JP2008157288A - 免震装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】所定の荷重まではたわみ量が無いか、あるいは、小さく、一定値以上の荷重に対しては免震作用を発揮させる免震装置を提供すること。
【解決手段】免震対象物が載置され、基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、テーブルの上下動に伴って水平方向のバネ力を生じる水平方向バネ力発生手段と、を備えた。
【選択図】図1

Description

本発明は、免震装置にかかり、特に、上下方向の免震装置に関する。
水平方向の免震装置(免震テーブル)として、従来より、種々の構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルを比較的容易に実現できる理由は、免震テーブルに載置される機器の重量が、X−Yテーブルやベアリングなどによって支えられているためであり、水平方向のバネ定数を非常に小さく設定できることにある。すなわち、ベアリングなどの機構で垂直方向の荷重を支えると共に、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮させている。
これに対し、垂直方向(上下方向)の振動に対する免震装置は、簡易な構成、かつ、低コストにて実現できるものは考案されていない。これは、以下の理由による。
まず、地震の波には様々な周期をもった波が重なっているが、その中でも周期が0.5〜1秒程度の波の成分が多い。従って、免震装置の地震波に対する共振を避けるべく、当該免震装置の固有周期を1秒よりも大きくすることで、免震効果は大きくなる。すなわち、2秒、3秒、5秒と、免震装置の固有周期が大きくなるほど免震効果が大きくなるが、最低でも固有周期を2秒程度にすることが望ましい。
上記のように、免震装置の固有周期を2秒にするためには、バネを非常にやわらかくすることが必要である。ここで、固有周期を2秒にしたときの静的たわみλの値を計算する。図10(a)に示す一般的な一自由度の上下振動系を考えると、λは、
この上下振動系の固有周期は、
数2式を数1式に代入し、λについて解くと、
必要なばね定数は、数1式より、
数3式より、Tn=2秒とすると、λ≒1mとなる。
以上から、上下方向免震装置(免震テーブル)の固有周期を2秒とするためには、機器の重量にかかわらず、約1mの静的たわみが必要となる。これは、免震装置に機器を静かに載せると約1m沈んでつり合い、この静的つり合い位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する、ということを意味している。このような免震装置は、高さが1m数十cm程度になってしまうため、実用的でない。また、3秒免震、5秒免震を実現する構成にすると、さらに静的たわみλが大きくなり、より実現不可能である。
従って、特に、上下方向の免震装置としては、一定の荷重に対しては静的たわみ量が無いか、あるいは、きわめて小さくなり、さらに、一定の荷重以上になると柔らかいバネ特性を示して免震効果を発揮するような免震装置が望まれる。すなわち、免震装置によるバネの荷重−変位特性が、図10(b)の(1)に示すよう構成すると望ましい。この図において、例えば、免震対象物の荷重がmgであると、これをテーブルに載置するとλまで静的にたわみ、この位置Oで静的につりあう。そして、かかる静的つり合い位置を中心に矢印に示すように振動するようになる構成であると望ましい。
特開2002−227923号公報
そして、上述したような免震作用に関連する従来技術として、上記特許文献1に開示されている定荷重バネがある。これは、一定の荷重に達するまでは変形せず、その一定値を超えた引張り荷重を受けると、常に同じ反発力を発生しながら変形するという特性を有する(図10(b)の(2)を参照)。具体的な構成としては、テープ状のバネ材をドラムに巻きつけた構造を有している。そして、特許文献1では、上記定荷重バネを水平方向の荷重に対する免震装置として利用するよう設置することで、一定値以上の水平方向の外力に対して免震作用を発揮させるよう利用している。
しかしながら、上記従来例に開示された定荷重バネを用いて上下振動に対応可能な免震装置の構成は開示されておらず、また、機器の荷重を確実に支持する構成も容易ではない。しかも、上述した図10(b)の(1)に示すような荷重−変位特性を発揮させる構成は開示されていない。つまり、仮に定荷重バネを上下方向や左右方向の振動系に利用したとしても、荷重に比例した復元力を発揮させることが困難であり、適切な免震効果を発揮させることができない、という問題が生じうる。
このため、本発明では、上記従来例の有する不都合を改善し、特に、所定の荷重まではたわみ量が無いか、あるいは、小さく、一定値以上の荷重に対しては免震作用を発揮させる免震装置を提供することをその目的とする。
そこで、本発明の一形態である免震装置は、
免震対象物が載置され、基台に対して上下動するテーブルと、
このテーブルと基台との間に設置され、テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、
テーブルの上下動に伴って水平方向のバネ力を生じる水平方向バネ力発生手段と、
を備えたことを特徴としている。
上記発明によると、テーブルに載置した免震対象物の自重や振動により、テーブルが基台に対して上下動するよう外力が働くと、このテーブルの上下動に伴って、上下方向バネ部材にて上下方向のバネ力が生じると共に、水平方向バネ力発生手段にて水平方向にもバネ力が生じる。このとき、水平方向のバネ力は、ある変位まではより硬いバネ特性を有すると共に、上下方向のバネ力は、一定のバネ特性を有する。従って、これらが組み合わさることにより、免震装置は、ある変位までは少ない変位で所定の荷重まで耐えることができ、所定の荷重を超えると、より柔らかいバネ特性を持つ。その結果、テーブルに免震対象物を載置すると、小さいたわみ量で静的につり合った状態となり、この状態で振動などの外力が印加されると、テーブルはあたかも柔らかいバネで支持されているが如く振る舞い、効果的に免震作用を発揮させることができ、また、免震装置の上下方向におけるスケールの縮小化を図ることができる。
そして、本発明において、上記水平方向バネ力発生手段は、
テーブルと基台とを連結し、テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、
この連結部材の水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、
を備えたことを特徴としている。
これにより、テーブルと基台とを連結している連結部材では、テーブルに印加された荷重が上下方向と水平方向とに分散される。すると、荷重がかかり始めた段階では、水平方向バネ部材によるバネ力の上下方向成分が大きいが、テーブルが下方に移動するに従って、この上下方向成分が小さくなって行く。つまり、少ない変位で大きな上下方向の荷重に耐えることができるバネ特性となる。従って、上下方向における所定の荷重までは、水平方向バネ部材の作用により少ない変位で耐えることができ、その後は、上下方向バネ部材の作用により、小さい荷重であっても適度にたわむこととなる。その結果、上述したように、上下方向のスケールを縮小しつつ、効果的に免震作用を発揮させることができる免震装置を構成することができる。
また、連結部材は、テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備え、水平方向バネ部材は、その両端が各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴としている。特に、一対のリンク部材は、ハの字状に配置され、それぞれの一端部がテーブルに回動自在に係合され、それぞれの他端部が基台にスライド可能なよう係合されており、当該各他端部が水平可動部となる、ことを特徴としている。このとき、一対のリンク部材は、テーブルの下方向への変位が大きくなるにつれて、各他端部である各水平可動部の相互間の距離が広くなるよう配置されている、ことを特徴としている。
これにより、テーブルが下方向に変位すると、一対のリンク部材の各水平可動部間の距離が変化し、これに連結された水平方向バネ部材にて水平方向のバネ力が生じる。特に、一対のリンク部材をハの字状に配置することで、その他端部が基台上でスライド移動し、その距離が広くなるにつれて、徐々に水平方向にかかる荷重が増大する。これにより、水平方向バネ部材のバネ特性は、テーブルの変位が小さいうち、つまり、免震対象物が載置されるときには硬い特性を有し、一方で、載置された後で所定の荷重がかかっている状態では柔らかい特性を有し、この状態においては、より上下方向バネ部材の特性が発揮されることとなる。従って、上述したように、テーブルに免震対象物を載置すると、小さいたわみ量で静的につり合った状態となり、その後は、テーブルはあたかも柔らかいバネで支持されているが如く振る舞い、効果的に免震作用を発揮させることができると共に、免震装置の上下方向におけるスケールの縮小化を図ることができる。
また、本発明における免震装置は、上記構成に加え、一対のリンク部材の各他端部におけるスライド動作に対する抵抗力を付勢する減衰手段を設けた、ことを特徴としている。そして、減衰手段は、例えば、一対のリンク部材の各他端部と当該各他端部が係合される基台との間に磁性引力を生じさせる磁気減衰手段である、ことを特徴としている。
これにより、一対のリンク部材の各他端部と基台との連結箇所に減衰手段を設けることで、免震装置に減衰力を付勢することができると共に、テーブル及び基台間に装備される構成を簡略化することができ、装置構成の簡略化、組み立ての容易化を図ることができる。
さらに、本発明では、基台の下部に、当該基台を支持し、水平方向の免震機構を有する水平方向免震装置を設けた、ことを特徴としている。これにより、水平方向の免震作用も発揮され、3次元免震装置を構成することができる。
本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、所定の荷重まではたわみ量が無いか小さく、一定の荷重を超えると振動に対する免震効果を発揮することができる免震装置を提供することができる。従って、上下方向の免震装置としては、装置自体の高さ方向の縮小化を図ることができると共に、良好な適切な免震効果を得ることができる、という従来にない優れた効果を有する。
本発明である免震装置は、一定の荷重まではたわみ量が少なく、一定の荷重を超えると所定のばね定数にてたわんで振動を吸収するという構造に特徴を有する。
そして、以下に説明する免震装置は、主に、免震対象物として、美術工芸品、精密機器、情報機器、背の高い機器、薬液槽、家具などをテーブルに載置し、これを免震機構にて支持することで、地震等の振動などから保護する、というものである。なお、本発明の免震装置に載置される免震対象物は上述したものに限定されず、例えば、家屋を支持する免震装置として利用してもよい。以下、実施例にて、免震装置の構成及び動作を詳細に説明する。
本発明の第1の実施例を、図1乃至図8を参照して説明する。図1乃至図2は、本実施例における免震装置の構成を示す図である。図3乃至図4は、免震装置の動作を示す図である。図5乃至図7は、免震装置の特性、特に、荷重−変位特性を示す。また、図8は、免震装置による免震実験の結果を示す図である。
[構成]
まず、図1、図2を参照して、本実施例における免震装置の構成について説明する。図1は、免震装置の構成を示す斜視図であり、図2は、その構成を簡略化して図示したブロック図である。
図1、図2に示すように、免震装置は、基台2上に設置されており、主に、免震対象物Mを載置して支持するテーブル1と、このテーブル1と基台2との間に設置されたコイルバネ3,4と、テーブル1と基台2とを連結するリンク5,6と、を備えている。以下、各構成について詳述する。
まず、テーブル1は、免震対象物Mを載置する載置面を有する板状の部材であり、ほぼ水平な土台や地面である基台2に対して、ほぼ平行に設けられている。そして、このテーブル1は、基台2に対してその距離が変化するよう、上下動可能なよう設置されている。
そして、このテーブル1と基台2との間には、上下方向にバネ力(復元力)を生じる2本のコイルバネ3,4(上下方向バネ部材)が設けられている。また、コイルバネ3,4の内部には、上下方向に沿って棒状のコイルガイド31が挿通されている。そして、このコイルガイド31の下端は基台2に固定され、また、上端側はテーブル1に固定されず挿通されている。これにより、テーブル1は、免震対象物Mが載置され所定の荷重がかかったときや振動が生じたときに、コイルガイド31に沿って上下動し、この上下動に応じてコイルバネ3,4が上下方向(基台2に対して垂直方向)に伸縮して、上下方向に沿ったバネ力が生じる。なお、図1、図2では、テーブル1と基台2の間に2本の上下コイルバネが設置されているが、その本数は任意である。また、基台2は、地面に固定された部材、あるいは、地面そのものである。さらに、テーブル1は、本実施例では四角形状の板状部材であるが、その形状はいかなる形状であってもよい。
また、テーブル1と基台2との間には、一対のリンク5,6(一対のリンク部材(連結部材(水平方向バネ力発生手段)))が設けられている。この一対のリンク5,6は、所定の厚みを有する長板部材であって、相互に板面を対向させて下端側が広がるようハの字状に配置されており、その一端部(上端部)がテーブル1に、その他端部(下端部)が基台2に、それぞれ係合されている。そして、各リンク5,6の各上端部は、回動自在に、ヒンジ51(蝶番)にてテーブル1の下面に連結されている。また、各リンク5,6の各下端部は、レール連結部81にヒンジ52(蝶番)を介して回動自在に係合されている。
ここで、基台2上には、直線状の角棒にて形成されたレール8が設置されており、上述した各リンク5,6の各下端部に設けられた各レール連結部81(水平可動部)が、このレール8上に沿ってスライド可能なよう配置されている。例えば、レール連結部81の下面には、下方に開口部を有する凹部が形成されており、この凹部がレール8に嵌め合わせられて、レール8の長手方向に沿ってスライド可能となっている。つまり、本実施例における各リンク5,6は、その下端部の相互間の距離が、テーブル1の下方向への変位が大きくなるにつれて徐々に広くなるよう配置されている。
また、上述した各レール連結部81の下面側付近には、希土類磁石82がそれぞれ取り付けられており、これに伴い、基台2やレール8は、鉄などの材料にて形成されている。従って、レール連結部81が基台2に対してレール8上をスライド移動する際には、レール連結部81と、基台2あるいはレール8と、の間に磁性引力が生じ、後述するように、磁気減衰手段(減衰手段)として機能する。
そして、上記各レール連結部81間には、水平方向に伸縮する引張りバネ7(水平方向バネ部材(水平方向バネ力発生手段))が設けられており、その両端が各レール連結部81にそれぞれ連結されている。これにより、テーブル1に免震対象物Mが載置され所定の荷重がかかったときや振動が生じたときに、テーブル1の上下動に応じてレール連結部81がレール8に沿ってスライド可動し、当該各レール連結部81の相互間の距離が変化する。すると、引張りバネ7自体の長さが伸縮し、水平方向のバネ力(復元力)が生じる。なお、図1では3本の引張りバネ7が設けられているが、その本数は任意である。
[動作]
次に、上記構成の免震装置の動作を、図3乃至図8を参照して説明する。はじめに、図3及び図4を参照して、免震装置のリンク5,6の動作について説明する。図3及び図4は、上述した図2と同様に、本実施例における免震装置の構成を簡略化して図示したものであり、特に、テーブル1に対して、下方向に荷重Fがかかったときの様子を、点線にて図示している。
具体的には、テーブル1に下方向の荷重がかかると、一対のリンク5,6には当該リンクの長手方向に沿って荷重がかかることとなる。すると、テーブル1が下方に移動すると共に、各リンク5,6の上端側のヒンジ51が回転してハの字状の一対のリンク5,6が相互に開くよう回動し(θ→θ)、同時に、下端側のレール連結部81(水平可動部)がレール8に沿って相互間の距離が開くようスライド移動する。つまり、免震装置は、図3,4の点線に示すような形状となる。
そして、上述したようにテーブル1に荷重がかかったときの各リンク5,6の下端部における荷重状態を、さらに詳述する。図3には、上記テーブル1への荷重Fによるリンク5,6の下端部にかかる荷重を示し、図4には、リンクの下端部に作用する反力を示す。まず、各リンク5,6の下端部には、当該リンクの長手方向に荷重fao,f、及び、その反力f,fが作用するが、これらは、それぞれ上下方向(垂直)と水平方向に分散される。すると、図3のリンク6に図示するように、荷重がかかり始めた段階では、リンク5,6の垂直方向に対する角度θが小さいため、上下方向成分faovが大きく、水平方向成分faohが小さい。一方、図3のリンク5’に図示するように、その後、テーブル1にかかった荷重によりテーブル1’の位置が下方に移動してリンク5’,6’が開くと、リンク5,6の垂直方向に対する角度θが大きくなるため、上下方向成分favが小さくなり、水平方向成分fahが大きくなる。そして、この荷重に対して図4に示すように反力が生じるが、水平方向成分の反力は、引張りバネ7の復元力、つまり、水平方向のバネ力foh,fに相当する。この水平方向のバネ力fがリンク5,6に与える力f、及びこの力fの上向き成分fは、下記数5式のように与えられる。
ここで、kは、水平バネのバネ定数を表し、Lはリンクの長さを表す。上記数5式を用いて、k=550N/m、L=0.3m、θ=35°、の場合の荷重−変位曲線を求めると、図5のようになる。この図に示すように、上記一対のリンク5,6と引張りバネ7との構成によると、θ=35°付近では、非常に硬いバネ特性となり、少ない変位で大きな荷重に耐えることができる。
そして、上述したように、本実施例では、さらに、上下方向にバネ力(復元力)を生じるバネ定数=kの2本のコイルバネ3,4が装備されているため、これを考慮すると、上下方向の全バネ力Fは、数6式のようになる。なお、テーブル1に下向きの力Fが印加されたときの当該テーブル1の変位をxとする(図4参照)。
また、xとθの関係は、数7式となる。
上記数6式、数7式を用いて、k=550N/m、k=1100N/m、L=0.3m、の場合の荷重−変位曲線を求めると、図6の線図(1)のようになる。つまり、この線図(1)は、線図(2)に示す引張りバネ7のバネ特性と、線図(3)に示すコイルバネ3,4のバネ特性とを合わせた特性を有しており、図10(b)の線図(1)で示した特性に近似している。
以上より、本実施例における免震装置では、ある変位までは少ない変位で所定の荷重まで耐えることができ、所定の荷重を超えると、より柔らかいバネ特性を持つ。つまり、テーブル1に免震対象物Mを載置した際には、例えば、図6の線図(1)のO点(θ=60°程度)に示すように、小さいたわみ量(200mm程度)で静的につり合った状態となり、この状態で振動などの外力が印加されると、小さい荷重であっても適度にたわむこととなる(図6の線図(1)のO点前後の太線矢印参照)。従って、効果的に免震作用を発揮させることができ、また、免震装置の上下方向におけるスケールの縮小化を図ることができる。
具体的には、テーブル1の上下動に伴い、ハの字状のリンク5,6の下端部が水平方向に可動し、このとき、水平方向のバネ力(図4のfoh、f参照)は、テーブル1が下方に移動して下端部間の距離が開くほど増大し、逆に、この水平方向のバネ力による上下方向の力は減少する(図4のfov,f参照)。従って、テーブル1に所定の荷重がかかるまでであって、リンク5,6間の角度が狭い場合には、引張りバネ7にて少ない変位で荷重に耐えることができ、静たわみ時の変位を縮小させることができる。一方で、ある荷重以上になり、リンク5,6の角度が広くなると、引張りバネ7の影響が弱まり、コイルバネ3,4により小さい荷重であっても適度にたわむこととなる。
また、振動が生じている際には、各リンク5,6の各レール連結部81がレール8に沿ってスライド移動するが、当該レール連結部81とレール8あるいは基台2との間に磁性引力が生じるため、減衰力を付勢することができる。かかる場合には、別途、独立の減衰装置を設ける必要が無いため、テーブル1及び基台2間に装備される構成を簡略化することができ、装置構成の簡略化、組み立ての容易化を図ることができる。なお、減衰機構は上述した磁気減衰を利用することに限定されず、レール連結部81のスライド動作に対する抵抗力、あるいはテーブルの上下動作に対する抵抗力、を付勢するものであれば、いかなる減衰器を装備してもよい。
ここで、上記構成の免震装置を振動台に取り付け,テーブル1上に機器(重り)を搭載し、上下方向の地震応答実験を行った。このときの機器―免震テーブル系の諸元を図7(a)に示す。そして、最大加速度4 m/s2に基準化したImperial
Valley地震(1940年)El Centro UD成分および兵庫県南部地震(1995年)神戸海洋気象台UD成分を入力したときの応答加速度の最大値を図7(b)に示す。この図に示すように、最大応答加速度は、入力加速度の1/8〜1/9程度に低減されており、この上下免震テーブルの免震効果が極めて有効であることがわかる。
なお、上記では、一対のリンク5,6を、ハの字状に配置してその下端部であるレール連結部81がスライド可動し、その間に引張りバネ7を設けて構成する場合を例示したが、上記構成に限定されない。例えば、一対のリンク5,6は、それぞれ関節を有する「く」の字状等のリンクであって、各関節の相互間の距離がテーブル1の上下動に伴って変化するよう水平方向に可動し、当該各関節間に引張りバネ7を装備しても、上述した同様の作用及び効果を得ることができる。さらに、リンク5,6は、必ずしも一対設ける必要はない。例えば、一方のリンク5のみが装備され、このリンク5の下端部である水平可動部と、壁面などの他の固定端とに、水平方向にバネ力を生じさせる引張りバネ7を連結して設けてもよい。
また、上述した上下方向にバネ力は生じるコイルバネ3,4は、他のバネ部材であってもよい。特に、バネ部材自体が所定の剛性を有していて、テーブル1の上下動の際に他の支持部材を必要とせず基台2に対して垂直方向にバネ力を生じるよう変形可能なバネであると望ましい。例えば、半円弧状の棒状部材にて構成された半円弧バネを用いてもよい。このように半円弧バネなど上記性質のバネを用いた場合には、当該バネのみでテーブル1の上下動が基台2に対して垂直となるよう支持することができる。その結果、上述したようなコイルバネ3,4を設けた場合と比較して、コイルガイド31等を設ける必要が無く、装置構成の簡略化、組み立ての容易化を図ることができる。
次に、本発明の第2の実施例を、図8乃至図9を参照して説明する。図8に示すように、本実施例では、上記実施例1にて説明した上下方向の免震作用を発揮する免震装置の下部に、水平方向の免震装置200を備え、三次元免震装置を構成している。例えば、水平方向の免震装置200は、特許第3202189号に開示されているワイヤーロープ201を用いた免震装置200である。但し、かかる免震装置に限らず、水平方向に対する他の構成の免震装置を用いてもよい。
ここで、上記三次元免震テーブルの諸元を図9(a)に示す。そして、この三次元免震テーブルを三次元振動台上に取り付け、テーブル板上に機器(重り)を搭載し、最大加速度を4 m/s2に基準化した神戸海洋気象台(1995年)NS-EW-UD成分を振動台に同時入力して、テーブル板の三次元方向の加速度を測定した。このときの三次元方向の応答加速の最大値を図9(b)に示す。この図に示すように、テーブル板の最大応答加速度は、上下方向で1/7程度に低減し、水平NS方向で1/7程度,水平EW方向で1/5程度に低減している。これより、本三次元免震テーブルは、三次元いずれの方向にも高い免震効果を有することがわかる。
本発明は、美術工芸品、精密機器、情報機器、薬液槽、家具などの免震装置として利用することができ、産業上の利用可能性を有する。
実施例1における免震装置の構成を示す斜視図である。 図1に開示した免震装置の構成を簡略化して示す概略図である。 図2に開示した免震装置の動作を示す説明図である。 図2に開示した免震装置の動作を示す説明図である。 図1に開示した引張りバネの荷重−変位曲線を示す。 実施例1における免震装置による荷重−変位曲線を示す。 図7(a)は、振動実験の行った免震装置の諸元を示し、図7(b)は、振動実験結果を示す。 実施例2における免震装置の構成を示す概略図である。 図9(a)は、振動実験の行った実施例2における免震装置の諸元を示し、図9(b)は、振動実験結果を示す。 図10(a)は一般的な一自由度の上下振動系モデルを示す。図10(b)は荷重−変位曲線を示す。
符号の説明
1 テーブル
2 基台
3,4 コイルバネ
5,6 リンク
7 引張りバネ
8 レール
51,52 ヒンジ
81 レール連結部

Claims (8)

  1. 免震対象物が載置され、基台に対して上下動するテーブルと、
    このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、
    前記テーブルの上下動に伴って水平方向のバネ力を生じる水平方向バネ力発生手段と、
    を備えたことを特徴とする免震装置。
  2. 前記水平方向バネ力発生手段は、
    前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、
    この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、
    を備えたことを特徴とする請求項1記載の免震装置。
  3. 前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備え、
    前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、
    ことを特徴とする請求項2記載の免震装置。
  4. 前記一対のリンク部材は、ハの字状に配置され、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、それぞれの他端部が前記基台にスライド可能なよう係合されており、当該各他端部が前記水平可動部となる、
    ことを特徴とする請求項3記載の免震装置。
  5. 前記一対のリンク部材は、前記テーブルの下方向への変位が大きくなるにつれて、前記各他端部である前記各水平可動部の相互間の距離が広くなるよう配置されている、
    ことを特徴とする請求項4記載の免震装置。
  6. 前記一対のリンク部材の前記各他端部におけるスライド動作に対する抵抗力を付勢する減衰手段を設けた、
    ことを特徴とする請求項4又は5記載の免震装置。
  7. 前記減衰手段は、前記一対のリンク部材の前記各他端部と当該各他端部が係合される前記基台との間に磁性引力を生じさせる磁気減衰手段である、
    ことを特徴とする請求項6記載の免震装置。
  8. 前記基台の下部に、当該基台を支持し、水平方向の免震機構を有する水平方向免震装置を設けた、
    ことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6,7又は8記載の免震装置。
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