JP2008089327A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ1のダイパッド2の上に、加速度センサ3と信号処理チップ4が設けられている。これらは、樹脂11により封止されている。加速度センサ3の基板5の上で、電極パッド7aとセンサ素子部6との間に、突起状部材8を設けた構造とする。上記構造により、樹脂11と加速度センサ3との接触面積が増加し、密着性が向上する。これにより、樹脂11の剥離を防止し、加速度センサ3の特性変動を小さく抑えることができる。
【選択図】図1
Description
本実施の形態1に係る加速度センサについて説明する。上記加速度センサを含む半導体チップ1の側面図を図1に示す。また、図1の半導体チップ1の平面図を図2に示す。
本実施の形態2に係る加速度センサについて説明する。ここでは、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、加速度を検出するためのセンサ素子部と、
前記基板上で前記センサ素子部と離間して設けられ、前記センサ素子部の電気信号を入出力するための電極パッドと、
前記基板上で前記センサ素子部と前記電極パッドとの間に設けられた突起状部材と、
前記基板、前記センサ素子部、前記電極パッド、前記突起状部材を覆い、封止する樹脂と、
を有することを特徴とする加速度センサ。 - 前記突起状部材の材料として、前記センサ素子部を構成する材料と同一の材料が用いられていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記突起状部材の上面の幅は、前記突起状部材の下面の幅よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ。
- 前記突起状部材の断面形状は、T字状または鍵型状であることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 基板と、
前記基板上に設けられ、加速度を検出するためのセンサ素子部と、
前記基板上で前記センサ素子部と離間して設けられ、前記センサ素子部の電気信号を入出力するための電極パッドと、
前記基板の表面で、前記センサ素子部と前記電極パッドとの間に設けられた第1の溝と、
前記第1の溝に埋め込まれ、前記基板、前記センサ素子部、前記電極パッドを覆い、封止する樹脂と、
を有することを特徴とする加速度センサ。 - 前記センサ素子部が設けられた位置で、前記基板の表面には第2の溝が形成され、
前記第1の溝の深さと、前記第2の溝の深さが同一であることを特徴とする請求項5に記載の加速度センサ。 - 前記第1の溝の底面の幅は、前記第1の溝の開口部の幅よりも大きいことを特徴とする請求項5又は6に記載の加速度センサ。
- 前記第1の溝の断面形状は、逆T字状又は逆テーパ状であることを特徴とする請求項7に記載の加速度センサ。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177510A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2013040857A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー及び電子機器 |
US8390121B2 (en) | 2010-06-09 | 2013-03-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device and method of manufacture thereof |
JP2015206801A (ja) * | 2015-08-05 | 2015-11-19 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、センサー素子および電子機器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177280A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 樹脂封止形半導体装置 |
JPH08220134A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-08-30 | Ford Motor Co | 捩りビーム式加速度計の検出要素 |
JPH10329461A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2001227902A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001313363A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JP2004170390A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-17 | Denso Corp | 力学量センサ |
JP2004349397A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Sharp Corp | 半導体装置およびそれに用いられるリードフレーム |
JP2006078249A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Denso Corp | 容量型半導体センサ |
-
2006
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177280A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 樹脂封止形半導体装置 |
JPH08220134A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-08-30 | Ford Motor Co | 捩りビーム式加速度計の検出要素 |
JPH10329461A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2001227902A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001313363A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Rohm Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JP2004170390A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-17 | Denso Corp | 力学量センサ |
JP2004349397A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Sharp Corp | 半導体装置およびそれに用いられるリードフレーム |
JP2006078249A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Denso Corp | 容量型半導体センサ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177510A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US8466540B2 (en) | 2009-01-30 | 2013-06-18 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
US8390121B2 (en) | 2010-06-09 | 2013-03-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device and method of manufacture thereof |
DE102011075365B4 (de) * | 2010-06-09 | 2016-06-09 | Mitsubishi Electric Corp. | Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren hierfür |
JP2013040857A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー及び電子機器 |
US9310393B2 (en) | 2011-08-17 | 2016-04-12 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor and electronic apparatus |
JP2015206801A (ja) * | 2015-08-05 | 2015-11-19 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、センサー素子および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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