JP2008134184A - 金属表面の接合性・接続性評価方法および評価装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】a)評価対象である金属12に測定プローブ16を接触し、測定プローブ16の加圧荷重Fの変化に対する金属12と測定プローブ16の接触部の電気抵抗を含む実測抵抗Rの変化を測定する;b)求めた実測抵抗Rと加圧荷重Fを次の式に適用することによって評価係数ρfを求める;式:R=ρf/F+C(但しρf、Cは常数)c)評価係数ρfの大きさに基づいて接合性および接続性の良否を判断する。
【選択図】図1
Description
R=RC+RP …(1)
RC=RS+Rf …(2)
RS=ρC/S
と表せるから、接触抵抗RCは
RC=ρC/S+Rf …(3)
となる。一方接触界面が塑性変形状態であれば、接触界面の平均圧力(F/S)は一定となり、降伏圧力σyieldで表せる。
σyield=F/S …(4)
σyield=φ・σy …(5)
R=ρC・φ・σy・(1/F)+Rf+RP …(6)
ここで次の凝着パラメータρf(Ω・N)を定義する。
ρf=ρC・φ・σy …(7)
従って実測抵抗Rは、
R=ρf・(1/F)+C …(8)
ただしCは常数であり、C=(Rf+RP)である。
12 電極(接合対象となる金属)
14、56、56A、56B 補助プローブ
16、58、58A、58B 測定プローブ
18、62、62A、62B 圧力検出素子(ロードセル)
20、54、54A、54B 加圧器
26 バンプ(接合対象となる他方の金属)
28 制御装置
30 抵抗測定部
32 荷重制御部
34 評価係数演算部
38 評価部
50、50A、50B プローブ装置
52、52A、52B 加圧板
60、60A コイルばね(弾性体)
62、62A、62B 圧力検出素子
Claims (13)
- 金属の接合性および接続性を評価する金属表面の接合性・接続性評価方法であって、
a)評価対象である金属に測定プローブを接触し、前記測定プローブの加圧荷重Fの変化に対する前記金属と測定プローブの接触部の電気抵抗を含む実測抵抗Rの変化を測定する;
b)求めた実測抵抗Rと加圧荷重Fを次の式に適用することによって評価係数ρfを求める;
式:R=ρf/F+C(但しρf、Cは常数)
c)評価係数ρfの大きさに基づいて接合性および接続性の良否を判断する;
以上のa)、b)、c)の工程を備える金属表面の接合性・接続性評価方法。 - 請求項1の工程c)において、評価係数ρfが小さい程接合性および接続性が良いと評価する請求項1の金属表面の接合性・接続性評価方法。
- 金属はプリント配線板の電極であり、電極表面には金めっきが施され、この金めっき層の接合性および接続性を評価する請求項1または2の金属表面の接合性・接続性評価方法。
- 請求項1の工程a)において、荷重Fを連続的に増加しつつ実測抵抗Rを連続的に測定する請求項1の金属表面の接合性・接続性評価方法。
- 請求項1の工程b)において、荷重Fの逆数1/Fと抵抗Rとを直交座標系の2つの座標軸にとり、求めた直線の傾きを評価係数ρfとする請求項1の金属表面の接合性・接続性評価方法。
- 請求項1の工程a)において、異なる複数の荷重Fnに対する実測抵抗Rnを測定し、工程b)においてこれらの測定値に対する複数の評価係数ρfnの平均値を最終的な評価係数ρfとする請求項1の金属表面の接合性・接続性評価方法。
- 金属の接合性および接続性を評価するための金属表面の接合性・接続性評価装置であって、
評価対象となる金属に接触する測定プローブと、
この測定プローブを前記金属に押圧する加圧器と、
前記加圧器による測定プローブの加圧荷重Fを測定する圧力検出部と、
前記加圧器による加圧荷重Fを制御する荷重制御部と、
前記金属と測定プローブとの接触部に電流Iを供給する電源と、
前記金属と測定プローブとの接触部の電気抵抗RCを含む実測抵抗Rを求める抵抗測定部と、
圧力Fと実測抵抗Rとを用いて、式[R=ρf/F+C](但しρf、Cは常数)から評価係数ρfを求める評価係数演算部と、
求めた評価係数ρfの大きさに基づいて接合性および接続性の良否を評価する評価部と、
を備えることを特徴とする金属表面の接合性・接続性評価装置。 - 圧力検出部は、加圧器の加圧板と測定プローブとの間に介在する圧力測定素子を備える請求項7の金属表面の接合性・接続性評価装置。
- 圧力検出部は、加圧器に内蔵する圧力測定素子を備え、加圧器の加圧板に測定プローブが固定されている請求項7の金属表面の接合性・接続性評価装置。
- 請求項7〜9のいずれかの金属表面の接合性・接続性評価装置であって、さらに、測定プローブに近接して評価対象である金属の表面に一定荷重で接触する補助プローブを備え、抵抗測定部は測定対象である金属を通してこの補助プローブと測定プローブとの間に流す電流を用いて測定対象である金属と補助プローブとの接触部の電気抵抗R0を含む実測抵抗Rを測定する請求項7の金属表面の接合性・接続性評価装置。
- 請求項8の金属表面の接合性・接続性評価装置に用いる測定プローブと補助プローブを一体化したプローブ装置であって、加圧器の加圧板に圧力測定素子を介して取付けられた測定プローブと、前記加圧板に弾性体を介して取付けられた補助プローブとを備えるプローブ装置。
- 請求項11において、弾性体はコイルばねであるプローブ装置。
- 請求項9の金属表面の接合性・接続性評価装置に用いる測定プローブと補助プローブを一体化したプローブ装置であって、測定プローブは加圧器の加圧板に固定され、補助プローブは弾性体を介して前記加圧板に取付けられ、測定プローブの荷重は加圧器に内蔵する圧力測定素子の測定荷重を補正して求める請求項9の金属表面の接合性・接続性評価装置。
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