JP2008095131A - 表面改質装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒素ガスを主成分とする雰囲気ガスが導入された空間SP1に設置された電極対111に、アーク放電を引き起こさずにストリーマ放電を引き起こす電気パルスを前記電極対に繰り返し印加する。電極対111への電気パルスの印加によって発生したパルス電界PE1と、ストリーマ放電に起因して雰囲気ガス中に発生したプラズマに含まれる窒素ラジカルNR1と、ストリーマ放電に起因して雰囲気ガスが発する短波長紫外線UV1とを、対象物W1の表面W1sの近傍に存在する被改質領域に複合的に作用させることにより、表面W1sを改質する。
【選択図】図4
Description
本発明の表面改質装置では、パルス電界と、窒素ラジカルと、波長が100nm以上280nm以下の短波長紫外線(「遠赤外線」又は「UV−C」とも呼ばれる)とを、対象物の表面の近傍に存在する、表面からの深さが0.01μm以内の被改質領域に複合的に作用させることにより、対象物の表面を改質している。そこで、以下では、パルス電界、窒素ラジカル及び短波長紫外線が被改質領域に与える作用について順次説明する。
図1は、電界Eに曝された対象物W7を模式的に示すとともに、陽極712から陰極713へ向かう電界Eの方向における電位Φの分布を示している。
本発明の表面改質装置では、活性が極めて高い窒素ラジカルを対象物W7の表面W7sに作用させることにより、被改質領域W71に化学的な作用を与え、表面W7sを粗面化する。
本発明の表面改質装置では、先述のストリーマ放電に起因して雰囲気ガスが発する短波長紫外線を対象物W7に照射することにより、対象物W7の被改質領域W71に光化学的な作用を与え、対象物W7の表面W7sを粗面化する。
図2は、電極対711に印加する電気パルスの概略波形と当該電気パルスによって引き起こされる放電とを模式的に示す図である。図2において、電気パルスの概略波形は、電圧V(縦軸)の時間t(横軸)に対する変化を示すグラフによってあらわされている。
本発明の望ましい実施形態に係る表面改質装置は、リアクタの内部に対象物を収容した状態でリアクタの内部にプラズマを発生させる「ダイレクト式」を採用している。当該表面改質装置において表面の改質の対象となる対象物は、主に、半導体基板・ガラス基板等の板状物やポリエチレンシート・ポリプロピレンシート等のシート状物であるが、以下では、対象物が板状物であるとして説明を進める。
図3は、本発明の望ましい実施の形態に係る表面改質装置1の全体構成を模式的に示す斜視図である。
図4は、リアクタ11の構成を模式的に示す断面図である。図4は、図3のIV-IVの切断線におけるリアクタ11の断面を示す図となっている。
図4に示すように、リアクタ11の内部の空間SP1には、パルス電源15に接続された電極対111が設置されている。対象物W1は、陰極113の上に載置され、電極対111の間のプラズマが発生する領域に存在している。
図4に示すように、リアクタ11の内部の空間SP1には、空間SP1の内部から外部(下方)へ向かう短波長紫外線UV1を反射して空間SP1の内部へ戻す孔加工ミラー114が水平に設置されている。孔加工ミラー114は、石英ガラス板1142の上面にアルミニウム膜1143を蒸着で成膜することにより構成されている。孔加工ミラー114においては、石英ガラス板1142の、アルミニウム膜1143が成膜されていない下面が対象物W1に向けられている。リアクタ11では、孔加工ミラー114を設けることにより、雰囲気ガスが発する短波長紫外線UV1の利用効率を向上し、被改質領域へ作用する短波長紫外線UV1を増加させることにより、改質の効率の向上を図っている。ここで、アルミニウム膜1143により鏡面を形成したのは、陰極113の場合と同様に、アルミニウム膜の短波長紫外線UV1の反射率が極めて高い(約90%)ことによる。
網115は、メッシュ間隔が0.1mm程度の積層網となっており、多数の貫通孔114hからの雰囲気ガスの噴射を圧損により均一化させるバッファとして機能している。孔加工ミラー114の上にこのようなバッファを設けることにより、雰囲気ガスの噴射が、配管116の上流側の貫通孔114hに集中して改質の均一性を妨げてしまうことを防止することができる。
配管116には、窒素ガスを供給する窒素ガス供給源191及び重合性ガスを供給する重合性ガス供給源192が接続されている。
パルス電源15が電極対111に繰り返し印加する電気パルスの波形は、パルス電界PE1によって被改質領域のみに電気的な衝撃を与えることができるとともに、アーク放電を引き起こすことなくストリーマ放電(望ましくは、ファインストリーマ放電)を引き起こし、空間SP1にプラズマを安定して発生させることができるように決定される。なお、電気パルスの具体的な波形は、後述の「3 表面改質装置の動作」において説明する。
<3.1 粗面化>
以下では、対象物W1の表面W1sを粗面化する際の表面改質装置1の動作について、図8〜図12を参照しながら説明する。ここで、図8は、電極対111へ繰り返し印加される電気パルスの概略波形を示す図であり、電極対111の間の電圧V及び陽極112へ流れ込む電流Iの時間tによる変化を示している。また、図9〜図12は、電極対111に電気パルスを印加した際の空間SP1の状態を模式的に示す図であり、図9、図10、図11及び図12は、それぞれ、電圧上昇過程(t=0〜t1)、放電過程(t=t1〜t2)、放電終息過程(t=t2〜t3)及び放電反転過程(t=t3〜t4)における空間SP1の状態を示す図となっている。なお、図9〜図12においては、図示の便宜上、対象物W1と石英ガラス板1131との間をあけている。
図8に示すように、電圧上昇過程においては、電圧Vは、50〜100nsの短時間で急激に上昇してピーク電圧Vpに達するが、空間SP1にストリーマ放電は発生せず(図9)、電流Iは、電極対111の間の静電容量への充電が行われるのに起因して緩やかに増加するのみである。
図8に示すように、電圧上昇過程に続く放電過程では、空間SP1にストリーマ放電SD1が発生するのに起因して(図10)、電圧Vは若干低下し、電流Iは急激に増加してピーク電流Ip(10〜50A)に達する。
図11に示すように、放電過程に続く放電終息過程では、ストリーマ放電SD1が時間とともに終息する。このため、放電終息過程では、電圧Vは若干上昇し、電流Iは緩やかに減少する(図8)。
図12に示すように、放電終息過程に続く逆放電過程では、空間SP1に、放電過程とは逆方向のストリーマ放電SD1が発生する。これに起因して、電圧Vは低下し、放電過程とは逆方向の電流Iが流れる(図8)。換言すれば、逆放電過程では、陽極112と陰極113との役割が、放電過程とは実質的に逆転した状態となっている。
表面改質装置1では、窒素ガスを雰囲気ガスとして用いて、電圧上昇過程、放電過程、放電終息過程及び放電反転過程を繰り返すことにより、対象物W1に大きな損傷を与えることなく、対象物W1の表面W1sを均一に洗浄するとともに、表面W1sを均一に粗面化することができ、表面W1sの濡れ性や接着性を向上することができる。
表面改質装置1では、重合性ガスを添加した窒素ガスを雰囲気ガスとして用いて、対象物W1の表面W1sを粗面化する場合と同様に、電圧上昇過程、放電過程、放電終息過程及び放電過程を繰り返すことにより、パルス電界PE1、窒素ラジカルNR1及び短波長紫外線UV1を被改質領域に作用させるのに加えて、重合性ガスに由来する重合膜を対象物W1の表面W1sに形成することができるので、重合膜に応じた特性(疎水性等)を対象物W1の表面W1sに付与することができる。
表面改質装置1において、雰囲気ガスを減圧すると、陽極112と陰極113との距離を離すことできるようになり、立体的な形状を有する対象物W1の表面W1sの改質も行うことができるようになる。
11 リアクタ
15 パルス電源
111 電極対
112 陽極
113 陰極
114 孔加工ミラー
115 網
116 配管
1131,1141 石英ガラス板
1132,1142 アルミニウム膜
NR1 窒素ラジカル
PE1 パルス電界
SP1 空間
UV1 短波長紫外線
W1 対象物
Claims (6)
- 対象物の表面を改質する表面改質装置であって、
改質が行われる空間に窒素ガスを主成分とする雰囲気ガスを導入する雰囲気制御手段と、
前記空間に設置された電極対と、
アーク放電を引き起こさずにストリーマ放電を引き起こす電気パルスを前記電極対に繰り返し印加するパルス電源と、
前記空間の内部から外部へ向かう短波長紫外線を前記空間の内部へ戻す反射部材と、
を備え、
前記電極対への電気パルスの印加によって発生したパルス電界と、
前記ストリーマ放電に起因して前記雰囲気ガス中に発生したプラズマに含まれる窒素ラジカルと、
前記ストリーマ放電に起因して前記雰囲気ガスが発する短波長紫外線と、
を対象物の表面の近傍に存在する被改質領域に作用させることにより、対象物の表面を改質することを特徴とする表面改質装置。 - 請求項1に記載の表面改質装置において、
前記ストリーマ放電は、散点したストリーマが前記電極対の間に存在する、ストリーマの成長の初期段階で放電を停止するファインストリーマ放電である、
ことを特徴とする表面改質装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の表面改質装置において、
前記雰囲気ガスが本質的に窒素ガスのみからなり、
対象物の表面を粗面化することを特徴とする表面改質装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の表面改質装置において、
前記雰囲気ガスに重合性ガスが添加されており、
前記重合性ガスに由来する重合膜を対象物の表面に形成することを特徴とする表面改質装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の表面改質装置において、
前記電極対の陰極は、
石英ガラス板と、
前記石英ガラス板の一方の主面に成膜されたアルミニウム膜と、
を備え、
前記石英ガラス板の他方の主面が対象物に向けられていることを特徴とする表面改質装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の表面改質装置において、
対象物の主面が平面的な広がりを有しており、
前記雰囲気制御手段が、
対象物の主面に向けて前記雰囲気ガスを噴射することにより、対象物の主面と垂直な雰囲気ガス流を生成することを特徴とする表面改質装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP4963923B2 JP4963923B2 (ja) | 2012-06-27 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4963923B2 (ja) |
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