JP2008157674A - 静電容量型物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電容量型加速度センサは、固定電極13a,13bを有するガラス基板11と、固定電極13a,13bと対向するように配置され、Gが加わることにより揺動すると共に固定電極13a,13bとの間に測定対象の容量を形成する錘部12aを有するシリコン基板12とから主に構成されている。錘部12aを両端で支持する梁部12bは、梁の軸に平行な面で切断した少なくとも一断面において内側に湾曲する湾曲面を有する。
【選択図】図2
Description
上述した方法により、梁部12bの形状を変えた3つの静電容量型加速度センサを作製した。梁部の形状に湾曲面を有し、図3(a)に示す形状であるものを実施例1とし、梁部の形状に湾曲面を有し、図3(b)に示す形状であるものを実施例2とし、梁部の形状が直線状であるものを比較例とした。なお、梁部の寸法については、1G(9.8m/s2)の感度がそれぞれ同等になるように設定した。
12 シリコン基板
12a 錘部
12b 梁部
12c,12d 凹部
12e 開口部
12f 枠体
13a,13b 固定電極
15 キャビティ
Claims (4)
- 固定電極を有する第1基板と、前記固定電極と対向して配置され、前記固定電極との間に測定対象の容量を形成する可動電極となる錘と、該錘の両端を支持する梁とからなる第2基板を具備し、力が加わることにより、前記錘が前記梁を軸として揺動することに伴う前記容量の変化により物理量を測定する静電容量型物理量センサであって、前記梁は、該梁の軸に平行な面で切断した少なくとも一断面において内側に湾曲する湾曲面を有することを特徴とする静電容量型物理量センサ。
- 前記梁部は、軸に平行な面で切断した全ての断面において中央部に向って径が細くなる形状を有することを特徴とする請求項1記載の静電容量型物理量センサ。
- 前記梁部は、前記湾曲面の平面視において、前記可動電極及び枠体との接続部において前記可動電極の外形が接線となる曲線を有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の静電容量型物理量センサ。
- 前記曲線が円弧であることを特徴とする請求項3記載の静電容量型物理量センサ。
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JP2006344418A JP2008157674A (ja) | 2006-12-21 | 2006-12-21 | 静電容量型物理量センサ |
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPS453405Y1 (ja) * | 1968-11-16 | 1970-02-16 | ||
JPS6418063A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-20 | Fujikura Ltd | Semiconductor acceleration sensor |
JPH05142251A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Omron Corp | 角加速度センサ |
JPH05142247A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-08 | Hitachi Ltd | 半導体加速度センサ |
JP2003156509A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
-
2006
- 2006-12-21 JP JP2006344418A patent/JP2008157674A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS453405Y1 (ja) * | 1968-11-16 | 1970-02-16 | ||
JPS6418063A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-20 | Fujikura Ltd | Semiconductor acceleration sensor |
JPH05142247A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-08 | Hitachi Ltd | 半導体加速度センサ |
JPH05142251A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Omron Corp | 角加速度センサ |
JP2003156509A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
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