JP2008140610A - ディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】構造物形成材料層の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】基板６００上に構造物形成材料層６０１を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層６０１上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層６０１およびマスクパターンに対して切削材を噴射しつつ構造物形成材料層６０１上を移動可能な噴射ガンを備えたサンドブラスト装置によりマスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層６０１を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、構造物形成工程において、構造物形成材料層６０１のムラに応じて噴射ガンを制御することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【選択図】図６

Description

本発明は、基板上に形成された構造体形成材料層をサンドブラスト加工により所定の形状に形成するディスプレイパネルの製造方法に関する。

従来、ディスプレイパネルとして、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶表示パネル、有機ＥＬ（Electro Luminescence）パネル、ＦＥＤ（Field Emission Display）、電気泳動ディスプレイパネルなどがある。これらディスプレイパネルは、表示面を構成する前面基板、および、この背面側に設けられた背面基板を備えており、これら基板上には発光領域を構成する様々な構造物が適宜設けられている。このような構造物としては、例えば、プラズマディスプレイパネルにおいては、発光領域を複数の単位発光領域に区画するリブや、各単位発光領域において放電発光させるためのアドレス電極およびバス電極等、これら電極等を被覆する誘電体層等が挙げられる。
ここで、プラズマディスプレイパネルの背面板となる基板上にリブを形成する際に用いられるサンドブラスト装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１のサンドブラスト装置は、基板を搬送する搬送ローラと、この搬送ローラによる搬送方向と直交する方向に往復移動しながら切削材を噴射する噴射ガンと、などを備えている。そして、基板上にリブを形成する際には、まず、基板上にガラスペーストを塗布乾燥した後、このガラスペースト上におけるリブとなる部分に、耐サンドブラスト性を有するマスクを形成する。この後、この基板を搬送ローラにて所定方向に搬送するとともに、噴射ガンを基板の搬送方向と直交する方向に往復移動させながら切削材を基板に向けて噴射することにより、マスクが形成されていない部分のガラスペーストを切削してリブを形成する。

特開２００５−１８６２０４

ところで、従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法において、例えば、ガラスペーストにムラが発生するという問題が一例としてあげられる。主なムラとして、ガラスペーストを塗布した後、乾燥時に発生する乾燥ムラが挙げられる。例えば、図１に、乾燥ムラが発生した時の基板６００の断面を示す。基板６００に塗布された構造物形成材料層６０１であるガラスペーストは、端部ほど乾燥しやすいため、端部が盛り上がり、ヒケと呼ばれる肉厚部６０１Ａが形成される。

これに対し、従来のサンドブラスト装置を用いたリブの形成においては、図２に示すように、基板上での噴射ガンの移動速度が一定になるように、噴射ガンを往復移動させていた。ここで、図２は、噴射ガンの位置と速度との関係を示すグラフであり、噴射ガンの位置に合わせて基板６００が示されている。図２中の折れ線Ｐ_０は、噴射ガンの移動速度を示し、上方に位置するほど移動速度が大きい。すなわち、噴射ガンは、一端側の停止位置Ａから加速移動を開始し、基板６００より手前の位置Ｂにおいて一定の速度に達した後、その速度を維持しつつ基板６００上を移動する。そして、基板６００から外れた位置Ｃから減速を開始し、反対側の停止位置Ｄにて停止する。これにより、基板６００に塗布された構造物形成材料層６０１であるガラスペーストを均一に切削することができる。

しかし、図２に示すような従来のリブの形成方法により、図１に示すような乾燥ムラが発生した構造物形成材料層６０１を切削すると、構造物形成材料層６０１は面内のいずれの位置においても均一に切削されるので、肉厚部６０１Ａの形状（すなわちヒケ）が、そのままリブに残ってしまうという問題が一例としてあげられる。

本発明は、このような点に鑑み、構造物形成材料層の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、基板上に構造物形成材料層を形成する構造物形成材料層形成工程と、前記構造物形成材料層上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、前記構造物形成材料層および前記マスクパターンに対して切削材を噴射しつつ前記構造物形成材料層上を移動可能な噴射ガンを備えたサンドブラスト装置により前記マスクパターンの形成されていない部分の前記構造物形成材料層を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、前記構造物形成工程において、前記構造物形成材料層のムラに応じて前記噴射ガンを制御することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法である。

〔第１の実施の形態〕
以下に、本発明に係る第１の実施の形態を図面に基づいて説明する。

［ディスプレイパネルの構成］
まず、本実施の形態において製造するディスプレイパネルであるプラズマディスプレイパネルの概略構成について以下に説明する。
図３は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
図３において、１はプラズマディスプレイパネルで、このプラズマディスプレイパネル１は、放電空間１Ａを介して前面基板１０と背面基板２０とが対向配置されている。
前面基板１０の内面側には、複数の透明電極１１、図示しない複数のバス電極、複数のブラックストライプ１３、誘電体層１４および保護膜１５がそれぞれ設けられている。

背面基板２０の内面側には、この背面基板２０上に複数のアドレス電極２１がそれぞれ平行に設けられ、これらアドレス電極２１を覆うように背面基板２０の内面側に絶縁体層であるアドレス電極保護層２２が設けられ、さらにこのアドレス電極保護層２２上にストライプ形状のリブ２３が設けられ、これらリブ２３により、複数個の放電セル２４が区画形成される。
複数個の放電セル２４の内部には、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体層（２５Ｒ、２５Ｇ、２５Ｂ）が順に形成されている。放電空間１Ａの内部、すなわちそれぞれの放電セル２４の内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉されている。
なお、本実施の形態において形成される構造物は、プラズマディスプレイパネル１のリブ２３である。

［サンドブラスト装置の構成］
次に、本実施の形態に用いるサンドブラスト装置の構成について、図面に基づいて説明する。図４は、第１の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。図５は、サンドブラスト装置の正面視での断面図である。

図４および図５において、１００はサンドブラスト装置である。このサンドブラスト装置１００は、図示しない前工程装置からプラズマディスプレイパネルの背面板となる略矩形板状の基板６００を搬入する。この後、基板６００を略矩形状の長手方向と搬送方向とが略一致する状態で搬送するとともに、基板６００上に形成された構造物形成材料層６０１をサンドブラスト加工することにより図示しないリブを形成して、この基板６００に付着した切削材Ｋを除去する装置である。このサンドブラスト装置１００は、前工程装置から搬入される基板６００上に形成された構造物形成材料層６０１の厚さムラを検出する検出室１７０と、構造物形成材料層６０１にサンドブラスト加工を施すブラスト室１１０と、サンドブラスト加工の際に基板６００に付着する切削材Ｋなどを除去する図示しないエアブロー部と、などを備えている。なお、構造物形成材料層６０１上には、マスクパターンが形成されているが、図示は省略している。

ブラスト室１１０は、例えば金属などの材料により下面が開口された略矩形箱状に形成された筐体上部１２０と、この筐体上部１２０の下端に連結され上面および下面が開口された略四角錐台形状に形成された筐体下部１３０と、を備えた筐体１４０を有している。そして、筐体上部１２０および筐体下部１３０にて、サンドブラスト空間１４０Ａが略区画形成されている。

筐体上部１２０は、略長方形板状の天板部１２１と、この天板部１２１の長手方向の両側縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の側板部１２２，１２３と、天板部１２１の前工程装置側の端縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の基端板部１２４と、天板部１２１のエアブロー部側の端縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の先端板部１２５と、にて下面が開口された略矩形箱状に形成されている。基端板部１２４における下方には、側板部１２２側から側板部１２３側にかけて略細長矩形状に形成され基板６００をサンドブラスト空間１４０Ａに搬入するための搬入孔１２４Ａが形成されている。先端板部１２５における基端板部１２４の搬入孔１２４Ａに略対応する位置には、基板６００をサンドブラスト空間１４０Ａから搬出するための搬出口１２５Ａが形成されている。

筐体下部１３０は、側板部１２２，１２３の下端縁において対向する側板部１２３，１２２側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の側斜板部１３１，１３２と、基端板部１２４の下端縁において先端板部１２５側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の図示しない基斜板部と、先端板部１２５の下端縁において基端板部１２４側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の図示しない先斜板部と、にて上面および下面が開口され上面よりも下面が小さい略四角錐台形状に形成されている。そして、この筐体下部１３０の下面の開口部が、切削材Ｋをサンドブラスト空間１４０Ａの外部に排出する排出孔１４０Ｂとされている。

また、筐体１４０には、サンドブラスト空間１４０Ａの上下方向略中央から下方にかけての位置などに設けられた搬送部１５０と、この搬送部１５０の上方などに設けられた切削部１６０と、などが備えられている。

搬送部１５０は、前工程装置から搬入された基板６００をエアブロー部に搬出する。そして、この搬送部１５０は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける側斜板部１３１，１３２の基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて設けられたローラ保持部１５１，１５２と、ローラ保持部１５１，１５２を架橋する状態に設けられた複数の搬送手段としての搬送ローラ１５３と、筐体１４０の外部に設けられた駆動手段としての駆動モータ１５４と、駆動力伝達手段としての駆動ベルト１５５と、などを備えている。

搬送ローラ１５３は、例えば金属やセラミックなどの材料により略丸棒状に形成されている。この搬送ローラ１５３は、軸方向一端側に設けられローラ保持部１５１により保持される被保持部１５３Ａと、軸方向他端側に設けられローラ保持部１５２により保持される被保持部１５３Ｂと、被保持部１５３Ａ，１５３Ｂにより挟まれる位置に設けられ基板６００が載置される基板載置部１５３Ｃと、被保持部１５３Ａよりも軸方向一端側に設けられ駆動ベルト１５５が架け回されるローラ架回部１５３Ｄと、を有している。なお、搬送ローラ１５３は、被保持部１５３Ａ，１５３Ｂ、基板載置部１５３Ｃ、ローラ架回部１５３Ｄを一体的に形成したものでもよいし、それぞれを別体で形成してこれらを組み立てた構成などいずれの構成としてもよい。

ローラ保持部１５１は、例えば金属などの材料により略棒状に形成され側斜板部１３１の各端板部１２４，１２５側において上方に向けて立設された固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂと、例えば金属などの材料により略細長矩形板状に形成され固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂを架橋する状態に設けられた架橋部材１５１Ｃと、を備えている。架橋部材１５１Ｃにおける上面には、搬送ローラ１５３を被保持部１５３Ａにて回転可能に保持する複数の保持部材１５１Ｄが、基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて略同一間隔で並設されている。この保持部材１５１Ｄは、被保持部１５３Ａの円周面を包むように保持している。

ローラ保持部１５２は、固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂ、架橋部材１５１Ｃと略同一の構成を有する固定ステー１５２Ａ，１５２Ｂ、架橋部材１５２Ｃを備えている。固定ステー１５２Ａ，１５２Ｂ、架橋部材１５２Ｃは、側斜板部１３２における固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂ、架橋部材１５１Ｃにそれぞれ略対応する位置に設けられている。また、架橋部材１５２Ｃの上面における架橋部材１５１Ｃに設けられた保持部材１５１Ｄに略対応する位置には、搬送ローラ１５３を被保持部１５３Ｂにおいて回転可能に保持する保持部材１５２Ｄが設けられている。

そして、ローラ保持部１５１，１５２の保持部材１５１Ｄ，１５２Ｄにより各搬送ローラ１５３を保持することにより、搬送ローラ１５３は、サンドブラスト空間１４０Ａにおいて基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて略同一間隔に並設される。

駆動モータ１５４は、搬送ローラ１５３を駆動する。この駆動モータ１５４は、筐体１４０の側斜板部１３１側の外部における先端板部１２５側に配設されている。そして、駆動モータ１５４は、モータ本体１５４Ａと、このモータ本体１５４Ａの一面から突出するように設けられモータ本体１５４Ａの駆動により回転するモータ軸１５４Ｂと、を備えている。モータ本体１５４Ａは、モータ軸１５４Ｂの軸方向が搬送ローラ１５３の軸方向と略一致するように配設されている。そして、モータ軸１５４Ｂの先端側には、駆動ベルト１５５が架け回されるモータ架回部１５４Ｃが設けられている。なお、ここでは、駆動手段として駆動モータ１５４を適用した構成について例示するが、これに限らず他の駆動手段を適宜適用してもよい。

駆動ベルト１５５は、駆動モータ１５４の動力を各搬送ローラ１５３に伝達する。この駆動ベルト１５５としては、例えばゴムなどの材料により形成されたものが例示できるが、これに限られない。また、ここでは、駆動力伝達手段として駆動ベルト１５５を適用した構成について例示するが、これに例えばチェーンや歯車など駆動モータ１５４の動力を伝達可能な他の駆動力伝達手段を適宜適用してもよい。この駆動ベルト１５５は、側斜板部１３１に形成された挿通孔１３１Ａを介して筐体１４０の外部から内部にかけて設けられ、各搬送ローラ１５３のローラ架回部１５３Ｄおよび駆動モータ１５４のモータ架回部１５４Ｃに架け回されている。これにより、モータ本体１５４Ａによりモータ軸１５４Ｂが回転されると駆動ベルト１５５が駆動し、この駆動ベルト１５５の駆動により各搬送ローラ１５３が所定の方向に回転して、搬送ローラ１５３に載置された基板６００が搬送される。

切削部１６０は、搬送ローラ１５３により搬送される基板６００上の構造物形成材料層６０１に対して切削材Ｋを噴射することにより、構造物形成材料層６０１を切削してリブを形成する。そして、この切削部１６０は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける上方に設けられ図示しない制御部の制御により切削材Ｋを噴射する噴射ガン１６１，１６２と、天板部１２１の上方に設けられ噴射ガン１６１，１６２を構造物形成材料層６０１のムラに応じて制御するガン移動制御部１６３と、例えば天板部１２１の上方に設けられ噴射ガン１６１，１６２に切削材Ｋを供給する図示しない切削材供給部と、などを備えている。

ガン移動制御部１６３は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける基端板部１２４近傍の上方において噴射ガン１６１を基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動させる図示しない第１の移動制御部と、噴射ガン１６１よりも先端板部１２５側において噴射ガン１６２を噴射ガン１６１と略同一方向に往復移動させる図示しない第２の移動制御部と、を備えている。なお、ここでは、第１の移動制御部および第２の移動制御部が噴射ガン１６１，１６２を基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動させる構成について例示するが、これに限らず噴射ガン１６１，１６２を往復移動させる方向が基板６００の搬送方向と一致しない方向であれば、いずれの方向に往復移動させる構成としてもよい。また、第１の移動制御部と第２の移動制御部とを別体で設けた構成について例示するが、これらを１つで構成してもよいし、これらの一部を共有させた構成などとしてもよい。そして、第１の移動制御部および第２の移動制御部は略同一の構成を有しているので、以下において、第１の移動制御部について詳細に説明し、第２の移動制御部については説明を簡略化する。

第１の移動制御部は、天板部１２１の上方における基端板部１２４近傍の側板部１２２側から側板部１２３側に基板６００の搬送方向に略垂直に架け渡された図示しないレールと、レールに係合されるとともに図示しない略棒状の連結部を介して噴射ガン１６１と連結されレールに沿って往復移動される図示しない駆動部と、などを備えている。そして、第１の移動制御部は、駆動部をレールに沿って移動させることにより、噴射ガン１６１を平面視で搬送ローラ１５３の一端縁１５３Ｅよりも側板部１２２側の折返し部Ｒ１１まで移動させる。また、第１の移動制御部は、駆動部をレールに沿って他方に移動させることにより、噴射ガン１６１を平面視で搬送ローラ１５３の他端縁１５３Ｆよりも側板部１２３側の折返し部Ｒ１２まで移動させる。すなわち、第１の移動制御部は、噴射ガン１６１が折返し部Ｒ１１または折返し部Ｒ１２に到達した際に、噴射ガン１６１と側斜板部１３１または側斜板部１３２との間に搬送ローラ１５３が存在しないような位置に設定された折返し部Ｒ１１と折返し部Ｒ１２との間で、噴射ガン１６１を往復移動させる。なお、レールの上方には、駆動部および噴射ガン１６１がレールの所定位置を通過したことを検知して検知信号を出力する噴射ガン検知手段としての図示しない接触式センサが六つ設けられている。これら六つの接触式センサは、レール上方の任意の位置に配置可能に構成されている。

第２の移動制御部は、第１の移動制御部の先端板部１２５側に隣接されている。第２の移動制御部は、天板部１２１の上方における基端板部１２４近傍の側板部１２２側から側板部１２３側に基板６００の搬送方向に略垂直に架け渡されたレール１６５と、レール１６５に係合されるとともに略棒状の連結部１６４を介して噴射ガン１６２と連結されレール１６５に沿って往復移動される駆動部１６６と、などを備えている。そして、第２の移動制御部は、駆動部１６６をレール１６５に沿って移動させることにより、噴射ガン１６２を折返し部Ｒ１１から基板６００の搬送方向と略同一方向に移動した位置である折返し部Ｒ１３まで移動させる。また、第２の移動制御部は、駆動部１６６をレール１６５に沿って他方に移動させることにより、噴射ガン１６２を折返し部Ｒ１２から基板６００の搬送方向と略同一方向に移動した位置である折返し部Ｒ１４まで移動させる。すなわち、第２の移動制御部は、噴射ガン１６２が折返し部Ｒ１３または折返し部Ｒ１４に到達した際に、噴射ガン１６２と側斜板部１３１または側斜板部１３２との間に搬送ローラ１５３が存在しないような位置に設定された折返し部Ｒ１３と折返し部Ｒ１４との間で、噴射ガン１６２を往復移動させる。なお、レール１６５の上方には、駆動部１６６および噴射ガン１６１がレール１６５の所定位置を通過したことを検知して検知信号を出力する噴射ガン検知手段１６７としての接触式センサが六つ設けられている。これら六つの接触式センサは、レール１６５上方の任意の位置に配置可能に構成されている。

噴射ガン１６１，１６２は、下方に向けて開口され切削材供給部から供給される切削材Ｋを噴射する図示しない噴射孔を有している。そして、この噴射孔は、長手方向が基板６００の搬送方向と略同一となるようなスリット状に形成されている。なお、ここでは、噴射孔がスリット状に形成された噴射ガン１６１，１６２を用いる構成について例示するが、これに限らず例えば噴射孔がスリット状以外の形状である例えば略円形状に形成された複数の噴射ガン１６１，１６２を基板６００の搬送方向に並設する構成や、噴射孔が例えば略円形状に形成された１つの噴射ガン１６１を基板６００の搬送方向に揺動させる構成など適宜他の構成などとしてもよい。

検出室１７０は、基端板部１２４に隣接して設けられる。検出室１７０は、例えば金属などの材料により基端板部１２４側に開口部を有する略箱状に形成され側板部１２２，１２３および天板部１２１に連接された筐体１７１を有している。筐体１７１の基端板部１２４と逆側の側面における基端板部１２４の搬入孔１２４Ａに略対応する位置には、基板６００を前工程から搬入するための搬入口１７１Ａが形成されている。そして、この筐体の内部に略区画形成された検出空間には、前工程から搬入される基板６００上に形成された構造物形成材料層６０１の厚さムラを検出する厚さムラ検出手段１７２としてのレーザーセンサなどが設けられている。厚さムラ検出手段１７２は、図示しない制御手段により検出空間の上方において基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動される。また、検出空間の基端板部１２４の搬入孔１２４Ａ上方には、下方に向けて帯状の圧縮空気を噴射し、検出室１７０とブラスト室１１０との間の空気の流れを遮断する図示しないエアカーテンが設けられている。これにより、検出室１７０とブラスト室１１０とが区分けされている。

エアブロー部は、例えば金属などの材料により例えば上方が略箱状に形成され、例えば下方が略四角錐台形状に形成された図示しない筐体を有している。そして、この筐体の内部に略区画形成されたエアブロー空間には、ブラスト室１１０から搬入される基板６００に例えばエアーを噴射することにより基板６００に付着した切削材Ｋなどを除去する図示しないエア噴射部などが設けられている。

［サンドブラスト装置の動作］
次に、サンドブラスト装置１００の動作について説明する。なお、ここでは、噴射ガン１６１が折返し部Ｒ１２に位置し、噴射ガン１６２が折返し部Ｒ１３に位置する状態において、基板６００が搬入された際のサンドブラスト装置１００の動作について説明する。

まず、サンドブラスト装置１００の検出室１７０は、前工程装置から構造物形成材料層６０１が形成された基板６００が搬入されると、検出空間の上方の厚さムラ検出手段１７２を基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動させる。厚さムラ検出手段１７２は、基板６００上に形成された構造物形成材料層６０１にレーザーを照射し、構造物形成材料層６０１の厚さ（すなわち厚さムラ）を検出して検出信号を出力する。なお、基板６００は、当初は図示しない外部搬送手段により搬送方向に搬送され、基板６００の先端側がブラスト室１１０に搬入された後は、搬送部１５０の搬送ローラ１５３にて搬送される。

次に、サンドブラスト装置１００のブラスト室１１０は、搬送部１５０に構造物形成材料層６０１が形成された基板６００が搬入されると、例えば予め駆動されている搬送部１５０の搬送ローラ１５３にて基板６００を所定速度で搬送する。また、ブラスト室１１０は、切削部１６０にて噴射ガン１６１，１６２から切削材Ｋを基板６００に向けて噴射させ、噴射ガン１６１を折返し部Ｒ１２から折返し部Ｒ１１に向けて移動させるとともに、噴射ガン１６２を折返し部Ｒ１３から折返し部Ｒ１４に向けて移動させる。なお、ここでは、噴射ガン１６１の移動方向と噴射ガン１６２の移動方向とを異なる方向とした構成について例示するがこれに限られない。この後、噴射ガン１６１が折返し部Ｒ１１に到達すると、第１の移動制御部は、噴射ガン１６１を折返し部Ｒ１２に向けて移動させる。また、第２の移動制御部も、同様にして噴射ガン１６２を折返し部Ｒ１３に向けて移動させる。

そして、噴射ガン１６１，１６２が基板６００の上方を通過して切削材Ｋが基板６００に衝突すると、この衝突によりマスクパターンが形成されていない部分の構造物形成材料層６０１が切削され、基板６００にリブが形成される。ここで、切削材Ｋや切削された構造物形成材料などは、排出孔１４０Ｂからサンドブラスト空間１４０Ａの外部に排出され適宜再利用される。なお、基板６００の搬送速度、噴射ガン１６１，１６２からの切削材Ｋの噴射量などは、基板６００に形成されるリブが所望の形状となるように適宜調整されている。この後、リブが形成された基板６００は、搬送部１５０にてエアブロー部に搬送され、エアブロー部にて表面に付着した切削材Ｋが除去される。

ここにおいて、噴射ガン１６１，１６２は、構造物形成材料層６０１の厚さムラに応じて制御される。具体的には、噴射ガン１６１，１６２の切削速度が制御される。切削速度の制御は、例えば、図６に示すように、厚さムラ検出手段１７２から出力された厚さムラの検知信号に基づいて、噴射ガン１６１，１６２の移動速度を制御することにより実施される。ここで、図６は、噴射ガン１６１，１６２の位置と速度との関係を示すグラフであり、噴射ガン１６１，１６２の位置に合わせて基板６００が示されている。図６中の折れ線Ｐ_０は、噴射ガン１６１，１６２の移動速度を示し、上方に位置するほど移動速度が大きい。

すなわち、噴射ガン１６１，１６２は、一端側の停止位置Ａ（折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４のいずれか）から加速移動を開始し、基板６００より手前の位置Ｂにおいて一定の速度に達する。構造物形成材料層６０１の端部に形成され厚さムラ検出手段１７２に検知された肉厚部６０１Ａ（ヒケ）に追従するように、構造物形成材料層の端部より手前の位置Ｃにおいて、再び加速を開始し、構造物形成材料層６０１の厚さが一定となる位置Ｄにおいて一定の速度に達する。その速度を維持しつつ基板６００上を移動し、構造物形成材料層６０１の反対側の端部に形成された肉厚部６０１Ａ（ヒケ）に追従するように、位置Ｅにおいて、減速を開始し、基板６００から外れた位置Ｆにおいて一定の速度に達する。位置Ｇから再び減速を開始し、反対側の停止位置Ｈ（折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４のいずれか）にて停止する。これにより、噴射ガン１６１，１６２が構造物形成材料層６０１の端部上に位置する時の切削速度が、噴射ガン１６１，１６２が構造物形成材料層６０１の中央部上に位置する時の切削速度よりも大きくなるように制御される。

［ディスプレイパネルの製造方法］
本実施の形態のディスプレイパネルの製造方法は、基板上に構造物形成材料層を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層上にマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備える。

構造物形成材料層形成工程は、例えば、ガラスペースト等の構造物形成材料を基板６００上に塗布した後、必要に応じて乾燥等の処理を施し、構造物形成材料層６０１を形成する工程である。ガラスペーストは、例えば、ガラスフリット、バインダ、溶剤および添加剤等を含み、乾燥および焼成することでバインダおよび溶剤が除去され、ガラスフリットが融着されてリブが得られるものである。
パターニング工程は、構造物形成材料層６０１上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成する工程である。
構造物形成工程は、上述のサンドブラスト装置を用いて、構造物形成材料層６０１上を往復移動する噴射ガン１６１，１６２から構造物形成材料層６０１およびマスクパターンに対して切削材Ｋを噴射し、マスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層６０１を切削して構造物を形成する工程である。

［第１の実施の形態の作用効果］
上述したように、上記第１の実施の形態では、以下に示す作用効果を奏することができる。

（１）ディスプレイパネルの製造方法が、基板６００上に構造物形成材料層６０１を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層６０１上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層６０１およびマスクパターンに対して切削材Ｋを噴射しつつ構造物形成材料層６０１上を移動可能な噴射ガン１６１，１６２を備えたサンドブラスト装置１００によりマスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層６０１を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、構造物形成工程において、構造物形成材料層６０１のムラに応じて噴射ガン１６１，１６２を制御するので、構造物形成材料層６０１の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。

（２）噴射ガン１６１，１６２の制御が、切削速度を制御することで実施されるので、構造物形成材料層６０１に各種のムラがある場合においても、ムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。例えば、構造物形成材料層６０１に組成の偏り（組成ムラ）がある場合、組成の違いにより切削しにくい部分において、切削速度を大きくすれば、このような部分についても他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。
（３）切削速度が、構造物形成材料層６０１の厚さムラに応じて制御されるので、構造物形成材料層６０１に厚さムラがある場合においても、厚さムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。例えば、乾燥ムラの発生により構造物形成材料層６０１の端部に形成された肉厚部６０１Ａにおいて、切削速度を大きくすれば、肉厚部６０１Ａを深く切削して、他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。

（４）噴射ガン１６１，１６２は、基板６００の搬送方向に対して交差する方向に往復移動可能に構成され、構造物形成工程において、噴射ガン１６１，１６２が構造物形成材料層６０１の端部上に位置する時の切削速度が、噴射ガン１６１，１６２が構造物形成材料層６０１の中央部上に位置する時の切削速度よりも大きくなるように制御されるので、例えば、乾燥ムラの発生により構造物形成材料層６０１の端部に形成された肉厚部６０１Ａを深く切削し、他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。
（５）サンドブラスト装置１００が、構造物形成材料層６０１の厚さムラを検出する厚さムラ検出手段１７２を有し、噴射ガン１６１，１６２による切削速度が、厚さムラ検出手段１７２により検出された構造物形成材料層６０１の厚さムラに応じて調整されるので、構造物形成材料層６０１の厚さムラを確実に排除することができ、良好な構造物を形成することができる。

（６）サンドブラスト装置１００が、噴射ガン１６１，１６２を有するブラスト室１１０と、エアカーテンによりブラスト室１１０と区分けされ厚さムラ検出手段１７２を有する検出室１７０と、を備えるので、ブラスト室１１０の空気が切削材Ｋとともに検出室１７０に入り込むことがなく、厚さムラ検出手段１７２が故障したり、誤動作したりする等の不具合が発生しにくい。これによれば、例えば、切削材Ｋが散在する空間では使用できないレーザーセンサ等を厚さムラ検出手段１７２として使用することができる。
（７）検出室１７０において厚さムラ検出手段１７２が構造物形成材料層６０１の厚さムラを検出した後、ブラスト室１１０において構造物形成工程が実施されるので、直前に検出した構造物形成材料層６０１の厚さムラに応じて効率的に構造物形成工程を実施することができる。

〔第２の実施の形態〕
以下に、本発明に係る第２の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、第１の実施の形態と同様のサンドブラスト装置１００を例示して説明するがこれを用いるディスプレイパネルの製造方法に限られない。なお、本実施の形態は、サンドブラスト装置１００の動作が第１の実施の形態と異なり、用いられるサンドブラスト装置１００自体は第１の実施の形態のサンドブラスト装置１００と同一であるから、サンドブラスト装置１００の説明を省略する。また、サンドブラスト装置１００の動作についても説明を簡略化する。

本実施の形態において、第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７は、それぞれ図６におけるＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆに対応する位置の上方に配置されている。そして、厚さムラ検出手段１７２による構造物形成材料層６０１の厚さムラの検出は実施しない。

切削速度の制御は、厚さムラ検出手段１７２により検出された構造物形成材料層６０１の厚さムラにはよらず、噴射ガン１６１，１６２が第１の移動制御部のレールおよび第２の移動制御部のレール１６５の所定位置を通過したことを示す検知信号に基づいて調整される。
すなわち、第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７は、それぞれ噴射ガン１６１，１６２がＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆを通過したことを示す検知信号を出力し、この検知信号に基づいて第１の移動制御部の駆動部および第２の移動制御部の駆動部１６６が、噴射ガン１６１，１６２の移動速度を図６に示す速度と等しくなるように制御する。

なお、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆの位置は、例えば、予めテストサンプルを用いて測定した構造物形成材料層６０１の厚さムラに応じて決定することができる。構造物形成材料層６０１の厚さムラは、厚さムラ検出手段１７２によって求めてもよく、その他の手段によって求めてもよい。また、第１の実施の形態を用いてディスプレイパネルを製造した時の、噴射ガン１６１，１６２の移動速度を記録しておき、その記録からＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆの位置を決定してもよい。

［第２の実施の形態の作用効果］
上記第２の実施の形態では、第１の実施の形態の（１）〜（４）と同様の作用効果に加え以下に示す作用効果を奏することができる。

（８）サンドブラスト装置１００が、噴射ガン１６１，１６２を所定の移動方向にガイドする第１の移動制御部のレールおよび第２の移動制御部のレール１６５と、噴射ガン１６１，１６２がレールの所定位置を通過したことを検知して検知信号を出力する第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７と、を有し、噴射ガン１６１，１６２が、第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７から出力された検知信号に基づいて制御されるので、構造物形成材料層６０１上における噴射ガン１６１，１６２の位置に応じて、噴射ガン１６１，１６２を制御することができ、構造物形成材料層６０１の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。
例えば、第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７を、乾燥ムラによって生じた構造物形成材料層６０１の肉厚部６０１Ａに対応する位置の前後に配置し、その区間内において切削速度が大きくなるように噴射ガン１６１，１６２を制御すれば、肉厚部６０１Ａを深く切削して、他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。

（９）第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７は、レール１６５上方の任意の位置に配置可能に構成されているので、厚さムラ検出手段１７２によって検出することが不可能なムラが発生した場合でも、そのムラに応じて第１の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第２の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段１６７の配置を決定すれば、それらのムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。

（１０）切削速度の制御が、厚さムラ検出手段１７２により検出された構造物形成材料層６０１の厚さムラにはよらないので、毎回基板６００の構造物形成材料層６０１の厚さムラを検出する必要がなく、工程の簡略化および省電力化を図ることができる。

［実施の形態の変形］
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。

すなわち、各実施の形態に用いるサンドブラスト装置１００において、検出室１７０とブラスト室１１０とが、エアカーテンにより区分けされる構成を例示したが、これに限定されない。検出室１７０は、ブラスト室１１０から切削材Ｋが入り込まないように、ブラスト室１１０から区分けされていればよく、例えば、ブラスト室１１０を適宜の手段で減圧することにより、区分けされていてもよい。この場合でも、エアカーテンによる区分けと同様に、ブラスト室１１０から検出室１７０に空気および切削材Ｋが入り込むことを防止することができ、厚さムラ検出手段１７２が故障したり、誤動作したりする等の不具合が発生しにくい。

上述の各実施の形態において、構造物形成材料層６０１を切削する切削速度は、噴射ガン１６１，１６２の移動速度により制御されることとしたが、これに限定されない。例えば、噴射ガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋの単位時間あたりの量を増減することによっても、切削速度を制御することができる。また、例えば、噴射ガン１６１，１６２が切削材Ｋを噴射する噴射圧の増減によっても、切削速度を制御することができる。これらの場合においても、上述の各実施の形態と同様の効果を得ることができ、良好な構造物を形成することができる。
さらに、各実施の形態において、基板６００上に形成される構造物は、プラズマディスプレイパネルのリブであるとしたが、これに限定されず、本発明は、他の構造物に対しても適用できる。

［実施形態の作用効果］
上述したように、上記実施の形態では、ディスプレイパネルの製造方法が、基板６００上に構造物形成材料層６０１を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層６０１上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層６０１およびマスクパターンに対して切削材Ｋを噴射しつつ構造物形成材料層６０１上を移動可能な噴射ガン１６１，１６２を備えたサンドブラスト装置１００によりマスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層６０１を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、構造物形成工程において、構造物形成材料層６０１のムラに応じて噴射ガン１６１，１６２を制御するので、構造物形成材料層６０１の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。

基板上のガラスペーストに発生した乾燥ムラを示す図。 従来のリブ形成における噴射ガンの移動速度を示す図。 本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図。 前記第１の実施の形態におけるサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図。 前記第１の実施の形態におけるサンドブラスト装置の正面視での断面図。 前記第１の実施の形態における噴射ガンの移動速度を示す図。

符号の説明

１００ サンドブラスト装置
１１０ ブラスト室
１５０ 搬送部
１６１，１６２ 噴射ガン
１６５ レール
１６７ 噴射ガン検知手段
１７０ 検出室
１７２ 厚さムラ検出手段
６００ 基板
６０１ 構造物形成材料層
６０１Ａ 肉厚部

Claims (7)

1. 基板上に構造物形成材料層を形成する構造物形成材料層形成工程と、
   前記構造物形成材料層上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、
   前記構造物形成材料層および前記マスクパターンに対して切削材を噴射しつつ前記構造物形成材料層上を移動可能な噴射ガンを備えたサンドブラスト装置により前記マスクパターンの形成されていない部分の前記構造物形成材料層を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、
   を備え、
   前記構造物形成工程において、前記構造物形成材料層のムラに応じて前記噴射ガンを制御する
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
2. 請求項１に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記噴射ガンの制御は、切削速度を制御する
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記切削速度は、前記構造物形成材料層の厚さムラに応じて制御される
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
4. 請求項２または請求項３に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記噴射ガンは、前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動可能に構成され、
   前記構造物形成工程において、前記噴射ガンが前記構造物形成材料層の端部上に位置する時の前記切削速度が、前記噴射ガンが前記構造物形成材料層の中央部上に位置する時の前記切削速度よりも大きくなるように制御される
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記サンドブラスト装置は、
   前記噴射ガンを所定の移動方向にガイドするレールと、
   前記噴射ガンが前記レールの所定位置を通過したことを検知して検知信号を出力する噴射ガン検知手段と、
   を有し、
   前記噴射ガンは、前記噴射ガン検知手段から出力された前記検知信号に基づいて制御される
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記サンドブラスト装置は、前記構造物形成材料層の厚さムラを検出する厚さムラ検出手段を有し、
   前記噴射ガンは、前記厚さムラ検出手段により検出された前記構造物形成材料層の厚さムラに応じて制御される
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
7. 請求項６に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記サンドブラスト装置は、
   前記噴射ガンを有するブラスト室と、
   前記ブラスト室と区分けされ前記厚さムラ検出手段を有する検出室と、
   を備え、
   前記検出室において前記厚さムラ検出手段が前記構造物形成材料層の厚さムラを検出した後、前記ブラスト室において構造物形成工程が実施される
   ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。

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