JP2008116388A - 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム - Google Patents
放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】放射線発生器によって放射線を複数の検査対象に照射し、前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上に設定された複数の撮影位置における放射線検出器の静止と当該回転軌道上における前記放射線検出器の回転とを実施し、前記撮影位置のそれぞれにおいて前記複数の検査対象を逐次前記放射線検出器の視野に移動させ、前記複数の検査対象のそれぞれについて透過放射線の強度を取得する。
【選択図】図3
Description
すなわち、従来の放射線検査装置においては、もっぱら画像処理などの演算処理を高速化するために分散処理を行っており撮像系の高速化を伴っていない。従って、解析対象となる画像を取得するための処理に時間がかかり、検査処理のボトルネックとなってしまっていた。特に、一つの基板に対して複数の部品が実装されており、各部品のバンプやリードなど複数の箇所を検査対象として3次元CTによる解析を行うために各検査対象について回転撮像系を一回転させて撮影を行う構成では、撮影を完了するまでに多くの時間がかかる。このため、複数の検査対象についての撮影を完了するために極めて多くの時間がかかってしまう。
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、複数の検査対象を検査する場合であっても高速に検査を実施することが可能な放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラムの提供を目的とする。
(1)本発明の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明にかかるX線検査装置10の概略ブロック図である。同図において、このX線検査装置10は、X線発生器11とX−Yステージ12とX線検出器13aと搬送装置14とを備えており、各部をCPU25によって制御する。すなわち、X線検査装置10はCPU25を含む制御系としてX線制御機構21とステージ制御機構22と画像取得機構23と搬送機構24とCPU25と入力部26と出力部27とメモリ28とを備えている。この構成において、CPU25は、メモリ28に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
本実施形態においては、上述の構成において図2に示すフローチャートに従って検査対象の良否判定を行う。本実施形態においては、複数の検査対象を搭載した基板12aを搬送装置14によって搬送し、逐次X−Yステージ12上で基板12a上の検査対象を検査する。このため、検査に際しては、まず搬送制御部25aが搬送機構24に指示を出し、搬送装置14によって検査対象の基板12aをX−Yステージ12上に搬送する(ステップS100)。
本発明においては、X線検出器が特定の回転角に静止している間に複数の検査対象についての透過X線画像を撮影することができればよく、前記実施形態の他、種々の構成を採用可能である。例えば、X線検出器13aの向きは前記焦点FからX線検出器13aの中心に延ばした直線に対して垂直である構成の他、種々の構成を採用可能であり、X−Yステージ12に対して検出面が平行であり、この検出面に対して平行な面内でX線検出器13aを回転させる構成等を採用可能である。
10…X線検査装置
11…X線発生器
12…X−Yステージ
12a…基板
13a…X線検出器
13b…回転機構
14…搬送装置
21…X線制御機構
22…ステージ制御機構
23…画像取得機構
23a…θ制御部
24…搬送機構
25…CPU
25a…搬送制御部
25b…X線制御部
25c…検出器回転部
25d…ステージ制御部
25e…画像取得部
25f…良否判定部
26…入力部
27…出力部
28…メモリ
28a…検査対象データ
28b…撮像条件データ
Claims (5)
- 放射線発生器によって放射線を複数の検査対象に照射する放射線照射手段と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上に設定された複数の撮影位置における放射線検出器の静止と当該回転軌道上における前記放射線検出器の回転とを実施する放射線検出器回転手段と、
前記撮影位置のそれぞれにおいて前記複数の検査対象を逐次前記放射線検出器の視野に移動させる検査対象移動手段と、
前記複数の検査対象のそれぞれについて透過放射線の強度を取得する透過放射線取得手段とを備えることを特徴とする放射線検査装置。 - 前記透過放射線取得手段は、前記取得した透過放射線の強度に基づいて再構成演算を実施する複数個の再構成演算部を備え、前記撮影位置のそれぞれにおいて取得された各検査対象の透過放射線の強度に基づく再構成演算を前記複数個の再構成演算部によって分散処理することを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の放射線検査装置。
- 前記撮影位置のそれぞれにおいて前記透過放射線の強度を取得する検査対象の数の最大値は前記再構成演算部の数と同数であり、各検査対象についての再構成演算をそれぞれの再構成演算部によって実行することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の放射線検査装置。
- 放射線発生器によって放射線を複数の検査対象に照射する放射線照射工程と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上に設定された複数の撮影位置における放射線検出器の静止と当該回転軌道上における前記放射線検出器の回転とを実施する放射線検出器回転工程と、
前記撮影位置のそれぞれにおいて前記複数の検査対象を逐次前記放射線検出器の視野に移動させる検査対象移動工程と、
前記複数の検査対象のそれぞれについて透過放射線の強度を取得する透過放射線取得工程とを含むことを特徴とする放射線検査方法。 - 放射線発生器によって放射線を複数の検査対象に照射する放射線照射機能と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上に設定された複数の撮影位置における放射線検出器の静止と当該回転軌道上における前記放射線検出器の回転とを実施する放射線検出器回転機能と、
前記撮影位置のそれぞれにおいて前記複数の検査対象を逐次前記放射線検出器の視野に移動させる検査対象移動機能と、
前記複数の検査対象のそれぞれについて透過放射線の強度を取得する透過放射線取得機能とをコンピュータに実現させることを特徴とする放射線検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5097382B2 (ja) | 2012-12-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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