JP2007095923A - 半導体結晶の成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】縦型に配置され、限定された空間S内に反応ガスが導入されるガス供給管52と、ガス供給管52の外周面に配置される誘導加熱手段54と、誘導加熱手段54と対向するように前記ガス供給管52の内周側に配置され、ガス導入口74とガス排出口76がそれぞれ対向する側壁面に形成された有底筒構造の輻射部材56と、輻射部材56の内方に挿入された軸59に一体的に支持され、略水平方向に複数の基板を載置できるように棚状に構成されたサセプタ構成部材58と、サセプタ構成部材58を支持する軸59に回転力および直線方向への移動力を付与する動力手段60と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
この半導体結晶の成長装置10では、供給管11が縦型に配置され、その外周に誘導加熱装置26が配置されている。そして、第1の隔壁18と第2の隔壁22とで断面矩形状に画成された内室12内に基板保持治具30が収容され、この基板保持治具30の各段に基板32が配置されている。
これらパンケーキ型の成長装置では、ペルジャと称されるドーム状の空間内にサセプタが配置される。
縦型に配置され、限定された空間内に反応ガスが導入されるガス供給管と、
前記ガス供給管の外周面に配置される誘導加熱手段と、
前記誘導加熱手段と対向するように前記ガス供給管の内周側に配置され、ガス導入口とガス排出口がそれぞれ対向する側壁面に形成された有底筒構造の輻射部材と、
前記輻射部材の内方に挿入された軸に一体的に支持され、略水平方向に複数の基板を載置できるように棚状に構成されたサセプタ構成部材と、
前記サセプタ構成部材を支持する軸に回転力および直線方向への移動力を付与する動力手段と、を備えたことを特徴としている。
このような構成であれば、外周部分での断熱性を向上させることができる。
さらに、前記輻射部材の上部に、上方断熱材が移動不能に設置されていることが好ましい。
さらに、本発明では、前記サセプタ構成部材と前記軸との間には、下方断熱部材が設置され、この下方断熱部材を介して前記サセプタ構成部材が前記軸に支持されていることが好ましい。
また、本発明では、前記下方断熱部材は、複数の反射板が多段に載置されたものであることが好ましい。
このような構成であれば、結晶の成長に不純物が混入せず、より均一な結晶膜を成長させることができる。
このような構成であれば、反応ガスの流量、流速に違いがでることが少なくなる。
図1は本発明の一実施例に係る半導体結晶の成長装置の一部を示したものである。なお、本明細書において、「上」「下」「右」「左」などは、説明の都合上便宜的に用いたもので、「上」とは図1において紙面の上を、「右」とは図1において紙面の右を示しているが、上下左右逆転した状態に配置することも可能である。
上記輻射部材56は、外側の誘導加熱手段54により誘導加熱されるもので、例えば、表面がシリコンカーバイドにより被覆された導電性材料から構成されている。本実施例の輻射部材56は、有底二重筒構造で、上下逆転した姿勢、すなわち、底部分が天井面72を構成するように配置されている。このように、本実施例では、輻射部材56が二重の円筒状に形成されているので、空間S内を略均等に加熱することが促進される。なお、この輻射部材56は、単に円筒体であっても良く、二重構造の筒体に限定されるものではない。
ンジ78を越えて不用意に下方に流れることはなく、その多くは水平方向に導出される。一方、ガス排出口76側の出口付近では、反応ガスが積極的に下方に排出できるように、フランジ78に開口78a、78bがそれぞれ形成されている。
一方、輻射部材56の天井面72の上部に配置された上方断熱材64は、炭素繊維などからなるもので、輻射部材56の天井面72に固定的に設けられている。
このように本実施例による結晶の成長装置50では、上方が上方断熱材64で断熱され、外周面が内側断熱材62で断熱され、下部側が下方断熱部材66で断熱されているので、空間Sの保熱性が極めて良好である。
以下、本実施例による結晶の成長装置50の作用について、図2を参照しながら説明する。
なお、反応ガスとしてはモノシランおよびプロパンなどを例示することができる。
このようにすれば、成長装置全体の温度を上げ下げする必要がないので、昇温時間の短縮化が図れる。
52 ガス供給管
54 誘導加熱手段
56 輻射部材
58 サセプタ構成部材
58’ 棚板
59 軸
60 動力手段
62 内側断熱材
66 下方断熱部材
68 内側筒
70 外側筒
72 天井面
74 ガス導入口
76 ガス排出口
78a 開口
a 空気層
S 空間
Claims (8)
- 縦型に配置され、限定された空間内に反応ガスが導入されるガス供給管と、
前記ガス供給管の外周面に配置される誘導加熱手段と、
前記誘導加熱手段と対向するように前記ガス供給管の内周側に配置され、ガス導入口とガス排出口がそれぞれ対向する側壁面に形成された有底筒構造の輻射部材と、
前記輻射部材の内方に挿入された軸に一体的に支持され、略水平方向に複数の基板を載置できるように棚状に構成されたサセプタ構成部材と、
前記サセプタ構成部材を支持する軸に回転力および直線方向への移動力を付与する動力手段と、を備えたことを特徴とする半導体結晶の成長装置。 - 前記反応ガスは、前記輻射部材の外側を通り、軸方向に進んだ後、前記ガス導入口からサセプタ構成部材の内部に向かって略水平方向に供給され、その後、前記ガス排出口から前記内側筒の外側を通って軸方向に送給されることを特徴とする請求項1に記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記ガス供給管と前記輻射部材との間には、内側断熱材が介在されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記輻射部材の上部に、上方断熱材が移動不能に設置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記サセプタ構成部材と前記軸との間には、下方断熱部材が設置され、この下方断熱部材を介して前記サセプタ構成部材が前記軸に支持されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記下方断熱部材は、複数の反射板が多段に載置されたものであることを特徴とする請求項5に記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記ガス供給管には、減圧手段が接続されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体結晶の成長装置。
- 前記反応ガスは、軸方向上部あるいは下部のいずれか一方から導入され、いずれか他方から排出されることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに半導体結晶の成長装置。
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