JP2008157751A - 感知装置 - Google Patents

感知装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008157751A
JP2008157751A JP2006346875A JP2006346875A JP2008157751A JP 2008157751 A JP2008157751 A JP 2008157751A JP 2006346875 A JP2006346875 A JP 2006346875A JP 2006346875 A JP2006346875 A JP 2006346875A JP 2008157751 A JP2008157751 A JP 2008157751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frequency
piezoelectric vibrator
oscillation
crystal
sensing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006346875A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4713459B2 (ja
Inventor
Mitsuaki Koyama
光明 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2006346875A priority Critical patent/JP4713459B2/ja
Priority to TW096149722A priority patent/TWI443338B/zh
Priority to CNA2007800481940A priority patent/CN101568820A/zh
Priority to EP07860549A priority patent/EP2098852A1/en
Priority to PCT/JP2007/075354 priority patent/WO2008078832A1/ja
Priority to US12/448,160 priority patent/US8434351B2/en
Publication of JP2008157751A publication Critical patent/JP2008157751A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4713459B2 publication Critical patent/JP4713459B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N5/00Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
    • G01N5/02Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by absorbing or adsorbing components of a material and determining change of weight of the adsorbent, e.g. determining moisture content

Landscapes

  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

【課題】液体と接触してその液体中の感知対象物の吸着により固有振動数が変わる水晶振動子などの圧電振動子を用いた感知装置において、周波数変化の検出感度の精度を高くすることに伴う悪影響を抑えた感知装置を提供すること。
【解決手段】本発明の感知装置は、圧電振動子を発振させるために、駆動電流が0.3mA以下となるように当該圧電振動子に発振駆動電力を供給する発振回路と、前記発振回路の発振出力に基づいて感知対象物の濃度を測定する測定部と、を備えた構成にある。このような構成にすることで、圧電振動子の自己発熱を抑えることができる。そのため圧電振動子の発振周波数の変動が抑えられ、結果として感知対象物の吸着による周波数の変化分を正確に検出することができる。
【選択図】図5

Description

本発明は、感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、液体と接触してその液体中の感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電振動子例えば水晶振動子を用い、この圧電振動子の固有振動数の変化分を検出して液体中の感知対象物を感知する感知装置に関する。
微量な物質を感知する手法として水晶振動子を用いた感知装置が知られている。この感知装置は、水晶振動子の表面に感知対象物を吸着するための吸着層を形成して水晶センサーを構成し、感知対象物が水晶振動子、詳しくは吸着層に付着するとその固有振動数がその付着量に応じて変化することを利用して感知対象物の有無あるいはその濃度を測定するものであり、その応用範囲が広く、装置としても簡易な構成である上、感度が高いことから極微量な物質でも測定できるといった利点がある。そのため従来から血液、尿などに含まれる疫病マーカ物質の分析を行うにあたって、水晶センサーを用いれば従来の手法に代わる有効な手法であることが期待されている。
本願の出願人は、水晶センサーの適用対象として、例えば環境汚染物質であるダイオキシンやPCBあるいは血液中の疫病マーカなどを検討しているが、この手法により高精度に対象物質を測定できれば画期的である。何故なら現状では例えばダイオキシンを測定する手法としては、ガスクロマトグラフ質量分析計を用いる方法及びELISA法(適用酵素免疫測定法)が知られているが、ガスクロマトグラフ質量分析計は装置価格が極めて高く、このため分析コストも可成り高いものになっており、更に分析に長い期間を必要とするし、ELISA法は、ガスクロマトグラフ質量分析計に比べて装置価格、分析価格が低く、分析に要する時間も短いが、分析精度が低いという課題がある。
ところで、それほど高い測定精度が要求されなければ水晶センサーを用いた感知装置を製造することは困難なことではないが、高い測定精度が要求されるとなると、現実には製造が困難である。その理由は微小な周波数変化を正確にかつ短時間で捉えることが非常に難しく、また感知物質の吸着以外に周波数変動の外乱要因が多いことによる。
こうした事情から本願の出願人は、発振回路の周波数信号をディジタル化し、そのディジタル信号で特定される正弦波信号を直交検波し、当該正弦波信号と検波に用いた正弦波信号との周波数差に応じた速度で回転する回転ベクトルを作成し、この回転ベクトルの速度を監視することで極めて高精度に周波数変化を検出できる技術を開発している(特許文献1)。しかし周波数変化の検出感度が高くなればなるほど、外乱が測定誤差に与える影響が大きくなる。
上述の回転ベクトルの方式を用い、水晶振動子を備えた感知センサー内に先ず純水を供給し、次いで感知対象物となる抗原を含む試料液を供給したところ、水晶振動子に設けられた吸着層である抗体層と抗原とが抗原抗体反応を起こして抗原が捕捉され、後述の実験例で説明する図11及び図12に示すように周波数が低下する。ところが測定中に周波数が徐々に上昇する傾向が見られ、試料液を供給したことによる周波数の終点検出が難しく、特に抗原濃度が小さく周波数変化が小さい場合には周波数の終点検出が難しいという問題がある。
本発明者はこの原因を追究した結果、後述の実験例からも推測できるように、水晶片の自己発熱によるものと結論付けた。即ち、水晶振動子を液体中で振動させると水晶片の等価直列抵抗が例えば150オームと大きくなり、このため駆動電流が流れることにより自己発熱する。ここで図14は水晶振動子の周波数−温度特性図であるが、水晶振動子が自己発熱することにより、周波数が3次曲線の特性カーブに沿って例えば点aから点bに移動しようとし、その結果、周波数が変動していくと考えられる。周波数が徐々に上昇していく現象からすれば、図14の3次曲線の下流側部分において温度がスライドし、この結果周波数がこのカーブに沿って上昇することと整合する。 う
このため、せっかく周波数について高精度な手法を採用しても、その利点を十分に生かしきれないという課題がある。
特開2006−258787公報
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、液体と接触してその液体中の感知対象物の吸着により固有振動数が変わる水晶振動子などの圧電振動子を用いた感知装置において、周波数変化の検出感度の精度を高くすることに伴う悪影響を抑えた感知装置を提供することにある。
本発明は、感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、液体と接触してその液体中の感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電振動子を用い、前記圧電振動子の固有振動数の変化に基づいて、液体中の感知対象物を感知する感知装置において、
前記圧電振動子を発振させるために、駆動電流が0.3mA以下となるように当該圧電振動子に発振駆動電力を供給する発振回路と、
前記発振回路の発振出力に基づいて感知対象物の濃度を測定する測定部と、を備えたことを特徴とする。なお、圧電振動子に液体が接触すると、前記圧電振動子の等価直列抵抗の値は例えば150Ω以上にもなる。
本発明によれば、圧電振動子に液体が接触すると圧電振動子の等価直列抵抗が大きくなるが、圧電振動子を発振させるための駆動電流が0.3mA以下となるように設定しているので、後述の実験例に示すように圧電振動子の自己発熱を抑えることができる。そのため圧電振動子の発振周波数の変動が抑えられ、結果として感知対象物の吸着による周波数の変化分を正確に検出することができ、感知対象物の濃度を高精度に計測することができる。
以下に本発明に係る感知装置の実施の形態を説明する。先ず、感知装置の全体構成について説明しておく。この感知装置は、図1に示すように複数例えば8個の水晶センサー1と、この水晶センサー1が着脱自在に装着される測定器本体100とを備えている。前記水晶センサー1は、図1及び図2に示すように配線基板であるプリント基板21の上にゴムシート22を重ね、このゴムシート22に設けられた凹部23を塞ぐように圧電振動子である水晶振動子24が設けられ、更にゴムシート22の上から上蓋ケース25を装着して構成されている。上蓋ケース25には、試料溶液の注入口25aと試料溶液の観察口25bとが形成され、注入口25aから試料溶液が注入され、水晶振動子24の上面側の空間に試料溶液が満たされることになる。水晶振動子24の下面側は前記凹部23により気密空間とされ、これによってランジュバン型の水晶センサーが構成されることになる。
前記水晶振動子24は、図3に示すように例えば円形の水晶片20の両面に夫々電極24a、24b(裏面側の電極24bは表面側の周縁部に連続形成されている)が設けられ、これら電極24a,24bは導電性接着剤26を介して基板21に設けられている一対の導電路であるプリント配線27に夫々電気的に接続されている。また水晶振動子24の一面例えば電極24aの表面には、感知対象物を吸着するための吸着層(図示せず)が形成されている。
続いて測定器本体100の内部回路について図4を用いて説明する。図4中の4は水晶センサー1の水晶振動子24を発振させるための発振回路であり、この発振回路4の後段には、バッファアンプ5を介して測定部6が接続されている。前記発振回路4はコルピッツ型発振回路として構成されており、Trは発振増幅素子としてのトランジスタ、40,41は分割容量成分をなすコンデンサ、Vccは定電圧源である。その他の部位については、42〜44はコンデンサ、45〜48は抵抗である。また49は水晶センサー1が着脱自在に接続される端子部であり、図1に示す測定器本体100に設けられている。この発振回路4においては、水晶片20の駆動電流が0.3mA以下となるように回路定数が設定されている。具体的には、図4に示す抵抗45,46,47の抵抗値を調整して0.3mA以下に設定している。
前記測定部6は、例えば既述の特許文献1に記載されている回転ベクトルを用いた手法を用いて発振出力の周波数を測定することができるが、例えば周波数カウンタ、そのカウンタ数の変化分を演算する演算部等を備えた構成としてもよい。この測定部6の具体的な回路構成の一例については後述する。
なお、この例では水晶センサー1が8個取り付けられる8チャンネル構成になっており、図4に示す回路が8チャンネル用意され、各チャンネルの出力が切り替えられて測定部6に接続される構成となっている。
続いてこの感知装置の作用について図5を参照しながら説明する。先ず、水晶センサー1(図1参照)を測定器本体100に差込み、例えばブランク値を求めるために感知対象物が含まれていない溶液例えば純水を水晶センサー1内に満たす。水晶センサー1内に純水が満たされると、水晶片20の等価直列抵抗の値は例えば150Ωないし500Ω程度になる。そしてこの水晶片20に対して前記発振回路4により前記水晶片20の駆動電流が0.3mA以下例えば0.2mAとなるように発振駆動電力を印加する。このときの水晶振動子24の発振周波数は、図5に示すように純水が水晶面に付着することにより大気雰囲気で水晶振動子24を発振させた場合よりも低くなる。次に水晶片20に0.2mAの発振駆動電力を印加した状態で水晶センサー1内の純水中に、感知対象物例えばダイオキシンが含まれている溶液を注入する。前記ダイオキシンは抗ダイオキシン抗体による選択的な分子捕捉により水晶振動子24の表面の吸着層に捕獲され、図5に示すようにその吸着量に応じて水晶振動子24の発振周波数がΔfだけ変化する。後述の実験例で説明するように抗原抗体反応により水晶振動子24の発振周波数が変化した後は、周波数が徐々に上昇することなく安定する。そして、このときの水晶振動子24の発振周波数を求め、Δfを求めると共に、予め求めておいたΔfとダイオキシンの濃度との関係式(検量線)に基づいてダイオキシンの濃度が求められる。この濃度は例えば図示しない表示部に表示される。なお、検出した濃度と予め設定した濃度とを比較して、設定濃度よりも高ければ「有り」、設定濃度よりも低ければ「無し」として出力するようにしてもよい。
上述の実施の形態によれば、水晶振動子24を発振させるための駆動電流が0.3mA以下この例では0.2mAとなるように設定しているので、水晶振動子24が液体と接触してその等価直列抵抗が大きくなっても後述の実験例に示すように水晶振動子24の自己発熱を抑えることができる。そのため水晶振動子24の発振周波数の変動が抑えられ、結果として感知対象物この例ではダイオキシンの吸着による周波数の変化分を正確に検出することができ、ダイオキシンの濃度を高精度に計測することができる。特に回転ベクトル方式のように検出感度が極めて高い装置に対しては、水晶振動子24の自己発熱分も周波数検出データに反映されることから、この発明は有効である。
なお、感知対象物としては、例えば疫病マーカ蛋白質、伝染病の細菌、PCB等であってもよい。
ここで上述した測定部6の一例を図6に示す。図6において、81は基準クロック発生部であり、前記スイッチ部からの周波数信号をサンプリングするために周波数の安定性が極めて高い周波数信号であるクロック信号を出力する。82はA/D(アナログ/ディジタル)変換器であり、前記周波数信号を基準クロック発生部81からのクロック信号によりサンプリングしてそのサンプリング値をディジタル信号として出力する。前記周波数信号の周波数fcとサンプリング周波数(クロック信号の周波数)fsとについては、例えばfcを11MHz、fsを12MHzに設定することができる。この場合、A/D変換器61からのディジタル信号である出力信号で特定される周波数信号の基本波は1MHzの正弦波となる。
A/D変換器82の後段には、キャリアリムーブ83及びローパスフィルタ84がこの順に設けられている。キャリアリムーブ83及びローパスフィルタ84は、A/D変換器82からのディジタル信号により特定される例えば1MHzの正弦波信号の周波数と、直交検波に用いられる正弦波信号の周波数との差の周波数で回転する回転ベクトルを取り出すために用いられている。
回転ベクトルを取り出す作用をわかりやすく説明するために、A/D変換器82からのディジタル信号により特定される正弦波信号をAcos(ω0t+θ)とする。一方、キャリアリムーブ83は、図7に示すように前記正弦波信号に対してcos(ω0t)を掛け算する掛け算部83aと前記正弦波信号に対して−sin(ω0t)を掛け算する掛け算部83bとを備えている。即ちこのような演算をすることにより直交検波される。掛け算部83aの出力及び掛け算部83bの出力は夫々(2)式及び(3)式により表される。
Acos(ω0t+θ)・cos(ω0t)
=1/2・Acosθ+1/2{cos(2ω0t)・cosθ+sin(2ω0t)・sinθ}……(2)
Acos(ω0t+θ)・−sin(ω0t)
=1/2・Asinθ−1/2{sin(2ω0t)・cosθ+cos(2ω0t)・sinθ}……(3)
従って掛け算部83aの出力及び掛け算部83bの出力を夫々ローパスフィルタ84a及び84bを通すことにより、2ω0tの周波数信号は除去されるので、結局ローパスフィルタ84からは1/2・Acosθと1/2・Asinθとが取り出される。
そしてAcos(ω0t+θ)で表される正弦波信号の周波数が変化すると、Acos(ω0t+θ)はAcos(ω0t+θ+ω1t)となる。ただしω1はω0よりも十分小さいものとする。従って1/2・Acosθは1/2・Acos(θ+ω1t)となり、1/2・Asinθは1/2・Asin(θ+ω1t)となる。即ち、ローパスフィルタ84から得られた出力は、正弦波信号[Acos(ω0t+θ)]の周波数の変化分ω1/2πに対応する信号である。つまりこれらの値は、A/D変換器82からのディジタル信号により特定される正弦波信号の周波数と直交検波に用いた正弦波信号の周波数ω0/2πとの差の周波数で回転する回転ベクトルを複素表示したときの実数部分(I)及び虚数部分(Q)である。
図8はこの回転ベクトルを表した図であり、この回転ベクトルは角速度がω1である。従って前記正弦波信号の周波数が変化しなければ、ω1tはゼロであるからこの回転ベクトルの回転速度はゼロであるが、水晶振動子24に感知対象物質が吸着されて水晶振動子の周波数が変化し、これにより前記正弦波信号の周波数が変化すると、その変化分に応じた回転速度で回転することになる。
ところで感知対象物質が存在しないときの水晶振動子の発振周波数に対応する角速度が直交検波に用いた正弦波信号の角速度に一致することはかなり稀であることから、実際には、感知対象物質が存在しないときの水晶振動子の発振周波数に対応する回転ベクトルの角速度と感知対象物質が存在するときの水晶振動子の発振周波数に対応する回転ベクトルの角速度とを夫々求め、その角速度の差が求められる。この回転ベクトルの角速度の差は、水晶振動子に感知対象物質が吸着したことによる水晶振動子の周波数の変化分に対応する値である。
次に本発明の効果を確認するために行った実験について述べる。
<実験例1>
駆動電流を種々変えて水晶振動子24の周波数温度特性を求める実験を行ったが、そのデータのうち駆動電流が10mAについて検討を行った。図9は0.1mAの駆動電流における周波数温度特性を基準とし、10mAの駆動電流における周波数温度特性との差を示している。図10は駆動電流が0.1mAの周波数温度特性と駆動電流が10mAの周波数温度特性を示している。図10に示すように85℃における0.1mAの駆動電流の周波数をf1とすると、85℃における10mAの駆動電流の周波数は図9によりf1+0.7×10−6であることが分かる。このf1+0.7×10−6の周波数は駆動電流が0.1mAでは、温度が(85+Δt)℃のところで検出されるのに対して駆動電流が10mAでは温度が85℃のところで検出されている。従って、駆動電流が大きい場合には、図10に示すように周波数温度特性は見かけ上低温側(図10において左側)にずれていることになる。即ち、図10に示すように駆動電流が10mAでは本来(85+Δt)℃で検出しなければならない周波数(f1+0.7×10−6)を、温度が85℃のところで検出していることが分かった。水晶振動子の発振周波数は温度に依存しているため、この原因は、駆動した水晶振動子24の自己発熱(内部発熱)によってΔtだけ温度が上昇したと推測する。即ち、駆動電流が増えると水晶振動子24の内部温度が増加すると言える。
<実験例2>
(実施例1−1)
上述した感知装置を用いた感知対象物の測定において、水晶センサー1内に純水を所定量供給し、水晶片20の駆動電流が0.2mAとなるように発振駆動電力を印加した。続いて、水晶片20に0.2mAの駆動電流を印加した状態で水晶センサー1内の純水中に、CRP抗体が100μg/ml含まれているPBS溶液(リン酸緩衝液)を所定量注入した。そして抗原抗体反応前後の水晶振動子24の発振周波数の様子を観察した。その様子を図11に示す。
(比較例1−1)
水晶片20の駆動電流が0.5mAとなるように発振駆動電力を調整した他は、実施例1−1と純水及び試料液の供給量を同じにして感知対象物の測定を行った。そして抗原抗体反応前後の水晶振動子24の発振周波数の様子を観察した。その様子を図11に示す。
(実施例2−1)
水晶センサー1内の純水中に、CRP抗体が10μg/ml含まれるPBS溶液を所定量注入した他は、実施例1−1と純水の供給量及び駆動電流を同じにして感知対象物の測定を行った。そして抗原抗体反応前後の水晶振動子24の発振周波数の様子を観察した。その様子を図12に示す。
(比較例2−1)
駆動電流を0.5mAとなるように調整した他は、実施例2−1と純水及び試料液の供給量を同じにして感知対象物の測定を行った。そして抗原抗体反応前後の水晶振動子24の発振周波数の様子を観察した。その様子を図12に示す。
(結果及び考察)
図11及び図12の縦軸は発振周波数fであり、横軸は時間tである。なお、図11及び図12において時間t1で水晶センサー1内の純水中に上記試料液を注入している。図11及び図12に示すように抗原抗体反応による水晶振動子24の発振周波数の変化が終了した後において、時間t2から時間t3までの水晶振動子24の発振周波数は、実施例1−1及び実施例2−1では略安定しているのに対して、比較例1−1及び比較例2−1では徐々に上昇している。また図12に示すように、実施例2−1及び比較例2−1では抗原濃度が小さいため周波数変化が非常に小さいことが分かる。従って、駆動電流を0.2mAとなるように調整することで、抗原抗体反応前の水晶振動子24の発振周波数と抗原抗体反応後の水晶振動子24の発振周波数との差を正確に測定することができる。
<実験例3>
(実施例3−1)
上述した感知装置において、駆動電流を0.1mAとなるように調整し、25℃の大気雰囲気で水晶振動子24を発振させて、この場合における水晶振動子24の発振周波数を測定した。
(実施例3−2)
駆動電流を0.2mAとなるように調整した他は、実施例1と同様にして水晶振動子24の発振周波数を測定した。
(実施例3−3)
駆動電流を0.3mAとなるように調整した他は、実施例1と同様にして水晶振動子24の発振周波数を測定した。
(比較例3−1)
駆動電流を0.5mAとなるように調整した他は、実施例1と同様にして水晶振動子24の発振周波数を測定した。
(比較例3−2)
駆動電流を7.0mAとなるように調整した他は、実施例1と同様にして水晶振動子24の発振周波数を測定した。
(結果及び考察)
図13は、25℃の大気雰囲気中における実施例3−1、実施例3−2、実施3−3、比較例3−1及び比較例3−2の周波数時間特性を示す特性図である。図13中の縦軸は周波数偏差(×10−6)であり、横軸は時間(秒)である。図13に示すように実施例3−1、実施例3−2及び実施例3−3では周波数に殆ど変化がなく安定していることが分かる。一方、比較例3−1では周波数に大きな変化は見られないが、周波数の安定する時間が実施例3−1、実施例3−2及び実施例3−3に比べて長い。また比較例3−2では周波数に大きな変化が見られると共に、周波数が安定する時間が実施例3−1、実施例3−2及び実施例3−3に比べて非常に長い。この実験結果は大気雰囲気中で水晶振動子24を発振させた場合の結果であるが、上述した実験例1において液体中で水晶振動子24を発振させたデータにおいて駆動電流を0.2mAに調整することで周波数が安定していることを確認しているため、図12に示す実験結果は液体中で水晶振動子24を発振させた場合の結果として関連付けて考察することができる。従って、図12に示すように駆動電流を0.3mAとした場合には、測定開始から数十秒のところで若干の周波数のみだれが生じたが、その後は周波数が安定していることから、上述した感知装置において感知対象物の濃度を正確に検出するためには、水晶片20の駆動電力を0.3mA以下とすることが有効であることが分かる。
本発明に係る水晶センサーを含む感知装置の実施の形態の外観を示す斜視図である。 上記実施の形態に用いられる水晶センナーを示す概略断面図である。 上記実施の形態に用いられる水晶振動子及び周辺の配線を示す説明図である。 上記実施の形態の感知装置を示すブロック回路図である。 上記感知装置の操作手順を示す説明図である。 測定部の一例を示すブロック図である。 図6に示す回路ブロックの一部を示す構成図である。 図7に示すブロック図により取り出された回転ベクトルを示す説明図である。 0.1mAの駆動電流における周波数温度特性を基準とし、10mAの駆動電流における周波数温度特性との差を示す特性図である。 周波数温度特性を示す特性図である。 抗原抗体反応前後の水晶振動子の発振周波数の様子を示す特性図である。 抗原抗体反応前後の水晶振動子の発振周波数の様子を示す特性図である。 周波数時間特性を示す特性図である。 周波数温度特性を示す特性図である。
符号の説明
1 水晶センサー
20 水晶片
24 水晶振動子
24a,24b 電極
4 発振回路
49 端子部
5 バッファアンプ
6 測定部
100 測定器本体

Claims (2)

  1. 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、液体と接触してその液体中の感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電振動子を用い、前記圧電振動子の固有振動数の変化に基づいて、液体中の感知対象物を感知する感知装置において、
    前記圧電振動子を発振させるために、駆動電流が0.3mA以下となるように当該圧電振動子に発振駆動電力を供給する発振回路と、
    前記発振回路の発振出力に基づいて感知対象物の濃度を測定する測定部と、を備えたことを特徴とする感知装置。
  2. 前記圧電振動子の等価直列抵抗の値が150Ω以上であることを特徴とする請求項1に記載の感知装置。
JP2006346875A 2006-12-25 2006-12-25 感知装置 Active JP4713459B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006346875A JP4713459B2 (ja) 2006-12-25 2006-12-25 感知装置
TW096149722A TWI443338B (zh) 2006-12-25 2007-12-24 And a sensing means for sensing the sensing object in the liquid
CNA2007800481940A CN101568820A (zh) 2006-12-25 2007-12-25 感测装置
EP07860549A EP2098852A1 (en) 2006-12-25 2007-12-25 Sensor
PCT/JP2007/075354 WO2008078832A1 (ja) 2006-12-25 2007-12-25 感知装置
US12/448,160 US8434351B2 (en) 2006-12-25 2007-12-25 Sensing instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006346875A JP4713459B2 (ja) 2006-12-25 2006-12-25 感知装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008157751A true JP2008157751A (ja) 2008-07-10
JP4713459B2 JP4713459B2 (ja) 2011-06-29

Family

ID=39562621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006346875A Active JP4713459B2 (ja) 2006-12-25 2006-12-25 感知装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8434351B2 (ja)
EP (1) EP2098852A1 (ja)
JP (1) JP4713459B2 (ja)
CN (1) CN101568820A (ja)
TW (1) TWI443338B (ja)
WO (1) WO2008078832A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110034443A1 (en) * 2007-06-21 2011-02-10 Cara Therapeutics, Inc. Uses of substituted imidazoheterocycles
JP2013522583A (ja) * 2010-03-12 2013-06-13 テールズ 真空チャンバー内に配置された機器の脱ガスを数量化する装置
US8669821B2 (en) 2011-02-04 2014-03-11 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd Piezoelectric oscillator
JP2016082471A (ja) * 2014-10-20 2016-05-16 富士通株式会社 測定方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8827550B2 (en) 2009-12-23 2014-09-09 Intel Corporation Thermal sensor using a vibrating MEMS resonator of a chip interconnect layer
DE102010016102B4 (de) * 2010-03-23 2016-11-03 Andreas Hettich Gmbh & Co. Kg Messvorrichtung umfassend einen Resonator
CN107188108B (zh) * 2017-05-23 2023-07-21 深迪半导体(绍兴)有限公司 一种mems器件及其防吸附方法
US11513012B2 (en) * 2019-06-06 2022-11-29 Mediatek Inc. Aging calibration for temperature sensor
IT201900021486A1 (it) 2019-11-18 2021-05-18 Mitsubishi Electric Hydronics & It Cooling Systems S P A Disposizione migliorata di ciclo di refrigerazione raffreddato ad aria

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08307199A (ja) * 1995-01-11 1996-11-22 Yoshiro Tomikawa 静電型変換手段の容量成分低減回路および静電型変換手段の駆動装置ならびに検出装置
JP2004294356A (ja) * 2003-03-28 2004-10-21 Citizen Watch Co Ltd Qcmセンサー装置
JP2004320321A (ja) * 2003-04-15 2004-11-11 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振回路
JP2006029870A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器及び感知装置
WO2006016721A1 (ja) * 2004-08-11 2006-02-16 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd 感知装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7075381B2 (en) * 2003-04-15 2006-07-11 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Oscillator circuit and oscillator
US7142113B2 (en) * 2004-02-17 2006-11-28 Sensormatic Electronics Corporation Method and apparatus to detect an external source
RU2346996C2 (ru) 2004-06-29 2009-02-20 ЮРОПИЭН НИКЕЛЬ ПиЭлСи Усовершенствованное выщелачивание основных металлов
JP4177361B2 (ja) 2004-08-11 2008-11-05 日本電波工業株式会社 感知装置
JP4134025B2 (ja) * 2004-12-28 2008-08-13 日本電波工業株式会社 感知装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08307199A (ja) * 1995-01-11 1996-11-22 Yoshiro Tomikawa 静電型変換手段の容量成分低減回路および静電型変換手段の駆動装置ならびに検出装置
JP2004294356A (ja) * 2003-03-28 2004-10-21 Citizen Watch Co Ltd Qcmセンサー装置
JP2004320321A (ja) * 2003-04-15 2004-11-11 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振回路
JP2006029870A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器及び感知装置
WO2006016721A1 (ja) * 2004-08-11 2006-02-16 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd 感知装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110034443A1 (en) * 2007-06-21 2011-02-10 Cara Therapeutics, Inc. Uses of substituted imidazoheterocycles
JP2013522583A (ja) * 2010-03-12 2013-06-13 テールズ 真空チャンバー内に配置された機器の脱ガスを数量化する装置
US8669821B2 (en) 2011-02-04 2014-03-11 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd Piezoelectric oscillator
US9130506B2 (en) 2011-02-04 2015-09-08 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Piezoelectric oscillator
JP2016082471A (ja) * 2014-10-20 2016-05-16 富士通株式会社 測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101568820A (zh) 2009-10-28
WO2008078832A1 (ja) 2008-07-03
JP4713459B2 (ja) 2011-06-29
TWI443338B (zh) 2014-07-01
EP2098852A1 (en) 2009-09-09
US20100024532A1 (en) 2010-02-04
TW200835915A (en) 2008-09-01
US8434351B2 (en) 2013-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4713459B2 (ja) 感知装置
WO2006070940A1 (ja) 感知装置
JP5066551B2 (ja) 圧電センサ及び感知装置
JP4611959B2 (ja) 感知方法
JP4542172B2 (ja) 感知装置及び感知方法
JP2010004388A (ja) 圧電振動子及び感知センサ
JP2006033195A (ja) 水晶発振器及び感知装置
JP5100454B2 (ja) 感知装置
JP4594162B2 (ja) 感知装置
JP2006194867A (ja) 水晶センサ及び感知装置
JP4646813B2 (ja) バイオセンサ計測システム、粘性率測定方法、および微量質量測定方法
JP4611954B2 (ja) 感知装置
JP4376258B2 (ja) 感知装置
JP5292359B2 (ja) 感知装置
JP2004294356A (ja) Qcmセンサー装置
JP4865002B2 (ja) 水晶センサー及び感知装置
JP5066442B2 (ja) 圧電センサ及び感知装置
JP2006029870A (ja) 水晶発振器及び感知装置
JP6267447B2 (ja) 感知装置及び圧電センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091211

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100615

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100816

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101005

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110217

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110322

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110324

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4713459

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250