JP2008085957A - 音叉型水晶振動子素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基部10の電極13,14から互いに他方の電極に向かって、配線パターン13a,14aよりも細い線幅及び間隔を有する微細な短冊状のパターンから成るESD耐圧対策パターン21及びESD耐圧対策パターン22とを設け、ESD耐圧対策パターン21及び22は、電極13,14と同一の工程で形成される音叉型水晶振動子素子である。
【選択図】 図1
Description
従来の音叉型水晶振動子素子の構成について図3を使って説明する。図3は、従来の音叉型水晶振動子素子の概略構成図である。
図3に示すように、従来の音叉型水晶振動子素子は、水晶の単結晶を切り出されて形成されており、基部10と、基部10から突出した2本の腕部11及び12とから構成されている。
腕部11の水晶17の表面部及び裏面部には、基部10に近い部分に溝部15が形成され、溝部15には金属膜から成る電極が設けられている。
同様に、腕部12の水晶18の表面部及び裏面部には、溝部16及び電極が形成されている。
このように、腕部11及び12には表面部及び裏面部に溝部15,16が設けられているため、図示は省略するが、腕部11及び12の断面は略H字型となっている。
ところで、発振子素子を含む電子部品の重要な信頼性の一つにESD(Electrostatic Discharge;静電気放電)耐圧がある。ESD耐圧が低いと、わずかな静電気によって回路内で放電が発生して配線パターンが断線する等の不良が発生してしまう。
図4に示すように、ESD試験によって高電圧を印加すると、細い配線パターンで断線が発生する。具体的には、図3に示した基部10の電極13及び14から腕部11及び12方向に延びて形成された配線パターン13a,14aにおいて断線が発生しやすくなっている。
尚、圧電振動子の電極の形状に関する先行技術としては、特開平09−036695号公報(特許文献1)、特開平09−254384号公報(特許文献2)、特開平10−093374号公報(特許文献3)、特開2004−129181号公報(特許文献4)がある。
また、特許文献3には、圧電振動子において、IDT電極部の間に短冊状及びそれを取り囲む連結された電極パターンを有する構造が記載され、特許文献4には、音叉型水晶振動子において、基部電極部の間に突出し貫通した電極パターンを有する構造が記載されている。
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の実施の形態に係る音叉型水晶振動子素子は、基部に設けられた2つの電極から、互いに他方の電極方向に向かって、配線パターンより細い線幅及び間隔を有する微細なESD耐圧対策パターンを設けたものであり、静電気放電の発生時に、当該ESD耐圧対策パターンに電界を集中させて意図的に破壊させることにより、配線パターンの断線を防ぐことができ、素子のESD耐圧を向上させることができるものである。
図1は、本発明の実施の形態に係る音叉型水晶振動子素子の概略構成図である。尚、図3と同様の構成をとる部分については同一の符号を付して説明する。
図1に示すように、本発明の実施の形態に係る音叉型水晶振動子素子(本素子)の基本的な構成は、図3に示した従来の音叉型水晶振動子素子とほぼ同様であり、水晶の単結晶から成る基部10及び腕部11及び12とから構成されている。
更に、本素子の特徴部分として、基部10の、電極13及び14が形成されたエリアの中央部分に、掘り込み部31及び32が形成されている。
ESD耐圧対策パターン21は、電極13から電極14の方向に向かって形成された複数の短冊状のパターンから成る櫛歯状の金属パターンであり、配線パターン13a、14aよりも細い線幅及びパターン間隔を有している。同様に、ESD耐圧対策パターン22は、ESD耐圧対策パターン21に対向するように、電極14から電極13の方向に向かって形成された複数の短冊状のパターンから成る櫛歯状の金属パターンであり、ESD耐圧対策パターン21と同等のパターン線幅及び間隔を備えている。
本素子では、このことを利用して、腕部に信号を伝送する配線パターン13a、14aよりも電極13,14に近い位置に、配線パターン13a、14aよりも細い線幅及び間隔を備えたESD耐圧対策パターン21,22を設け、静電気放電が発生した場合には、ESD耐圧対策パターンに21,22電界を集中させてこの部分に意図的に静電破壊を誘発させようとするものである。
また、ESD耐圧対策パターン21,22の、略平行に形成された短冊状のパターン同士の間隔も適宜選択可能であるが、1〜50μm程度が望ましい。
そして、対向するESD耐圧対策パターン21とESD耐圧対策パターン22との間の間隔は、電極間のショートを防ぐ程度に広く形成することが望ましい。
掘り込み部31及び32について説明する。
掘り込み部31,32は、基部10の水晶を適当な深さに削って、窪み(凹部)を形成したものである。
本素子は、完成後、一片ずつ切り離してセラミックケースに入れて保持されるが、本素子では水晶片の両面に電極を形成しているため、図2に示した表面又は裏面のいずれか一方の面の電極13,14の表面の一部に、導電性接着剤を塗布してケースに固定するようになっている。この場合、導電性接着材が流れてESD耐圧対策パターン21及び22にまで達してしまうと、電極13と14との間でショートが発生してしまう。
次に、本素子の製造方法について図2を用いて説明する。図2は、本素子の基部10の断面説明図である。
本素子を製造する際には、まず、Z−cut水晶板(厚み:100μm〜150μm)を音叉型に加工する。加工には、機械加工や、フォトリソグラフィとエッチングの組合せの技術が用いられる。
ESD耐圧対策パターンを設けた本素子と、パシベーション膜による静電破壊対策を施した一般的な素子についてESD耐圧試験を行って比較した。
ESD耐圧試験項目は、MM(Machine Model;マシンモデル)、HBM(Human Body Model;人体帯電モデル)、CDM(Charged Device Model;デバイス帯電モデル)とし、サンプル数は各50個とした。
HBMで2kVを印加した場合、一般的な素子では不良率100%であったのに対し、本素子では不良率0%であった。
また、CDMについては一般的な素子についての実験は行わなかったが、本素子について500Vを印加した場合、不良率は0%であった。
この実験により、本素子は、静電気放電に対する耐圧が著しく向上していることが認められた。
本発明の実施の形態に係る音叉型水晶振動子素子によれば、基部10の電極13,14から互いに他方の電極に向かって、配線パターン13a,14aよりも細い線幅及び間隔を有する微細な短冊状のパターンから成るESD耐圧対策パターン21及びESD耐圧対策パターン22とを設けた音叉型水晶振動子素子としているので、静電気放電が発生した場合には、配線パターンより細いESD耐圧対策パターン21及び22に断線を誘発させて放電のエネルギーを発散させ、配線パターン13a及び14aが断線するのを防ぐことができ、ESD耐圧を向上させることができる効果がある。
Claims (9)
- 基部と、基部から突出して形成されている腕部とを備え、
前記基部に、電気信号の入出力を行う電極及び配線を備えた音叉型水晶発振子素子であって、
前記電極に接続して、前記配線の線幅よりも細い線幅の複数の金属パターンを設けたことを特徴とする音叉型水晶発振子素子。 - 並列して設けられた1組の電極を備え、
両方の電極から、互いに他方の電極に向かって形成された金属パターンを設けたことを特徴とする請求項1記載の音叉型水晶発振子素子。 - 基部の表面部及び裏面部に金属パターンを設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の音叉型水晶発振子素子。
- 電極が設けられ、金属パターンが設けられていない部分の基部に、窪みを備えた掘り込み部が設けられていることを特徴とする請求項3記載の音叉型水晶発振子素子。
- 金属パターンの線幅が1μm以上100μm未満に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の音叉型水晶発振子素子。
- 同一の電極に接続する金属パターンの間隔が1μm以上50μm未満に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載の音叉型水晶発振子素子。
- 金属パターンが、電極及び配線と同一の工程で形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の音叉型水晶発振子素子。
- 請求項1乃至7のいずれか記載の音叉型水晶発振子素子がパッケージに収納されていることを特徴とする水晶振動子。
- 請求項8記載の水晶振動子と、増幅回路を備えた発振回路とがパッケージに収納されていることを特徴とする水晶発振器。
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