JP2008102555A - フォトマスク及びそれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
フォトマスク及びそれを用いた半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】露光装置を用いて基板に転写するためのパターンが形成されたフォトマスクであって、遮光部又は半透明膜に囲まれた長手方向と該長手方向に直交する短手方向とを有する長方形のメインパターンであって、周期性を有さずに配置されたメインパターン501と、遮光部又は半透明膜に囲まれた補助パターンであって、メインパターン501の長手方向の一端部近傍に配置され、メインパターン501の短手方向に平行な方向の長さはメインパターン501の短手方向の長さより長く、基板上に転写されない補助パターン502と、を具備した。
【選択図】図17
Description
本実施形態では、一次元方向に連続したホールをパターンの一部として有するNANDフラッシュメモリのビットラインコンタクト(CB)レイヤーのフォトマスクを投影露光する場合に適用した例について説明する。
図12は、本発明の第2の実施形態に係わるマスクの構成を示す図である。図12(a)はマスクの平面図、図12(b)は同図(a)のXII−XII’部の断面図である。このマスクは、NAND型フラッシュメモリのビット線コンタクトホールの形成に用いられる。
本実施形態では、上述した連続補助パターンを有するマスクデータの生成方法を説明する。図13,図14は、本発明の第4の実施形態に係わるマスクデータ生成方法の説明に用いる図である。
本実施形態では、連続補助パターンを有するマスクデータの生成方法を説明する。図15,図16は、本発明の第5の実施形態に係わるマスクデータ生成方法の説明に用いる図である。
図17は、本発明の第6の実施形態に係わる位相シフトマスクの構成を示す平面図である。図17に示すように、メインパターン501及び補助パターン502(502a,502b)は、半透明膜511に囲まれて形成されている。半透明膜511は、図示されない透明基板上に形成されている。半透明膜の光透過率は6%であり、半透明膜を透過した光の位相はホールパターン501及び補助パターン502a,502bを透過した光の位相と180度異なる。この位相シフトマスクは、露光波長がλ、且つ開口数はNAの露光装置に搭載される。なお、この位相シフトマスクは、斜入射照明でパターンを基板に転写することが好ましい。メインパターン501及び補助パターン502は、透明基板上に形成された遮光膜に囲まれて形成されていても良い。
図28は、本発明の第7の実施形態に係わるフォトマスクの構成を示す平面図である。
第1〜第3の実施形態、並びに第6及び第7の実施形態で説明されたフォトマスクを用いた半導体装置の製造方法を説明する。図33は、本発明の第8の実施形態に係わる半導体装置の製造方法の手順を示すフローチャートである。
Claims (7)
- 露光装置を用いて基板に転写するためのパターンが形成されたフォトマスクであって、
遮光部又は半透明膜に囲まれた長手方向と該長手方向に直交する短手方向とを有する長方形のメインパターンであって、周期性を有さずに配置されたメインパターンと、
前記遮光部又は半透明膜に囲まれた補助パターンであって、前記メインパターンの長手方向の一端部近傍に配置され、前記メインパターンの短手方向に平行な方向の長さは前記メインパターンの前記短手方向の長さより長く、前記基板上に転写されない補助パターンと、
を具備してなることを特徴とするフォトマスク。 - 前記メインパターンと前記補助パターンとの距離dは50nm以上であることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記補助パターンの前記メインパターンの短手方向に平行な方向の長さは1000nm以上であることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク。
- フォトマスクに形成されたパターンを半導体基板上のポジ型レジスト膜に転写するための露光装置を用意する工程と、
前記フォトマスクを用意する工程であって、前記フォトマスクは、遮光部又は半透明膜に囲まれた長手方向と該長手方向に直交する短手方向とを有するメインパターンであって、周期性を有さずに配置されているメインパターンと、前記遮光部又は半透明膜に囲まれた補助パターンであって、前記メインパターンの長手方向の一端部近傍に配置され、前記メインパターンの短手方向に平行な方向の長さは前記メインパターンの前記短手方向の長さより長く、前記基板上に転写されない補助パターンとを具備してなる工程と、
前記露光装置を用いて前記フォトマスクに形成されたパターンを前記ポジ型レジスト膜に転写する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記露光装置の照明条件は、斜入射照明であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光装置の露光波長はλ、且つ前記露光装置の開口数はNAであって、
前記補助パターンの短辺の長さWを基板上での寸法に換算した値は、0.27×λ/NA以下であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記補助パターンの前記メインパターンの短手方向に平行な方向の長さは1000nm以上であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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