JP2008098284A5 - - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 34
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims description 19
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 13
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000003624 transition metals Chemical group 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N Hafnium Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004166 TaN Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 1
- 125000004429 atoms Chemical group 0.000 description 1
- 235000020127 ayran Nutrition 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N tin hydride Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
そして、上記Al、W、Cu等の金属材料を配線材料やコンタクトのためのホールの埋め込み材料として用いる場合には、例えばシリコン酸化膜(SiO2 )等の絶縁材料と上記金属材料との間で例えばシリコンの拡散が生ずることを防止したり、膜の密着性を向上させる目的で、或いはホールの底部でコンタクトされる下層の電極や配線層等の導電層との間の密着性等を向上する目的で、上記絶縁層や下層の導電層との間の境界部分にバリヤ層を介在させることが行われている。そして、上記バリヤ層としてはTa膜、TaN膜、Ti膜、TiN膜等が広く知られている(特許文献1〜3)。この点について図7を参照して説明する。
このため、この肩部8Aでスパッタリングにより削り取られたTi金属粒子18は対向する側の面に再付着して堆積する傾向となり、この結果、図8中で一点鎖線で示すように凹部8の開口部近傍に中央部側へ凸状に突出したオーバハング部20が形成されてしまっていた。このため、この後工程で上記凹部8内を導電層で埋め込む際に、上記オーバハング部20が障害となって十分に埋め込みができずに、凹部8内にボイド(空洞)が発生する、といった問題があった。
請求項1に係る発明は、被処理体の表面に絶縁層と導電層とを形成する際に前記絶縁層と前記導電層との間に介在されるバリヤ層において、前記バリヤ層は、Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなる金属ターゲットに放電用電力を供給しつつプラズマの存在下でスパッタリング処理してTi合金膜を形成した後に、前記放電用電力を遮断してプラズマの存在下でリスパッタリング処理することにより形成されることを特徴とするバリヤ層である。
このように、バリヤ層は、Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなるTi合金膜を含むように構成したので、被処理体の表面の凹部におけるコーナエッチング耐性を向上させることができる。
従って、例えば凹部の開口部近傍にオーバハング部が形成されることを防止することができ、このためボイドを発生させることなく凹部の埋め込みを行うことができる。
このように、バリヤ層は、Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなるTi合金膜を含むように構成したので、被処理体の表面の凹部におけるコーナエッチング耐性を向上させることができる。
従って、例えば凹部の開口部近傍にオーバハング部が形成されることを防止することができ、このためボイドを発生させることなく凹部の埋め込みを行うことができる。
また例えば請求項7に記載したように、前記絶縁層には凹部が形成されており、該凹部の開口部のコーナ部における前記Ti合金膜のエッチング量bと平面部のエッチング量aとの比”b/a”は1.40〜4.86の範囲内に設定されている。
請求項8に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器内で載置台上に被処理体を載置し、前記被処理体の表面に形成されている絶縁層上に、金属ターゲットより放出される金属粒子を堆積させてバリヤ層を形成するバリヤ層の形成方法において、前記金属ターゲットとして、Ti金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を合混してなる金属材料を用い、前記処理容器内にプラズマを形成しつつ前記金属ターゲットに放電用電力を供給すると共に前記載置台にバイアス電力を供給してスパッタリングにより前記被処理体の表面にTi合金膜を形成する膜形成工程と、該膜形成工程の後に前記プラズマの形成と前記バイアス電力の供給とを維持すると共に、前記金属ターゲットへの放電用電力の供給を遮断した状態でリスパッタリングするリスパッタリング工程と、を有することを特徴とするバリヤ層の形成方法である。
請求項8に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器内で載置台上に被処理体を載置し、前記被処理体の表面に形成されている絶縁層上に、金属ターゲットより放出される金属粒子を堆積させてバリヤ層を形成するバリヤ層の形成方法において、前記金属ターゲットとして、Ti金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を合混してなる金属材料を用い、前記処理容器内にプラズマを形成しつつ前記金属ターゲットに放電用電力を供給すると共に前記載置台にバイアス電力を供給してスパッタリングにより前記被処理体の表面にTi合金膜を形成する膜形成工程と、該膜形成工程の後に前記プラズマの形成と前記バイアス電力の供給とを維持すると共に、前記金属ターゲットへの放電用電力の供給を遮断した状態でリスパッタリングするリスパッタリング工程と、を有することを特徴とするバリヤ層の形成方法である。
請求項9に係る発明は、被処理体の表面の絶縁層上に、バリヤ層を形成するプラズマ成膜装置において、真空引き可能になされた処理容器と、被処理体を載置するための載置台と、前記処理容器内へ所定のガスを導入するガス導入手段と、前記処理容器内へプラズマを発生させるためのプラズマ発生源と、Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなるTi合金の金属ターゲットと、前記金属ターゲットへ放電用電力を供給するターゲット用の電源と、前記載置台に対してバイアス電力を供給するバイアス電源と、請求項8に記載のバリヤ層の形成方法を実行するように装置全体を制御する装置制御部と、を備えたことを特徴とするプラズマ成膜装置である。
請求項10の発明は、請求項8に記載のバリヤ層の形成方法によって形成されたことを特徴とするバリヤ層である。
請求項10の発明は、請求項8に記載のバリヤ層の形成方法によって形成されたことを特徴とするバリヤ層である。
これにより、プラズマ電力でもってアルゴンプラズマが形成されてアルゴンイオンが生成され、これらイオンはTi合金よりなる金属ターゲット70に衝突し、この金属ターゲットがスパッタされて金属粒子が放出される。この金属粒子は、金属原子、金属原子団等よりなり、プラズマによりイオン化され、或いはイオン化されないで中性粒子のままウエハ2の方向へ飛散し、ウエハ表面に堆積して、図2(B)に示すように凹部8内の底面及び側面を含む絶縁層6の表面全体にTi合金膜88よりなるバリヤ層10が所定の厚さで形成される。
Claims (10)
- 被処理体の表面に絶縁層と導電層とを形成する際に前記絶縁層と前記導電層との間に介在されるバリヤ層において、
前記バリヤ層は、Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなる金属ターゲットに放電用電力を供給しつつプラズマの存在下でスパッタリング処理してTi合金膜を形成した後に、前記放電用電力を遮断してプラズマの存在下でリスパッタリング処理することにより形成されることを特徴とするバリヤ層。 - 前記バリヤ層の一部は、前記絶縁層の一部に形成された凹部の底部を介して下層の他の導電層に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載のバリヤ層。
- 前記凹部は、ホール又はトレンチ(溝)であることを特徴とする請求項2記載のバリヤ層。
- 前記ホールの直径又は前記トレンチの幅は100nm以下であることを特徴とする請求項3記載のバリヤ層。
- 前記混合した金属のTi合金全体に対する割合は5〜50%の範囲内であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のバリヤ層。
- 前記選択された金属は、Zr(ジルコニウム)、Hf(ハフニウム)、Nb(ニオブ)、Mn(マンガン)、Ta(タンタル)の内の1又は2以上を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のバリヤ層。
- 前記絶縁層には凹部が形成されており、該凹部の開口部のコーナ部における前記Ti合金膜のエッチング量bと平面部のエッチング量aとの比”b/a”は1.40〜4.86の範囲内に設定されていることを特徴とする1乃至6のいずれか一項に記載のバリヤ層。
- 真空引き可能になされた処理容器内で載置台上に被処理体を載置し、前記被処理体の表面に形成されている絶縁層上に、金属ターゲットより放出される金属粒子を堆積させてバリヤ層を形成するバリヤ層の形成方法において、
前記金属ターゲットとして、Ti金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を合混してなる金属材料を用い、前記処理容器内にプラズマを形成しつつ前記金属ターゲットに放電用電力を供給すると共に前記載置台にバイアス電力を供給してスパッタリングにより前記被処理体の表面にTi合金膜を形成する膜形成工程と、
該膜形成工程の後に前記プラズマの形成と前記バイアス電力の供給とを維持すると共に、前記金属ターゲットへの放電用電力の供給を遮断した状態でリスパッタリングするリスパッタリング工程と、
を有することを特徴とするバリヤ層の形成方法。 - 被処理体の表面の絶縁層上に、バリヤ層を形成するプラズマ成膜装置において、
真空引き可能になされた処理容器と、
被処理体を載置するための載置台と、
前記処理容器内へ所定のガスを導入するガス導入手段と、
前記処理容器内へプラズマを発生させるためのプラズマ発生源と、
Ti(チタン)金属よりなる母材に、遷移金属群より選択された1又は2以上の金属を混合してなるTi合金の金属ターゲットと、
前記金属ターゲットへ放電用電力を供給するターゲット用の電源と、
前記載置台に対してバイアス電力を供給するバイアス電源と、
請求項8に記載のバリヤ層の形成方法を実行するように装置全体を制御する装置制御部と、
を備えたことを特徴とするプラズマ成膜装置。 - 請求項8に記載のバリヤ層の形成方法によって形成されたことを特徴とするバリヤ層。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006276463A JP4923933B2 (ja) | 2006-10-10 | 2006-10-10 | バリヤ層の形成方法及びプラズマ成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006276463A JP4923933B2 (ja) | 2006-10-10 | 2006-10-10 | バリヤ層の形成方法及びプラズマ成膜装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008098284A JP2008098284A (ja) | 2008-04-24 |
JP2008098284A5 true JP2008098284A5 (ja) | 2009-07-09 |
JP4923933B2 JP4923933B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=39380838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006276463A Expired - Fee Related JP4923933B2 (ja) | 2006-10-10 | 2006-10-10 | バリヤ層の形成方法及びプラズマ成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4923933B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11837449B2 (en) | 2016-03-25 | 2023-12-05 | Jx Metals Corporation | Ti-Nb alloy sputtering target and production method thereof |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3152739B2 (ja) * | 1992-05-19 | 2001-04-03 | 株式会社日立製作所 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US20050156315A1 (en) * | 2002-01-24 | 2005-07-21 | Lee Eal H. | Thin films, structures having thin films, and methods of forming thin films |
-
2006
- 2006-10-10 JP JP2006276463A patent/JP4923933B2/ja not_active Expired - Fee Related
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