JP2008130600A - 塗布膜の形成方法および塗布膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被処理基板に対して、レジスト等の薬液を所望の膜質で全面に確実に塗布する。
【解決手段】塗布膜形成装置は、シリコン基板1を載置するためのスピンチャック2が回転可能に設けられ、第1の滴下ノズル9によりレジストを滴下してシリコン基板1を回転させて第1の塗布膜を形成する。シリコン基板1のノッチ部分などで発生する塗布不良領域に対して第2の滴下ノズル10からレジストを滴下して第2の塗布膜を形成し、全面に確実にレジストの塗布膜を形成する。その後、吸引ノズル11により第2の塗布膜の表面を吸引して乾燥させる。
【選択図】図1
【解決手段】塗布膜形成装置は、シリコン基板1を載置するためのスピンチャック2が回転可能に設けられ、第1の滴下ノズル9によりレジストを滴下してシリコン基板1を回転させて第1の塗布膜を形成する。シリコン基板1のノッチ部分などで発生する塗布不良領域に対して第2の滴下ノズル10からレジストを滴下して第2の塗布膜を形成し、全面に確実にレジストの塗布膜を形成する。その後、吸引ノズル11により第2の塗布膜の表面を吸引して乾燥させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造工程(ウェハー工程、露光用マスク製造工程)や、液晶デバイス製造工程における塗布膜作成工程に用いられる塗布膜の形成方法および塗布膜形成装置に関する。
例えば半導体装置の製造工程においては、被処理基板であるシリコン基板上に複数の膜物質を堆積し、所望のパターンにパターニングする工程を多く含んでいる。このパターニング工程は、一般にフォトレジストと呼ばれる感光性物質をシリコン基板上の被加工物の上に堆積し、このレジストを選択的に露光することによってなされる。フォトレジスト液は薬液供給装置のノズルより、高速で回転するシリコン基板表面上に滴下することによって必要な膜厚のレジスト膜として形成される。(例えば、特許文献1参照)
近年、シリコン基板が大口径化したため、従来のスピンコーティング法では塗布薬液が広がりづらくなってきており、シリコン基板のノッチ部分やベベル部分に塗布できない部分が残り、シリコン基板の塗布面全面に所望の膜を成膜することが困難になってきている。
特開2004−103781号公報
近年、シリコン基板が大口径化したため、従来のスピンコーティング法では塗布薬液が広がりづらくなってきており、シリコン基板のノッチ部分やベベル部分に塗布できない部分が残り、シリコン基板の塗布面全面に所望の膜を成膜することが困難になってきている。
本発明は、被処理基板に対して、レジストなどの薬液を所望の膜質で全面に確実に塗布することができる塗布膜の形成方法および塗布膜形成装置を提供することを目的とする。
本発明の塗布膜の形成方法は、溶媒に固形分が添加された第1の薬液を被処理基板に滴下し、当該被処理基板を回転させることで前記被処理基板に第1の塗布膜を形成する第1の塗布膜形成工程と、溶媒に固形分が添加され、前記被処理基板上で一定量広がるように調整された第2の薬液を静止した前記被処理基板上の前記第1の塗布膜の塗布不良領域に滴下して第2の塗布膜を形成する第2の塗布膜形成工程と、前記第2の塗布膜を乾燥させる乾燥処理工程と、前記第1および第2の塗布膜をベーク処理するベーク工程とを有することを特徴としている。
また、本発明の塗布膜形成装置は、被処理基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部を前記被処理基板を載置した状態で回転可能な回転駆動部と、前記載置部に載置された被処理基板に第1の薬液を滴下する第1の滴下ノズルと、第2の薬液を滴下する第2の滴下ノズルと、前記第2の滴下ノズルを前記基板載置部に対して相対的に移動制御可能な移動手段と、前記基板載置部に載置した前記被処理基板の表面部の空気を吸引することで乾燥処理を行う吸引ノズルとを備えたところに特徴を有する。
本発明の塗布膜の形成方法によれば、第1の塗布膜形成工程で塗布不良領域が発生しても第2の塗布膜形成工程で被処理基板の全面に確実に塗布膜を形成することができる。
以下、本発明を被処理基板である半導体基板にレジストなどの薬液の塗布膜を形成する場合の一実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係わる塗布膜形成装置の構成を原理的に示す図で、図1(a)は上面図、図1(b)は側面図を示している。被処理基板としてシリコンウエハであるシリコン基板1を載置するスピンチャック2は、シリコン基板1の大きさ(例えば直径30cm)に対応した円形の載置部であり、下面中央に回転軸3が設けられモータ4の回転軸に連結され回転可能に構成されている。スピンチャック2の上方にこれを図1(a)中上下方向(図中Y1、Y2方向)に縦断するように第1のアーム5および第2のアーム6が掛け渡されている。第1および第2のアーム5、6の各端部はこれらと直交する方向(図中X1、X2方向)にガイドレール7、8が設けられており、第1および第2のアーム5、6は、それぞれが図中X1、X2方向に平行移動可能に設けられている。
図1は、本実施形態に係わる塗布膜形成装置の構成を原理的に示す図で、図1(a)は上面図、図1(b)は側面図を示している。被処理基板としてシリコンウエハであるシリコン基板1を載置するスピンチャック2は、シリコン基板1の大きさ(例えば直径30cm)に対応した円形の載置部であり、下面中央に回転軸3が設けられモータ4の回転軸に連結され回転可能に構成されている。スピンチャック2の上方にこれを図1(a)中上下方向(図中Y1、Y2方向)に縦断するように第1のアーム5および第2のアーム6が掛け渡されている。第1および第2のアーム5、6の各端部はこれらと直交する方向(図中X1、X2方向)にガイドレール7、8が設けられており、第1および第2のアーム5、6は、それぞれが図中X1、X2方向に平行移動可能に設けられている。
スピンチャック2の上方中央に位置して第1の薬液を滴下可能な第1のノズル9が設けられている。第1のノズル9には、第1の薬液としてスピンコート用に調整された塗布液がスピンチャック2上に滴下されるように設定されている。第1のアーム5には第2の薬液を滴下可能な第2のノズル10がY1方向に往復移動可能に設けられている。第2のノズル10には、第2の薬液として滴下時に一定量広がるように調整された塗布液がスピンチャック2上に滴下されるように設定されている。
第2のアーム6には吸引口がスピンチャック2の上面に臨むように配置された吸引ノズル11がY2方向に往復移動可能に設けられている。吸引ノズル11には伸縮チューブ12が接続され、その伸縮チューブ12は真空ポンプ13の吸引口側に接続されている。真空ポンプ13が運転されると伸縮チューブ12を介して吸引ノズル11から空気を吸引する。これによって、シリコン基板1の表面近傍の空気が吸引ノズル11に向かって移動するので、吸引ノズル1の直下とその周辺のシリコン基板1の表面を乾燥させることができる。
次に、フォトリソグラフィ処理工程の概略について説明する。フォトリソグラフィ処理では、通常、フォトレジストや反射防止膜などをシリコン基板1に塗布し、ベーク処理をした上で露光を行い、これを現像処理してレジストパターンを形成する。
また、液浸露光法を用いたフォトリソグラフィ処理では、シリコン基板1の表面にフォトレジスト膜を成膜した状態で、露光機のレンズとの間に水などの液体を満たして露光を行うので、フォトレジスト成分が水に溶出してレンズを汚染するのを防止する目的で、フォトレジスト上に保護膜を形成する必要がある。このため、液浸露光法においては、例えば、反射防止膜、フォトレジストを塗布した後に保護膜の塗布を行った上で液浸露光を行う。なお、各膜の塗布時には通常その後にベーク処理を行っている。
薬液の塗布処理では、先ず、第1の塗布膜形成工程として、シリコン基板1をスピンチャック2に載置し、モータ4を駆動させてスピンチャック2を高速回転させながらシリコン基板1の中央部に第1のノズル9から第1の薬液を滴下する。第1の薬液は溶媒に固形分が添加されたもので、所定量だけ滴下される。
第1の薬液の滴下量としては、0.01cc〜30cc、より好ましくは0.1cc〜10ccの範囲を好適に用いることができる。その理由は、下限(0.01cc)は吐出量が少な過ぎず塗布膜をシリコン基板1の全面に広げることができる程度で、且つ、上限(30cc)はシリコン基板1上に塗られない薬液量が適切で効率的な範囲に設定される。また、第1の薬液の滴下位置についてはシリコン基板1の中心部から半径1cm以内が望ましく、シリコン基板1に滴下して均一な膜厚で成膜できる範囲が適している。
また、第1のノズル9は、常時シリコン基板1の上に位置させている必要はなく、第1の薬液滴下時のみシリコン基板1上に移動する。スピンチャック2の回転数は、例えば100〜20000rpmで、より好ましくは500〜7000rpmが好適である。この場合、500〜7000rpmとすることで第1の薬液をシリコン基板1上に均一に広げることが可能で且つシリコン基板1の外周に乱流を生じさせない状態で均一な膜質を得ることができる。
次に、第2の塗布膜形成工程を実施する。第1の塗布膜形成工程においては、シリコン基板1の塗布面の全面に渡って第1の塗布膜を形成することができない場合がある。例えば、図2(a)に示すシリコン基板1のノッチ1a部分や、図3(a)に示すシリコン基板1の外周の側面に形成した面取りをしたベベル部1bなどである。このようなノッチ1aやベベル部1bなどにおいては、第1の塗布膜形成工程でスピンコートした場合に、形状あるいは表面状態などに起因して確実に第1の塗布膜が形成されないことがある。このような場合に、塗布不良として再塗布を行うことは工数が増大することにつながる。これを補うように第2の塗布膜を形成するのが第2の塗布膜形成工程である。
この第2の塗布膜形成工程では、シリコン基板1に対して、該基板上で一定量広がるように調整され、溶媒に固形分が添加された第2の薬液を第2の滴下ノズル10から滴下して前記被処理基板の一部分に液状膜を形成する。溶媒、固形分については第1塗布膜形成工程で説明したものと同一なものを通常は使用するが、異なる材料を用いてもよい。また、第2の滴下ノズル10は第1の塗布膜形成工程で用いた第1の滴下ノズル9と同一でも、異なるノズルでもよい。ノズルの形状は限定されることがなく、円形状の開口部をもったノズル、スリット状の開口部をもったスリットノズルでもよい。
この場合、吐出量は0.001cc〜30ccの範囲を好適に用いることができる。これは、塗布膜の広がりを所定の領域にできる吐出量で且つ過剰な薬液が供給されないようにすることができる範囲である。第2の滴下ノズル10の配置については、直上にある必要はなく、斜め上に位置する構成としてもよい。また、塗布膜を形成すべき領域に対して第2の滴下ノズル10を位置させる距離については、0.01cm〜5.00cmの範囲が採用でき、より好ましくは0.1cm〜1.0cmの範囲に設定することが好ましい。
塗布膜の形成方法については、第2の薬液を第2の滴下ノズル10から噴射させて一定量広げて第2の塗布膜を形成する方法や、溶媒に固形分が添加された第2の薬液を第2の滴下ノズル10から滴下した後、第2の滴下ノズル10に対してシリコン基板1を相対移動させながら第2の薬液を供給することで所定の領域に一定量広げることもできる。相対移動させて第2の塗布膜を作成する場合には、第2の滴下ノズル10を移動させても、シリコン基板1を移動させても、あるいは両者を移動させても良い。
さらに、上記の各塗布膜形成工程においては、第1および第2の塗布膜を形成した後にベーク処理を行う。この場合、第1および第2の塗布膜形成工程のそれぞれにおいてベーク処理を行うこともできるし、両塗布膜を形成した後にまとめて行うこともできる。
次に、図2、図3を参照して実際にフォトレジストを塗布する場合の実施例について説明する。
次に、図2、図3を参照して実際にフォトレジストを塗布する場合の実施例について説明する。
(実施例1)
この実施例1は、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F1を形成する場合にノッチ1a部分で塗布不良領域S1が発生する場合に対応するものである。
第1の塗布膜形成工程では、スピンチャック2に載置したシリコン基板1上に、第1の塗布膜である信越化学社製化学増幅型ポジレジストSIAL−X125をシリコン基板1の中央部に直径2mmの円形状の開口部を持つ第1の滴下ノズル9を介して1cc滴下する。滴下時のシリコン基板1の表面と第1の滴下ノズル9との間の間隔は1cmである。続いて、スピンチャック2をモータ4により1000rpmで回転させ、シリコン基板1を回転させることでレジストを遠心力で外周側に向けて広げ、第1の塗布膜F1を形成する。
この実施例1は、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F1を形成する場合にノッチ1a部分で塗布不良領域S1が発生する場合に対応するものである。
第1の塗布膜形成工程では、スピンチャック2に載置したシリコン基板1上に、第1の塗布膜である信越化学社製化学増幅型ポジレジストSIAL−X125をシリコン基板1の中央部に直径2mmの円形状の開口部を持つ第1の滴下ノズル9を介して1cc滴下する。滴下時のシリコン基板1の表面と第1の滴下ノズル9との間の間隔は1cmである。続いて、スピンチャック2をモータ4により1000rpmで回転させ、シリコン基板1を回転させることでレジストを遠心力で外周側に向けて広げ、第1の塗布膜F1を形成する。
図2(a)は第1の塗布膜F1の形成状態を示すもので、シリコン基板1の塗布面の略全面に渡り第1の塗布膜F1が形成されるが、ノッチ1aの部分で回転方向Rに対して後方側の辺部で部分的にフォトレジストが確実に塗布できず塗布不良領域Sが発生することがある。この部分に確実にフォトレジストを塗布するために第2の塗布膜形成工程が実施される。
この第2の塗布膜形成工程では、直径2mmの円形状の開口部をもつ第2の滴下ノズル10から第2の薬液(塗布液)としてのレジスト薬液を0.1cc噴射させて、図2(b)に示すように、静止したシリコン基板1の塗布不良領域Sに対して第2の塗布膜F1sを形成した。そして、この第2の塗布膜形成工程では、吸引ノズル11を用いて第2の塗布膜F1sを乾燥させる。このとき、吸引ノズル11は、アーム6がガイドレール7、8上を移動すると共に、アーム6上を移動制御されて第2の塗布膜F1sが形成された領域まで移動する。この後、シリコン基板1を125℃で60秒間ベーク処理をしてシリコン基板1の面内において膜厚が均一なレジスト膜を得ることができる。
レジスト薬液を乾燥させないままベーク処理するとレジスト膜にピンホールが形成される虞がある。このため、静止したシリコン基板1に第2の薬液を塗布した後に、吸引ノズル11で乾燥処理を行っている。なお、第1の薬液はシリコン基板1の回転により乾燥処理が行われる。
(実施例2)
この実施例2は、上述同様に、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F1を形成し、ベーク処理した後にノッチ1a部分で塗布不良領域S1が発生する場合に対応するものである。
まず、第1の塗布膜形成工程で、上記した実施例1と同様に第1の塗布膜F1を形成する。そしてこの後、シリコン基板1を125℃で60秒間ベーク処理をする。(第1のベーク工程)ベーク処理後、シリコン基板1のノッチ1a部にレジストが塗布されていない塗布不良領域S1が発生することがある。
この実施例2は、上述同様に、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F1を形成し、ベーク処理した後にノッチ1a部分で塗布不良領域S1が発生する場合に対応するものである。
まず、第1の塗布膜形成工程で、上記した実施例1と同様に第1の塗布膜F1を形成する。そしてこの後、シリコン基板1を125℃で60秒間ベーク処理をする。(第1のベーク工程)ベーク処理後、シリコン基板1のノッチ1a部にレジストが塗布されていない塗布不良領域S1が発生することがある。
したがって、第1の塗布膜F1のベーク処理後、実施例1同様に、静止したシリコン基板1のノッチ1a部に対して第2の塗布膜F1sを形成する第2の塗布膜形成工程を実施する。その後、吸引ノズル11を用いて第2の塗布膜F1sを乾燥させてから第2の塗布膜F1sのベーク処理を行う。(第2のベーク工程)これにより、シリコン基板1の表面に面内で膜厚が均一な状態で塗布膜すなわちレジスト膜を形成する。
(実施例3)
この実施例3は、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F2を形成する場合にベベル部1b部分で塗布不良領域S2が発生する場合に対応するものである。
この実施例3は、直径が300mmのシリコンウエハであるシリコン基板1に、塗布膜としてフォトレジスト塗布膜F2を形成する場合にベベル部1b部分で塗布不良領域S2が発生する場合に対応するものである。
第1の塗布膜形成工程では、第1の薬液としてノボラック樹脂10gに乳酸エチル90gを溶解させて調整した下層レジストを用い、シリコン基板1の中央部に直径2mmの円形状の開口部を持つ第1の滴下ノズル9を介して1cc滴下する。滴下時のシリコン基板1の表面と第1の滴下ノズル9との距離は1cmである。続いて、シリコン基板1を1000rpmで回転させて図3(a)に示すような第1の塗布膜F2を形成した。
図3(a)は第1の塗布膜F2の形成状態を示すもので、シリコン基板1の塗布面の略全面に渡り第1の塗布膜F1が形成されるが、周辺部のベベル部1bの部分で部分的に下層レジストが確実に塗布できず塗布不良領域S2が発生することがある。この部分に確実に下層レジストを塗布するために第2の塗布膜形成工程が実施される。
この第2の塗布膜形成工程では、直径2mmの円形状の開口部をもつ第2の滴下ノズル10を、シリコン基板1のベベル部1bの上部1mmに移動配置させ、第2の薬液としてのレジスト薬液を噴射させながら、スピンチャック2を回転駆動させてシリコン基板1を100rpmの回転速度で一回転または複数回転させる。シリコン基板1を1000rpm程度の高速回転させるとベベル部1bにおいて乱気流が発生するため第1の塗布膜F1が形成されにくい。このため、第1の塗布膜F1の形成時より回転数を下げて、低速回転で第2の塗布膜F2sを形成することにより、ベベル部1bに第2の塗布膜F2sを確実に形成できる。この後、シリコン基板1を1200rpmで30秒間回転して塗布膜F2、F2sを乾燥させる。続いて、シリコン基板1を125℃で60秒間ベーク処理をすることで、シリコン基板1の面内で膜厚が均一なレジスト膜を塗布膜として形成することができる。
(変形例)
上記各実施例においては、いずれも第1の塗布膜形成工程後、必ず第2の塗布膜形成工程を実施するようにしているが、例えば、第1の塗布膜形成工程の後に、シリコン基板1の塗布膜F1、F2の形成状態を外観検査により確認して塗布不良領域S1あるいはS2が発生している場合にのみ第2の塗布膜形成工程を実施することもできる。
上記各実施例においては、いずれも第1の塗布膜形成工程後、必ず第2の塗布膜形成工程を実施するようにしているが、例えば、第1の塗布膜形成工程の後に、シリコン基板1の塗布膜F1、F2の形成状態を外観検査により確認して塗布不良領域S1あるいはS2が発生している場合にのみ第2の塗布膜形成工程を実施することもできる。
上記実施形態においては、フォトレジストを薬液として採用した場合で説明したが、このフォトレジストについては、その目的に応じて、ポジ型またはネガ型を選択して使用することができる。具体的には、ポジ型のレジストとしては、例えば、ナフトキノンジアジドとノボラック樹脂とからなるレジスト(IX−770,JSR社製)、t−BOCで保護したポリビニルフェノール樹脂とオニウム塩とからなる化学増幅型レジスト(APEX−E,シップレー社製)などが挙げられる。また、ネガ型のレジストとしては、例えば、ポリビニルフェノールとメラミン樹脂および光酸発生剤からなる化学増幅型レジスト(XP−89131、シップレー社製)、ポリビリルフェノールとビスアジド化合物とからなるレジスト(RD−2000D,日立化成社製)などが挙げられるが、これらに限定されることはない。レジスト膜中に発生する定在波によりレジストパターンの寸法制御性が劣化するのを防ぐために、感光性組成物中に紫外光を吸収するクマリン、クルクミン等の染料を添加してレジスト膜の透明度を低下させてもよい。
また、それらの溶媒としては、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルアセテート等のセロソルブ系溶剤、乳酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル等のエステル系溶剤、メタノール、エタノール、イソプロパニール等のアルコール系溶剤、その他アニソ―ル、トルエン、キシレン、ナフサなどを挙げることができる。
滴下する薬液の種類としては、フォトレジスト以外に、反射防止膜剤や液浸露光で用いる保護膜、あるいは酸化膜剤などがあげられる。前述した液浸露光における保護膜としては、アルカリ現像液でレジストを現像処理する時に溶解除去可能なアルカリ可溶タイプを用いる場合と、アルカリ現像液でレジストを現像処理する前に溶媒で溶解除去をする必要がある溶媒可溶タイプがあり、いずれもレジストの塗布後に形成する。液浸露光における露光前後の工程中の保護膜洗浄工程は省略することもできる。上述の場合、アルカリ可溶タイプとしてJSR社製TCX041、溶媒可溶タイプとして東京応化工業社製TSRC002などを挙げることができる。
下層膜としては、反射防止膜、スピンオングラスなどの多層レジストの中間膜などが挙げられ、レジストの下層に形成するものであれば特に限定されるものではない。反射防止膜を形成する場合には、薬液としてロームアンドハウス社製AR5、AR26などの塗布型反射防止膜を用いることができる。
このほかにも、塗布膜として塗布型の酸化膜(SOG:spin on glass)を形成する場合には、酸化膜として層間絶縁膜(ILD=Inter Layer Dielectrics)として用いる薬液がある。例えば無機SOGとしては、HSG膜(水素化シルセスキオキサン)、有機SOG膜としてはMSQ膜(メチルシルセスキオキサン膜)が用いられ、またLow−k(低誘電率層間絶縁膜)材料には、有機SOGとして日立化成工業製のHSGや、ハネウェル社のHOSPなどがあり、有機ポリマー系ではダウ・ケミカル社製のSilK、ハネウェル社製のFLAREなどがある。
被処理基板としては、シリコン基板以外の半導体基板でも良いし、半導体基板以外にガラス基板やその他の塗布膜を形成する基板であれば何でも適用することができる。
また、直径300mm以外の基板に対しても適用することができる。
また、直径300mm以外の基板に対しても適用することができる。
図面中、1はシリコン基板(被処理基板)、2はスピンチャック(載置部)、4はモータ、9は第1の滴下ノズル、10は第2の滴下ノズル、11は吸引ノズルである。
Claims (5)
- 溶媒に固形分が添加された第1の薬液を被処理基板に滴下し、当該被処理基板を回転させることで前記被処理基板に第1の塗布膜を形成する第1の塗布膜形成工程と、
溶媒に固形分が添加され、前記被処理基板上で一定量広がるように調整された第2の薬液を静止した前記被処理基板上の前記第1の塗布膜の塗布不良領域に滴下して第2の塗布膜を形成する第2の塗布膜形成工程と、
前記第2の塗布膜を乾燥させる乾燥処理工程と、
前記第1および第2の塗布膜をベーク処理するベーク工程と
からなる塗布膜の形成方法。 - 溶媒に固形分が添加された第1の薬液を被処理基板に滴下し、当該被処理基板を回転させることで前記被処理基板に第1の塗布膜を形成する第1の塗布膜形成工程と、
前記第1の塗布膜をベーク処理する第1のベーク工程と、
溶媒に固形分が添加され、前記被処理基板上で一定量広がるように調整された第2の薬液を静止した前記被処理基板上の前記第1の塗布膜の塗布不良領域に滴下して第2の塗布膜を形成する第2の塗布膜形成工程と、
前記第2の塗布膜を乾燥させる乾燥処理工程と、
前記第2の塗布膜をベーク処理する第2のベーク工程と
からなる塗布膜の形成方法。 - 溶媒に固形分が添加された第1の薬液を半導体基板に滴下し、当該半導体基板を回転させることで前記半導体基板に第1の塗布膜を形成する第1の塗布膜形成工程と、
溶媒に固形分が添加された第2の薬液を前記半導体基板のベベル領域に滴下して第2の塗布膜を形成する第2の塗布膜形成工程と、
からなる塗布膜の形成方法。 - 溶媒に固形分が添加された第1の薬液を半導体基板に滴下し、当該半導体基板を第1の回転速度で回転させることで前記半導体基板に第1の塗布膜を形成する第1の塗布膜形成工程と、
溶媒に固形分が添加された第2の薬液を前記半導体基板のベベル領域に滴下し、当該半導体基板を前記第1の速度より回転速度が低い第2の回転速度で回転させることで第2の塗布膜を形成する第2の塗布膜形成工程と、
からなる塗布膜の形成方法。 - 被処理基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部を前記被処理基板を載置した状態で回転可能な回転駆動部と、
前記載置部に載置された被処理基板に第1の薬液を滴下する第1の滴下ノズルと、
第2の薬液を滴下する第2の滴下ノズルと、
前記第2の滴下ノズルを前記基板載置部に対して相対的に移動制御可能な移動手段と、
前記基板載置部に載置した前記被処理基板の表面部の空気を吸引することで乾燥処理を行う吸引ノズルと
を備えたことを特徴とする塗布膜形成装置。
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