JP2008125864A - 針状体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とし、マイクロレンズの径および曲率を制御することにより、針状体の寸法および形状を制御することが出来る。
【選択図】 図1
Description
また、矩形状のパターンを重ね合わせることによって、針形状を成しているため、針状体の側面を滑らかな形状とすることが出来ず、特に針状体の先端部において先鋭化することが出来ない。
なお、ここで針状体とは、製造される一本の針のみならず、針がアレイ状に整列された構造体をも含むものとする。
まず、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する(図1(a)、図1(b))。
次に、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光し(図1(c))、現像処理を行い、針状体を製造する(図1(d))。
また、マイクロレンズの曲率を変えることによって製造される針状体の頂角を変更することが出来る。
また、マイクロレンズの焦点距離を変えることによって、製造される針状体の高さを変えることが出来る。
次に、上述の方法によって形成された針状体に充填層を形成し、充填層を針状体から剥離する事で凹型の複製版を形成する(図1(e)〜(f))。一体成形された機械的強度の高い複製版を作成することにより、同一の複製版で多量の針状体を製造することが出来るため、生産コストを低くし、生産性を高めることが可能となる。
次に、複製版に針状体材料を充填する(図1(g)〜(h))。
針状体材料は特に制限されないが、生体適合性材料である医療用シリコン樹脂や、マルトース、ポリ乳酸、デキストラン、糖質等を用いることで、生体に適用可能な針状体を形成出来る。生体適合性材料を用いれば、微細な針状体が折れて、体内に取り残された場合も、無害であるという効果を奏する。
また、針状体材料の充填方法についての制限は無いが、生産性の観点から、インプリント法、ホットエンボス法、射出成形法、押し出し成形法およびキャスティング法を好適に用いることが出来る。
離型層としては、例えば広く知られているフッ素系の樹脂を用いることが出来る。
また、離型層の形成方法としては、PVD法、CVD法、スピンコート法、ディップコート法等の薄膜形成手法を好適に用いることができる。
まず、透明基材として、石英ガラス(寸法(縦×横):12.7cm×12.7cm、厚み:230μm)を用意した。
実施例1で作製した針状体を原型とし、転写加工成型を行った。
まず、シリコン樹脂を流し込み、100℃にて30分間硬化後、原型からシリコン樹脂を剥離する事によって複製版を作製した。
11……ネガ型フォトレジスト
12……開口部を有するマスク
13……露光光
14……マイクロレンズ
15……充填層
16……針状体材料
20……マスク
21……マイクロレンズ
30……針状体
Claims (6)
- 微細な針状体の製造方法において、
透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、
前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、
前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有すること
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1に記載の針状体の製造方法であって、
前記開口部を有するマスクは、アレイ状の開口部を有し、
前記マイクロレンズは、マイクロレンズアレイであること
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載の針状体の製造方法であって、
前記マイクロレンズの焦点位置は、塗布された前記ネガ型フォトレジストの膜内であること
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載の針状体の製造方法であって、
前記マイクロレンズの焦点位置は、塗布された前記ネガ型フォトレジストの膜外であること
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載の針状体の製造方法で作製した針状体を原型とし、転写加工成形を行うこと
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1から5のいずれかに記載の針状体の製造方法により製造された針状体。
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