JP2008130356A - ホットプレート及びこれを備えた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るホットプレート10は、加熱源13を内蔵した複数のヒーターブロック11A〜11Hを相互に隣接配置させてなる加熱部11と、加熱部11の上面に配置されて被処理基板Wの支持面を形成する単一の伝熱板12とを備えている。ホットプレート10の主要部を構成する加熱部11を複数のヒーターブロック11A〜11Hに分割可能に構成することで、ホットプレート10の作製、運搬および設置を容易に行うことが可能となる。そして、これら複数のヒーターブロックからなる加熱部11の上面に伝熱板12を配置することによって、被処理基板Wの支持面において個々のヒーターブロック間における温度勾配の発生を抑制し、支持面の均熱性を確保することができる。
【選択図】図1
Description
図1及び図2は本発明の第1の実施形態を示しており、図1は本発明の実施形態によるホットプレート10の概略構成を示す側断面図、図2は本実施形態のホットプレート10を構成する加熱部11の概略平面図である。
図3は本発明の第2の実施形態を示している。上述した第1の実施形態では、ホットプレートの加熱部の平面形状が長方形状である場合について説明したが、本実施形態では、当該加熱部の平面形状が円形状で形成された例について説明する。
図4及び図5は本発明の第3の実施形態を示しており、図4は本発明に係る基板処理装置としての熱CVD装置35の概略構成図、図5はホットプレート30の概略側断面図である。
図6は本発明の第4の実施形態によるホットプレートの加熱部の概略構成を示している。本実施形態では、複数のヒーターブロックの集合からなるホットプレートの加熱部構造を基準とし、この基準とする加熱部構造の周囲に形状の異なるヒーターブロックを配置して、全体形状や大きさを変化させる例について説明する。
図7は本発明の第5の実施形態によるホットプレートの加熱部の概略構成を示している。本実施形態では、3種類の四角形状のヒーターブロック51A、51B1〜51B4、51C1〜51C4を組み合わせて、全体形状が長方形状の加熱部51を構成した例を示している。特に本実施形態では、面積が最も大きなヒーターブロック51Aの周りに他のヒーターブロックを配置するようにしている。このように、内側に大面積のヒーターブロックを配置し外側にこれより面積的に小さなヒーターブロックを複数配置することで、加熱部全体の面内均熱性を向上させることが可能となる。なお、上述の第2の実施形態の構成においても同様な効果を得ることができる。
11,21,31 加熱部
11A〜11H,21A,21B1〜21B4,31A〜31C ヒーターブロック
12,32 伝熱板
13,33 加熱源
14 ブロック部
15 ベース部
16 脚部
17 温度調整部
35 熱CVD装置(基板処理装置)
36 反応室
37 真空ポンプ
38 ガス導入源
W 被処理基板
Claims (8)
- 加熱源を内蔵した複数のヒーターブロックを相互に隣接配置させてなる加熱部と、
前記加熱部の上面に配置されて被処理基板の支持面を形成する単一の伝熱板とを備えた
ことを特徴とするホットプレート。 - 前記加熱部は平面形状が四角形状であるとともに、形状が同一の複数のヒーターブロックの集合体からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のホットプレート。 - 前記加熱部は、形状が異なる複数種のヒーターブロックの集合体からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のホットプレート。 - 前記加熱部は平面形状が円形状であるとともに、少なくともその内周側領域と外周側領域とが異なるヒーターブロックで構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のホットプレート。 - 前記加熱部は、個々のヒーターブロックごとに、あるいは、2以上の任意のヒーターブロックからなるグループごとに温度制御を行う温度調整手段を備えている
ことを特徴とする請求項1に記載のホットプレート。 - 反応室と、前記反応室を排気する真空排気手段と、前記反応室に配置され被処理基板を加熱するホットプレートと、前記反応室へプロセスガスを導入するガス導入手段とを備えた基板処理装置であって、
前記ホットプレートは、
加熱源を内蔵した複数のヒーターブロックを相互に隣接配置させてなる加熱部と、
前記加熱部の上面に配置されて被処理基板の支持面を形成する単一の伝熱板とを備えた
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記加熱部は、前記ガス導入手段から導入されるプロセスガスのガス流れ方向に沿って前記ヒーターブロックが複数配置されている
ことを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記加熱部は、前記ガス流れ方向の下流側に位置するヒーターブロックの温度よりも上流側に位置するヒーターブロックの温度の方が高く設定されている
ことを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
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