JP2008140610A - ディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
ディスプレイパネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008140610A JP2008140610A JP2006324078A JP2006324078A JP2008140610A JP 2008140610 A JP2008140610 A JP 2008140610A JP 2006324078 A JP2006324078 A JP 2006324078A JP 2006324078 A JP2006324078 A JP 2006324078A JP 2008140610 A JP2008140610 A JP 2008140610A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- material layer
- structure forming
- forming material
- display panel
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
【解決手段】基板600上に構造物形成材料層601を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層601上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層601およびマスクパターンに対して切削材を噴射しつつ構造物形成材料層601上を移動可能な噴射ガンを備えたサンドブラスト装置によりマスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層601を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、構造物形成工程において、構造物形成材料層601のムラに応じて噴射ガンを制御することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【選択図】図6
Description
ここで、プラズマディスプレイパネルの背面板となる基板上にリブを形成する際に用いられるサンドブラスト装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
以下に、本発明に係る第1の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、本実施の形態において製造するディスプレイパネルであるプラズマディスプレイパネルの概略構成について以下に説明する。
図3は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
図3において、1はプラズマディスプレイパネルで、このプラズマディスプレイパネル1は、放電空間1Aを介して前面基板10と背面基板20とが対向配置されている。
前面基板10の内面側には、複数の透明電極11、図示しない複数のバス電極、複数のブラックストライプ13、誘電体層14および保護膜15がそれぞれ設けられている。
複数個の放電セル24の内部には、それぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の蛍光体層(25R、25G、25B)が順に形成されている。放電空間1Aの内部、すなわちそれぞれの放電セル24の内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉されている。
なお、本実施の形態において形成される構造物は、プラズマディスプレイパネル1のリブ23である。
次に、本実施の形態に用いるサンドブラスト装置の構成について、図面に基づいて説明する。図4は、第1の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。図5は、サンドブラスト装置の正面視での断面図である。
次に、サンドブラスト装置100の動作について説明する。なお、ここでは、噴射ガン161が折返し部R12に位置し、噴射ガン162が折返し部R13に位置する状態において、基板600が搬入された際のサンドブラスト装置100の動作について説明する。
本実施の形態のディスプレイパネルの製造方法は、基板上に構造物形成材料層を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層上にマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備える。
パターニング工程は、構造物形成材料層601上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成する工程である。
構造物形成工程は、上述のサンドブラスト装置を用いて、構造物形成材料層601上を往復移動する噴射ガン161,162から構造物形成材料層601およびマスクパターンに対して切削材Kを噴射し、マスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層601を切削して構造物を形成する工程である。
上述したように、上記第1の実施の形態では、以下に示す作用効果を奏することができる。
(3)切削速度が、構造物形成材料層601の厚さムラに応じて制御されるので、構造物形成材料層601に厚さムラがある場合においても、厚さムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。例えば、乾燥ムラの発生により構造物形成材料層601の端部に形成された肉厚部601Aにおいて、切削速度を大きくすれば、肉厚部601Aを深く切削して、他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。
(5)サンドブラスト装置100が、構造物形成材料層601の厚さムラを検出する厚さムラ検出手段172を有し、噴射ガン161,162による切削速度が、厚さムラ検出手段172により検出された構造物形成材料層601の厚さムラに応じて調整されるので、構造物形成材料層601の厚さムラを確実に排除することができ、良好な構造物を形成することができる。
(7)検出室170において厚さムラ検出手段172が構造物形成材料層601の厚さムラを検出した後、ブラスト室110において構造物形成工程が実施されるので、直前に検出した構造物形成材料層601の厚さムラに応じて効率的に構造物形成工程を実施することができる。
以下に、本発明に係る第2の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、第1の実施の形態と同様のサンドブラスト装置100を例示して説明するがこれを用いるディスプレイパネルの製造方法に限られない。なお、本実施の形態は、サンドブラスト装置100の動作が第1の実施の形態と異なり、用いられるサンドブラスト装置100自体は第1の実施の形態のサンドブラスト装置100と同一であるから、サンドブラスト装置100の説明を省略する。また、サンドブラスト装置100の動作についても説明を簡略化する。
すなわち、第1の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第2の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段167は、それぞれ噴射ガン161,162がA,B,C,D,E,Fを通過したことを示す検知信号を出力し、この検知信号に基づいて第1の移動制御部の駆動部および第2の移動制御部の駆動部166が、噴射ガン161,162の移動速度を図6に示す速度と等しくなるように制御する。
上記第2の実施の形態では、第1の実施の形態の(1)〜(4)と同様の作用効果に加え以下に示す作用効果を奏することができる。
例えば、第1の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段および第2の移動制御部の六つの噴射ガン検知手段167を、乾燥ムラによって生じた構造物形成材料層601の肉厚部601Aに対応する位置の前後に配置し、その区間内において切削速度が大きくなるように噴射ガン161,162を制御すれば、肉厚部601Aを深く切削して、他の部分と同様の厚さとすることができ、良好な構造物を形成することができる。
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
さらに、各実施の形態において、基板600上に形成される構造物は、プラズマディスプレイパネルのリブであるとしたが、これに限定されず、本発明は、他の構造物に対しても適用できる。
上述したように、上記実施の形態では、ディスプレイパネルの製造方法が、基板600上に構造物形成材料層601を形成する構造物形成材料層形成工程と、構造物形成材料層601上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、構造物形成材料層601およびマスクパターンに対して切削材Kを噴射しつつ構造物形成材料層601上を移動可能な噴射ガン161,162を備えたサンドブラスト装置100によりマスクパターンの形成されていない部分の構造物形成材料層601を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、を備え、構造物形成工程において、構造物形成材料層601のムラに応じて噴射ガン161,162を制御するので、構造物形成材料層601の面内のムラによる影響を排除して、良好な構造物を形成することができる。
110 ブラスト室
150 搬送部
161,162 噴射ガン
165 レール
167 噴射ガン検知手段
170 検出室
172 厚さムラ検出手段
600 基板
601 構造物形成材料層
601A 肉厚部
Claims (7)
- 基板上に構造物形成材料層を形成する構造物形成材料層形成工程と、
前記構造物形成材料層上に耐サンドブラスト性を有するマスクパターンを形成するパターニング工程と、
前記構造物形成材料層および前記マスクパターンに対して切削材を噴射しつつ前記構造物形成材料層上を移動可能な噴射ガンを備えたサンドブラスト装置により前記マスクパターンの形成されていない部分の前記構造物形成材料層を切削して構造物を形成する構造物形成工程と、
を備え、
前記構造物形成工程において、前記構造物形成材料層のムラに応じて前記噴射ガンを制御する
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項1に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記噴射ガンの制御は、切削速度を制御する
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記切削速度は、前記構造物形成材料層の厚さムラに応じて制御される
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項2または請求項3に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記噴射ガンは、前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動可能に構成され、
前記構造物形成工程において、前記噴射ガンが前記構造物形成材料層の端部上に位置する時の前記切削速度が、前記噴射ガンが前記構造物形成材料層の中央部上に位置する時の前記切削速度よりも大きくなるように制御される
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記サンドブラスト装置は、
前記噴射ガンを所定の移動方向にガイドするレールと、
前記噴射ガンが前記レールの所定位置を通過したことを検知して検知信号を出力する噴射ガン検知手段と、
を有し、
前記噴射ガンは、前記噴射ガン検知手段から出力された前記検知信号に基づいて制御される
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記サンドブラスト装置は、前記構造物形成材料層の厚さムラを検出する厚さムラ検出手段を有し、
前記噴射ガンは、前記厚さムラ検出手段により検出された前記構造物形成材料層の厚さムラに応じて制御される
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項6に記載のディスプレイパネルの製造方法であって、
前記サンドブラスト装置は、
前記噴射ガンを有するブラスト室と、
前記ブラスト室と区分けされ前記厚さムラ検出手段を有する検出室と、
を備え、
前記検出室において前記厚さムラ検出手段が前記構造物形成材料層の厚さムラを検出した後、前記ブラスト室において構造物形成工程が実施される
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006324078A JP2008140610A (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006324078A JP2008140610A (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008140610A true JP2008140610A (ja) | 2008-06-19 |
Family
ID=39601869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006324078A Ceased JP2008140610A (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008140610A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091893A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Nikon Corp | 表示素子の製造方法、及び表示素子の製造装置 |
JP2015033741A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | ブラスト工業株式会社 | ブラスト処理装置及びブラスト処理方法 |
-
2006
- 2006-11-30 JP JP2006324078A patent/JP2008140610A/ja not_active Ceased
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091893A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Nikon Corp | 表示素子の製造方法、及び表示素子の製造装置 |
JP2015033741A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | ブラスト工業株式会社 | ブラスト処理装置及びブラスト処理方法 |
US9839988B2 (en) | 2013-08-08 | 2017-12-12 | Subaru Corporation | Blast processing device and blast processing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101009312B1 (ko) | 인쇄 장치 | |
JP2006187758A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
WO2007132705A1 (ja) | 液滴吐出描画装置 | |
KR100944062B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP2004014393A (ja) | プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成方法及び蛍光面形成装置 | |
JP2008140610A (ja) | ディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2007098648A (ja) | 建築板の塗装装置 | |
JP2007320063A (ja) | 印刷装置及び印刷方法 | |
JP5052942B2 (ja) | 塗布装置 | |
KR100754577B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP4058452B2 (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 | |
WO2007125901A1 (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 | |
JP6752577B2 (ja) | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 | |
JP4541321B2 (ja) | 液滴塗布装置、液滴塗布方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2017042700A (ja) | 液状体の吐出評価方法、および吐出評価機構 | |
JP6244039B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2019209672A (ja) | インクジェット装置、およびそれを用いた機能素子の製造方法 | |
JP2010277913A (ja) | 除電装置 | |
KR100784026B1 (ko) | 도포 장치 | |
JP5803211B2 (ja) | インクジェット描画装置 | |
WO2018070177A1 (ja) | 塗布膜形成方法、及び、インクジェット塗布装置 | |
KR100589373B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법 및 그 제조장치 | |
JP4192895B2 (ja) | パターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 | |
JP2015149210A (ja) | 表示基板とその製造方法 | |
JP2005186204A (ja) | サンドブラスト装置、および、プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20090612 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20110613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110614 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
AA92 | Notification of invalidation |
Effective date: 20110628 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971092 |