した関数との差の2乗を最小にするようにその関数を決める方法であり、関数がn次の場合は(n+1)個の変数を用意して(n+1)次連立方程式を解くことで求めることができる。
図4(a) は、図3(b) にA−A´で示した主走査方向1ラインの輝度分布データ9に対して得られた最小2乗法によるn次近似曲線10での平坦化を示す図であり、図4(b) は、比較のため移動平均による平坦化を行った例を示す図である。いずれも平坦化された曲線はジグザグの曲線に沿って滑らかな曲線を描いている。
図5(a) は、上記差分算出後のデータにより描いた画像を示す図であり、同図(b) は参考のため図3(a) を再掲した図である。図5(a) に白の破線で丸く囲んで示す中央に、異物が差分算出の結果として或る広がりをもった白い点状の画像として表示されている。
他方、上記の判定で、差分の値が予め設定されている所定の値未満であれば(S04がN)、その差分値を示している部分すなわち特異点は、問題となるほどの異物ではないと判定する(S06)。
2 元画像データ取得部
3 元画像データ平坦化部
4 差分データ算出部
5 異物判定部
6 被検査物
7 画像データ(元画像データ)
8 画像(シェーディングと特異点を含む画像)
9 輝度分布データ
10 最小2乗法によるn次近似曲線
11 移動平均による曲線
12 異物
Claims (4)
- 光学系を用いて基準面を撮像して得られるシェーディングを含む画像中に前記光学系の光路中の光学部材に付着又は発生しているゴミ、汚れ、傷などの異物が同時に撮し込まれているデジタル元画像データを取得し、該デジタル元画像データから前記異物を検出する検査装置において、
前記デジタル元画像データを最小2乗法により前記デジタル元画像データの平坦化データを生成する平坦化手段と、
該平坦化手段により生成された前記平坦化データと前記デジタル元画像データとの差分を算出する差分算出手段と、
該差分算出手段により算出された差分が所定の値よりも大きい特異点を示しているとき該特異点をゴミ、汚れ、傷などの異物による特異点であると判定する判定手段と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記平坦化データは、最小2乗法により得られるn次近似曲線であることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 光学系を用いて基準面を撮像して得られるシェーディングを含む画像中に前記光学系の光路中の光学部材に付着又は発生しているゴミ、汚れ、傷などの異物が同時に撮し込まれているデジタル元画像データを取得し、該デジタル元画像データから前記異物を検出する画像処理方法において、
前記デジタル元画像データを最小2乗法によるn次近似曲線を用いて前記デジタル元画像データの平坦化データを生成する平坦化工程と、
該平坦化工程により生成された前記平坦化データと前記デジタル元画像データとの差分を算出する差分算出工程と、
該差分算出工程により算出された差分が所定の値よりも大きい特異点を示しているとき該特異点をゴミ、汚れ、傷などの異物による特異点であると判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする画像処理方法。 - 前記平坦化データは、最小2乗法により得られるn次近似曲線であることを特徴とする請求項3記載の画像処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004229943A JP3870208B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 画像処理方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004229943A JP3870208B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 画像処理方法及び検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006050356A true JP2006050356A (ja) | 2006-02-16 |
JP3870208B2 JP3870208B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
ID=36028372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004229943A Expired - Fee Related JP3870208B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 画像処理方法及び検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3870208B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008158586A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像処理装置及び画像処理プログラム |
JP2009199126A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Keyence Corp | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
US9341579B2 (en) | 2011-02-14 | 2016-05-17 | Keyence Corporation | Defect detection apparatus, defect detection method, and computer program |
JP2019106590A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | シャープ株式会社 | 異常判定装置、異常判定方法、および制御プログラム |
CN110062151A (zh) * | 2017-12-11 | 2019-07-26 | 夏普株式会社 | 平滑图像生成装置、异常判定装置、平滑图像生成方法 |
-
2004
- 2004-08-05 JP JP2004229943A patent/JP3870208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008158586A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像処理装置及び画像処理プログラム |
JP2009199126A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Keyence Corp | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
US8086024B2 (en) | 2008-02-19 | 2011-12-27 | Keyence Corporation | Defect detection apparatus, defect detection method and computer program |
US9341579B2 (en) | 2011-02-14 | 2016-05-17 | Keyence Corporation | Defect detection apparatus, defect detection method, and computer program |
JP2019106590A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | シャープ株式会社 | 異常判定装置、異常判定方法、および制御プログラム |
CN110062151A (zh) * | 2017-12-11 | 2019-07-26 | 夏普株式会社 | 平滑图像生成装置、异常判定装置、平滑图像生成方法 |
US10643312B2 (en) | 2017-12-11 | 2020-05-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Smoothed image generating device, abnormality determining device, and smoothed image generating method |
CN110062151B (zh) * | 2017-12-11 | 2020-11-17 | 夏普株式会社 | 平滑图像生成装置、异常判定装置、平滑图像生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3870208B2 (ja) | 2007-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3826849B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP4633245B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
TWI512284B (zh) | 玻璃氣泡瑕疵檢測系統 | |
JP5207057B2 (ja) | 撮影装置の汚れを検知する汚れ検知装置及び同検知方法 | |
JP5088165B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005121546A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP3870208B2 (ja) | 画像処理方法及び検査装置 | |
JP6628185B2 (ja) | 透明体の検査方法 | |
JP2009097928A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP3695120B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP6623545B2 (ja) | 検査システム、検査方法、プログラムおよび記憶媒体 | |
KR20150068884A (ko) | 반도체 검사 방법, 반도체 검사 장치 및 반도체 제조 방법 | |
JP2009236760A (ja) | 画像検出装置および検査装置 | |
JP2002310937A (ja) | 欠陥検査方法及び装置 | |
JP2001021332A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
KR101993654B1 (ko) | 표시패널의 얼룩 검사 장치 및 그 방법 | |
JP2004037399A (ja) | 画像検査方法および装置 | |
TWI510776B (zh) | 玻璃氣泡瑕疵檢測處理方法 | |
JP2004286708A (ja) | 欠陥検出装置、方法及びプログラム | |
JP2003329428A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2005140655A (ja) | シミ欠陥の検出方法及びその検出装置 | |
JP3433333B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
KR20110020437A (ko) | 패턴이 형성된 웨이퍼의 결함 검사 방법 | |
JP2009074828A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2012047485A (ja) | ワーク外形形状検出方法及び画像処理システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |