JP2008133500A - プラスチック容器の成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
外部電極の内側に配設したプラスチック製の容器内に内部電極を挿入配置し、前記容器内を真空にする手段と、内部電極から原料ガスを該容器内に供給する手段と、外部電極と内部電極間にプラズマを発生させる手段とを有し、前記容器内壁面にプラズマ化学気相析出法により薄膜を形成する成膜装置において、前記内部電極の先端にスリット状のガス供給孔を有する部材を設け、その部材の出口側面に短辺寸法が0.5mm以下、奥行き寸法が前記短辺寸法の10倍以上有することを特徴とするプラスチック容器の成膜装置。
【選択図】図1
Description
したとき不都合である。
外部電極の内側に配設したプラスチック製の容器内に内部電極を挿入配置し、前記容器内を真空にする手段と、内部電極から原料ガスを該容器内に供給する手段と、外部電極と内部電極間にプラズマを発生させる手段とを有し、前記容器内壁面にプラズマ化学気相析出法により薄膜を形成する成膜装置において、前記内部電極の先端にスリット状のガス供給孔を有する部材を設け、その部材の出口側面に短辺寸法が0.5mm以下、奥行き寸法
が前記短辺寸法の10倍以上有することを特徴とするプラスチック容器の成膜装置である。
前記スリット状のガス供給孔の短辺寸法が、該ガス供給孔を有する部材の流入側から流出側まで一定であることを特徴とする請求項1に記載のプラスチック容器の成膜装置である。
前記スリット状のガス供給孔の短辺寸法が、該ガス供給孔を有する部材の流入側から流出側に向かって減少することを特徴とする請求項1に記載のプラスチック容器の成膜装置である。
前記スリット状のガス供給孔を有する部材に、1個以上のスリット状のガス供給孔を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
前記スリット状のガス供給孔を有する部材は、前記内部電極に着脱が可能な機構を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
前記スリット状のガス供給孔を有する部材が、射出成形法または焼結法で成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
本発明のスリット短辺が0.5mm、奥行き寸法が8mmのガス供給孔を有する部材を設けたプラスチック容器の成膜装置を用いて、500mlのプラスチック容器10本の内壁面に薄膜を形成した。この薄膜形成に際しては、成膜装置の原料ガスであるヘキサメチレンジシロキサン(HMDSO)と酸素からなる原料ガスの混合比率、成膜時間、ラジオフリークエンシー(RF)電力等の条件を任意に変化させて行った。しかる後、内壁面に薄膜を形成したプラスチック容器の酸素透過度及び膜厚等を測定し、評価した。その評価結果を表1に示す。
従来の、スリット短辺が0.5mm、奥行き寸法が1.5mmのガス供給孔を有する部材を設けたプラスチック容器の成膜装置を用いて、500mlのプラスチック容器10本の内壁面に薄膜を形成した。また、薄膜形成に際しては、実施例1と同様に行った。しかる後、内壁面に薄膜を形成したプラスチック容器の酸素透過度及び膜厚等を測定し、評価した。その評価結果を表2に示す。
実施例1に示した本発明によれば、プラスチック容器の薄膜形成に際しては、輻射熱によるプラスチック容器の塑性変形を生ずることなく、安定したプラズマ放電でプラスチック容器内壁面に均一な薄膜を形成することができた。そして、表1に示すように、酸素透過度に優れ、且つ、各部での膜厚のバラツキが少ないプラスチック容器を作成できた。
2…外部電極
3…絶縁板
4…プラスチック容器
5…内部電極
6…ガス供給孔
7…プラスチック内部空間
8…プラスチック容器と外部電極の隙間
9…容器口部
10…原料ガス供給管
11…排出口
Claims (6)
- 外部電極の内側に配設したプラスチック製の容器内に内部電極を挿入配置し、前記容器内を真空にする手段と、内部電極から原料ガスを該容器内に供給する手段と、外部電極と内部電極間にプラズマを発生させる手段とを有し、前記容器内壁面にプラズマ化学気相析出法により薄膜を形成する成膜装置において、前記内部電極の先端にスリット状のガス供給孔を有する部材を設け、その部材の出口側面に短辺寸法が0.5mm以下、奥行き寸法が前記短辺寸法の10倍以上有することを特徴とするプラスチック容器の成膜装置。
- 前記スリット状のガス供給孔の短辺寸法が、該ガス供給孔を有する部材の流入側から流出側まで一定であることを特徴とする請求項1に記載のプラスチック容器の成膜装置。
- 前記スリット状のガス供給孔の短辺寸法が、該ガス供給孔を有する部材の流入側から流出側に向かって減少することを特徴とする請求項1に記載のプラスチック容器の成膜装置。
- 前記スリット状のガス供給孔を有する部材に、1個以上のスリット状のガス供給孔を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
- 前記スリット状のガス供給孔を有する部材は、前記内部電極に着脱が可能な機構を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
- 前記スリット状のガス供給孔を有する部材が、射出成形法または焼結法で成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプラスチック容器の成膜装置。
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