JP2008145208A - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008145208A JP2008145208A JP2006331297A JP2006331297A JP2008145208A JP 2008145208 A JP2008145208 A JP 2008145208A JP 2006331297 A JP2006331297 A JP 2006331297A JP 2006331297 A JP2006331297 A JP 2006331297A JP 2008145208 A JP2008145208 A JP 2008145208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- semiconductor inspection
- inspection apparatus
- metal layer
- carbon nanotube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
耐久性が高く、正確な診断の可能な半導体検査装置を提供する。
【解決手段】
複数の探針と、被検体を観察する走査型,透過型等の電子顕微鏡を有し、探針を被検体に接触させて半導体装置等の微小部の電気測定を行う半導体検査装置であって、探針は、少なくとも基体と、基体に固定されたカーボンナノチューブと、金属伝導性の表面膜とを有し、表面膜は炭素と結合する第一の金属層と、導電性の高い第二の金属層からなる。第一の金属層の例として、Ti,Cr,Mo,Nb,Ta、もしくはSn、第二の金属層の例として、金,パラジウム,イリジウム,プラチナが挙げられる。カーボンナノチューブを用いることにより塑性変形を防止するとともに、探針の導通をとりやすくし、半導体装置の性能を向上させるものである。
【選択図】図1
Description
Pt,W等の金属がよい。特に、金は耐衝撃性が高く、タングステンは接着強度が高いので好ましい。また、これらの金属を混合・併用したり、または接着範囲の一部ずつを異材で接着してもよい。
タングステンの基体の上にカーボンナノチューブを固定した探針について説明する。基体の先端にカーボンナノチューブを接合し探針とした。本実施例では基体をタングステン製とした。また、接合材としてタングステン金属を用いた。タングステン金属の接合材は、W(CO)6もしくはWF6を電子線で分解し、カーボンナノチューブと基体とを固定する位置に析出させることが可能である。カーボンナノチューブは、基体から先端部が突き出すように固定した。
10-5Paとした。真空度を下げてから、NdのYAGパルスレーザー(10Hz,レーザーエネルギー:140mJ,波長:355nm,パルス継続時間:5ns)をチタンターゲットに焦点を合わせ照射した。チタンターゲットから金属を蒸発させて、蒸発した金属が放射状に飛散し、飛散方向に設置されたカーボンナノチューブ表面に前記蒸発金属を堆積させた。次に、金のターゲットについて、チタンターゲットと同じ条件でレーザーを照射し、カーボンナノチューブの表面に蒸発金属を堆積させた。
上記実施例1で作成した探針を用いて半導体の検査装置を作成した。半導体検査装置は、電子顕微鏡で半導体検査装置のデバイス,配線のパターンを観察し、かつ複数の探針を用いて半導体V/A特性や、断線を検査する等の電気測定を行う。
2 探針制御装置
3 半導体特性評価装置
4 電子線
5 被検体
6 試料台(ステージ)
7 カーボンナノチューブ
8 第一の金属層
9 第二の金属層
10 基体
11 被検体電極
12 ターゲット
13 金属蒸気
14 レーザー光
15 CVD装置
16 電子線照射機構
17 金属ガス
18 ガス銃
19 突起部
20 異物層
21 接合材
Claims (7)
- 探針と、前記探針を駆動する探針駆動装置と、前記探針に電圧を印加し、通電させる電源と、前記探針に流れる電流を計測する計測器と、を有する半導体検査装置であって、
被検体または前記探針を観察する電子顕微鏡を有し、
前記探針は、カーボンナノチューブと、前記カーボンナノチューブを固定する金属性の基体とを有し、前記カーボンナノチューブは炭素との化合物を形成する金属からなる第一の金属層と、金,パラジウム,イリジウム,プラチナからなる表面層とを有することを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項1に記載された半導体検査装置であって、
前記第一の金属層は、Ti,Cr,Mo,Nb,Ta、もしくはSnであることを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項1に記載された半導体検査装置であって、
前記表面層の厚さが5〜10nmであることを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項1に記載された半導体検査装置であって、
前記表面膜の膜厚はカーボンナノチューブの試料側よりも同基体側が厚い膜であることを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項1に記載された半導体検査装置であって、
前記下地膜の膜厚は2.5〜5nm であることを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項1に記載された半導体検査装置であって、
前記基体は突起部を有することを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項6に記載された半導体検査装置であって、前記突起部はタングステンを含有することを特徴とする半導体検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006331297A JP2008145208A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006331297A JP2008145208A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008145208A true JP2008145208A (ja) | 2008-06-26 |
Family
ID=39605559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006331297A Pending JP2008145208A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008145208A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010210449A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 導電性ナノチューブ探針、それを用いた電気特性評価装置及び走査型プローブ顕微鏡 |
JP2011040052A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Qinghua Univ | タッチパネル及びそれを利用したディスプレイ |
JP2018535130A (ja) * | 2015-09-14 | 2018-11-29 | リンテック オブ アメリカ インコーポレーテッドLintec of America, Inc. | 接着剤と1つ又は複数のナノファイバーシートとを備える複数層複合材 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996017378A1 (en) * | 1994-11-15 | 1996-06-06 | Formfactor, Inc. | Electrical contact structures from flexible wire |
JP2000233911A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | カーボンナノチューブの加工方法 |
JP2002203471A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-19 | Iimu Jisuun | フィールド・エミッタ |
JP2004010978A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高熱伝導性放熱材料及びその製造方法 |
JP2005049186A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Kishun Kin | 走査型トンネル顕微鏡の探針及びその製造方法 |
JP2005265435A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Asahi Techno Glass Corp | 微小領域の物性評価方法及びそれに用いる走査型プローブ顕微鏡 |
JP2006300687A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プローブ作製方法および装置並びにこれをもちいた不良検査装置 |
-
2006
- 2006-12-08 JP JP2006331297A patent/JP2008145208A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996017378A1 (en) * | 1994-11-15 | 1996-06-06 | Formfactor, Inc. | Electrical contact structures from flexible wire |
JP2000233911A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | カーボンナノチューブの加工方法 |
JP2002203471A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-19 | Iimu Jisuun | フィールド・エミッタ |
JP2004010978A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高熱伝導性放熱材料及びその製造方法 |
JP2005049186A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Kishun Kin | 走査型トンネル顕微鏡の探針及びその製造方法 |
JP2005265435A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Asahi Techno Glass Corp | 微小領域の物性評価方法及びそれに用いる走査型プローブ顕微鏡 |
JP2006300687A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プローブ作製方法および装置並びにこれをもちいた不良検査装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010210449A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 導電性ナノチューブ探針、それを用いた電気特性評価装置及び走査型プローブ顕微鏡 |
JP2011040052A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Qinghua Univ | タッチパネル及びそれを利用したディスプレイ |
JP2018535130A (ja) * | 2015-09-14 | 2018-11-29 | リンテック オブ アメリカ インコーポレーテッドLintec of America, Inc. | 接着剤と1つ又は複数のナノファイバーシートとを備える複数層複合材 |
US10717844B2 (en) | 2015-09-14 | 2020-07-21 | Lintec Corporation | Multilayer conformable composites |
US10995195B2 (en) | 2015-09-14 | 2021-05-04 | Lintec Of America, Inc. | Composite nanofiber sheet |
US11377537B2 (en) | 2015-09-14 | 2022-07-05 | Lintec Of America, Inc. | Multilayer composites comprising adhesive and one or more nanofiber sheets |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4688400B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用探針 | |
JP5036892B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
US9067791B2 (en) | Embedded arrays of vertically aligned carbon nanotube carpets and methods for making them | |
JP4644723B2 (ja) | ナノチューブ探針を有する測定装置 | |
JP2692781B2 (ja) | パターン書き込み方法及びその装置 | |
EP2278306A1 (en) | Method for inspecting a sample | |
WO2010146773A1 (ja) | 微小接触式プローバ | |
JP2002162337A (ja) | 集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ | |
US7707962B2 (en) | Apparatus for forming carbon nanotube film | |
JP2006349463A (ja) | 表面増強ラマン分光分析用治具及びその製造方法 | |
TW201122496A (en) | Contact probe pin | |
JP2008145208A (ja) | 半導体検査装置 | |
US20100006447A1 (en) | Method of preparing an ultra sharp tip, apparatus for preparing an ultra sharp tip, and use of an apparatus | |
JP2005351720A (ja) | 走査型顕微鏡用プローブ | |
KR101781312B1 (ko) | 전기적 접점 부재 | |
CN102107854B (zh) | 一种多壁碳纳米管电极的制作方法 | |
US20050089463A1 (en) | Method for fabricating nanometer-scale structure | |
JP4539817B2 (ja) | 炭素ナノ構造体の製造方法 | |
JP2014048165A (ja) | 分析用除電部材 | |
US20100206720A1 (en) | Method of producing inorganic nanoparticles | |
JP5049358B2 (ja) | 半導体検査装置用コンタクトプローブピンの基材上にタングステン含有ダイヤモンドライクカーボン皮膜を製造する方法 | |
JP2008046324A (ja) | 顕微鏡微細作業用マイクロマニピュレーション装置 | |
CA2020708A1 (en) | Coated substrates and process | |
JP4631004B2 (ja) | ナノギャップ電極の製造方法 | |
JP2001021478A (ja) | 走査プローブ顕微鏡用探針、その製造法および描画装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110426 |