JP2008151632A - 加速度検出装置 - Google Patents
加速度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008151632A JP2008151632A JP2006339487A JP2006339487A JP2008151632A JP 2008151632 A JP2008151632 A JP 2008151632A JP 2006339487 A JP2006339487 A JP 2006339487A JP 2006339487 A JP2006339487 A JP 2006339487A JP 2008151632 A JP2008151632 A JP 2008151632A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- output
- tuning
- fork type
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Abstract
【課題】加速度以外の衝撃を受けた場合でも安定して動作する加速度検出装置を提供する。
【解決手段】第1の音叉型振動素子20aを備えるVCXO2と、第2の音叉型振動素子20bを備え、この第2の音叉型振動素子20bにより決定される共振周波数に基づいてVCXO2から出力される出力信号を移相する共振回路5と、VCXO2からの出力信号と共振回路5からの出力信号の位相を比較する位相比較回路7と、位相比較回路7から出力される位相差信号を直流化するLPF8と、LPF8から出力を微分する微分回路9と、LPF8の出力に応じた制御電圧をVCXO2にフィードバックするDCサーボ回路11とを備え、第1及び第2の音叉型振動素子20a、20bは各振動腕の延長方向を加速度検出方向と一致させ、且つ、第1及び第2の音叉型振動素子20a、20bを対向配置するようにした。
【選択図】図1
【解決手段】第1の音叉型振動素子20aを備えるVCXO2と、第2の音叉型振動素子20bを備え、この第2の音叉型振動素子20bにより決定される共振周波数に基づいてVCXO2から出力される出力信号を移相する共振回路5と、VCXO2からの出力信号と共振回路5からの出力信号の位相を比較する位相比較回路7と、位相比較回路7から出力される位相差信号を直流化するLPF8と、LPF8から出力を微分する微分回路9と、LPF8の出力に応じた制御電圧をVCXO2にフィードバックするDCサーボ回路11とを備え、第1及び第2の音叉型振動素子20a、20bは各振動腕の延長方向を加速度検出方向と一致させ、且つ、第1及び第2の音叉型振動素子20a、20bを対向配置するようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は音叉型振動素子を検出センサとして用いた加速度検出装置に関するものである。
近年、加速度を検出する加速度センサは、次世代の自動車、ロボット、宇宙産業など幅広い応用を目指して研究、開発が行われている。民生機器向けに開発されている加速度センサは、加速度検知機構を半導体プロセスにより作製したMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサが良く知られている。
一方、例えば気体や液体などの圧力の測定を行う圧力センサ等においてはMEMSセンサ以外にも音叉型振動子を利用したものが開発されている。
一方、例えば気体や液体などの圧力の測定を行う圧力センサ等においてはMEMSセンサ以外にも音叉型振動子を利用したものが開発されている。
図9は、特許文献1に開示されている従来の振動式センサ回路の構成を示した図である。図9に示す従来の振動式センサ回路100は、センサ部101とドライブ回路102により構成される。センサ部101はセンサ素子である振動子101a、アンプ101b、整流回路101cを有して構成される。振動子101aは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT:lead zirconium titanate)が組付けられた振動子である。
ドライブ回路102は、電圧制御発振器102a、アンプ102b、位相比較器102cを有して構成される。このように構成されるセンサ回路100では、センサ部101の振動子101aがドライブ回路部102の電圧制御発振器102aにより駆動される。
ここで、振動子101aが物理的な応力(圧力)を受けると、振動子101aの共振周波数が変化する。振動子101aの共振周波数が変化すると、ドライブ回路102の位相比較器102cから出力される出力信号の位相が変動する。これにより、電圧制御発振器102aの出力信号は振動子101aの共振周波数と一致するように制御され、振動子101aは応力に応じた共振周波数で振動することになる。よって、ライン104または103の出力を検知信号として取り出すことで振動子101aが受けた応力値を検知することができる。
実開昭62−155336号公報
ドライブ回路102は、電圧制御発振器102a、アンプ102b、位相比較器102cを有して構成される。このように構成されるセンサ回路100では、センサ部101の振動子101aがドライブ回路部102の電圧制御発振器102aにより駆動される。
ここで、振動子101aが物理的な応力(圧力)を受けると、振動子101aの共振周波数が変化する。振動子101aの共振周波数が変化すると、ドライブ回路102の位相比較器102cから出力される出力信号の位相が変動する。これにより、電圧制御発振器102aの出力信号は振動子101aの共振周波数と一致するように制御され、振動子101aは応力に応じた共振周波数で振動することになる。よって、ライン104または103の出力を検知信号として取り出すことで振動子101aが受けた応力値を検知することができる。
ところで、上記したような振動式センサ回路100を加速度センサとして移動物体等に搭載した場合、移動物体の移動時に受ける加速以外の衝撃により振動子101aの共振周波数が急激に変動すると、位相比較器102cの出力信号も急激に変動することになる。 しかしながら、図9に示す振動式センサ回路100は、振動子101aの出力に基づく位相比較結果を電圧制御発振器102aにフィードバックするPLL制御構成であるため、位相比較器102cの出力信号が急激に変動した場合は電圧制御発振器102aがPLL制御に追従することができなくなる結果、電圧制御発振器102aの発振が停止する不具合が発生するおそれがあった。このため、従来の振動式センサ回路100を用いて加速検出装置を構成することはできなかった。
本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、加速度以外の衝撃を受けた場合でも安定して動作する加速度検出装置を提供することを目的とする。
本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、加速度以外の衝撃を受けた場合でも安定して動作する加速度検出装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の加速度検出装置は、第1の音叉型振動素子を共振素子として備えた電圧制御型圧電発振回路と、第2の音叉型振動素子を備え、当該第2の音叉型振動素子により決定される共振周波数に基づいて電圧制御型圧電発振回路から出力される出力信号を移相する共振回路と、電圧制御型圧電発振回路から出力される出力信号と共振回路から出力される出力信号の位相を比較する位相比較回路と、位相比較回路から出力される位相差信号を直流化して出力するローパスフィルタと、ローパスフィルタから出力される出力信号を微分する微分回路と、時定数回路を備えローパスフィルタ以降の出力信号に応じた制御電圧を電圧制御型圧電発振回路にフィードバックする直流サーボ回路と、を備え、第1及び第2の音叉型振動素子は、それぞれ並列に配置された2本の振動腕と、該2本の振動腕の延長方向一端を結合する結合部とを有し、第1及び第2の音叉型振動素子の各振動腕の延長方向を加速度検出方向と一致させ、且つ、第1及び第2の音叉型振動素子を対向配置したうえで、微分回路から出力される出力信号を加速度検出信号として出力することを特徴とする。
このような本発明では、第1の音叉型振動素子を共振子として備えた電圧制御型圧電発振回路の出力信号と第1の音叉型振動素子とは加速度方向において対向配置された第2の音叉型振動素子を備えた共振回路の出力信号との位相を位相比較回路で比較し、その位相比較結果をローパスフィルタにより直流化し、さらに微分回路で微分するようにした。これにより、電圧制御型圧電発振回路に共振子として備えた第1の音叉型振動素子と、共振回路に共振子として備えた第2の音叉型振動素子とを利用して加速度を検出することが可能になる。
また本発明によれば、電圧制御型発振回路を備えていないので、従来の振動式センサ回路のように、加速度以外の強い衝撃が加わった場合でも発振が停止するといったことがない。
このような本発明では、第1の音叉型振動素子を共振子として備えた電圧制御型圧電発振回路の出力信号と第1の音叉型振動素子とは加速度方向において対向配置された第2の音叉型振動素子を備えた共振回路の出力信号との位相を位相比較回路で比較し、その位相比較結果をローパスフィルタにより直流化し、さらに微分回路で微分するようにした。これにより、電圧制御型圧電発振回路に共振子として備えた第1の音叉型振動素子と、共振回路に共振子として備えた第2の音叉型振動素子とを利用して加速度を検出することが可能になる。
また本発明によれば、電圧制御型発振回路を備えていないので、従来の振動式センサ回路のように、加速度以外の強い衝撃が加わった場合でも発振が停止するといったことがない。
また本発明の加速度検出装置は、電圧制御型圧電発振回路と位相比較回路との間に設けられ、電圧制御型圧電発振回路の出力信号を矩形化して出力する第1の矩形化回路と、共振回路と位相比較回路との間に設けられ、共振回路の出力信号を矩形化して出力する第2の矩形化回路と、を備えたことを特徴とする。
このような本発明によれば、位相比較回路の前段に第1及び第2の矩形化回路を設けたことで位相比較回路において精度の高い位相比較を行うことが可能になる。
このような本発明によれば、位相比較回路の前段に第1及び第2の矩形化回路を設けたことで位相比較回路において精度の高い位相比較を行うことが可能になる。
また本発明の加速度検出装置は、電圧制御型圧電発振回路と共振回路との間に設けられ、電圧制御型圧電発振回路の出力信号を移相する移相回路を備えたことを特徴とする。
このような本発明によれば、電圧制御型圧電発振回路から分岐して出力される出力信号の一方を位相比較回路の位相特性に併せて移相回路により移相することで、位相比較回路において精度の高い位相比較を行うことが可能になる。
このような本発明によれば、電圧制御型圧電発振回路から分岐して出力される出力信号の一方を位相比較回路の位相特性に併せて移相回路により移相することで、位相比較回路において精度の高い位相比較を行うことが可能になる。
本発明の加速度検出装置は、移相回路が90°移相回路であることを特徴とする。
このような本発明によれば、電圧制御型圧電発振回路から分岐して出力される出力信号の一方を、位相比較回路の位相特性に併せて90°移相することで、位相比較回路から出力される位相差信号により加速度の向き検出することが可能になる。
本発明の加速度検出装置は、第1及び第2の音叉型振動素子は双音叉型振動素子であることを特徴とする。このような本発明によれば、音叉型振動素子の応力感度を高めることができる。
このような本発明によれば、電圧制御型圧電発振回路から分岐して出力される出力信号の一方を、位相比較回路の位相特性に併せて90°移相することで、位相比較回路から出力される位相差信号により加速度の向き検出することが可能になる。
本発明の加速度検出装置は、第1及び第2の音叉型振動素子は双音叉型振動素子であることを特徴とする。このような本発明によれば、音叉型振動素子の応力感度を高めることができる。
本発明の加速度検出装置は、直流サーボ回路は、微分回路の出力に応じた制御電圧を電圧制御型圧電発振回路にフィードバックすることを特徴とする。
このような本発明によれば、微分回路のドリフトを加味した補正が可能になる。
このような本発明によれば、微分回路のドリフトを加味した補正が可能になる。
本発明の加速度検出装置は、微分回路から出力される信号を緩衝する緩衝増幅回路を備え、直流サーボ回路は、緩衝増幅回路の出力に応じた制御電圧を電圧制御型圧電発振回路にフィードバックすることを特徴とする。
このような本発明によれば、緩衝増幅回路と微分回路のドリフトを加味した補正が可能になる。
このような本発明によれば、緩衝増幅回路と微分回路のドリフトを加味した補正が可能になる。
以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る加速度検出装置の構成を示したブロック図である。
この図1に示す加速度検出装置1は、電圧制御型水晶発振回路(以下、VCXO(voltage controlled crystal oscillator)と称する)2、第1の矩形化回路(波形整形回路)3、90°移相回路4、共振回路5、第2の矩形化回路(波形整形回路)6、位相比較回路7、ローパスフィルタ(以下、LPFと称する)8、微分回路9、緩衝増幅回路(以下、バッファアンプと称する)10、及び直流サーボ回路(以下、DCサーボ回路)11により構成される。
VCXO2は、第1の音叉型水晶振動素子(第1の音叉型振動素子)20aを備える。第1の音叉型水晶振動素子20aは、発振回路の共振子として機能すると共に、加速度を検出する加速度検出素子として機能する。VCXO2では、DCサーボ回路11からの制御電圧Vcontを図示していない可変容量ダイオードのカソードに印加することにより発振ループの負荷容量を変化させて出力信号の発振周波数が一定となるように制御している。但し、DCサーバ回路11は時定数回路を備えていることからVCXO2の周波数追従速度が遅くなるように構成されている。VCXO2の出力信号は、分岐されて第1の矩形化回路3及び90°移相回路4に入力される。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る加速度検出装置の構成を示したブロック図である。
この図1に示す加速度検出装置1は、電圧制御型水晶発振回路(以下、VCXO(voltage controlled crystal oscillator)と称する)2、第1の矩形化回路(波形整形回路)3、90°移相回路4、共振回路5、第2の矩形化回路(波形整形回路)6、位相比較回路7、ローパスフィルタ(以下、LPFと称する)8、微分回路9、緩衝増幅回路(以下、バッファアンプと称する)10、及び直流サーボ回路(以下、DCサーボ回路)11により構成される。
VCXO2は、第1の音叉型水晶振動素子(第1の音叉型振動素子)20aを備える。第1の音叉型水晶振動素子20aは、発振回路の共振子として機能すると共に、加速度を検出する加速度検出素子として機能する。VCXO2では、DCサーボ回路11からの制御電圧Vcontを図示していない可変容量ダイオードのカソードに印加することにより発振ループの負荷容量を変化させて出力信号の発振周波数が一定となるように制御している。但し、DCサーバ回路11は時定数回路を備えていることからVCXO2の周波数追従速度が遅くなるように構成されている。VCXO2の出力信号は、分岐されて第1の矩形化回路3及び90°移相回路4に入力される。
第1の矩形化回路3は、例えばコンパレータなどにより構成され、VCXO2から出力信号を矩形波信号に変換して出力する。
90°移相回路4は、VCXO2から出力される出力信号の位相を90°移相した後、共振回路5に出力する。なお、90°移相回路4の構成にもよるが、通常、90°移相回路4において移相可能な信号波形は正弦波とされるので、VCXO2は出力信号波形が正弦波形となるように回路を構成することが望ましい。
共振回路5は、第2の音叉型水晶振動素子(第2の音叉型振動素子)20bを備え、この第2の音叉型水晶振動素子20bにより決定される共振周波数に基づいて、90°移相回路4の出力信号を移相して出力する。
90°移相回路4は、VCXO2から出力される出力信号の位相を90°移相した後、共振回路5に出力する。なお、90°移相回路4の構成にもよるが、通常、90°移相回路4において移相可能な信号波形は正弦波とされるので、VCXO2は出力信号波形が正弦波形となるように回路を構成することが望ましい。
共振回路5は、第2の音叉型水晶振動素子(第2の音叉型振動素子)20bを備え、この第2の音叉型水晶振動素子20bにより決定される共振周波数に基づいて、90°移相回路4の出力信号を移相して出力する。
第2の矩形化回路6もまた、例えばコンパレータなどにより構成され、共振回路5の出力信号を矩形波信号に変換して位相比較器7に出力する。
位相比較回路7は、第1の矩形化回路3からの出力信号と、第2の矩形化回路6からの出力信号との位相を比較し、その比較結果を出力する。このとき、位相比較回路7は90°の位相差を基準に位相比較を行って、その位相差を位相差信号として出力する。なお、位相比較回路7において位相比較を行う場合には、入力信号の少なくとも一方の波形が矩形である必要があるため、本実施形態では位相比較回路7の前段に夫々第1及び第2の矩形化回路3、6を設けるようにしているが少なくとも何れか一方だけでも良い。
位相比較回路7は、第1の矩形化回路3からの出力信号と、第2の矩形化回路6からの出力信号との位相を比較し、その比較結果を出力する。このとき、位相比較回路7は90°の位相差を基準に位相比較を行って、その位相差を位相差信号として出力する。なお、位相比較回路7において位相比較を行う場合には、入力信号の少なくとも一方の波形が矩形である必要があるため、本実施形態では位相比較回路7の前段に夫々第1及び第2の矩形化回路3、6を設けるようにしているが少なくとも何れか一方だけでも良い。
またVCXO2の出力波形が矩形波であれば、第1及び第2の矩形化回路3、6は必ずしも設ける必要はない。但し、通常、90°移相回路4等に入力する信号波形を正弦波形にする必要があるため、90°移相回路4が設けられている場合にはVCXO2の出力波形を正弦波形とし、位相比較回路7に入力する際に第1、第2の矩形化回路3、6により矩形化することが望ましい。
更に、位相比較回路7に入力される2つの信号のレベルが一致していないと検波結果に2つの入力信号の位相差以外に信号レベルの差に基づく値も含まれてしまい正確な加速度検知結果を得ることができない可能性がある。
従って、このような不具合の発生を防止する為にも第1、第2の矩形化回路3、6により矩形化(波形整形)することが望ましい。
LPF8は、位相比較回路7から出力される位相差信号を直流化して出力する。
微分回路9は、LPF8からの位相差信号を微分して出力する。
更に、位相比較回路7に入力される2つの信号のレベルが一致していないと検波結果に2つの入力信号の位相差以外に信号レベルの差に基づく値も含まれてしまい正確な加速度検知結果を得ることができない可能性がある。
従って、このような不具合の発生を防止する為にも第1、第2の矩形化回路3、6により矩形化(波形整形)することが望ましい。
LPF8は、位相比較回路7から出力される位相差信号を直流化して出力する。
微分回路9は、LPF8からの位相差信号を微分して出力する。
ここで、微分回路9の機能について説明しておく。
例えば、本実施形態のように音叉型水晶振動素子等を加速度センサとして加速度検出を行う場合は、加速度値と、センサ周波数の周波数変位とが比例関係になる。即ち、
加速度∝Δセンサ周波数(FM検波出力)
の関係を満たすことになる。
しかし、本実施形態では、位相比較回路7において加速度センサから得られる2つの周波数の位相比較しているので、位相比較回路7からは位相検波出力Φが得られることになる。そして、この位相検波出力ΦはΔセンサ周波数を積分値と等しくなる。即ち、
位相検波出力Φ=∫センサ周波数(FM検波出力)
の関係を満たすことになる。
例えば、本実施形態のように音叉型水晶振動素子等を加速度センサとして加速度検出を行う場合は、加速度値と、センサ周波数の周波数変位とが比例関係になる。即ち、
加速度∝Δセンサ周波数(FM検波出力)
の関係を満たすことになる。
しかし、本実施形態では、位相比較回路7において加速度センサから得られる2つの周波数の位相比較しているので、位相比較回路7からは位相検波出力Φが得られることになる。そして、この位相検波出力ΦはΔセンサ周波数を積分値と等しくなる。即ち、
位相検波出力Φ=∫センサ周波数(FM検波出力)
の関係を満たすことになる。
そこで、本実施形態の加速度検出装置では微分回路9を設け、微分回路9において、LPF8から出力信号として出力される位相検波出力Φを微分することにより加速度値を得るようにしている。即ち、
FM検波=dΦ/dt∝加速度
の関係を満たすことになる。
微分回路9で微分された信号は、バッファアンプ10を介して加速度検出信号Sαとして出力される。また微分回路9から出力される信号の一部はDCサーボ回路11に入力される。
DCサーボ回路11は、例えば、抵抗R及びコンデンサCからなる時定数回路とオペアンプOP等により構成され、LPF8の出力信号を遅延させて制御電圧VcontとしてVCXO2にフィードバックするようにしている。
FM検波=dΦ/dt∝加速度
の関係を満たすことになる。
微分回路9で微分された信号は、バッファアンプ10を介して加速度検出信号Sαとして出力される。また微分回路9から出力される信号の一部はDCサーボ回路11に入力される。
DCサーボ回路11は、例えば、抵抗R及びコンデンサCからなる時定数回路とオペアンプOP等により構成され、LPF8の出力信号を遅延させて制御電圧VcontとしてVCXO2にフィードバックするようにしている。
図2は本実施形態の加速度検出装置に備られる第1及び第2の音叉型水晶振動素子の構成を模式的に示した図である。
この図2に示すように第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bは、それぞれ並列に配置された2本の振動腕21a、21bと、この2本の振動腕21a、21bの延長方向一端を結合する結合部22とから成る。そして、第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bの各結合部22を、当該音叉型水晶振動素子20a、20bがそれぞれ搭載される基板(図示しない)に固定するようにしている。なお、結合部22は基板と接続する固定部である。このとき、図2に示すように第1の音叉型水晶振動素子20aの各振動腕21a、21bと第2の音叉型水晶振動素子20bの各振動腕21a、21bの延長方向を加速度検出軸方向に一致させ、且つ、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bの自由端部と第2の音叉型水晶振動素子20bの振動腕21a、21bの自由端部を対向配置する、或いは第1の音叉型水晶振動素子20aの結合部22と第2の音叉型水晶振動素子20bの結合部22を対向配置するようにした。即ち、振動腕21a、振動腕21bの延長方向が各音叉型水晶振動素子20a、20bとの間で互いに逆向きとなるようにした。
この図2に示すように第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bは、それぞれ並列に配置された2本の振動腕21a、21bと、この2本の振動腕21a、21bの延長方向一端を結合する結合部22とから成る。そして、第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bの各結合部22を、当該音叉型水晶振動素子20a、20bがそれぞれ搭載される基板(図示しない)に固定するようにしている。なお、結合部22は基板と接続する固定部である。このとき、図2に示すように第1の音叉型水晶振動素子20aの各振動腕21a、21bと第2の音叉型水晶振動素子20bの各振動腕21a、21bの延長方向を加速度検出軸方向に一致させ、且つ、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bの自由端部と第2の音叉型水晶振動素子20bの振動腕21a、21bの自由端部を対向配置する、或いは第1の音叉型水晶振動素子20aの結合部22と第2の音叉型水晶振動素子20bの結合部22を対向配置するようにした。即ち、振動腕21a、振動腕21bの延長方向が各音叉型水晶振動素子20a、20bとの間で互いに逆向きとなるようにした。
このように構成される第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bは、図示しない駆動電極に交流電圧を印加すると、並列する2本の振動腕21a、21bが破線で示すように対称的に屈曲振動する。そして、屈曲振動している状態で、例えば、図2に示す矢印方向の加速度αが加わると、第1の音叉型水晶振動素子20aには見かけ上では加速度αの方向とは逆方向の慣性力が発生するので、この影響により音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bは加速度αに対して逆の方向へ引っ張られる引張応力を受けることになる。この場合、第1の音叉型水晶振動素子20aの周波数は引張応力の影響を受けて高くなる。一方、第2の音叉型水晶振動素子20bにも見かけ上では加速度αの方向とは逆方向の慣性力が発生するので、この影響により音叉型水晶振動素子20bの振動腕21a、21bは、結合部22の方向へ圧縮する圧縮応力を受けることになる。この場合、第2の音叉型水晶振動素子20bの周波数は圧縮応力の影響を受けて低くなる。
そこで、本実施形態では、このような第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bに加速度が加わったとき発生する周波数変化に基づき加速度検出信号Sαを得るようにしている。
そこで、本実施形態では、このような第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bに加速度が加わったとき発生する周波数変化に基づき加速度検出信号Sαを得るようにしている。
このような音叉型水晶振動素子20a、20bは、従来のMEMS加速度センサに比べて、ダイナミックレンジが広く(例えば±3g〜±400g)、しかも高リニアリティ(例えば、0.05%F.S.)で温度感度安定度が良いといった利点がある。
そして、加速度検出軸方向と振動腕21a、21bとの延長方向とを一致させることができるので加速度検出軸方向と垂直方向(基板面に垂直な方向)に対する低背化にも有利である。
なお、図2においては説明を分かり易くするために音叉型水晶振動素子20a、20bの屈曲振動の概念を破線により示したが、実際には音叉型水晶振動素子20の形状自体は殆ど変位しないものである。
そして、加速度検出軸方向と振動腕21a、21bとの延長方向とを一致させることができるので加速度検出軸方向と垂直方向(基板面に垂直な方向)に対する低背化にも有利である。
なお、図2においては説明を分かり易くするために音叉型水晶振動素子20a、20bの屈曲振動の概念を破線により示したが、実際には音叉型水晶振動素子20の形状自体は殆ど変位しないものである。
以下、上記した音叉型水晶振動素子の特性を踏まえて本実施形態の加速度検出装置1の動作を説明する。
図3は共振回路5の移相特性を示した図である。
ここでは、動作説明を分かり易くするために、第1の音叉型水晶振動素子20aと第2の音叉型水晶振動素子20bの加速度検出に伴う動作を分けて説明する。
先ず、第1の音叉型水晶振動素子20aでの加速度検出に伴う動作ついて説明する。
定速運動状態における共振回路5の移相特性を、図3に実線で示すような特性に設定しておく。この場合、共振回路5では、周波数Aの信号が入力されたときは、入力信号と共振回路5から出力される出力信号との位相差は「0」となる。
ここで、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21b延長方向へ加速運動が生じ、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bに圧縮方向の慣性力が加わったとする。すると、第1の音叉型水晶振動素子20aは慣性力の影響を受けて周波数が低下する。第1の音叉型水晶振動素子20aの周波数が周波数Aから周波数Bに低下した場合、共振回路5に入力される信号の周波数はAからBに低下するので、入力信号と共振回路5から出力される信号との位相差としてΔABが得られることになる。
図3は共振回路5の移相特性を示した図である。
ここでは、動作説明を分かり易くするために、第1の音叉型水晶振動素子20aと第2の音叉型水晶振動素子20bの加速度検出に伴う動作を分けて説明する。
先ず、第1の音叉型水晶振動素子20aでの加速度検出に伴う動作ついて説明する。
定速運動状態における共振回路5の移相特性を、図3に実線で示すような特性に設定しておく。この場合、共振回路5では、周波数Aの信号が入力されたときは、入力信号と共振回路5から出力される出力信号との位相差は「0」となる。
ここで、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21b延長方向へ加速運動が生じ、第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bに圧縮方向の慣性力が加わったとする。すると、第1の音叉型水晶振動素子20aは慣性力の影響を受けて周波数が低下する。第1の音叉型水晶振動素子20aの周波数が周波数Aから周波数Bに低下した場合、共振回路5に入力される信号の周波数はAからBに低下するので、入力信号と共振回路5から出力される信号との位相差としてΔABが得られることになる。
一方、上記した第1の音叉型水晶振動素子20aの振動腕21a、21bに圧縮方向の慣性力が加わった場合、共振回路5に備えられている第2の音叉型水晶振動素子20bでは、振動腕21a、21bに引っ張り方向の慣性力が加わるので、第2の音叉型水晶振動素子20bは、慣性力の影響を受けて周波数が高くなる。この場合、共振回路5の移相特性は、図3に実線で示した特性から破線で示した特性へと推移することになる。即ち、特性が全体的に高周波側へシフトしたようになる。
従って、第1の音叉型水晶振動素子20aの周波数が周波数Aから周波数Bに低下した場合、共振回路5から出力される信号の位相は、ΔABの約2倍のΔAB’の位相差を有するものとなる。
従って、このような本実施形態の加速度検出装置1においては、共振回路5の出力信号とVCXO2の出力信号との位相を位相比較回路7で比較し、その位相比較結果をLPF8により直流化し、さらに微分回路9で微分することにより、VCXO2に備えた第1の音叉型水晶振動素子20aと、共振回路5に備えた第2の音叉型水晶振動素子20bとを利用して加速度を検出することが可能になる。
従って、第1の音叉型水晶振動素子20aの周波数が周波数Aから周波数Bに低下した場合、共振回路5から出力される信号の位相は、ΔABの約2倍のΔAB’の位相差を有するものとなる。
従って、このような本実施形態の加速度検出装置1においては、共振回路5の出力信号とVCXO2の出力信号との位相を位相比較回路7で比較し、その位相比較結果をLPF8により直流化し、さらに微分回路9で微分することにより、VCXO2に備えた第1の音叉型水晶振動素子20aと、共振回路5に備えた第2の音叉型水晶振動素子20bとを利用して加速度を検出することが可能になる。
また本実施形態では、従来のように電圧制御型発振回路を設けることなく構成することができるので、従来の振動式センサ回路のように、加速度以外の強い衝撃が加わった場合でも発振が停止するといったことがない。
さらに本実施形態では、第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bを加速度検出方向に対して対向配置しているので、音叉型水晶振動素子が1つの場合に比べて位相比較回路7から出力される位相差信号のレベルを約2倍に高めることができる。これにより加速度の検出感度を約2倍に高めることができる。
また本実施形態のように、音叉型水晶振動素子20a、20bを用いて加速度センサを構成した場合は、従来のMEMS加速度センサに比べて、ダイナミックレンジが広く、しかも高リニアリティで、感度の温度安定度が良いといった利点もある。
さらに本実施形態では、第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bを加速度検出方向に対して対向配置しているので、音叉型水晶振動素子が1つの場合に比べて位相比較回路7から出力される位相差信号のレベルを約2倍に高めることができる。これにより加速度の検出感度を約2倍に高めることができる。
また本実施形態のように、音叉型水晶振動素子20a、20bを用いて加速度センサを構成した場合は、従来のMEMS加速度センサに比べて、ダイナミックレンジが広く、しかも高リニアリティで、感度の温度安定度が良いといった利点もある。
さらに本実施形態ではLPF8の出力に応じた制御電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックしている。このようなDCサーボ回路11によるフィードバック制御がない場合、例えばVCXO2の発振周波数や共振回路5の共振周波数が温度ドリフトにより変化した場合、加速度が「0」であるにも関わらず位相差が発生してしまう。因みに、第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bの周波数が同じように温度ドリフトした場合でもVCXO2及び共振回路5の回路構成の違いにより位相差が発生する。
そこで、本実施形態では、LPF8の出力に応じた制御電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックすることで、例えばVCXO2の発振周波数や共振回路5の共振周波数の温度ドリフトを補正するようにした。これにより温度ドリフト等の影響がない高精度の加速度検出が可能になる。
そこで、本実施形態では、LPF8の出力に応じた制御電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックすることで、例えばVCXO2の発振周波数や共振回路5の共振周波数の温度ドリフトを補正するようにした。これにより温度ドリフト等の影響がない高精度の加速度検出が可能になる。
また例えば図9に示す従来の振動センサ回路100においては、ドライブ回路102の位相比較器102cのDC出力(制御電圧)を応力値信号(加速度信号)として利用することも考えられる。しかしながら、通常、電圧制御発振器102aにはLC共振器やCR共振器が用いられ、このような共振器を有する電圧制御発振器102aは、図4に示すように制御電圧Vcontに対する周波数変化量が大きい。即ち、周波数感度特性が高い。このため、従来の振動センサ回路100において共振周波数を検知結果とせずに、位相比較器102cの制御電圧Vcontを応力値信号(加速度信号)の検知結果として利用する場合は、周波数変化量に対する制御電圧Vcontの変化量が小さく検知感度が高いセンサを実現することができない。
これに対して、本実施形態の加速度検出装置1では、VCXO2の制御電圧を加速度信号として利用するようにしている。VCXO2は、制御電圧に対する周波数可変範囲がVCOに比べて狭い(周波数制御感度が低い)ため、加速動作に伴う周波数変化に対してLPF8の出力電圧(制御電圧)の変化を大電流化(高電位化)することができる。この結果、加速度変化に対して高感度センサを実現することができる。
これに対して、本実施形態の加速度検出装置1では、VCXO2の制御電圧を加速度信号として利用するようにしている。VCXO2は、制御電圧に対する周波数可変範囲がVCOに比べて狭い(周波数制御感度が低い)ため、加速動作に伴う周波数変化に対してLPF8の出力電圧(制御電圧)の変化を大電流化(高電位化)することができる。この結果、加速度変化に対して高感度センサを実現することができる。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る加速度検出装置の構成を示したブロック図である。なお、図1に示す加速度検出装置1と同一ブロックには同一符号を付して詳細な説明は省略する。上記図1に示した加速度検出装置1ではLPF8の出力に応じた制御電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックしているのに対して、図5に示す加速度検出装置30では、微分回路9の出力に応じた制御電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックしている点が異なる。このように構成すると、微分回路9の電気的特性の影響により定加速状態にも関わらず、位相比較回路7の出力に基づく電圧にドリフトが生じたとしても補正することが可能になる。
図6は、本発明の第3の実施形態に係る加速度検出装置の構成を示したブロック図である。なお、図1に示す加速度検出装置1と同一ブロックには同一符号を付して詳細な説明は省略する。図6に示した加速度検出装置31では、バッファアンプ10の出力電圧を、DCサーボ回路11を介してVCXO2にフィードバックしている点が異なる。このように構成すると、微分回路9とバッファアンプ10の電気的特性の影響により定加速状態にも関わらず、位相比較回路7の出力に基づく電圧にドリフトが生じたとしても補正することが可能になる。
またこれまで説明した第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bの構成はあくまでも一例であり、本発明の音叉型水晶振動素子としては、例えば図7に示すような双音叉型水晶振動子を用いることも可能である。
図7に示す双音叉型水晶振動素子23は、並列に配置された2本の振動腕21a、21bと、この2本の振動腕21a、21bの延長方向の両端を夫々結合した結合部22a、22bとから成る。そして、この場合は、例えば、結合部22a、22bの内、一方の結合部22aだけを双音叉型水晶振動素子23が搭載される基板(図示しない)に固定し、他方を自由端とすれば良い。なお、結合部22aは基板と接続する固定部である。
双音叉型水晶振動素子23を用いて本実施形態の加速度検出装置を構成した場合は、自由端側の結合部22bが重りとして機能するため大きな慣性力を発生させることができるので、上記した音叉型水晶振動素子20a、20bより加速度感度を高めることができる。
図7に示す双音叉型水晶振動素子23は、並列に配置された2本の振動腕21a、21bと、この2本の振動腕21a、21bの延長方向の両端を夫々結合した結合部22a、22bとから成る。そして、この場合は、例えば、結合部22a、22bの内、一方の結合部22aだけを双音叉型水晶振動素子23が搭載される基板(図示しない)に固定し、他方を自由端とすれば良い。なお、結合部22aは基板と接続する固定部である。
双音叉型水晶振動素子23を用いて本実施形態の加速度検出装置を構成した場合は、自由端側の結合部22bが重りとして機能するため大きな慣性力を発生させることができるので、上記した音叉型水晶振動素子20a、20bより加速度感度を高めることができる。
また、本実施形態では、VCXO2と共振回路5との間にVCXO2から出力される正弦波信号を移相する移相回路として90°移相回路4を設けるようにしているが、移相回路は必ずしも90°移相回路である必要はない。また、位相比較回路7の特性によっては移相回路を必ずしも設ける必要はない。但し、VCXO2と共振回路5との間に移相回路を設け、VCXO2から分岐して出力される出力信号の一方を、位相比較回路7の位相特性に併せて移相することで、位相比較回路7において第1及び第2の音叉型水晶振動素子20a、20bから出力される出力信号の位相差を確実に検出することが可能になる。特に、本実施形態のように位相比較回路7が90°位相比較回路であり、移相回路として90°移相回路を設けると、位相比較回路7において第1及び第2の音叉型水晶振動素子から出力される出力信号の位相差から加速度の向きを検出することが可能になる。つまり、図2に於いて加速度αの方向であるか加速度αと逆の方向であるかを検出可能になる。
即ち、位相比較回路7が0°位相比較回路である場合、位相比較回路7からは定速度状態から加速度が増減した何れの状況に対しても位相差が大きくなるような出力結果が得られる。従ってこの場合は、加速度の方向を確認することはできない。
一方、本実施形態のように位相比較回路7が90°位相比較回路であり、90°移相回路4を設けた構成では、位相比較回路7の出力結果は、例えば定速度状態から加速した場合であれば位相差が大きくなるような信号が、また定速度状態から減速した場合であれば位相差が小さくなるような信号となる。従ってこの場合は、加速度の方向を確認することができる。
また、本実施形態では、VCXO2は出力信号波形を正弦波としているため、位相比較回路7の前段に第1の矩形化回路を設けるようにしているが、例えば発振回路2を正弦波信号と矩形波信号との2出力型水晶発振器であれば、第1の矩形化回路3を設ける必要はない。
一方、本実施形態のように位相比較回路7が90°位相比較回路であり、90°移相回路4を設けた構成では、位相比較回路7の出力結果は、例えば定速度状態から加速した場合であれば位相差が大きくなるような信号が、また定速度状態から減速した場合であれば位相差が小さくなるような信号となる。従ってこの場合は、加速度の方向を確認することができる。
また、本実施形態では、VCXO2は出力信号波形を正弦波としているため、位相比較回路7の前段に第1の矩形化回路を設けるようにしているが、例えば発振回路2を正弦波信号と矩形波信号との2出力型水晶発振器であれば、第1の矩形化回路3を設ける必要はない。
図8は2出力型VCXOの回路構成例を示した図である。
この図8に示す2出力型VCXOは、インバータ回路40が3つのCMOSインバータIC11、IC12、IC13の直列接続によって構成されている。
この場合、各CMOSインバータIC11、IC12、IC13の入出力間には、自己バイアス用の第1の帰還抵抗R11、R12、R13がそれぞれ並列に接続されている。またCMOSインバータIC11の入力とCMOSインバータIC12の出力との間には、正帰還回路41として水晶振動素子20、可変コンデンサTC、及びコンデンサC11を直列に接続した直列回路が並列に接続されている。
コンデンサC11と可変コンデンサTCとの接続点は、第2の帰還抵抗R14を介してインバータ回路40の出力であるCMOSインバータIC13の出力に接続されている。またコンデンサC11と可変コンデンサTCとの接続点と接地(GND)との間にはコンデンサC12が設けられている。さらにインバータ回路40の出力には、ノイズ除去用のコンデンサC13が接続されている。
この図8に示す2出力型VCXOは、インバータ回路40が3つのCMOSインバータIC11、IC12、IC13の直列接続によって構成されている。
この場合、各CMOSインバータIC11、IC12、IC13の入出力間には、自己バイアス用の第1の帰還抵抗R11、R12、R13がそれぞれ並列に接続されている。またCMOSインバータIC11の入力とCMOSインバータIC12の出力との間には、正帰還回路41として水晶振動素子20、可変コンデンサTC、及びコンデンサC11を直列に接続した直列回路が並列に接続されている。
コンデンサC11と可変コンデンサTCとの接続点は、第2の帰還抵抗R14を介してインバータ回路40の出力であるCMOSインバータIC13の出力に接続されている。またコンデンサC11と可変コンデンサTCとの接続点と接地(GND)との間にはコンデンサC12が設けられている。さらにインバータ回路40の出力には、ノイズ除去用のコンデンサC13が接続されている。
さらに、コンデンサC12と接地(GND)との間に可変容量ダイオードD1を設けるようにしている。この場合、可変容量ダイオードD1のアノードは接地され、カソードはコンデンサC12に接続されることになる。さらに可変容量ダイオードD1のカソードには抵抗R15を介して周波数調整用のコントロール電圧Vcontが印加される。このように構成されるVCXOでは、第2の帰還抵抗R14、水晶振動素子20、コンデンサC11、C12、可変コンデンサTC、及び可変容量ダイオードD1等により発振ループが形成される。従って、可変容量ダイオードD1のカソードに抵抗R15を介して制御電圧Vcontを印加して可変容量ダイオードD1の容量を可変することで、発振ループの負荷容量を変化させて発振周波数が所定の発振周波数となるよう制御している。
このように構成される2出力型VCXOではインバータ回路40のCMOSインバータIC13から矩形波信号を得ることができる。
このように構成される2出力型VCXOではインバータ回路40のCMOSインバータIC13から矩形波信号を得ることができる。
また、インバータ回路40から出力される矩形波信号は、第2の帰還抵抗R14、可変コンデンサTC、水晶振動素子20を介してインバータ回路40の入力側へ正帰還されることになる。このとき水晶振動素子20はフィルタとして機能することから、インバータ回路40の出力側から水晶振動素子20を介してインバータ回路40の入力側に正帰還される矩形波信号は、水晶振動素子20においてスプリアス成分が濾過される。
従って、インバータ回路40の出力側において矩形波であった帰還信号は入力側において正弦波となる。そこで、この場合の2出力型VCXOではインバータ回路40の入力側から正弦波信号を出力するようにした。このようにすれば、1つの回路から矩形波信号と正弦波信号を出力することが可能になる。
従って、インバータ回路40の出力側において矩形波であった帰還信号は入力側において正弦波となる。そこで、この場合の2出力型VCXOではインバータ回路40の入力側から正弦波信号を出力するようにした。このようにすれば、1つの回路から矩形波信号と正弦波信号を出力することが可能になる。
1…加速度検出装置、2…発振器、3…第1の矩形化回路、4…90°移相回路、5…共振回路、6…第2の矩形化回路、7…位相比較回路、8…LPF、9…微分回路、10…バッファアンプ、11…DCサーボ回路、20a、20b…音叉型水晶振動素子、21a、21b…振動腕、22…結合部、23…双音叉型水晶振動素子、30、31…加速度検出装置
Claims (7)
- 第1の音叉型振動素子を共振素子として備えた電圧制御型圧電発振回路と、
第2の音叉型振動素子を備え、当該第2の音叉型振動素子により決定される共振周波数に基づいて前記電圧制御型圧電発振回路から出力される出力信号を移相する共振回路と、
前記電圧制御型圧電発振回路から出力される出力信号と前記共振回路から出力される出力信号の位相を比較する位相比較回路と、
前記位相比較回路から出力される位相差信号を直流化して出力するローパスフィルタと、
前記ローパスフィルタから出力される出力信号を微分する微分回路と、
時定数回路を備え前記ローパスフィルタ以降の出力信号に応じた制御電圧を前記電圧制御型圧電発振回路にフィードバックする直流サーボ回路と、を備え、
前記第1及び第2の音叉型振動素子は、それぞれ並列に配置された2本の振動腕と、該2本の振動腕の延長方向一端を結合する結合部とを有し、前記第1及び第2の音叉型振動素子の各振動腕の延長方向を加速度検出方向と一致させ、且つ、前記第1及び第2の音叉型振動素子を対向配置したうえで、前記微分回路から出力される出力信号を加速度検出信号として出力することを特徴とする加速度検出装置。 - 前記電圧制御型圧電発振回路と前記位相比較回路との間に設けられ、前記電圧制御型圧電発振回路の出力信号を矩形化して出力する第1の矩形化回路と、
前記共振回路と前記位相比較回路との間に設けられ、前記共振回路の出力信号を矩形化して出力する第2の矩形化回路と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の加速度検出装置。 - 前記電圧制御型圧電発振回路と前記共振回路との間に設けられ、前記電圧制御型圧電発振回路の出力信号を移相する移相回路を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度検出装置。
- 前記移相回路は、90°移相回路であることを特徴とする請求項3に記載の加速度検出装置。
- 前記第1及び第2の音叉型振動素子は双音叉型振動素子であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の加速度検出装置。
- 前記直流サーボ回路は、前記微分回路の出力信号に応じた制御電圧を前記電圧制御型圧電発振回路にフィードバックすることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の加速度検出装置。
- 前記微分回路から出力される出力信号を緩衝する緩衝増幅回路を備え、前記直流サーボ回路は、前記緩衝増幅回路の出力信号に応じた制御電圧を前記電圧制御型圧電発振回路にフィードバックすることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の加速度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006339487A JP2008151632A (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 加速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006339487A JP2008151632A (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 加速度検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008151632A true JP2008151632A (ja) | 2008-07-03 |
Family
ID=39653945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006339487A Withdrawn JP2008151632A (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 加速度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008151632A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010123032A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノードチップおよびセンサノードシステム |
JP2010123033A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノード装置およびセンサノードシステム |
-
2006
- 2006-12-18 JP JP2006339487A patent/JP2008151632A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010123032A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノードチップおよびセンサノードシステム |
JP2010123033A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノード装置およびセンサノードシステム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8875578B2 (en) | Electronic damper circuit for MEMS sensors and resonators | |
US8183944B2 (en) | Method and system for using a MEMS structure as a timing source | |
US8754694B2 (en) | Accurate ninety-degree phase shifter | |
US6938483B1 (en) | Phase-locked mechanical resonator pair and its application in micromachined vibration gyroscope | |
US20080297264A1 (en) | Oscillating Circuit | |
US8656775B2 (en) | Vibratory gyro-sensor and vibratory gyro circuit | |
US9252707B2 (en) | MEMS mass bias to track changes in bias conditions and reduce effects of flicker noise | |
JP2008151632A (ja) | 加速度検出装置 | |
WO2001036910A1 (en) | Angular speed sensor | |
JP2011002295A (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2008151631A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008157766A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008170307A (ja) | 加速度検出装置 | |
US8471641B2 (en) | Switchable electrode for power handling | |
EP1867967A2 (en) | Vibration sensor | |
JP2008151630A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008157767A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008190884A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP5208063B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2008190925A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008170308A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP4775576B2 (ja) | 速度センサおよびその調整方法 | |
JP2009250816A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008256580A (ja) | 加速度検出装置 | |
JP2008082841A (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100302 |