[実施の形態1]
以下に、本発明の実施の形態1を図に基づいて説明する。
図1において、板状体移載設備8は、板状体を単数列で搬送する単数枚搬送装置9と、この単数枚搬送装置9で搬送されてきた板状体を板状体受け入れ域(後述する。)で受け入れて横方向で分散処理したのち、並列された3つ(複数)の搬送装置10A,10B,10Cに搬出させる分散処理装置20などにより構成されている。すなわち、前記単数枚搬送装置9の端部外方に前記分散処理装置20が配設され、そして単数枚搬送装置9とは反対側において、分散処理装置20に始端を対向させた状態で搬送装置10A,10B,10Cが配設されている。ここで板状体としては、長尺寸法Lかつ幅広寸法Mで長方形状の大型ガラス基板(板状体の一例)5と、短尺寸法lかつ幅狭寸法mで長方形状の小型ガラス基板(板状体の一例)6とが、一例として示されている。
図1〜図11において、前記単数枚搬送装置9は、たとえば製造工程(製造ライン)からのガラス基板5,6を1枚ずつ搬送(供給)するもので、ベルト形式やローラ形式などからなる。その際に単数枚搬送装置9は、たとえば大型ガラス基板5を、図1の実線で示すように、その長尺寸法Lの方向を搬送方向(前後方向)として1枚ずつ搬送(供給)し、また小型ガラス基板6を、図1の仮想線で示すように、その幅狭寸法mの方向を搬送方向(前後方向)として1枚ずつ搬送(供給)するように構成されている。
前記搬送装置10A,10B,10Cは同様な構成であって、それぞれ複数列のガラス基板5,6を、各列毎に搬送可能に構成されている。すなわち、前記搬送装置10A,10B,10Cはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム11A,11B,11Cと、搬送経路15A,15B,15Cの方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向(コンベア幅方向)として配設された回転軸12A,12B,12Cと、各回転軸12A,12B,12Cの長さ方向の複数箇所に外嵌固定して設けられたローラ体13A,13B,13Cと、前記回転軸12A,12B,12C群に連動する駆動手段(後述する。)などにより構成されている。ここで回転軸12A,12B,12C群はコンベアフレーム11A,11B,11C側に回転自在に支持され、そしてローラ体13A,13B,13C群によって搬送装置10A,10B,10Cの搬送面10a,10b,10cが形成されている。
前記搬送装置10A,10B,10Cは、それぞれ横方向(コンベア幅方向)において4つ(複数)のゾーン、すなわち、右側ゾーン16S1と、中央右側ゾーン16S2 と、中央左側ゾーン16S3 と、左側ゾーン16S4 とにより形成されている。その際に、中央右側ゾーン16S2や中央左側ゾーン16S3 の幅は、右側ゾーン16S1や左側ゾーン16S4 の幅に対して狭く、かつ中央右側ゾーン16S2と中央左側ゾーン16S3 とを加算した幅は、右側ゾーン16S1や左側ゾーン16S4 の幅に対して少し広く形成されている。
さらに回転軸12A,12B,12Cは、各ゾーン16S1 ,16S2 ,16S3 ,16S4に対応して横方向で4分割され、そして各分割した回転軸12A,12B,12C群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン16S1の右側駆動手段14M1と、中央右側ゾーン16S2の中央右側駆動手段14M2と、中央左側ゾーン16S3の中央左側駆動手段14M3と、左側ゾーン16S4 の左側駆動手段14M4とが設けられ、以て各ゾーン16S1 ,16S2 ,16S3 ,16S4は各別に駆動可能に構成されている。ここで駆動手段14M1 ,14M2 ,14M3 ,14M4は、各回転軸12A,12B,12Cにそれぞれ連動するモータなどからなる。以上の11A,11B,11C〜16S1 ,16S2 ,16S3 ,16S4などにより、複数列のガラス基板5,6を、各列毎に搬送可能とした搬送装置10A,10B,10Cの一例が構成される。
なお、搬送装置10A,10B,10Cは、ボックス体(カセットケース)3内にガラス基板5,6を搬送(搬入)させるものである。ここでボックス体3は、ガラス基板5,6を上下方向に間隔を置いて複数段に収納可能に構成されている。その際にボックス体3は各段において、たとえば大型ガラス基板5を、その長尺寸法Lの方向を搬送装置10A,10B,10Cの搬送方向(前後方向)として前後2列かつ左右3列で支持し、また小型ガラス基板6を、その幅狭寸法mの方向を搬送装置10A,10B,10Cの搬送方向(前後方向)として前後4列かつ左右2列で支持するように構成されている。そして、ボックス体3を、床1上に配設した昇降装置(図示せず。)にセットした状態で、昇降装置により1段分ずつ上昇させることで、搬送装置10A,10B,10Cのローラ体13A,13B,13C群上に載置しているガラス基板5,6群を支持して、上段から下段へと順に収納するように構成されている。
前記分散処理装置20は搬送装置10A,10B,10Cの端部外方間に配設されるものであって、各搬送装置10A,10B,10Cに対向されたそれぞれの縦送りコンベア部21A,21B,21Cと、左側で隣接した縦送りコンベア部21A,21B間に位置された左仮置き部(仮置き部の一例)31と、右側で隣接した縦送りコンベア部21B,21C間に位置された右仮置き部(仮置き部の一例)36と、縦送りコンベア部21Aと左仮置き部31とに亘って設けられた左部横送り手段(横送り手段の一例)41Aと、縦送りコンベア部21Bと左右の仮置き部31,36とに亘って設けられた中央部横送り手段(横送り手段の一例)41Bと、縦送りコンベア部21Cと右仮置き部36とに亘って設けられた右部横送り手段(横送り手段の一例)41Cなどから構成されている。
各縦送りコンベア部21A,21B,21Cは同様な構成であって、それぞれガラス基板5,6を支持搬送可能に構成されている。すなわち、縦送りコンベア部21A,21B,21Cはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム22A,22B,22Cと、前記搬送経路15A,15B,15Cの延長線方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向として配設された回転軸23A,23B,23Cと、各回転軸23A,23B,23Cの長さ方向の複数箇所に外嵌固定して設けられたローラ体24A,24B,24Cと、前記回転軸23A,23B,23Cに連動する駆動手段(モータなど)25A,25B,25Cなどにより構成されている。ここで回転軸23A,23B,23C群はコンベアフレーム22A,22B,22C側に回転自在に支持され、そしてローラ体24A,24B,24C群によって縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送面21a,21b,21cが形成されている。
その際に両縦送りコンベア部21A,21B,21Cは、それぞれ横方向(コンベア幅方向)において2つ(複数)のゾーン、すなわち、右側ゾーン26S1と左側ゾーン26S2 とにより形成され、そして回転軸23A,23B,23Cは、各ゾーン26S1 ,26S2に対応して横方向で2分割されている。各分割した回転軸23A,23B,23C群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン26S1の各回転軸23A,23B,23Cにそれぞれ連動する駆動手段25A,25B,25Cと、左側ゾーン26S2 の各回転軸23A,23B,23Cにそれぞれ連動する駆動手段25A,25B,25Cとが設けられ、以て両ゾーン26S1 ,26S2の各分割した回転軸23A,23B,23Cは各別に駆動可能に構成されている。したがって、かかる縦送りコンベア部21A,21B,21Cによると、各駆動手段25A,25B,25Cによって各回転軸23A,23B,23Cを回動させることで、搬送面21a,21b,21cを形成するローラ体24A,24B,24C群を回動し得、以てガラス基板5,6を搬送し得る。
以上の22A,22B,22C〜26S1 ,26S2などにより、前記搬送装置10A,10B,10Cと搬送方向を同一状とした縦送りコンベア部21A,21B,21Cの一例が構成される。そして縦送りコンベア部21A,21B,21Cは箱枠状の保持枠体28A,28B,28C上に配設され、また保持枠体28A,28B,28Cは、レベル調整自在な複数の脚部材29A,29B,29Cを介して床1上に設置される。
前記仮置き部31,36は、両縦送りコンベア部21A,21B間や両縦送りコンベア部21B,21C間に位置されるものであって、前記搬送経路15A,15B,15Cの方向に沿った方向の複数箇所において前記保持枠体28A,28B,28Cの上部間に配設された連結部材32,37と、これら連結部材32,37上に立設されたプレート状部材33,38と、各プレート状部材33,38の上面に敷設された支持部材34,39などにより、一例が構成される。その際に支持部材34,39は、たとえばウレタン製からなり、そして支持部材34,39群の上面によって、縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送面21a,21b,21cと同レベル状の仮置き支持面31a,36aが扁平状で形成される。なお仮置き支持面31a,36aは、大型ガラス基板5や小型ガラス基板6を支持可能な広さに設定されている。またプレート状部材33,38などは、縦送りコンベア部21A,21B,21Cにおける回転軸23A,23B,23Cの端部間に位置して配設されている。
各横送り手段41A,41B,41Cは同様な構成であって、それぞれの横送り搬送経路89A,89B,89Cは、対向される縦送りコンベア部21A,21B,21Cから仮置き部31,36に亘って形成されるように構成されている。すなわち横送り手段41A,41B,41Cは、昇降部材42A,42B,42Cと、この昇降部材42A,42B,42Cを昇降動させる昇降駆動部50A,50B,50Cと、横送り搬送経路89A,89B,89Cに沿った方向として前記昇降部材42A,42B,42C上に設けられたガイド部材60A,60B,60Cと、このガイド部材60A,60B,60Cに支持案内されて横送り搬送経路89A,89B,89Cに沿った方向に移動自在な板状体支持部70A,70B,70Cと、この板状体支持部70A,70B,70Cを横移動させる横移動駆動部80A,80B,80Cなどにより構成されている。
前記昇降部材42A,42B,42Cは型レール状であって、横送り搬送経路89A,89B,89Cに沿った方向として、前記回転軸23A,23B,23C間でかつ1つ置きの隙間の下方に位置して4箇所(複数箇所)に配設されている。その際に、左部横送り手段41Aや右部横送り手段41Cにおける昇降部材42A,42C群の配設位置に対して、中央部横送り手段41Bにおける昇降部材42B群の配設位置は1つ置きの隙間分だけ位置をずらして配設されている。前記昇降部材42A,42B,42C群は、隣接した下面間が、前記搬送経路15A,15B,15Cの延長線に沿った方向の連結部材43A,43B,43C群により連結されることで、各群毎に一体的に昇降自在に構成されている。そして昇降は、保持枠体28A,28B,28C側の受け部材44A,44B,44Cとの間に設けられた複数の昇降ガイド体45A,45B,45Cを介して安定して行われ、また連結部材43A,43B,43Cの下面側に設けられたストッパー体46A,46B,46Cが受け部材44A,44B,44Cの上面に当接されることで、その下降限が規制されるように構成されている。
前記昇降駆動部50A,50B,50Cは、搬送経路15A,15B,15Cの延長線に沿った方向に配設された回転軸51A,51B,51Cを横送り搬送経路89A,89B,89Cの方向の2箇所に有し、これら回転軸51A,51B,51Cは、軸受体52A,52B,52Cを介して保持枠体28A,28B,28C側で回転自在に支持されている。そして回転軸51A,51B,51Cの2箇所には、くの字状の折り曲げリンク体53A,53B,53Cの中間部が固定され、この折り曲げリンク体53A,53B,53Cの上部側遊端にはカムローラ54A,54B,54Cが遊転自在に設けられるとともに、これらカムローラ54A,54B,54Cは、連結部材43A,43B,43Cの下面側に設けられた水平状のカム体55A,55B,55Cに下方から当接されている。前記折り曲げリンク体53A,53B,53Cの下部側遊端間には押し引き体56A,56B,56Cが相対揺動自在に連結され、この押し引き体56A,56B,56Cは、保持枠体28A,28B,28C側に配設されたシリンダー装置57A,57B,57Cのピストンロッドに連結されている。
かかる構成によると、シリンダー装置57A,57B,57Cの伸縮動によって押し引き体56A,56B,56Cを押し引き動させることで、回転軸51A,51B,52Cの回転を伴いながら折り曲げリンク体53A,53B,53C群を揺動してカムローラ54A,54B,54Cを昇降させ、以てカム体55A,55B,55C、連結部材43A,43B,43Cを介して昇降部材42A,42B,42C群を昇降し得る。以上の51A,51B,51C〜57A,57B,57Cなどにより昇降駆動部50A,50B,50Cの一例が構成される。
前記ガイド部材60A,60B,60Cは、前記昇降部材42A,42B,42Cの上方に平行状で位置されるとともに、連結部材64A,64B,64Cを介して昇降部材42A,42B,42C側に連結されている。そしてガイド部材60A,60B,60Cは、前記昇降部材42A,42B,42Cに対して前記仮置き部31,36側に突出され、その突出部分には、前記昇降部材42A,42B,42Cと同様なレベルとした短尺昇降部材42a,42b,42cが連結部材64A,64B,64Cを介して連結されている。このガイド部材60A,60B,60Cには、上方開放の上部ガイド溝61A,61B,61Cと、搬送装置10A,10B,10C側の側方開放の側部ガイド溝62A,62B,62Cと、下方開放の下部ガイド溝63A,63B,63Cとが、長さ方向(横送り搬送経路89A,89B,89Cの方向)の全長に形成されている。なお、昇降部材42A,42B,42Cや短尺昇降部材42a,42b,42cは下面開放で逆U字状の型レール状であって、その上位平板部を介して連結部材64A,64B,64Cが連結されている。
前記板状体支持部70A,70B,70Cの本体部分74A,74B,74Cには、前記ガイド部材60A,60B,60Cの上部ガイド溝61A,61B,61Cに嵌合案内される上部被ガイド体71A,71B,71Cと、側部ガイド溝62A,62B,62Cに嵌合案内される側部被ガイド体72A,72B,72Cと、下部ガイド溝63A,63B,63Cに嵌合案内される下部被ガイド体73A,73B,73Cとが設けられている。そして本体部分74A,74B,74Cの上面側には、ローラ体24A,24B,24C間に位置されるロッド状の支持部分75A,75B,75Cが、横送り搬送経路89A,89B,89Cの方向において所定間隔置きの6箇所(複数箇所)から立設状に設けられている。
これら支持部分75A,75B,75Cの上端面間に亘って、板状体支持部70A,70B,70Cの板状体支持面70a,70b,70cが扁平状で形成され、その際に板状体支持面70a,70b,70cは、両ガラス基板5,6を安定して支持可能な広さを確保するように設定されている。そして板状体支持面70a,70b,70cは、昇降駆動部50A,50B,50Cによる昇降によって、縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送面21a,21b,21cや仮置き部31,36の仮置き支持面31a,31bに対して出退動自在に構成されている。その際に前述したように、左部横送り手段41Aや右部横送り手段41Cにおける昇降部材42A,42C群の配設位置に対して、中央部横送り手段41Bにおける昇降部材42B群の配設位置が1つ置きの隙間分だけ位置をずらしていることで、仮置き部31,36の部分において板状体支持部70A,70B,70Cは、ずれた状態で互いに干渉することなく移動自在となる。
なお、各部の被ガイド体71A,71B,71C、72A,72B,72C、73A,73B,73Cとして、各部のガイド溝61A,61B,61C、62A,62B,62C、63A,63B,63Cに遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の71A,71B,71C〜75A,75B,75Cなどにより、板状体支持部70A,70B,70Cの一例が構成される。
前記横移動駆動部80A,80B,80Cは、その駆動源となる減速機付きのモータ81A,81B,81Cが、前記昇降部材42A,42B,42C群のうちの1本の昇降部材42A,42B,42Cの外端下面に設けられている。そして昇降部材42A,42B,42C群の外端下面間に亘って駆動軸82A,82B,82Cが回転自在に配設され、この駆動軸82A,82B,82Cは前記モータ81A,81B,81Cの出力軸に巻き掛け連動機構83A,83B,83Cを介して連動連結されるとともに、前記駆動軸82A,82B,82Cの前記昇降部材42A,42B,42Cに対向する部分には、それぞれ駆動輪体84A,84B,84Cが設けられている。
逆U字状の前記昇降部材42A,42B,42Cや短尺昇降部材42a,42b,42cの内部で複数箇所には案内輪体85A,85B,85Cが遊転自在に設けられ、また昇降部材42A,42B,42Cの外端上面と短尺昇降部材42a,42b,42cの上面には、それぞれ反転案内輪体86A,86B,86C、87A,87B,87Cが遊転自在に設けられている。そして、駆動輪体84A,84B,84Cに巻回された駆動ベルト88A,88B,88Cが、案内輪体85A,85B,85Cから反転案内輪体86A,86B,86C、87A,87B,87Cに亘って巻回されるとともに、駆動ベルト88A,88B,88Cの遊端が、前記板状体支持部70A,70B,70Cの本体部分74A,74B,74Cに連結されている。なお、案内輪体85A,85B,85Cの一部を位置調整自在として、駆動ベルト88A,88B,88Cの張力調整を可能としている。以上の81A,81B,81C〜88A,88B,88Cなどにより、板状体支持部70A,70B,70Cを縦送りコンベア部21A,21B,21Cと仮置き部31とに亘って移動させる横移動駆動部80A,80B,80Cの一例が構成される。
かかる構成によると、モータ81A,81B,81Cの正逆駆動により巻き掛け連動機構83A,83B,83Cを介して駆動軸82A,82B,82Cを正逆回転させることで、駆動ベルト88A,88B,88Cを回動させて板状体支持部70A,70B,70Cを横送り搬送経路89A,89B,89Cの方向に往復移動し得る。その際に板状体支持部70A,70B,70Cの往復移動は、各部の被ガイド体71A,71B,71C、72A,72B,72C、73A,73B,73Cが各部のガイド溝61A,61B,61C、62A,62B,62C、63A,63B,63Cに嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
その際に横移動駆動部80A,80B,80Cは、駆動軸82A,82B,82Cの中間部分が分断されるとともに、モータ81A,81B,81Cなどが前後に振り分けて配設されている。これにより各横送り手段41A,41B,41Cは、単数枚搬送装置9側の前部ゾーン90S1と、搬送装置10A,10B,10C側の後部ゾーン90S2とに、縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送方向において2つ(複数)のゾーンに分けられ、各ゾーン90S1 ,90S2毎に横送り駆動可能に構成されている。
前記縦送りコンベア部21A,21B,21Cのうちの中央部(少なくとも1つ)の縦送りコンベア部21Bには、前記単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6を受け入れ可能な板状体受け入れ域130が形成されている。すなわち、縦送りコンベア部21Bにおける横送り搬送経路89Bの中央部分が板状体受け入れ域130に形成され、そして板状体受け入れ域130には、ガラス基板5,6を板状体支持部70A,70B,70Cの移動方向で位置決めするセンタリング装置91が設けられている。
このセンタリング装置91は、縦送りコンベア部21Bの下方で横送り搬送経路89Bの方向の両端部分に配設される昇降体92,93と、これら昇降体92,93を昇降動させる昇降駆動部94と、前記昇降体92,93の上方間に設けられた横送り搬送経路89Bの方向のガイド部材97と、このガイド部材97に支持案内されて横方向に移動自在な一対の板状体把持体101,102と、これら板状体把持体101,102を互いに接近離間動させる接近離間駆動部110などにより構成されている。
前記昇降体92,93は型レール状であって、搬送経路15Bの延長線に沿った方向(横送り搬送経路89Bに対して直交方向)に配設されている。前記昇降駆動部94はシリンダー装置形式であって、保持枠体28Bの下部に設けられるとともに、その上向きのピストンロッドが昇降体92,93の下部に連結されている。そして昇降体92,93上には、前記回転軸23B間でかつ1つ置きの隙間の下方に位置された4箇所(複数箇所)、すなわち、板状体支持部70Bなどが対向していない1つ置きの隙間の下方に位置されて、それぞれ保持体95が設けられている。前記ガイド部材97群は、前記保持体95の上方間に位置されるとともに、連結部材96を介して保持体95側に連結され、以て一体的に昇降自在に構成されている。このガイド部材97には、上方開放の上部ガイド溝98と、搬送装置10B側の側方開放の側部ガイド溝99と、下方開放の下部ガイド溝100とが、長さ方向(横送り搬送経路89Bの方向)の全長に形成されている。
前記板状体把持体101,102の本体部分103には、ガイド部材97の上部ガイド溝98に嵌合案内される上部被ガイド体105と、側部ガイド溝99に嵌合案内される側部被ガイド体106と、下部ガイド溝100に嵌合案内される下部被ガイド体107とが設けられている。そして本体部分103の上面側には、ローラ体24B間に位置されるロッド状の把持用部分104が立設状に設けられている。これら把持用部分104の相対向面によって、板状体把持体101,102の板状体把持面101a,102aが形成され、そして板状体把持体101,102の把持用部分104は、昇降駆動部94による昇降によって、縦送りコンベア部21Bの搬送面21bに対して出退動自在に構成されている。なお、各部の被ガイド体105,106、107として、各部のガイド溝98,99、100に遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の103〜107などにより、板状体把持体101,102の一例が構成される。
前記接近離間駆動部110は、その駆動源となる減速機付きのモータ111が外側の昇降体92に設けられている。そして外側の保持体95の上部間に亘って、搬送経路15Bの延長線に沿った方向(横送り搬送経路89Bに対して直交方向)の駆動軸112が回転自在に配設され、この駆動軸112は前記モータ111の出力軸に巻き掛け連動機構113を介して連動連結されている。前記駆動軸112の前記ガイド部材97に対向する部分には、それぞれ駆動輪体114が設けられるとともに、内側の各保持体95には、前記ガイド部材97に対向する反転案内輪体115がそれぞれ遊転自在に設けられている。また、内側、外側の各保持体95の内部で複数箇所には案内輪体116が遊転自在に設けられている。
そして、駆動輪体114に有端の駆動ベルト117が巻回され、この駆動ベルト117の一端が、外側の板状体把持体101の本体部分103に連結具118を介して連結されている。また駆動ベルト117の他端側は、外側の案内輪体116に案内され、外側の板状体把持体101の下方を通過したのち、その中間部分が内側の板状体把持体102の本体部分103に連結具119を介して連結されている。さらに駆動ベルト117の他端側は、内側の案内輪体116から反転案内輪体115に亘って巻回され、そして内側の板状体把持体102の部分を通過したのち、外側の板状体把持体101の本体部分103に連結具120を介して連結されている。なお、案内輪体116の一部を位置調整自在として、駆動ベルト117の張力調整を可能としている。以上の111〜120などにより、接近離間駆動部110の一例が構成される。
かかる構成によると、昇降駆動部94により昇降体92,93を昇降させることによって、保持体95、連結部材96、ガイド部材97を介して板状体把持体101,102を昇降し得、以て板状体把持体101,102の把持用部分104を縦送りコンベア部21Bの搬送面21bに対して出退し得る。そして、モータ111の正逆駆動により巻き掛け連動機構113を介して駆動軸112を正逆回転させることで、駆動ベルト117を回動させて板状体把持体101,102を、横送り搬送経路89A,89Bの方向で互いに接近離間移動し得る。その際に板状体把持体101,102の接近離間移動は、各部の被ガイド体105,106、107が各部のガイド溝98,99、100に嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
以上の92〜120などにより、板状体渡し域90においてガラス基板5,6を板状体支持部70A,70B,70Cの移動方向で位置決めするセンタリング装置91の一例が構成される。その際にセンタリング装置91は、駆動軸112の中間部分が分断されるとともに、モータ111などが前後に振り分けて配設されている。これによりセンタリング装置91は、前述した横送り手段41A,41B,41Cと同様に、単数枚搬送装置9側の前部ゾーン90S1 と、搬送装置10A,10B,10C側の後部ゾーン90S2とに分けられ、各ゾーン90S1 ,90S2毎にセンタリング可能に構成されている。
以上の21A,21B,21C〜120などにより、分散処理装置20の一例が構成される。なお、3箇所の搬送装置10A,10B,10Cのうち右側の搬送装置10Cが、適宜の箇所での検出などによって不良とされた不良大型ガラス基板5NGや不良小型ガラス基板6NGの回収用として設定されている。
以下に、上記した実施の形態1において、大型ガラス基板5を取り扱う作用を、図1〜図13に基づいて説明する。
各搬送装置10A,10B,10Cには空のボックス体3がセットされている。そして各搬送装置10A,10B,10Cは、大型ガラス基板5を、右側ゾーン16S1と、中央右側ゾーン16S2と中央左側ゾーン16S3とを加算した幅の中央ゾーン(16S2+16S3)と、左側ゾーン16S4 とにおいて、搬送経路15A,15B,15C上において左右3列(3つのゾーン)で各別に搬送し得るように、右側ゾーン16S1の右側駆動手段14M1と、中央ゾーン(16S2+16S3)の中央右側駆動手段14M2ならびに中央左側駆動手段14M3と、左側ゾーン16S4の左側駆動手段14M4とを各別に駆動するように制御される。また、各横送り手段41A,41B,41Cは、前部ゾーン90S1 と後部ゾーン90S2とが同時に作動するように制御される。そして前記単数枚搬送装置9は大型ガラス基板5を、その長尺寸法Lの方向を搬送方向として搬送するように設定されている。この単数枚搬送装置9からの大型ガラス基板5群を、分散処理装置20で分散処理したのち、搬送装置10A,10B,10Cに搬出させるに、たとえば次のように動作される。
すなわち、分散処理を行うに際して分散処理装置20では、各横送り手段41A,41B,41Cの昇降部材42A,42B,42C群を昇降駆動部50A,50B,50Cにより下降させることによって、板状体支持部70A,70B,70Cの板状体支持面70a,70b,70cを、縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送面21a,21b,21cや仮置き部31,36の仮置き支持面31a,36aに対して退入動させている。そして図5〜図8の実線や点線に示すように、両側の板状体支持部70A,70Cをそれぞれ仮置き部31,36に位置させるとともに、中央の板状体支持部70Bを板状体受け渡し域130に位置させている。また、センタリング装置91における板状体把持体101,102の把持用部分104を、昇降駆動部94により昇降体92,93を上昇させることで、図7の仮想線や図9の仮想線に示すように、縦送りコンベア部21Bの搬送面21bに対して突出動させるとともに、板状体把持体101,102を接近離間駆動部110によって互いに離間動させている。
このような状態で、まず中央の縦送りコンベア部21Bにおける両ゾーン16S1 ,16S2の駆動手段25Bを駆動するとともに、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に大型ガラス基板5を送り出し供給し、以て大型ガラス基板5を、駆動させた縦送りコンベア部21Bのローラ体24B群によって支持搬送する。そして、大型ガラス基板5が縦送りコンベア部21B上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段25Bの駆動を停止させることで、図6、図7、図10の実線、図12(a)に示すように、大型ガラス基板5を、板状体支持部70Bの上方で、かつ互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置し得る。次いで、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに接近動させることで、板状体把持面101a,102aにより大型ガラス基板5を幅広寸法Mの方向から把持し得、以て大型ガラス基板5をセンタリング(位置決め)し得る。
そして図12(b)に示すように、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板5に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより、図10の仮想線に示すように、縦送りコンベア部21B上の大型ガラス基板5を支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、両ゾーン90S1 ,90S2のモータ81Bにより駆動ベルト88Bを回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31側に移動させることで、支持部分75B群により支持している大型ガラス基板5を横送り搬送経路89B上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Mの方向(横方向)に搬送し得る。次いで、大型ガラス基板5が左仮置き部31の上方に位置したことを検出するなどして、モータ81Bを停止して横方向への搬送を停止させることで、大型ガラス基板5を左仮置き部31の上方に位置し得る。
そして前述と同様にして、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に次の大型ガラス基板、すなわち不良大型ガラス基板5NGを送り出し供給し、以て不良大型ガラス基板5NGを、互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置させたのち、図12(c)に示すように、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)する。この前後に、中央部横送り手段41Bを昇降駆動部50Bにより下降させることによって、板状体支持部70Bの板状体支持面70bを左仮置き部31の仮置き支持面31aに対して退入動し得る。これにより大型ガラス基板5を、支持部材34群によって支持して左仮置き部31に仮置きし得る。この直後に、モータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31から離れる側に移動させることで、板状体支持部70Bを板状体受け入れ域130に位置させる。
次いで図13(a)に示すように、センタリング装置91の板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの不良大型ガラス基板5NGに対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより不良大型ガラス基板5NGを、支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを右仮置き部36側に移動させることで、支持部分75B群によって支持している不良大型ガラス基板5NGを、横送り搬送経路89B上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得、以て右仮置き部36の上方に位置し得る。
これと相前後して、昇降駆動部50Aにより左部横送り手段41Aを上昇させることによって、板状体支持部70Aの板状体支持面70aを仮置き部31の仮置き支持面31aに対して突出動させ得、以て図5の仮想線イに示すように、支持部材34群上の大型ガラス基板5を支持部分75A群による扁平状の板状体支持面70aによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Aにより駆動ベルト88Aを回動させることで、支持部分75A群によって支持している大型ガラス基板5を、横送り搬送経路89A上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Mの方向に搬送し得る。そして、大型ガラス基板5が搬送装置10Aの左側ゾーン16S4に対向したことを検出するなどしてモータ81Aを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に次の大型ガラス基板5を送り出し供給し、以て大型ガラス基板5を、互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置させたのち、図13(b)に示すように、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)し得る。この前後に、中央部横送り手段41Bを昇降駆動部50Bにより下降させて、板状体支持部70Bの板状体支持面70bを右仮置き部36の仮置き支持面36aに対して退入動させることにより、不良大型ガラス基板5NGを支持部材39群によって支持して右仮置き部36に仮置きし得る。そしてモータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31から離れる側に移動させることで、板状体支持部70Bを板状体受け入れ域130に位置し得る。
また、昇降駆動部50Aにより左部横送り手段41Aを下降させることによって、板状体支持部70Aの板状体支持面70aを縦送りコンベア部21Aの搬送面21aに対して退入動させる。これにより図5の仮想線ロや図11に示すように、搬送装置10Aの左側ゾーン16S4に対向している大型ガラス基板5を縦送りコンベア部21Aによって支持し得る。その後に、モータ81Aにより駆動ベルト88Aを逆回動させて板状体支持部70Aを左仮置き部31側に移動させることで、板状体支持部70Aを左仮置き部31に位置し得る。
そして、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板5に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより、縦送りコンベア部21B上の大型ガラス基板5を支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、駆動ベルト88Bを回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31側に移動させることで、支持部分75B群により支持している大型ガラス基板5を横送り搬送経路89B上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Mの方向(横方向)に搬送し得る。そして図13(c)に示すように、大型ガラス基板5が左仮置き部31の上方に位置したことを検出するなどして、モータ81Bを停止して横方向への搬送を停止させることで、大型ガラス基板5を左仮置き部31の上方に位置し得る。
この前後に、縦送りコンベア部21Aにおける左側ゾーン26S2の駆動手段25Aと、搬送装置10Aにおける左側ゾーン16S4の左側駆動手段14M4とを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた大型ガラス基板5を、縦送りコンベア部21Aのローラ体24A群による支持搬送によって供給し得る。さらに、右側駆動手段14M1と、右側ゾーン26S1の駆動手段25Aとを駆動して、右側ゾーン16S1から大型ガラス基板5を切り出し供給するとともに、この大型ガラス基板5を、駆動させた搬送装置10Aのローラ体13A群により受け取って支持搬送する。そして、大型ガラス基板5が搬送装置10A上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段25Aと左側駆動手段14M4との駆動を停止させることで、大型ガラス基板5をボックス体3内に格納(位置)し得る。
また、昇降駆動部50Cにより右部横送り手段41Cを上昇させることによって、板状体支持部70Cの板状体支持面70cを仮置き部36の仮置き支持面36aに対して突出動させ得、以て支持部材39群上の不良大型ガラス基板5NGを、支持部分75C群による扁平状の板状体支持面70cによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Cにより駆動ベルト88Cを回動させることで、支持部分75C群により支持している不良大型ガラス基板5NGを横送り搬送経路89C上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Mの方向に搬送し得る。そして、図8の仮想線に示すように、不良大型ガラス基板5NGが搬送装置10Cの右側ゾーン16S1に対向したことを検出するなどしてモータ81Cを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。その後に右部横送り手段41Cを上昇させることによって、図9に示すように、不良大型ガラス基板5NGを、縦送りコンベア部21Cのローラ体24C群によって支持し得る。
以下において同様の動作が繰り返し行われる。すなわち、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に送り出し供給した大型ガラス基板5を、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)したのち、中央部横送り手段41Bにより左仮置き部31に搬送して一旦仮置きし、そして左部横送り手段41Aにより支持搬送して、搬送装置10Aにおける右側ゾーン16S1 、中央ゾーン(16S2+16S3)、左側ゾーン16S4のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部21Aの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段14M1 、14M2 、14M3 、14M4の各別駆動とによって大型ガラス基板5を支持搬送することで、図13(c)の実線や仮想線に示すように、大型ガラス基板5を搬送装置10Aによって前後2列かつ左右3列に支持し得るとともに、かかる大型ガラス基板5群を上下複数段としてボックス体3内に格納(位置)し得る。
また左側の搬送装置10Aを使用してのボックス体3への格納が満杯状態になったとき、中央の搬送装置10Bを使用してのボックス体3への格納に切り換える。この場合に、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に送り出し供給した大型ガラス基板5を、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)したのち、中央部横送り手段41Bにより支持搬送して搬送装置10Bにおける右側ゾーン16S1、中央ゾーン(16S2+16S3)、左側ゾーン16S4のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部21Bの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段14M1 、14M2 、14M3 、14M4の各別駆動とによって大型ガラス基板5を支持搬送することで、図13(c)の仮想線に示すように、大型ガラス基板5を搬送装置10Bによって前後2列かつ左右3列に支持し得るとともに、かかる大型ガラス基板5群を上下複数段としてボックス体3内に格納(位置)し得る。このように中央の搬送装置10Bを対象としたときは、左仮置き部31は使用せず、また左部横送り手段41Aは作動しない。
このようにして、単数枚搬送装置9からの大型ガラス基板5を、センタリングしたのち分散して、複数の搬送装置10A,10Bへと効率良く送り出し得る。なお、左側の搬送装置10Aや中央の搬送装置10Bを使用してのボックス体3への格納時において、不良大型ガラス基板5NGは、中央部横送り手段41B、右仮置き部36、右部横送り手段41Cを介しての同様の作用によって、図13(c)の仮想線に示すように、右側の搬送装置10Cのボックス体3内に格納(位置)し得、以て所期の搬送ラインから分離、除去し得る。
次に、上記した実施の形態1において、小型ガラス基板6を取り扱う作用を、図1、図14、図15に基づいて説明する。
各搬送装置10A,10B,10Cには空のボックス体3がセットされている。そして各搬送装置10A,10B,10Cは小型ガラス基板6を、右側ゾーン16S1と中央右側ゾーン16S2とを加算した幅の右ゾーン(16S1+16S2)と、中央左側ゾーン16S3と左側ゾーン16S4 とを加算した幅の左ゾーン(16S3+16S4)とにおいて、搬送経路15A,15B,15C上において左右2列(2つのゾーン)で各別に搬送し得るように、右ゾーン(16S1+16S2)の右側駆動手段14M1と中央右側駆動手段14M2とを同期駆動させ、左ゾーン(16S3+16S4)の中央左側駆動手段14M3と左側駆動手段14M4とを同期駆動させるように制御される。
また横送り手段41A,41B,41Cやセンタリング装置91は、単数枚搬送装置9側の前部ゾーン90S1が駆動可能とされ、搬送装置10A,10B,10C側の後部ゾーン90S2が非駆動とされている。そして単数枚搬送装置9は小型ガラス基板6を、その幅狭寸法mの方向を搬送方向として搬送するように設定されている。この単数枚搬送装置9からの小型ガラス基板6群を、分散処理装置20で分散処理したのち、搬送装置10A,10B,10Cに搬出させるに、たとえば次のように動作される。
分散処理を行うに際して分散処理装置20では、各横送り手段41A,41B,41Cの昇降部材42A,42B,42C群を昇降駆動部50A,50B,50Cにより下降させることによって、板状体支持部70A,70B,70Cの板状体支持面70a,70b,70cを、縦送りコンベア部21A,21B,21Cの搬送面21a,21b,21cや仮置き部31,36の仮置き支持面31a,36aに対して退入動させている。そして、両側の板状体支持部70A,70Cをそれぞれ仮置き部31,36に位置させるとともに、中央の板状体支持部70Bを板状体受け渡し域130に位置させている。また、センタリング装置91における板状体把持体101,102の把持用部分104を、昇降駆動部94により昇降体92,93を上昇させることで、縦送りコンベア部21Bの搬送面21bに対して突出動させるとともに、板状体把持体101,102を接近離間駆動部110によって互いに離間動させている。
このような状態で、まず中央の縦送りコンベア部21Bにおける両ゾーン16S1 ,16S2の駆動手段25Bを駆動するとともに、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に小型ガラス基板6を送り出し供給し、以て小型ガラス基板6を、駆動させた縦送りコンベア部21Bのローラ体24B群によって支持搬送する。そして、小型ガラス基板6が縦送りコンベア部21B上で前部ゾーン90S1に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段25Bの駆動を停止させることで、図14(a)に示すように、小型ガラス基板6を、板状体支持部70Bの上方で、かつ互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置し得る。次いで、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに接近動させることで、板状体把持面101a,102aにより小型ガラス基板6を短尺寸法lの方向から把持し得、以て小型ガラス基板6をセンタリング(位置決め)し得る。
そして図14(b)に示すように、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの小型ガラス基板6に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより、縦送りコンベア部21B上の小型ガラス基板6を支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、前部ゾーン90S1 のモータ81Bにより駆動ベルト88Bを回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31側に移動させることで、支持部分75B群により支持している小型ガラス基板6を横送り搬送経路89B上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法lの方向(横方向)に搬送し得る。
この搬送により、小型ガラス基板6が左仮置き部31の上方に位置したことを検出するなどして、モータ81Bを停止して搬送を停止させることで、小型ガラス基板6を左仮置き部31の上方に位置し得る。この後に、中央部横送り手段41Bを下降させることによって、板状体支持部70Bの板状体支持面70bを左仮置き部31の仮置き支持面31aに対して退入動し得、これにより小型ガラス基板6を、支持部材34群によって支持して左仮置き部31に仮置きし得る。
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に次の小型ガラス基板、すなわち不良小型ガラス基板6NGを送り出し供給し、以て不良小型ガラス基板6NGを、互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置させたのち、図14(c)に示すように、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)し得る。この前後に、モータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31から離れる側に移動させることで、板状体支持部70Bを板状体受け入れ域130に位置させる。
さらに、昇降駆動部50Aにより左部横送り手段41Aを上昇させることによって、板状体支持部70Aの板状体支持面70aを仮置き部31の仮置き支持面31aに対して突出動させ得、以て支持部材34群上の小型ガラス基板6を支持部分75A群による扁平状の板状体支持面70aによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Aにより駆動ベルト88Aを回動させることで、支持部分75A群によって支持している小型ガラス基板6を、横送り搬送経路89A上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法lの方向に搬送し得る。そして、小型ガラス基板6が搬送装置10Aの左ゾーン(16S3+16S4)に対向したことを検出するなどしてモータ81Aを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
そして図15(a)に示すように、センタリング装置91の板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの不良小型ガラス基板6NGに対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより、不良小型ガラス基板6NGを支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを右仮置き部36側に移動させることで、支持部分75B群によって支持している不良小型ガラス基板6NGを、横送り搬送経路89B上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得、以て右仮置き部36の上方に位置し得る。次いで、中央部横送り手段41Bを昇降駆動部50Bにより下降させて、板状体支持部70Bの板状体支持面70bを右仮置き部36の仮置き支持面36aに対して退入動させることにより、不良小型ガラス基板6NGを支持部材39群によって支持して右仮置き部36に仮置きし得る。
また、昇降駆動部50Aにより左部横送り手段41Aを下降させることによって、板状体支持部70Aの板状体支持面70aを縦送りコンベア部21Aの搬送面21aに対して退入動させる。これにより、搬送装置10Aの左ゾーン(16S3+16S4)に対向している小型ガラス基板6を縦送りコンベア部21Aによって支持し得る。そしてモータ81Aにより駆動ベルト88Aを逆回動させて板状体支持部70Aを左仮置き部31側に移動させることで、板状体支持部70Aを左仮置き部31に位置し得る。
この後に、縦送りコンベア部21Aにおける左側ゾーン26S2の駆動手段25Aを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた小型ガラス基板6を、縦送りコンベア部21Aのローラ体24A群により支持搬送し得る。そして、小型ガラス基板6が、後部ゾーン90S2 に完全に移ったことを検出するなどして、駆動手段25Aの駆動を停止させることで、小型ガラス基板6を搬送装置10Aの左ゾーン(16S3+16S4)に接近し得る。
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に次の小型ガラス基板6を送り出し供給し、以て小型ガラス基板6を、互いに離間動している板状体把持体101,102の把持用部分104間に位置させたのち、図15(b)に示すように、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)し得る。この前後に、中央部横送り手段41Bにおいては、モータ81Bにより駆動ベルト88Bを逆回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31から離れる側に移動させることで、板状体支持部70Bを板状体受け入れ域130に位置し得る。
また、昇降駆動部50Cにより右部横送り手段41Cを上昇させることによって、板状体支持部70Cの板状体支持面70cを仮置き部36の仮置き支持面36aに対して突出動させ得、以て支持部材39群上の不良小型ガラス基板6NGを支持部分75C群による扁平状の板状体支持面70cによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ81Cにより駆動ベルト88Cを回動させることで、支持部分75C群により支持している不良小型ガラス基板6NGを横送り搬送経路89C上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法lの方向に搬送し得る。そして、不良小型ガラス基板6NGが搬送装置10Cの右ゾーン(16S1+16S2)に対向したことを検出するなどしてモータ81Cを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
そして図15(c)に示すように、センタリング装置91の接近離間駆動部110により板状体把持体101,102を互いに離間動させて、センタリング済みの小型ガラス基板6に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段41Bを上昇させることにより、縦送りコンベア部21B上の小型ガラス基板6を支持部分75B群による扁平状の板状体支持面70bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、前部ゾーン90S1 のモータ81Bにより駆動ベルト88Bを回動させて板状体支持部70Bを左仮置き部31側に移動させることで、支持部分75B群によって支持している小型ガラス基板6を、横送り搬送経路89B上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法lの方向(横方向)に搬送し得る。
この搬送により、小型ガラス基板6が左仮置き部31の上方に位置したことを検出するなどして、モータ81Bを停止して搬送を停止させることで、小型ガラス基板6を左仮置き部31の上方に位置し得る。この後に、中央部横送り手段41Bを下降させることによって、板状体支持部70Bの板状体支持面70bを左仮置き部31の仮置き支持面31aに対して退入動し得、これにより小型ガラス基板6を、支持部材34群によって支持して左仮置き部31に仮置きし得る。
また、昇降駆動部50Cにより右部横送り手段41Cを下降させることによって、板状体支持部70Cの板状体支持面70cを縦送りコンベア部21Cの搬送面21cに対して退入動させる。これにより、搬送装置10Cの右ゾーン(16S1+16S2)に対向している不良小型ガラス基板6NGを縦送りコンベア部21Cによって支持し得る。そしてモータ81Cにより駆動ベルト88Cを逆回動させて板状体支持部70Cを右仮置き部36側に移動させることで、板状体支持部70Cを右仮置き部36に位置し得る。
この後に、縦送りコンベア部21Cにおける右側ゾーン26S1の駆動手段25Cを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた不良小型ガラス基板6NGを、縦送りコンベア部21Cのローラ体24C群により支持搬送し得、そして、不良小型ガラス基板6NGが、後部ゾーン90S2 に完全に移ったことを検出するなどして、駆動手段25Cの駆動を停止させることで、不良小型ガラス基板6NGを搬送装置10Cの右ゾーン(16S1+16S2)に接近し得る。
また、左仮置き部31に仮置きしている小型ガラス基板6を左部横送り手段41Aにより搬送して、図15(c)の仮想線に示すように、後部ゾーン90S2の小型ガラス基板6の前方に位置させ、これにより小型ガラス基板6を前後2枚に並べた状態とする。そして、縦送りコンベア部21Aにおける左側ゾーン26S2の駆動手段25Aと、搬送装置10Aにおける左ゾーン(16S3+16S4)の駆動手段14M3 ,14M4とを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた前後一対(2枚)の小型ガラス基板6を、縦送りコンベア部21Aのローラ体24A群による支持搬送によって供給し得るとともに、この前後一対の小型ガラス基板6を、搬送装置10Aのローラ体13A群により受け取って支持搬送する。そして、前後一対の小型ガラス基板6が搬送装置10A上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段25Aと駆動手段14M3 ,14M4との駆動を停止させることで、図15(c)の仮想線に示すように、前後一対の小型ガラス基板6をボックス体3内に格納(位置)し得る。
以下において同様の動作が繰り返し行われる。すなわち、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に送り出し供給した小型ガラス基板6を、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)したのち、中央部横送り手段41Bにより左仮置き部31に搬送して一旦仮置きし、そして左部横送り手段41Aにより支持搬送して、搬送装置10Aにおける右ゾーン(16S1+16S2)か左ゾーン(16S3+16S4)のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部21Aの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段14M1 、14M2 、14M3 、14M4の各別駆動とによって一対の小型ガラス基板6を支持搬送することで、図15(c)の仮想線に示すように、小型ガラス基板6を搬送装置10Aによって前後4列かつ左右2列に支持し得るとともに、かかる小型ガラス基板6群を上下複数段としてボックス体3内に格納(位置)し得る。
また左側の搬送装置10Aを使用してのボックス体3への格納が満杯状態になったとき、中央の搬送装置10Bを使用してのボックス体3への格納に切り換える。この場合に、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に送り出し供給した小型ガラス基板6を、センタリング装置91によりセンタリング(位置決め)したのち、中央部横送り手段41Bにより支持搬送して搬送装置10Bにおける右ゾーン(16S1+16S2)か左ゾーン(16S3+16S4)のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部21Bの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段14M1 、14M2 、14M3 、14M4の各別駆動とによって一対の小型ガラス基板6を支持搬送することで、図15(c)の仮想線に示すように、小型ガラス基板6を搬送装置10Bによって前後4列かつ左右2列に支持し得るとともに、かかる小型ガラス基板6群を上下複数段としてボックス体3内に格納(位置)し得る。このように中央の搬送装置10Bを対象としたときは、左仮置き部31は使用せず、また左部横送り手段41Aは作動しない。
このようにして、単数枚搬送装置9からの小型ガラス基板6を、センタリングしたのち分散して、複数の搬送装置10A,10Bへと効率良く送り出し得る。なお、左側の搬送装置10Aや中央の搬送装置10Bを使用してのボックス体3への格納時において、不良小型ガラス基板6NGは、中央部横送り手段41B、右仮置き部36、右部横送り手段41Cを介しての同様の作用によって、図15(c)の仮想線に示すように、右側の搬送装置10Cのボックス体3内に格納(位置)し得、以て所期の搬送ラインから分離、除去し得る。
上記した実施の形態1によると、単数枚搬送装置9で搬送されてきたガラス基板5,6を、分散処理装置20で分散処理したのち、搬送装置10A,10B群に搬出させるに際して、分散処理装置20では、各横送り手段41A,41Bを下降させることによって、板状体支持部70A,70Bを、縦送りコンベア部21A,21Bの搬送面21a,21bや左仮置き部31の仮置き支持面31aに対して退入動させている。
このような状態において、単数枚搬送装置9から板状体受け入れ域130に供給したガラス基板5,6を、縦送りコンベア部21Bにより支持搬送して板状体支持部70Bの上方に位置させる。次いで、中央部横送り手段41Bを上昇させて、板状体支持部70Bを搬送面21bに対して突出動させることにより、縦送りコンベア部21B上のガラス基板5,6を板状体支持部70Bによって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部70Bを左仮置き部31側に移動させることで、支持しているガラス基板5,6を横方向に搬送できる。そして、ガラス基板5,6を左仮置き部31の上方に位置させたのち、横送り手段41Bを下降して板状体支持部70Bを仮置き支持面31aに対して退入動させることにより、ガラス基板5,6を、仮置き支持面31aに支持させて左仮置き部31に仮置きできる。
次いで、左部横送り手段41Aを上昇させて、板状体支持部70Aを仮置き支持面31aに対して突出動させることにより、左仮置き部31上のガラス基板5,6を板状体支持部70Aによって持ち上げ支持できる。この状態で、板状体支持部70Aを左仮置き部31から離れる側に移動させることで、支持しているガラス基板5,6を横方向に搬送できる。このガラス基板5,6を縦送りコンベア部21Aの上方に位置させたのち、左部横送り手段41Aを下降して板状体支持部70Aを搬送面21aに対して退入動させることにより、ガラス基板5,6を、縦送りコンベア部21Aにより支持できる。そして、縦送りコンベア部21Aによる支持搬送によって、ガラス基板5,6を搬送装置10Aへと送り出し、この搬送装置10Aによって搬送できる。
このような動作の繰り返しによって、単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6を、一対の横送り手段41A,41Bと、左仮置き部31とを介して分散処理して、目的とする搬送装置10Aへと効率良く送り出しできる。また特定の搬送装置10Bには、単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6を、中央部横送り手段41Bのみを介して効率良く送り出すことができる。その際に、横送り手段41A,41Bによる搬送は、ガラス基板5,6に対する摩擦回転や、送り開始時や送り停止時に摺接動など生じない状態で、すなわち、板状体支持部70A,70Bの扁平状の板状体支持面70a,70bによりガラス基板5,6を持ち上げ支持した持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して行える。これにより、分散処理しての搬出を、搬送によるガラス基板5,6の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行えるとともに、高速搬送を容易に実現できることになる。
上記した実施の形態1によると、板状体受け入れ域130の縦送りコンベア部21Bで支持したガラス基板5,6を、センタリング装置91によって板状体支持部70A,70Bの移動方向で位置決めしたのち、一対の搬送装置10A,10Bへと送り出しでき、以て単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6をそれぞれセンタリングしたのち、分散処理して、一対の搬送装置10A,10Bへと効率良く送り出すことができる。
上記した実施の形態1によると、単数枚搬送装置130から一枚ずつ搬送されてくるガラス基板5,6を、一対の横送り手段41A,41Bと左仮置き部31とを介して、目的とする搬送装置10A,10Bの目的とする列へと効率良く送り出すことができるとともに、各搬送装置10A,10Bでは各列毎(複数のゾーン毎)に効率良く搬送できる。
上記した実施の形態1によると、単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6の形状(大きさ)や向きなどに応じて、一対の横送り手段41A,41Bにおける横送り駆動させるゾーン90S1 ,90S2の場所や数を制御することで、単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6を、目的とする搬送装置10A,10Bに無駄なく効率良く分散処理できる。
上記した実施の形態1によると、単数枚搬送装置9からの不良ガラス基板5NG,6NGを、一対の横送り手段41B,41Cと右仮置き部36とを介しての分散処理により1つの搬送装置10Cに送り出して、所期の搬送ラインから分離、除去できる。
上記した実施の形態1では、単数枚搬送装置9からのガラス基板5,6を、分散処理装置20で分散処理したのち、一対の搬送装置10A,10Bに搬出させる形式が示されているが、これは、ガラス基板5,6を分散処理装置20で分散処理したのち、3以上(複数)の搬送装置に搬出させる形式などであってもよく、この場合に、縦送りコンベア部や横送り手段は3以上(複数)に設けられ、そして仮置き部は2以上(複数)に設けられる。
上記した実施の形態1では、単数枚搬送装置9が1箇所に設けられた形式が示されているが、これは単数枚搬送装置9が複数箇所に設けられた形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、板状体受け入れ域130に、ガラス基板5,6を板状体支持部70A,70Bの移動方向で位置決めするセンタリング装置91が設けられた形式が示されているが、これはセンタリング装置91が省略された形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、両搬送装置10A,10Bは、3列または2列(複数列)のガラス基板5,6を各列毎に搬送可能に構成された形式が示されているが、これは1列(単数列)のガラス基板5,6を搬送可能に構成された形式や、さらに多数列(複数列)のガラス基板5,6を各列毎に搬送可能に構成された形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、横送り手段41A,41Bとして、縦送りコンベア部21A,21Bの搬送方向において前後部のゾーン90S1 ,90S2に分けられ、各ゾーン90S1 ,90S2毎に横送り駆動可能とした形式が示されているが、これは3以上(複数)のゾーンに分けられた形式や、1つのゾーンで分けられていない形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、搬送装置10A,10B,10C群のうちの少なくとも1つの搬送装置10Cに、ガラス基板5,6のうちの不良ガラス基板5NG,6NGを搬出可能とした形式が示されているが、これは不良品を分散処理しない形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、分散処理装置20として、搬送装置10A,10Bに対して2枚(複数枚)の小型ガラス基板6を同時に搬送可能とした形式が示されているが、これは1枚(単数枚)の小型ガラス基板6を搬送可能とした形式、2枚以上(複数枚)の小型ガラス基板6を同時に搬送可能とした形式などであってもよい。
上記した実施の形態1では、板状体としてガラス基板5,6が示されているが、これは金属板や樹脂板などであってもよい。
上記した実施の形態1では、板状体として大型ガラス基板5と小型ガラス基板6との2種類が示されているが、これは1種類、または2種類以上であってもよい。
上記した実施の形態1では、搬送装置10A,10B,10Cや縦送りコンベア部21A,21B,21Cの駆動として、各回転軸12A,12B,12C、23A,23B,23Cにそれぞれ駆動手段14M1,14M2 ,14M3 ,14M4、25A,25B,25Cを連動した形式が示されているが、これは回転軸間がベルト連動された形式などであってもよい。