JP2008103549A - Component mounting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、部品実装装置、特に電子部品をプリント基板や液晶のディスプレイパネル基板等の基板に加圧制御しながら搭載する際に適用して好適な部品実装装置に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus, and more particularly to a component mounting apparatus suitable for application when mounting electronic components on a substrate such as a printed circuit board or a liquid crystal display panel substrate while controlling the pressure.
電子部品をプリント基板等に加圧制御しながら自動的に実装(搭載)する部品実装装置としては、図9に示すベアチップマウンタが特許文献1に開示されている。 As a component mounting apparatus that automatically mounts (mounts) an electronic component on a printed circuit board under pressure control, a bare chip mounter shown in FIG.
このベアチップマウンタは、上面に印刷配線基板103を搭載して水平面内に直角方向に移動させるXYテーブル104と、前記XYテーブルの上方に位置してベアチップ101の上面を吸着する吸着ノズル部102と、前記吸着ノズル部と接続して前記ベアチップの真空吸引を行なう真空発生器105と、前記吸着ノズル部を保持してその上下動作の案内を行なう第一の一軸テーブル106と、前記第一の一軸テーブルを保持するブラケット107と、前記吸着ノズル部を下方に押下する圧縮ばね108と、下面において前記圧縮ばねの上端と接触するロッド109と、前記ブラケットに保持され前記ロッドの上面と接触するロードセル110と、前記第一の一軸テーブルの可動部をつり上げて前記圧縮ばねの荷重方向と反対の方向に前記一軸テーブルの可動部の自重以上の荷重を発生させる引っ張りばね111と、前記ロードセルに接続されて前記ロードセルの検出圧力を出力する加圧力検出部112と、前記ブラケットを保持してモータによってその上下動作の駆動を行なう第二の一軸テーブル113と、前記加圧力検出部に接続されて前記第二の一軸テーブルの動作の制御を行なうテーブルコントローラ114とを備えている。
This bare chip mounter has an XY table 104 mounted with a printed wiring board 103 on the upper surface and moved in a direction perpendicular to the horizontal plane, an adsorption nozzle portion 102 that is located above the XY table and sucks the upper surface of the bare chip 101, A vacuum generator 105 that is connected to the suction nozzle unit and performs vacuum suction of the bare chip, a first uniaxial table 106 that holds the suction nozzle unit and guides its vertical movement, and the first uniaxial table A bracket 107 that holds the suction nozzle portion downward, a rod 109 that contacts the upper end of the compression spring on the lower surface, and a load cell 110 that is held by the bracket and contacts the upper surface of the rod. , The movable part of the first uniaxial table is lifted and the direction opposite to the load direction of the compression spring is A tension spring 111 that generates a load greater than the dead weight of the movable part of the shaft table, a
又、特許文献2には、部品実装装置に搭載されているヘッド126を含むボンディング荷重の制御装置として、図10に示すようなチップ121を固定するコレット122と、コレット122と突出部125とを含むヘッド126と、一定の圧力で突出部125を加圧するシリンダ128と、突出部125が受ける荷重を電圧に変換するロードセル129と、筐体130と、筐体130に固定されたボールねじ132と、ボールねじ132を回転させるモータ133と、CPU134と、基板135を固定するステージ136とを備えたものが開示されている。
Further, in Patent Document 2, as a bonding load control device including a
しかしながら、特許文献1や2に開示されている、基板上に部品を加圧搭載する部品実装装置には、以下のような問題があった。
However, the component mounting apparatus disclosed in
荷重を検出するためのロードセルがヘッド上にあるため、部品の吸着や搭載のためにヘッドをXY方向等に移動させる際、その移動動作に伴いロードセルやそれに付随する部品が振り回されることになるため、ロードセルの故障やケーブルの断線などの恐れがあることから、信頼性が劣る。 Since the load cell for detecting the load is on the head, when the head is moved in the XY direction or the like for picking up and mounting the parts, the load cell and its accompanying parts are swung with the moving operation. The reliability is inferior because there is a risk of failure of the load cell or disconnection of the cable.
同様にヘッド上にロードセルを配置しているため、それに関連する圧縮ばねやロッド等の検出系の機構が必要となり、ヘッドの構造が複雑となることから、ヘッドが大型化して重量増加につながる。 Similarly, since the load cell is arranged on the head, a detection system mechanism such as a compression spring and a rod related to the load cell is required, and the structure of the head becomes complicated. Therefore, the head becomes large and increases in weight.
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、基板上に部品を高精度に加圧搭載することができる上に、搭載ヘッドの構造を簡単にし、小型軽量化することができる部品実装装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. In addition to being able to pressure-mount components on a substrate with high precision, the structure of the mounting head can be simplified, and the size and weight can be reduced. It is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus that can be used.
本発明は、X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズルと、加圧駆動部をZ軸方向に進退動させ、該加圧駆動部に支持された前記吸着ノズルを同方向に移動させる加圧駆動手段と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレームと、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段と一体で前記吸着ノズルを同方向に移動させるZ軸駆動手段と、前記吸着ノズルで吸着保持した部品を前記加圧駆動手段により加圧搭載する基板を支持する基板搭載テーブルとを備えた部品実装装置において、前記基板搭載テーブルに、支持基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段を付設したことにより、前記課題を解決したものである。 In the present invention, the mounting head movable in the plane direction by the X-axis driving means and the Y-axis driving means moves the suction nozzle for sucking and holding the component and the pressure drive unit forward and backward in the Z-axis direction, and the pressure drive A pressure driving means for moving the suction nozzle supported by the unit in the same direction; a support frame for fixing and supporting the pressure driving means; and the pressure driving by moving the support frame forward and backward in the Z-axis direction. A component comprising: a Z-axis drive unit that moves the suction nozzle in the same direction integrally with the unit; and a substrate mounting table that supports a substrate on which the component sucked and held by the suction nozzle is mounted by the pressure drive unit In the mounting apparatus, the problem is solved by providing a load detection means for detecting a load applied to the support substrate on the substrate mounting table.
本発明においては、前記荷重検出手段が、前記基板搭載テーブルの下に設置された複数のロードセルであり、各ロードセルの下方には、たわみ過ぎを防止するストッパが配設されているようにしてもよい。 In the present invention, the load detection means may be a plurality of load cells installed under the substrate mounting table, and a stopper for preventing excessive deflection may be provided below each load cell. Good.
本発明は、又、加圧搭載時には、前記荷重検出手段により基板にかかる荷重を検出しながら、該荷重が荷重指令値に一致するように前記加圧駆動手段により部品に対して加圧制御する制御手段を備えている。この場合、前記制御手段は、部品吸着時には、前記加圧駆動部を前記支持フレームの下側ストッパ部に目標加圧量に当接させた状態で、前記Z軸駆動手段により吸着ノズルの先端を所定位置の部品に接触させるようにしてもよい。 In the present invention, at the time of pressure mounting, the load detecting means detects the load applied to the substrate and controls the pressure by the pressure driving means so that the load matches the load command value. Control means are provided. In this case, at the time of component suction, the control means moves the tip of the suction nozzle by the Z-axis drive means in a state where the pressure drive unit is in contact with the lower stopper portion of the support frame at a target pressure amount. You may make it contact the components of a predetermined position.
本発明によれば、基板搭載テーブルに荷重検出手段を付設し、該基板搭載テーブル上に支持されている基板に部品を加圧搭載する際に加わる荷重を、該荷重検出手段により検出できるようにしたので、高精度な荷重制御をしながら部品の加圧搭載が可能であると共に、搭載ヘッドから荷重検出手段及びその付随部品や関連機構を排除することができるため、該搭載ヘッドの構造を簡単にできる上に小型軽量化を実現できる。 According to the present invention, the load detecting means is attached to the board mounting table, and the load applied when the components are pressure-mounted on the board supported on the board mounting table can be detected by the load detecting means. As a result, it is possible to pressure-mount components while controlling the load with high accuracy, and to eliminate the load detection means and its associated components and related mechanisms from the mounting head, thus simplifying the structure of the mounting head. In addition to being able to reduce the size and weight.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る一実施形態の電子部品実装装置の概略構成図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.
図1において搭載ヘッド1は、部品を吸着保持し加圧を行なう加圧装置と、搭載ヘッド1の位置補正を行なう図示しない認識装置を備えている。
In FIG. 1, the
搭載ヘッド1は電子部品実装(搭載)装置のX軸方向への移動を行なうX軸ガントリ(X軸駆動手段)2に取付けられている。搭載ヘッド1とX軸ガントリ2は電子部品搭載装置のY軸方向へ移動するためのY軸ガントリ(Y軸駆動手段)3に取り付けられている。
The
又、この電子部品搭載装置には、吸着した電子部品の姿勢を認識するCMOSカメラやCCDカメラを使用した認識装置4が搭載ヘッド1の可動範囲に固定されている。基板へ搭載するための電子部品を供給する電子部品供給装置5が電子部品搭載装置の前面に設置されている。
Further, in this electronic component mounting apparatus, a recognition device 4 using a CMOS camera or a CCD camera for recognizing the posture of the sucked electronic component is fixed within the movable range of the
次に、搭載ヘッド1について図2を使用して説明を行なう。
Next, the
搭載ヘッド1は、X軸ガントリ2と連結固定を行なうためのヘッドベース6を有してある。ヘッドベース6は、リニアガイド7と接続され、垂直Z軸駆動部(支持フレーム)15は垂直Z軸方向に移動が可能な構造となっている。
The mounting
ヘッドベース6の上部には、部品を回転動作させるためのθモータ9と、スプライン軸受とベアリングで構成された垂直回転駆動部軸受20と、垂直回転駆動シャフト21があり、又θモータの動力を垂直回転駆動シャフト21に伝えるベルト10と、垂直Z駆動部15を垂直上下動させるためのZ軸モータ(Z軸駆動手段)11が取り付けられている。又、このZ軸モータ11にはカップリング12を介してボールねじのねじ部14が接続されている。
Above the
垂直Z駆動部15には、加圧用のボイスコイルモータ(加圧駆動手段、以下、VCMと記す)8が取り付けられている。このVCM8は、マグネット側の稼動子8aとコイル側の固定子8bから構成されており、又、該VCM8とθモータ9は、垂直回転駆動シャフト21を介して接続されていて、該VCM8の可動側の稼動子8a等は、垂直回転駆動シャフト21によって垂直Z駆動部15に対して独立に支持されていることから、該垂直Z駆動部15に対して回転動作が可能であると共に、上下動作(Z軸方向進退動)が可能になっている。
A voice coil motor for pressurization (pressure drive means, hereinafter referred to as VCM) 8 is attached to the vertical
又、VCM8の上側には、上側ストッパ21aが取付けられており、VCM8が上方に駆動した場合にヘッドスベース6の上側ストッパ部6aに当接することにより、VCM8の上方への移動ストロークが規制されている。
Further, an
同様にVCM8の下側にも下側ストッパ21bが取付けられており、垂直Z駆動部15の下側ストッパ部15aにVCM8の下側ストッパ21bが当接することにより、VCM8の下方への移動ストロークが規制されている。
Similarly, a
又、垂直Z駆動部15には、ボールねじのナット部13が固定されており、該ナット部13にはZ軸モータ11とカップリング12を介して接続されたボールねじのねじ部14が嵌挿されており、Z軸モータ11を回転動作させることにより、ボールねじのナット部13によって垂直Z駆動部15が上下に動作可能な構造となっている。
A ball
更に、垂直Z駆動部15に固定されているVCM8の下部には、ボールブッシュ16が取付けられており、該ボールブッシュ16を介してノズルシャフト17が保持され、該ノズルシャフト17は垂直Z駆動部15に対して回転動作と垂直上下動作が可能な構造となっている。
Further, a
又、ノズルシャフト17の下方の先端には、ノズルチャック機構18により、吸着ノズル19が保持され、且つ、交換可能な構造になっている。このノズル19は、部品40の吸着保持を行ない、基板搭載テーブル30上に搭載支持されている基板34にその部品40を搭載することができるようになっている。
A
この基板搭載テーブル30では、図2に示されるように、その上面に搭載された前記基板34が、クランプ33により支持固定されるようになっている。
In the substrate mounting table 30, as shown in FIG. 2, the
又、この基板搭載テーブル30の下部にはロードセル(荷重検出手段)31が付設されており、該ロードセル31は、その下側が装置本体に固定されているロードセル取付け台32により支持されている。このロードセル取付け台32には、過負荷によりロードセル31がたわみ過ぎて破壊してしまうことを防止するためにロードセルストッパ32aが上方に突設されている。
A load cell (load detection means) 31 is attached to the lower part of the substrate mounting table 30, and the lower side of the
又、このロードセル31は、図3に基板搭載テーブル30を透視した状態を模式的に示すように、該基板搭載テーブル30の下部の4隅に配置固定されていると共に、各ロードセル31はロードセルアンプ35に接続されている。
The
図4には、本実施形態の部品実装装置が備えている制御系の概要を示す。 FIG. 4 shows an outline of a control system provided in the component mounting apparatus of the present embodiment.
この制御系は、CPU40等により構成され、該CPU40には、Z軸駆動系を構成するZ軸モータ11とそれに内蔵されているZ軸エンコーダ41とがZ軸ドライバ42を介して、又、θ軸駆動系を構成するθ軸モータ9とそのエンコーダ43とがθ軸ドライバ44を介して、更に、加圧駆動系を構成するVCMモータ8がVCMドライバ45を介して接続され、それぞれ制御信号の授受が可能になっている。
This control system is constituted by a
又、上記VCMドライバ45は、装置本体上の前記ロードセル31がロードセルアンプ35を介して接続され、CPU40からの荷重指令値に対して、ロードセルアンプ35の出力値を検出しながら一致させる制御を行なう制御手段を構成している。但し、この制御機能はCPU40で実現してもよい。
The
以上の構成からなる電子部品供給装置において実行される、電子部品の加圧搭載動作から次の部品の吸着動作までを、図5〜図8をも参照して説明する。 The operation from the pressure mounting operation of the electronic component to the suction operation of the next component executed in the electronic component supply apparatus having the above configuration will be described with reference to FIGS.
図1の搭載ヘッド1を、X軸ガントリ2、Y軸ガントリ3を駆動させて電子部品供給装置5の上方に移動し、吸着ノズル19により電子部品を吸着する。
The mounting
電子部品を吸着した搭載ヘッド1を、認識装置4の上方へ移動し、該認識装置4により部品の認識を行なう。
The mounting
部品の認識を完了した後、搭載ヘッド1を図示しない基板上の電子部品の搭載予定部に移動し、該搭載ヘッド1の吸着ノズル19に吸着されている電子部品40を基板34上の搭載位置に搭載する。
After completing the recognition of the components, the mounting
以下、これらの動作について詳述するが、便宜上部品搭載動作を先に説明する。 Hereinafter, these operations will be described in detail, but the component mounting operation will be described first for convenience.
前述した部品位置補正のための認識動作を行なった後、該部品40を搭載位置(基板上方)に移動させ、部品搭載動作を行なうが、その際の下降・加圧動作を、図6に示すタイムチャートを参照すると共に、図7のフローチャートに従って詳述する。
After performing the above-described recognition operation for component position correction, the
上記部品搭載動作は、搭載ヘッド1を基板34上の部品搭載位置に移動し、Z軸モータ11を駆動し垂直Z駆動部15と共に吸着ノズル19を下降させることにより行なう。
The component mounting operation is performed by moving the mounting
その際、VCM8に電圧を印加して下方向に力を発生させ、図5のように下側ストッパ21bを垂直Z駆動部15の下側ストッパ部15aに突き当て、下方へのVCM8の動きを規制しておく。
At that time, a voltage is applied to the
この状態で、Z軸モータ11により垂直Z駆動部15と一体で吸着ノズル19を下降し、吸着されている部品40が基板面の直前の高さに達したところで吸着ノズル19を急速停止させる。
In this state, the
このとき、VCM8の稼動子8aとノズルシャフト17等の重さと減速時の加速度により慣性力が下方向に働くが、VCM8の下側ストッパ21bは下側ストッパ部15aにより位置が規制されているため、VCM8が発生している力以上の慣性力が下方向に働いてもノズル19先端の位置に変化は見られない。
At this time, the inertial force works downward due to the weight of the
このようにZ軸モータ11を駆動して、時間T1で、VCM8の出力値がV2で下側ストッパ21bが図5の規制状態にある垂直Z駆動部15をZ3の高さから、部品が基板上面に接触しない高さで、該上面より微小変位だけ上方の第1高さZ1に高速で下降を行なう(ステップ1、2)。次に、速度を切り換え、時間T2で、低速で基板上面の高さ(=0)より下方に設定した第2高さZ2までの移動を開始する(ステップ3)。なお、Z3、Z1、Z2等のZ軸高さは、Z軸モータ11に内蔵されているエンコーダ41の出力により決定される。
In this way, when the Z-
その際、Z軸モータ11により基板上面に吸着部品が接触しない上記第1高さZ1へ移動完了したという信号を、CPU40がエンコーダ41から受けた場合には、VCM8に出力値V1の通電を行ない、該VCM8の稼動子8aと、これに接続されて上下動するノズルシャフト17、ノズルチャック18、吸着ノズル19及びストッパ21a、21b等からなる可動部の重量+αの加圧力を上方に発生させ、可動部の自重キャンセル+αの力V1を発生させる(ステップ4)。これにより、下側ストッパ21bが、図5の状態から図2の規制されない状態になる。
At that time, when the
VCM8に上向きのV1を維持したままZ軸モータ11を駆動して、垂直Z駆動部15と共に吸着ノズル19をそのまま下降させる。吸着ノズル19が基板34上面の高さ0に到達すると、時刻T0で基板へノズル19に吸着されている部品が接触し、基板搭載テーブル30に圧力が発生してその圧力がロードセル31に伝わるため、部品40の接触タイミングT0がロードセル24により検出される。
The Z-
時間T2において、時刻T0でノズル19の吸着部品が基板34に接触しても、ロードセル31の出力が所定荷重L1になり(ステップ5)、更にZ軸モータ11は駆動をエンコーダ出力がZ2になるまで停止させない。このZ2は、VCM8がV1の出力で可動部を上昇させて図2の状態にしても、吸着部品40が十分に接触する、例えば基板面高さより0.2mm下の高さに設定されている。
At time T2, even if the suction component of the
一方、VCM8は、ロードセル31からノズル19(部品40)の接触信号を受けると、下向きの力に切り替え、徐々に加圧量(荷重)を増加させて設定した出力値V2まで増大させ、ロードセル31の出力値が所定の目標加圧量L1になるまで加圧を行なう(ステップ5)。目標の加圧量L1に達し、更に第2高さZ2に到達した時点(ステップ6)で停止して高さを維持する(ステップ7)と共に、VCM8を停止して荷重を維持し(ステップ8)、予め設定してある加圧時間T3の間、目標の加圧量を維持した後(ステップ9)、加圧搭載動作を終了する。
On the other hand, when the
以上のように、部品40の加圧搭載動作が終了したら、搭載ヘッド1の垂直Z駆動部15をZ軸モータ11により上向きに上昇させ(ステップ10)、第3高さZ3まで高速上昇させることにより、加圧制御による1回の部品搭載動作が完了し、次の吸着動作に移行する。
As described above, when the pressure mounting operation of the
上記部品吸着動作は、図8に示すように搭載ヘッド1を部品供給装置5上の部品吸着位置で、Z軸モータ11を駆動し垂直Z駆動部15と共に吸着ノズル19を下降させる。
In the component suction operation, as shown in FIG. 8, the mounting
その際、基本動作は前記加圧搭載と同じであり、VCM8に電圧を印加して下方向に力を発生させ、前記図5と同様に下側ストッパ21bを垂直Z駆動部15の下側ストッパ部15aに突き当て、下方へのVCM8の動きを規制しておく。
At that time, the basic operation is the same as that of the pressure mounting, a voltage is applied to the
Z軸モータ11により垂直Z駆動部15と一体で吸着ノズル19を下降し、吸着する部品の吸着面の直前の高さで吸着ノズル19を急速停止させる。
The
このとき、VCM8の稼動子8a及びノズルシャフト17等の重さと減速時の加速度により慣性力が下方向に働くが、VCM8の下側ストッパ21bにより位置が規制されているために、VCM8が発生している力以上の慣性力が下方向に働いてもノズル19先端の位置に変化は見られない。
At this time, the inertial force works downward due to the weight of the
上記のように吸着ノズル19を急速停止した後、VCM8に上向きの力を発生させて接触時の衝突荷重を低減させるよう力を設定する。VCM8に上向きの力を維持したままZ軸モータ11をゆっくり動作させて垂直Z軸駆動部15を下降させる。この時、加圧用VCM8は、オープンループ制御により部品を破壊しない程度の圧力を発生させて下側ストッパ21bを下側ストッパ部15aに突き当て、これによりノズル19のZ軸方向の位置が分るようにする。
After the
目標の吸着高さまで吸着ノズル19を下降させ、Z軸の動作を停止する。その後、図示しないエジェクターの電磁弁をONし、部品吸着のためのバキュームエアをノズル19の吸着穴に発生させ、部品40を吸着する。
The
部品40を吸着保持した後、Z軸モータ11を駆動して部品を上昇させ、搭載ヘッド1を移動させて認識装置4の上へ移動する。
After attracting and holding the
以上説明したように、本実施形態によれば以下の効果が得られる。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1)ロードセル31を基板下部の固定部である基板搭載テーブル30に配置したので、搭載ヘッドにロードセルを設置する必要がなくなり、ヘッド構造を簡素化ができ、ヘッドの大型化、重量化を防ぐことが出来る。
(1) Since the
(2)搭載ヘッドに荷重検出器であるロードセルを配置する必要が無くなるので、ヘッド上に設けることによるヘッドの振動の問題や、ケーブルなど付属部品を振り回すことに起因する信頼性低下等の問題が無くなる。 (2) Since there is no need to place a load cell as a load detector on the mounting head, there is a problem of vibration of the head due to the installation on the head and a problem of reliability reduction caused by swinging accessories such as cables. Disappear.
(3)ヘッド上からロードセルを除外したので、ロードセルの形状や大きさの制限が少なくなり、選択の幅が広がることから、より高精度なロードセルや低コストのロードセルを利用することが出来る。 (3) Since the load cell is excluded from the head, restrictions on the shape and size of the load cell are reduced, and the range of selection is widened. Therefore, a load cell with higher accuracy and a lower cost can be used.
(4)従って、ヘッド上に持っている加圧駆動手段(VCM)により、加工搭載時の荷重制御プロファイルが複雑な部品の製造(搭載)にも対応できるようになるので、搭載時に高精度な加圧動作が可能となり、しかも吸着時においてもオープンループ制御での加圧動作を行なうことにより、部品を破壊しない吸着動作が可能となる。 (4) Therefore, the pressure drive means (VCM) on the head can cope with the manufacture (mounting) of parts with complicated load control profiles at the time of processing and mounting. A pressurizing operation can be performed, and a suction operation without breaking the parts can be performed by performing the pressurizing operation with open loop control even during the suction.
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限定されない。 Although the present invention has been specifically described above, the present invention is not limited to that shown in the embodiment.
例えば、前記図2等に示した搭載ヘッドにおいて、ボールブッシュ16は、回転と直動が自在なエアベアリング等であっても構わない。 For example, in the mounting head shown in FIG. 2 and the like, the ball bushing 16 may be an air bearing that can freely rotate and move.
又、前記搭載ヘッドにおいては、VCM8は図示されるムービングマグネット方式でなく、磁石が固定側に配され、コイルが可動側に配されるムービングコイル方式であっても構わない。同様にVCM8はリニア同期モータなどの他のリニアモータであっても可動部が旋回可能な構成であれば構わない。
In the mounting head, the
又、前記搭載ヘッドにおいて、垂直Z軸モータ11の動力を垂直移動に変換する手段はタイミングベルトとプーリの組み合わせなど、他の運動変換手段であっても構わない。同様に、回転θ軸モータ9の動力を伝達する際に減速などが必要であれば、ギヤやハーモニックドライブなどの減速機構を介して吸着ノズルを含む回転体に接続されても構わない。
In the mounting head, the means for converting the power of the vertical Z-
1…搭載ヘッド
2…X軸ガントリ
3…Y軸ガントリ
8…ボイスコイルモータ(VCM)
11…Z軸モータ
15…垂直Z駆動部
15a…下側ストッパ部
19…吸着ノズル
21a…上側ストッパ
21b…下側ストッパ
30…基板搭載テーブル
31…ロードセル
40…CPU
45…VCMドライバ(制御手段)
DESCRIPTION OF
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45 ... VCM driver (control means)
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前記基板搭載テーブルに、支持基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段を付設したことを特徴とする部品実装装置。 A mounting head that can be moved in the plane direction by the X-axis drive means and the Y-axis drive means moves the suction nozzle that sucks and holds the components and the pressure drive unit in the Z-axis direction and is supported by the pressure drive unit. A pressure driving means for moving the suction nozzle in the same direction; a support frame for fixing and supporting the pressure driving means; and moving the support frame forward and backward in the Z-axis direction so as to be integrated with the pressure driving means. In a component mounting apparatus comprising: a Z-axis driving unit that moves the suction nozzle in the same direction; and a substrate mounting table that supports a substrate on which the component sucked and held by the suction nozzle is pressure-mounted by the pressure driving unit.
A component mounting apparatus, wherein load detecting means for detecting a load applied to a support substrate is attached to the substrate mounting table.
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