JP2008091681A - Thin-film support substrate and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、3次元微細加工等に用いられる薄膜担持体基板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a thin film carrier substrate used for three-dimensional microfabrication and the like and a manufacturing method thereof.
任意形状の3次元微小構造体をナノメートルの精度で製作する方法として、常温接合を用いた微小構造体の製造方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。この製造方法は、基板に離型層が設けられたドナー基板上に所定のパターンの複数の薄膜を形成し、また、X−Yステージにターゲット基板としての犠牲層を取り付け、離型層上の薄膜パターンを1つずつ剥離して犠牲層へ順次転写及び積層して微小構造体を作製するものである。 As a method of manufacturing a three-dimensional microstructure having an arbitrary shape with nanometer accuracy, a method of manufacturing a microstructure using room temperature bonding is known (see, for example, Patent Document 1). In this manufacturing method, a plurality of thin films having a predetermined pattern are formed on a donor substrate having a release layer provided on the substrate, a sacrificial layer as a target substrate is attached to an XY stage, and a release layer is formed. The thin film pattern is peeled off one by one, and sequentially transferred and laminated on the sacrificial layer to produce a microstructure.
通常、ドナー基板においては、薄膜パターン(転写用パターンとも言う)を剥離し易くするために、離型層を設けて薄膜パターンの密着力が小さくなるようにしている。また、薄膜パターンと共に、積層装置内における基板の位置を決定するための位置決め用パターンも形成されている。この位置決め用パターンは、ドナー基板のハンドリング中に剥離や位置ずれが生じると、積層構造体の精度を低下させる原因になる。そこで、位置決め用パターンは、剥離し難い、すなわち密着力の高いことが要求される。
本発明の目的は、位置決め用パターンの密着力を大きくすることができるようにした薄膜担持体基板およびその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a thin film carrier substrate and a method for manufacturing the same, which can increase the adhesion of a positioning pattern.
本発明の一態様は、上記目的を達成するため、以下の薄膜担持体基板およびその製造方法を提供する。 In order to achieve the above object, one embodiment of the present invention provides the following thin film carrier substrate and method for producing the same.
[1]基板と、前記基板上に形成された複数の転写用パターンと、前記複数の転写用パターンよりも大きな密着力になるように前記基板上に形成された位置決め用パターンと、を有することを特徴とする薄膜担持体基板。 [1] having a substrate, a plurality of transfer patterns formed on the substrate, and a positioning pattern formed on the substrate so as to have a larger adhesive force than the plurality of transfer patterns. A thin film carrier substrate.
[2]前記複数の転写用パターンは、前記基板上に形成されていることを特徴とする前記[1]に記載の薄膜担持体基板。 [2] The thin film carrier substrate according to [1], wherein the plurality of transfer patterns are formed on the substrate.
[3]前記位置決め用パターンは、下地膜を介して形成されることにより、前記複数の転写用パターンよりも密着力を大きくしたことを特徴とする前記[1]に記載の薄膜担持体基板。 [3] The thin film carrier substrate according to [1], wherein the positioning pattern is formed through a base film so that the adhesion is greater than that of the plurality of transfer patterns.
[4]前記下地膜は、Ti、CrまたはTaかからなる金属膜であることを特徴とする前記[3]に記載の薄膜担持体基板。 [4] The thin film carrier substrate according to [3], wherein the base film is a metal film made of Ti, Cr, or Ta.
[5]前記転写用パターンは、下地膜を介して形成されることにより、記位置決め用パターンよりも密着力を小さくしたことを特徴とする[1]に記載の薄膜担持体基板。 [5] The thin film carrier substrate according to [1], wherein the transfer pattern is formed through a base film so that the adhesion is smaller than the positioning pattern.
[6]前記下地膜は、SiO2、フッ素化ポリイミドまたはAuかからなる金属膜であることを特徴とする[5]に記載の薄膜担持体基板。 [6] The base film has a thin film carrier substrate according to [5], wherein the SiO 2, a fluorinated polyimide or Au applied becomes a metal film.
[7]前記位置決め用パターンは、その全体または一部に透明薄膜、透明接着剤または透明樹脂シールが設けられていることを特徴とする前記[1]に記載の薄膜担持体基板。 [7] The thin film carrier substrate according to [1], wherein the positioning pattern is provided with a transparent thin film, a transparent adhesive, or a transparent resin seal on the whole or a part thereof.
[8]前記位置決め用パターンは、レーザ光の照射により共晶化または固相相互拡散されていることを特徴とする前記[1]に記載の薄膜担持体基板。 [8] The thin film carrier substrate according to [1], wherein the positioning pattern is eutectic or solid-phase interdiffused by laser light irradiation.
[9]基板と、前記基板上に形成されると共に、部分的にフッ素化処理が施された複数のフッ素化処理部を備えた離型層と、前記複数のフッ素化処理部上に形成された複数の転写用パターンと、前記離型層の前記複数のフッ素化処理部が形成されていない領域に形成された前記位置決め用パターンと、を有することを特徴とする薄膜担持体基板。 [9] A substrate, a release layer that is formed on the substrate and includes a plurality of fluorination treatment parts partially subjected to fluorination treatment, and formed on the plurality of fluorination treatment parts. A thin film carrier substrate comprising: a plurality of transfer patterns; and the positioning pattern formed in a region of the release layer where the plurality of fluorination portions are not formed.
[10]基板上に離型層を形成する第1の工程と、前記離型層と複数の転写用パターンとの密着力が、前記離型層と位置決め用パターンとの密着力よりも小になる領域を基板上に形成する第2の工程と、前記領域上に前記複数の転写用パターンを形成すると共に前記領域以外の前記離型層上に前記位置決め用パターンを形成する第3の工程と、を含むことを特徴とする薄膜担持体基板の製造方法。 [10] The first step of forming the release layer on the substrate, and the adhesive force between the release layer and the plurality of transfer patterns is smaller than the adhesive force between the release layer and the positioning pattern. A second step of forming a region to be formed on the substrate, and a third step of forming the plurality of transfer patterns on the region and forming the positioning pattern on the release layer other than the region. A method for producing a thin film carrier substrate, comprising:
[11]前記領域は、前記基板をフッ素化処理して形成したフッ素化処理部であることを特徴とする前記[10]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [11] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [10], wherein the region is a fluorination treatment part formed by fluorinating the substrate.
[12]基板と位置決め用パターンの密着力が、前記基板と複数の転写用パターンの密着力よりも大になる処理を前記基板に施す第1の工程と、前記処理が施された部分に前記位置決め用パターンを形成すると共に前記領域以外の前記基板上に前記複数の転写用パターンを形成する第2の工程と、を含むことを特徴とする薄膜担持体基板の製造方法。 [12] A first process in which the substrate is subjected to a process in which an adhesion force between the substrate and the positioning pattern is greater than an adhesion force between the substrate and the plurality of transfer patterns, and the portion subjected to the process is subjected to the process. Forming a positioning pattern and forming the plurality of transfer patterns on the substrate other than the region, and a method of manufacturing a thin film carrier substrate.
[13]前記第1の工程は、前記処理として、Ti、CrまたはTaからなる金属膜を形成することを特徴とする前記[12]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [13] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [12], wherein in the first step, a metal film made of Ti, Cr, or Ta is formed as the treatment.
[14]前記第1の工程は、前記処理として、ストライクめっき膜を形成することを特徴とする前記[12]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [14] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [12], wherein in the first step, a strike plating film is formed as the treatment.
[15]前記第1の工程は、前記処理として、前記位置決め用パターンに部分的な加熱を施すことを特徴とする前記[12]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [15] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [12], wherein in the first step, the positioning pattern is partially heated as the treatment.
[16]前記加熱の手段は、レーザ光照射であることを特徴とする[15]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [16] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [15], wherein the heating means is laser beam irradiation.
[17]前記第1の工程は、前記処理として、前記位置決め用パターンに対して透明薄膜、透明接着剤膜または透明樹脂シール接着剤を設けることを特徴とする前記[12]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [17] The thin film carrier according to [12], wherein in the first step, a transparent thin film, a transparent adhesive film, or a transparent resin seal adhesive is provided on the positioning pattern as the treatment. Manufacturing method of body substrate.
[18]前記第1の工程は、前記処理を施された部分にプラズマを照射する工程を含むことを特徴とする前記[12]に記載の薄膜担持体基板の製造方法。 [18] The method for manufacturing a thin film carrier substrate according to [12], wherein the first step includes a step of irradiating plasma to a portion subjected to the treatment.
請求項1の薄膜担持体基板によれば、基板に対する位置決め用パターンの密着力を転写用パターンよりも大きくすることができる。
請求項2の薄膜担持体基板によれば、転写用パターンを基板に直接設けることができる。
請求項3,4の薄膜担持体基板によれば、位置決め用パターンの密着力を大きくすることができる。
請求項5,6の薄膜担持体基板によれば、転写パターンの密着力を小さくすることで、相対的に位置決め用パターンの密着力を大きくできる。
請求項7の薄膜担持体基板によれば、下地膜を設けることなく位置決め用パターンの剥離・位置ずれを抑制できる。
請求項8の薄膜担持体基板によれば、他の部材や下地膜を設けることなく位置決め用パターンの密着力を大きくすることができる。
請求項9の薄膜担持体基板によれば、離型層を有する構成においても、位置決め用パターンの密着力を転写用パターンよりも大きくすることができる。
請求項10の薄膜担持体基板の製造方法によれば、離型層を設ける場合でも、位置決め用パターンの密着力を転写用パターンよりも大きくすることができる。
請求項11の薄膜担持体基板の製造方法によれば、転写用パターンの密着力を小にするための領域を容易に形成することができる。
請求項12の薄膜担持体基板の製造方法によれば、基板に対する位置決め用パターンの密着力を転写用パターンよりも大きくすることができる。
請求項13,14,15,16,17の薄膜担持体基板の製造方法によれば、位置決め用パターンの密着力を大きくする処理を多様な方法によって実現することができる。
請求項18の薄膜担持体基板の製造方法によれば、位置決め用パターンの親水性を向上させることができる。
According to the thin film carrier substrate of the first aspect, the adhesion of the positioning pattern to the substrate can be made larger than that of the transfer pattern.
According to the thin film carrier substrate of the second aspect, the transfer pattern can be directly provided on the substrate.
According to the thin film carrier substrate of
According to the thin film carrier substrate of the fifth and sixth aspects, the adhesion of the positioning pattern can be relatively increased by reducing the adhesion of the transfer pattern.
According to the thin film carrier substrate of the seventh aspect, it is possible to suppress peeling and displacement of the positioning pattern without providing a base film.
According to the thin film carrier substrate of the eighth aspect, the adhesion of the positioning pattern can be increased without providing other members or a base film.
According to the thin film carrier substrate of the ninth aspect, even in the configuration having the release layer, the adhesion of the positioning pattern can be made larger than that of the transfer pattern.
According to the method for manufacturing a thin film carrier substrate of
According to the method of manufacturing the thin film carrier substrate of the eleventh aspect, it is possible to easily form a region for reducing the adhesion of the transfer pattern.
According to the method for manufacturing a thin film carrier substrate of
According to the method for manufacturing a thin film carrier substrate of
According to the method for manufacturing a thin film carrier substrate of claim 18, the hydrophilicity of the positioning pattern can be improved.
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る薄膜担持体基板の完成状態を示す平面図である。ここでは、薄膜担持体基板としてのドナー基板100が示され、このドナー基板100は、最終的に図示しないターゲット基板に転写される複数の転写用パターン11及び図示しない積層装置内におけるドナー基板100の位置を決定する少なくとも2つの位置決め用パターン10が、Siウェハ上に設けられている。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a plan view showing a completed state of the thin film carrier substrate according to the first embodiment of the present invention. Here, a donor substrate 100 as a thin film carrier substrate is shown, and this donor substrate 100 is a plurality of
図2は、図1に示す薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示すと共に、図1のA−A線の断面図に相当する。なお、図中、マスクは断面図で示している。 FIG. 2 is a process diagram showing a method of manufacturing the thin film carrier substrate shown in FIG. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of the order of a process, and is equivalent to sectional drawing of the AA line of FIG. In the drawing, the mask is shown in a sectional view.
第1の実施の形態は、位置決め用パターンの直下以外の離型層のみにフッ化処理を施し、転写用パターンの離型性を向上させる方法である。 In the first embodiment, only the release layer other than just below the positioning pattern is subjected to fluorination treatment to improve the release property of the transfer pattern.
まず、図2の(a)に示すように、Siウェハ1と、Siウェハ1上に離型層としてのポリイミド層2とからなる基板3を用意する。
First, as shown in FIG. 2A, a
次に、図2の(b)に示すように、ポリイミド層2上にポジレジストを塗布してレジスト膜4を形成し、図2の(c)で説明する工程で設けられるフッ素化処理部6に対応したパターンが形成されている第1のマスク5を用いて露光を行う。このとき、第1のマスク5は、そのパターンが後の工程で用いる第2のマスク9でパターニングされる位置決め用パターンの位置にほぼ重なるようにする。
Next, as shown in FIG. 2B, a positive resist is applied on the
次に、図2の(c)に示すように、レジスト膜4を除去後、離型性を向上させるために、レジスト膜4が設けられていない部分にCF4(フレオン)によるフッ素化処理を施してフッ素化処理部6を形成する。
Next, as shown in FIG. 2C, after removing the
更に、図2の(d)に示すように、ポリイミド層2上にAl薄膜7を堆積(deposition)する。
Further, as shown in FIG. 2D, an Al
次に、図2の(e)に示すように、Al薄膜7上にポジレジストを塗布してレジスト膜8を形成し、第2のマスク9を用いて位置決め用パターン及び転写用パターンを形成するための露光を行う。
Next, as shown in FIG. 2E, a positive resist is applied on the Al
次に、図2の(f)に示すように、Cl2ガス(塩素ガス)によりAl薄膜7をエッチングする。
Next, as shown in FIG. 2F, the Al
次に、図2の(g)に示すように、レジスト膜8を除去する。
Next, as shown in FIG. 2G, the resist
以上により、ポリイミド層2上に複数の位置決め用パターン10が配設され、フッ素化処理部6上に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板、即ち、図2に示すように、同一基板上に離型性の異なるパターンが形成された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。このように、転写用パターン11をフッ素化処理部6上に設けたことにより、転写用パターン11の密着力を位置決め用パターン10よりも小さくすることができる。
As described above, a donor substrate in which a plurality of
[第2の実施の形態]
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Second Embodiment]
FIG. 3 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the second embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図3の(a)に示すように、Siウェハ1上にネガレジストを塗布してレジスト膜4を形成し、このレジスト膜4に対して図3の(b)の工程で設けられる下地膜21に対応したパターンを有する第1のマスク5を用いて露光を行う。このとき、第1のマスク5は、そのパターンが第2のマスク9でパターニングされるアライメントマークの位置にほぼ重なるようにする。
First, as shown in FIG. 3A, a negative resist is applied on the
次に、図3の(b)に示すように、レジスト膜4の末露光部分を除去後、残ったレジスト膜4の全面にSiウェハ1との密着力に優れるTi又はCrからなる下地膜21(金属膜)を数十nm程度の厚みに堆積する。
Next, as shown in FIG. 3B, after removing the final exposed portion of the resist
次に、図3の(c)に示すように、レジスト膜4を除去すると共に、下地膜21をリフトオフする。
Next, as shown in FIG. 3C, the resist
次に、図3の(d)に示すように、下地膜21の表面及びSiウェハ1の露出面にAu薄膜22を形成する。
Next, as shown in FIG. 3D, an Au
次に、図3の(e)に示すように、Au薄膜22上にポジレジストを塗布してレジスト膜23を形成し、位置決め用パターン10及び転写用パターン11に対応した露光パターンを有する第2のマスク9を用いて露光を行う。
Next, as shown in FIG. 3E, a positive resist is applied on the Au
次に、レジスト膜23を除去するとともに、図3の(f)に示すように、I2+NH4I(ヨウ素およびヨウ化アンモニウム)混合溶液によりAu薄膜22をエッチングする。
Next, the resist
以上により、図3の(g)に示すように、下地膜21上に位置決め用パターン10が配設され、Siウェハ1上に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板100、即ち、同一基板上に離型性の異なるパターンが形成された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 3G, the donor substrate 100 in which the
[第3の実施の形態]
図4は、本発明の第3の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Third Embodiment]
FIG. 4 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the third embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図4の(a)に示すように、Siウェハ1上にネガレジストを塗布してレジスト膜4を形成し、このレジスト膜401に対して図3の(b)の工程で設けられる下地膜301および302に対応したパターンを有する第1のマスク5を用いて露光を行う。このとき、第1のマスク5は、そのパターンが第2のマスク9でパターニングされる転写用薄膜の位置にほぼ重なるようにする。
First, as shown in FIG. 4A, a negative resist is applied on the
次に、図4の(b)に示すように、レジスト膜401の末露光部分を除去後、残ったレジスト膜4の全面にSiウェハ1との密着力に優れるTi又はCrからなる下地膜301(金属膜)、転写用薄膜との離型性に優れるAuまたはPtからなる下地膜302を数十nm程度の厚みに堆積する。
Next, as shown in FIG. 4B, after the final exposure portion of the resist
次に、図4の(c)に示すように、レジスト膜401を除去すると共に、下地膜301および302をリフトオフする。
Next, as shown in FIG. 4C, the resist
次に、図3の(d)に示すように、下地膜302の表面及びSiウェハ1の露出面にSiO2薄膜20を形成する。
Next, as shown in FIG. 3D, the SiO 2
次に、図4の(e)に示すように、SiO2薄膜20上にポジレジストを塗布してレジスト膜402を形成し、位置決め用パターン10及び転写用パターン11に対応した露光パターンを有する第2のマスク9を用いて露光を行う。
Next, as shown in FIG. 4 (e), a positive resist is applied on the SiO 2
次に、レジスト膜402を除去するとともに、図4の(f)に示すように、バッファードフッ酸溶液によりSiO2薄膜20をエッチングする。
Next, the resist film 402 is removed, and the SiO 2
以上により、図4の(g)に示すように、Siウェハ1上に位置決め用パターン10が配設され、下地膜302上に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板100、即ち、同一基板上に離型性の異なるパターンが形成された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 4G, the donor substrate 100 in which the
[第4の実施の形態]
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Fourth Embodiment]
FIG. 5 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the third embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図5の(a)に示すポリイミドフィルム基板31を用意する。
First, a
次に、図5の(b)に示すように、ポリイミドフィルム基板31の片面にネガレジストの塗布によりレジスト膜32を形成する。ついで、図4の(c)の工程で設けられる下地膜33に対応したパターンを有する第1のマスク5を用いて露光を行う。このとき、第1のマスク5は、そのパターンが第2のマスク9でパターニングされるアライメントマークの位置にほぼ重なるようにする。
Next, as shown in FIG. 5B, a resist
次に、図5の(c)に示すように、レジスト膜32を現像する。ついで、親水性を持たせることを目的として、O2プラズマを露出面に数十秒照射する。このO2プラズマの照射により、ポリイミドフィルム基板31に対するアライメントマーク用パターンの密着力が大きくなる。なお、Cuに対しては、O2プラズマに代えて、窒素プラズマやアルゴンプラズマを用いることができる。
Next, as shown in FIG. 5C, the resist
次に、Cuを無電解めっきして下地膜33(Cuめっき膜)を成膜する。 Next, Cu is electrolessly plated to form a base film 33 (Cu plating film).
次に、図5の(d)に示すように、レジスト膜32の末露光部分を除去後、下地膜33及びポリイミドフィルム基板31の表面にCuめっき膜34を成膜する。
Next, as shown in FIG. 5D, after removing the final exposed portion of the resist
次に、図5の(e)に示すように、Cuめっき膜34上にポジレジストを塗布してレジスト膜35を形成する。ついで、第2のマスク9を用いて位置決め用パターン10及び転写用パターン11を形成するための露光を行う。
Next, as shown in FIG. 5E, a positive resist is applied on the
次に、図5の(f)に示すように、FeCl2(塩化第2鉄)水溶液でCuめっき膜34をウェットエッチングする。ついで、レジスト膜35を除去する。
Next, as shown in FIG. 5F, the
以上により、図5(g)に示すように、下地膜33上に複数の位置決め用パターン10が配設され、Cuめっき膜34上に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板100、即ち、図1に示したような、同一基板上に離型性の異なるパターンが形成された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 5G, the donor substrate 100 in which a plurality of
[第5の実施の形態]
図6は、本発明の第5の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Fifth Embodiment]
FIG. 6 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the fifth embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図6の(a)に示すように、ステンレス(SUS)基板41上に、ネガレジストの塗布によりレジスト膜42を形成する。ついで、第1のマスク5を用いて露光を行う。このとき、第1のマスク5は、そのパターンが第2のマスク9でパターニングされるアライメントマークの位置にほぼ重なるようにする。
First, as shown in FIG. 6A, a resist
次に、図6の(b)に示すように、レジスト膜42を現像した後、未露光であった部分にTiによるストライクメッキ膜を下地膜43として形成する。下地膜43を設けたことにより、アライメントマーク用パターンのステンレス基板41への密着力が大きくなる。
Next, as shown in FIG. 6B, after developing the resist
次に、図6の(c)に示すように、レジスト膜42を除去する。
Next, as shown in FIG. 6C, the resist
次に、図6の(d)に示すように、ネガレジストを塗布してレジスト膜44を形成し、第2のマスク9を用いて位置決め用パターン10及び転写用パターン11を形成するための露光を行い、図6の(e)に示すように、第2のマスク9を介して露光されていた部分にレジスト膜44が残るようにする。
Next, as shown in FIG. 6D, a negative resist is applied to form a resist
次に、図6の(f)に示すように、ステンレス基板41及び下地膜43の露出面に電鋳によりNi膜45を成長させる。ついで、レジスト膜44を除去する。
Next, as shown in FIG. 6F, a Ni film 45 is grown on the exposed surfaces of the
以上により、図6の(g)に示すように、下地膜43の表面に複数の位置決め用パターン10が配設され、ステンレス基板41の表面に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板100、即ち、図1に示したような、同一基板上に離型性の異なるパターンが形成された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 6G, a donor substrate in which a plurality of
[第6の実施の形態]
図7は、本発明の第6の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Sixth Embodiment]
FIG. 7 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the sixth embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図7の(a)に示すように、Siウェハ1の片面全域にAl膜51を堆積させる。
First, as shown in FIG. 7A, an
次に、図7の(b)に示すように、ポジレジストを塗布してレジスト膜52を形成し、第2のマスク9を用いて位置決め用パターン10及び転写用パターン11を形成するための露光を行う。
Next, as shown in FIG. 7B, a positive resist is applied to form a resist
次に、図7の(c)に示すように、Cl2ガスによりレジスト膜52をドライエッチングする。
Next, as shown in FIG. 7C, the resist
次に、図7の(d)に示すように、レジスト膜52を除去し、Al膜51を露出させる。
Next, as shown in FIG. 7D, the resist
次に、レーザ発生装置53を用意し、図7の(e),(f)に示すように、アライメントマークに対応する各パターン55に対して、個別にレーザ光54を所定時間照射する。レーザ光54をパターン55のみに照射して加熱することで、レーザ光54の照射部を共晶化することができ、これにより、位置決め用パターン10のSiウェハ1への密着力を大きくすることができる。
Next, a
以上により、図7の(g)に示すように、レーザ光54を照射したパターン55による複数の位置決め用パターン10と、Siウェハ1上に複数の転写用パターン11が配設されたドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 7G, the donor substrate 100 in which the plurality of
[第7の実施の形態]
図8は、本発明の第6の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Seventh Embodiment]
FIG. 8 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the sixth embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図8の(a)に示すように、Siウェハ1の片面全域にAl膜51を堆積させる。
First, as shown in FIG. 8A, an
次に、図8の(b)に示すように、ポジレジストを塗布してレジスト膜52を形成し、第1のマスク5を用いて露光を行う。
Next, as shown in FIG. 8B, a positive resist is applied to form a resist
次に、図8の(c)に示すように、Cl2ガスによりレジスト膜52をドライエッチングする。
Next, as shown in FIG. 8C, the resist
次に、図8の(d)に示すように、レジスト膜52を除去し、Al膜51を露出させる。
Next, as shown in FIG. 8D, the resist
次に、図8の(e)に示すように、アライメントマークに対応するパターン55のそれぞれに透明な樹脂シール61を貼付する。樹脂シール61は、積層装置の撮像素子やカメラによって画像認識されるため、透明である必要がある。なお、樹脂シール61は、シート状であってもよい。
Next, as shown in FIG. 8E, a
樹脂シール61に代えて、図8の(f)に示すように、メタルマスク62を用いてパターン55以外をマスクし、上方からITO(Indium Tin Oxide)透明薄膜63を堆積させても良い。なお、透明でないシールや堆積薄膜を使用する場合は、アライメントが支障なく行えるように、十字形のアライメントマークを撮像素子が認識可能な状態に固定する。
Instead of the
以上により、図8の(g)に示すように、樹脂シール61やITO透明薄膜63により固定した位置決め用パターン10、及びSiウェハ1上に配設された複数の転写用パターン11を有した薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。このように、樹脂シール61やITO透明薄膜63等の固定材料により位置決め用パターン10が固定されていることにより、位置決め用パターン10のSiウェハ1への密着力が大きくなる。
As described above, as shown in FIG. 8G, the thin film having the
[第8の実施の形態]
図9は、本発明の第7の実施の形態に係る薄膜担持体基板の製造方法を示す工程図である。同図中、(a)〜(g)は工程順の処理状態を示す。
[Eighth Embodiment]
FIG. 9 is a process diagram showing a method of manufacturing a thin film carrier substrate according to the seventh embodiment of the present invention. In the same figure, (a)-(g) shows the processing state of a process order.
まず、図9の(a)に示すように、Siウェハ1の片面全域にAl膜51を堆積させる。
First, as shown in FIG. 9A, an
次に、図9の(b)に示すように、ポジレジストを塗布してレジスト膜52を形成し、第2のマスク9を用いて位置決め用パターン10及び転写用パターン11を形成するための露光を行う。
Next, as shown in FIG. 9B, a positive resist is applied to form a resist
次に、図9の(c)に示すように、Cl2ガスによりレジスト膜52をドライエッチングする。
Next, as shown in FIG. 9C, the resist
次に、図9の(d)に示すように、レジスト膜52を除去し、Al膜51を露出させる。
Next, as shown in FIG. 9D, the resist
次に、図9の(e),(f)に示すように、インクジェット装置71により、アライメントマークに対応するパターン55に対して、インクジェット装置71のノズルから透明接着剤72を噴射し、パターン55を覆う接着剤膜73を形成する。それぞれのパターン55に接着剤膜73が形成されたことにより、位置決め用パターン10は接着剤膜73によってSiウェハ1に固定されるため、位置決め用パターン10のSiウェハ1への密着力が大きくなる。
Next, as shown in FIGS. 9E and 9F, the transparent adhesive 72 is sprayed from the nozzles of the ink jet apparatus 71 to the
以上により、図9の(g)に示すように、インクジェット装置71により接着剤膜73が塗布された複数の位置決め用パターン10と、Siウェハ1上に複数の転写用パターン11が配設された薄膜担持体基板としてのドナー基板100が完成する。
As described above, as shown in FIG. 9G, the plurality of
[他の実施の形態]
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、その要旨を変更しない範囲内で種々な変形が可能である。例えば、各実施の形態間の構成要素の組合せは任意に行うことができる。例えば、第1の実施の形態と他の実施の形態との組み合わせ、第2〜第4の実施の形態と第6,7の実施の形態の組み合わせによる薄膜担持体基板、及びその製造方法が可能である。
[Other embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, the combination of the components between the embodiments can be arbitrarily performed. For example, a thin film carrier substrate by a combination of the first embodiment and other embodiments, a combination of the second to fourth embodiments and the sixth and seventh embodiments, and a manufacturing method thereof are possible. It is.
また、第6及び第7の実施の形態において、樹脂シール61、ITO透明薄膜63及び接着剤膜73は、位置決め用パターン10の全体に設けることが望ましいが、一部に設ける構成であってもよい。
In the sixth and seventh embodiments, the
1 Siウェハ
2 ポリイミド層
3 基板
4,8,23,32,42,44,52 レジスト膜
5 第1のマスク
6 フッ素化処理部
7,22,51 Al薄膜
9 第2のマスク
10 位置決め用パターン
11 転写用パターン
20 SiO2膜
21,33,43 下地膜
31 ポリイミドフィルム基板
34 Cuめっき膜
41 ステンレス基板
45 Ni膜
53レーザ発生装置
54レーザ光
55 パターン
61 樹脂シール
62 メタルマスク
63 ITO透明薄膜
71 インクジェット装置
72 透明接着剤
73 接着剤膜
100 ドナー基板(薄膜担持体基板)
301,302 下地膜
401,402 レジスト膜
DESCRIPTION OF
301,302 Base film 401,402 Resist film
Claims (18)
前記基板上に形成された複数の転写用パターンと、
前記複数の転写用パターンよりも大きな密着力になるように前記基板上に形成された位置決め用パターンと、
を有することを特徴とする薄膜担持体基板。 A substrate,
A plurality of transfer patterns formed on the substrate;
A positioning pattern formed on the substrate so as to have a greater adhesion than the plurality of transfer patterns;
A thin film carrier substrate comprising:
前記基板上に形成されると共に、部分的にフッ素化処理が施された複数のフッ素化処理部を備えた離型層と、
前記複数のフッ素化処理部上に形成された複数の転写用パターンと、
前記離型層の前記複数のフッ素化処理部が形成されていない領域に形成された前記位置決め用パターンと、
を有することを特徴とする薄膜担持体基板。 A substrate,
A release layer having a plurality of fluorination treatment parts formed on the substrate and partially fluorinated,
A plurality of transfer patterns formed on the plurality of fluorination portions;
The positioning pattern formed in a region where the plurality of fluorination treatment portions of the release layer are not formed;
A thin film carrier substrate comprising:
前記離型層と複数の転写用パターンとの密着力が、前記離型層と位置決め用パターンとの密着力よりも小になる領域を基板上に形成する第2の工程と、
前記領域上に前記複数の転写用パターンを形成すると共に前記領域以外の前記離型層上に前記位置決め用パターンを形成する第3の工程と、
を含むことを特徴とする薄膜担持体基板の製造方法。 A first step of forming a release layer on the substrate;
A second step of forming, on the substrate, a region in which an adhesion force between the release layer and the plurality of transfer patterns is smaller than an adhesion force between the release layer and the positioning pattern;
A third step of forming the plurality of transfer patterns on the region and forming the positioning pattern on the release layer other than the region;
A method for producing a thin film carrier substrate, comprising:
前記処理が施された部分に前記位置決め用パターンを形成すると共に前記領域以外の前記基板上に前記複数の転写用パターンを形成する第2の工程と、
を含むことを特徴とする薄膜担持体基板の製造方法。 A first step of applying to the substrate a process in which the adhesion between the substrate and the positioning pattern is greater than the adhesion between the substrate and the plurality of transfer patterns;
A second step of forming the plurality of transfer patterns on the substrate other than the region while forming the positioning pattern in the processed portion;
A method for producing a thin film carrier substrate, comprising:
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