JP2008083775A - 回路シミュレーション方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 近接効果を考慮して寄生パラメータを求める回路シミュレーションにおいて、フィラメント数を低減して処理時間を削減する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 シリコン基板SBを6フィラメントに分割し、信号配線MLと対面するフィラメントSF12の厚さを、増減を繰り返すことで最適値に近づけ、フィラメントSF12の厚さの最適値が決定した後は、フィラメントSF12の幅を、増減を繰り返すことで最適値に近づけ、当該最適化された厚さおよび幅に基づいて、配線の全長に渡ってPEEC法を実行して、寄生パラメータを求める。
【選択図】図3
【解決手段】 シリコン基板SBを6フィラメントに分割し、信号配線MLと対面するフィラメントSF12の厚さを、増減を繰り返すことで最適値に近づけ、フィラメントSF12の厚さの最適値が決定した後は、フィラメントSF12の幅を、増減を繰り返すことで最適値に近づけ、当該最適化された厚さおよび幅に基づいて、配線の全長に渡ってPEEC法を実行して、寄生パラメータを求める。
【選択図】図3
Description
本発明は回路シミュレーション方法に関し、特に、配線と半導体基板との間の近接効果を考慮した回路シミュレーション方法に関する。
シリコン基板上に形成されるCMOS(complementary MOS)トランジスタを有したCMOSLSIの設計データに基づいて、配線の寄生抵抗やインダクタンスなどの寄生パラメータを計算する方法として、配線および半導体基板を複数のフィラメント(導体要素)の集合体と考え、各フィラメントに他のフィラメントが及ぼす影響を加味して計算を行う部分等価回路法(PEEC法:Partial Element Equivalent Circuit)が広く用いられている。
例えば非特許文献1には、PEEC法の改良案として、配線を複数の同じ大きさのフィラメント(ブロック体として表される)に区分し、各フィラメントごとに電界を計算する方法が開示されているが、これは配線の表皮効果を考慮した抵抗値の取得に適した方法であった。
Karen M. Coperich. Albert E. Ruehli, Andreas Cangellaris,"Enhanced Skin Effect for Partial-Element Equivalent-Circuit(PEEC) Models", IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol.48, No.9, September 2000, pp1435-1442.
昨今では、半導体装置の高集積化、大規模化により、配線と半導体基板とがより近接する傾向にあり、高周波領域において配線抵抗値が上昇する近接効果を考慮して回路シミュレーションを行う必要が生じている。
PEEC法を用いて基板との近接効果を考慮した回路シミュレーションを行うには、配線を複数のフィラメントに分割するだけでなく、半導体基板を数千のフィラメントに分割する必要があるが、フィラメント数が増加することにより、抵抗値の算出に要する処理時間の増大を招くという問題を生じていた。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、近接効果を考慮して寄生パラメータを求める回路シミュレーションにおいて、フィラメント数を低減して処理時間を削減する方法を提供することを目的とする。
本発明に係る請求項1記載の回路シミュレーション方法は、半導体基板上に配設された配線の寄生パラメータを求める回路シミュレーション方法であって、以下のステップ(a)〜(f)を備えている。すなわち、ステップ(a)は、前記半導体基板の中央の主面上方に前記配線を設定する。ステップ(b)は、前記寄生パラメータについて、参照値となるリファレンスの寄生パラメータを取得する。ステップ(c)は、前記半導体基板の断面において、前記配線に対面する部分が、前記半導体基板の厚さ方向および幅方向に、それぞれ所定の寸法を有する第1のフィラメントとして区分され、前記第1のフィラメントの両隣が、前記第1のフィラメントと同じ厚さを有する第2および第3のフィラメントとして区分され、第1ないし第3のフィラメントの下部が1または複数の下部フィラメントとして区分されるように、前記半導体基板を複数のフィラメントに分割する。ステップ(d)は、前記第1のフィラメントの厚さおよび幅の一方を第1のパラメータ、他方を第2のパラメータとし、前記第1のパラメータの増減を繰り返し、繰り返す毎に前記第1のパラメータにおける前記寄生パラメータと前記リファレンスの寄生パラメータを比較することで、前記第1のパラメータの最適値を決定する。ステップ(e)は、前記第1のパラメータを前記最適値に固定し、前記第2のパラメータの増減を繰り返し、繰り返す毎に前記第2のパラメータにおける前記寄生パラメータと前記リファレンスの寄生パラメータを比較することで、前記第2のパラメータの最適値を決定する。ステップ(f)は、前記第1および第2のパラメータのそれぞれの最適値に基づいて、前記配線の全長に渡って前記部分等価回路法を実行する。
本発明に係る請求項1記載の回路シミュレーション方法によれば、半導体基板を少数のフィラメントに分割し、配線と対面するフィラメントの厚さおよび幅を最適化するので、当該最適化された厚さおよび幅に基づいて、配線の全長に渡って部分等価回路法を実行することで、配線と基板との間の近接効果の影響を考慮して配線の寄生抵抗や寄生インダクタンスを求める時間を大幅に短縮することができる。
<配線と基板との間の近接効果について>
まず、図1および図2を用いて、配線と基板との間の近接効果について説明する。
図1は、近接効果を模擬するためのDUT(device under test:被試験装置)における配線と基板との位置関係を示す図であり、シリコン基板SB上には、第2層配線として設けられた信号配線MLと、信号配線MLと同じレイヤであって接地電位に接続されるグランド配線GLとが設けられている。
まず、図1および図2を用いて、配線と基板との間の近接効果について説明する。
図1は、近接効果を模擬するためのDUT(device under test:被試験装置)における配線と基板との位置関係を示す図であり、シリコン基板SB上には、第2層配線として設けられた信号配線MLと、信号配線MLと同じレイヤであって接地電位に接続されるグランド配線GLとが設けられている。
信号配線MLは4μmの配線幅を有し、グランド配線GLは、信号配線MLから4μmの間隔を開けて信号配線MLと平行に配設されている。
また、信号配線MLを中心として、左右等距離の位置には、最上層の配線M6からシリコン基板SBに接地電位を与える2つのコンタクト部CPが配設されており、信号配線MLの中心から各コンタクト部CPの中心までの距離はそれぞれ150μmとなっている。
コンタクト部CPは、第1層配線ないし第6層配線として設けられた配線M1、M2、M3、M4、M5およびM6間をコンタクトホールCHで電気的に接続した構成となっている。
このような構成のDUTを作成し、高周波信号を信号配線MLで伝送する場合に、信号周波数を変化させた場合の抵抗値の変化特性を測定した結果を図2に示している。
図2においては、横軸に周波数(Hz)を、縦軸に抵抗値(Ω/mm)を示しており、特性C1は、グランド配線GLが存在しない場合の信号配線MLの抵抗変化を示しており、特性C2は、グランド配線GLが存在する場合の信号配線MLの抵抗変化を示している。
図2から判るように、グランド配線GLが存在しない場合は、周波数の変化に対する抵抗変化が急峻であり、グランド配線GLが存在する場合は比較的緩やかに変化している。
これは、配線と基板間での近接効果の影響が、グランド配線GLにより緩和されていることを表しており、信号配線MLの近傍にグランド配線GLが存在しない場合は、基板による近接効果の影響が大きいことが判る。
すなわち、信号配線に流れる電流は基板全体を通ってグランド配線に帰還するが、このリターン電流は近接効果によってシリコン基板SBの信号配線MLに面した主面側に流れ、さらに表皮効果の影響も重なるため、電流が流れ得る領域はシリコン基板SBの信号配線MLに面した主面のごく狭い領域となる。このため、高周波の交流抵抗が極めて高くなるという現象が発生する。
<実施の形態>
上述したように、基板による近接効果の影響は大きく、回路シミュレーションに際しては、近接効果の影響を考慮したシミュレーションが必要である。
上述したように、基板による近接効果の影響は大きく、回路シミュレーションに際しては、近接効果の影響を考慮したシミュレーションが必要である。
<基板モデル>
図3は、本発明に係る回路シミュレーション方法の実施の形態における基板分割のモデルを示す図であり、基板の厚さ方向での断面を示している。
図3は、本発明に係る回路シミュレーション方法の実施の形態における基板分割のモデルを示す図であり、基板の厚さ方向での断面を示している。
図3において、シリコン基板SBの主面MSの上方に信号配線MLが配設されており、シリコン基板SBは、信号配線MLに対面する部分がフィラメントSF12として区分され、フィラメントSF12の下がフィラメントSF22として区分されている。
ここで、フィラメントSF12の厚さをHSSC、フィラメントSF12の幅(信号配線MLの幅方向と平行な方向の長さ)をWSSCとすると、フィラメントSF22の幅は、フィラメントSF12の幅WSSCと等しくなり、フィラメントSF22の厚さは、シリコン基板SBの全厚HTからフィラメントSF12の厚さHSSCを差し引いた厚さとなる。
また、フィラメントSF12の両隣は、フィラメントSF12の厚さと同じ厚さを有するフィラメントSF11およびSF13として区分され、フィラメントSF22の両隣は、フィラメントSF22の厚さと同じ厚さを有するフィラメントSF21およびSF23として区分されている。
なお、フィラメントSF11およびSF13のそれぞれの幅は、シリコン基板SBの全幅WTから、フィラメントSF12の幅WSSCを差し引いて二等分した長さに相当し、フィラメントSF21およびSF23においても同様である。
このように、信号配線MLに対してシリコン基板SBを小数のフィラメントに分割してPEEC法により信号配線MLの寄生抵抗値やインダクタンスなどの寄生パラメータを求めることが本発明の特徴である。なお、図3に示した基板の分割モデルを6フィラメントモデルと呼称する。
次に、上述した基板分割のモデルを用いた回路シミュレーションの手順について、図3を参照しつつ、図4および図5に示すフローチャートを用いて説明する。
<HSSCの決定処理>
まず、図4を用いてフィラメントSF12の厚さHSSCを決定する処理について説明する。
まず、図4を用いてフィラメントSF12の厚さHSSCを決定する処理について説明する。
ステップS1に示すように、シリコン基板SBの中央の主面MSから数μm離れた上方に幅4μm程度の最下層の信号配線MLを設定する。
次に、ステップS2において、シリコン基板SBを水平方向(幅方向)に100分割、垂直(厚さ方向)に20分割して、合計2000フィラメント程度にシリコン基板SBを等分割する。
そして、この分割に基づいてPEEC法を実行し、信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、以下に続くステップで使用する参照値(リファレンス)とする。
2000フィラメント程度にシリコン基板SBを等分割することで、計算精度を高めることができ、リファレンスとしての信頼性を高めることができる。
なお、分割数はこれに限定されるものではなく、計算精度を低くして計算時間を短くするのであれば1000フィラメント程度にシリコン基板SBを等分割しても良いし、計算精度を高くするのであれば2000フィラメントを越えるようにしても良い。
ここでの抵抗値は、リターン電流が流れる経路の抵抗値を含んだ値であり、寄生抵抗値とも呼ばれる値で、近接効果および表皮効果により信号周波数が高くなるにつれて高くなる傾向にある。
なお、図2に示した特性C1は実測で得られているが、PEEC法により得られる特性もこれに近い特性となる。
次に、ステップS3において、図3に示した6フィラメントモデルにおいて、フィラメントSF12の厚さHSSCを基板厚さの半分に設定し、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。なお、フィラメントSF12の厚さHSSCが決まれば、残りのフィラメントSF11、SF13、SF21〜SF23の厚さも一義的に決まることになる。
続いて、ステップS3で得た、6フィラメントモデルでの信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って2乗平均(平均自乗誤差)を算出し、第1の平均として記憶する(ステップS4)。
次に、ステップS5において、フィラメントSF12の厚さHSSCを半分に減じて(1/2倍とし)、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS5で得た、6フィラメントモデルでの信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する(ステップS6)。
次に、ステップS7において、ステップS6で新たに取得された差の2乗平均と、予め設定した目標値とを比較し、両者の大小関係を比較し、新たに取得された差の2乗平均が目標値以下であれば、当該差の2乗平均を与える厚さHSSCを最適値として採用し、幅WSSCの決定処理に移行する。一方、新たに取得された差の2乗平均が目標値よりも大きければステップS8に進む。
ここで、予め設定する目標値とは、設計値より決まる配線抵抗値(寄生抵抗値含む)やインダクタンス値(寄生インダクタンス値含む)の許容誤差から決められる値であり、新たに取得された差の2乗平均がこれらを越えるような場合には、再度、フィラメントSF12の厚さHSSCを変更することになる。
ステップS8では、第1の平均と、ステップS6で新たに取得された差の2乗平均との比較を行い、新たに取得された差の2乗平均が減少している場合、すなわち新たに取得された差の2乗平均の方が小さい場合にはステップS9に進む。
一方、新たに取得された差の2乗平均が減少していない場合、すなわち新たに取得された差の2乗平均の方が大きいか同じ場合にはステップS10に進む。
ステップS8での比較の結果、第1の平均に対して新たに取得された差の2乗平均の方が小さくなった場合、新たに取得された差の2乗平均を与える厚さHSSCの方が、第1の平均を与える厚さHSSCよりも適した値であると判断することができ、フィラメントSF12の厚さHSSCをさらに減ずる方向に設定することで、より最適値に近づくことができると判断できる。
一方、第1の平均に対して新たに取得された差の2乗平均の方が大きい、あるいは同じになった場合、第1の平均を与える厚さHSSCの方がより適した値である、あるいは同じであると判断することができ、フィラメントSF12の厚さHSSCを増す方向に設定することで、より最適値に近づくことができると判断できる。
ステップS9に進んだ場合には、ステップS6で新たに取得された差の2乗平均を第1の平均として記憶するとともに、フィラメントSF12の厚さHSSCをさらに半分に減じて(1/2倍とし)、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS6に戻り、ステップS9で取得した信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する。
また、ステップS10に進んだ場合には、ステップS6で新たに取得された差の2乗平均を第1の平均として記憶するとともに、フィラメントSF12の厚さHSSCを3/2倍して、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS6に戻り、ステップS10で取得した信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する。
ステップS9に進んだ場合も、ステップS10に進んだ場合も、ステップS7およびS8での処理については、先に説明した動作と基本的に同じであり、単に、扱うデータが異なるだけである。
ステップS6、S7、S8およびS9で構成されるループ処理を繰り返す、あるいはステップS6、S7、S8およびS10で構成されるループ処理を繰り返す、あるいは両ループを交互に繰り返すことで、フィラメントSF12の厚さHSSCを最適値に近づけることができ、最終的にはステップS7において差の2乗平均が目標値以下となって、厚さHSSCの最適値を決定することができる。
なお、ステップS6、S7、S8およびS9で構成されるループ処理、およびステップS6、S7、S8およびS10で構成されるループ処理の繰り返し回数は合計で10回程度で最適値を決定することができる。
また、以上の説明では、ステップS3において、フィラメントSF12の厚さHSSCを基板厚さの半分に設定するものとしたが、これに限定されるものではなく、基板厚さの1/3、1/4等に設定しても良い。
また、ステップS5およびS9において、フィラメントSF12の厚さHSSCを1/2倍し、ステップS10においては、フィラメントSF12の厚さHSSCを3/2倍する例を示したがこれに限定されるものではなく、1/2倍の代わりに1/(予め定めた整数)倍すれば良く、3/2倍の代わりに、1/(予め定めた整数)よりも大きな値を係数として使用すれば良い。
<WSSCの決定処理>
次に、図5を用いてフィラメントSF12の幅WSSCを決定する処理について説明する。
次に、図5を用いてフィラメントSF12の幅WSSCを決定する処理について説明する。
最終的なフィラメントSF12の厚さHSSCを決定した後は、図5に示すフローに従って、フィラメントSF12の幅WSSCを決定する。
すなわち、ステップS11に示すように、厚さHSSCを最適値に固定し、フィラメントSF12の幅さWSSCを基板幅の半分に設定し、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。なお、フィラメントSF12の幅WSSCが決まれば、残りのフィラメントSF11、SF13、SF21〜SF23の幅も一義的に決まることになる。
続いて、ステップS11で得た、6フィラメントモデルでの信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2(図4)で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って2乗平均(平均自乗誤差)を算出し、第2の平均として記憶する(ステップS12)。
次に、ステップS13において、厚さHSSCを最適値に固定し、フィラメントSF12の幅WSSCを半分に減じて(1/2倍とし)、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS13で得た、6フィラメントモデルでの信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する(ステップS14)。
次に、ステップS15において、ステップS14で新たに取得された差の2乗平均と、予め設定した目標値とを比較し、両者の大小関係を比較し、新たに取得された差の2乗平均が目標値以下であれば、当該差の2乗平均を与える幅WSSCを最適値として採用し、一連の処理を終了する。一方、新たに取得された差の2乗平均が目標値よりも大きければステップS16に進む。
ここで、予め設定する目標値とは、設計値より決まる配線抵抗値(寄生抵抗値含む)やインダクタンス値(寄生インダクタンス値含む)の許容誤差から決められる値であり、新たに取得された差の2乗平均がこれらを越えるような場合には、再度、フィラメントSF12の幅WSSCを変更することになる。
ステップS16では、第2の平均と、ステップS14で新たに取得された差の2乗平均との比較を行い、新たに取得された差の2乗平均が減少している場合、すなわち新たに取得された差の2乗平均の方が小さい場合にはステップS17に進む。
一方、新たに取得された差の2乗平均が減少していない場合、すなわち新たに取得された差の2乗平均の方が大きいか同じ場合にはステップS18に進む。
ステップS16での比較の結果、第2の平均に対して新たに取得された差の2乗平均の方が小さくなった場合、新たに取得された差の2乗平均を与える幅WSSCの方が、第2の平均を与える幅WSSCよりも適した値であると判断することができ、フィラメントSF12の幅WSSCをさらに減ずる方向に設定することで、より最適値に近づくことができると判断できる。
一方、第2の平均に対して新たに取得された差の2乗平均の方が大きい、あるいは同じになった場合、第2の平均を与える幅WSSCの方がより適した値である、あるいは同じであると判断することができ、フィラメントSF12の幅WSSCを増す方向に設定することで、より最適値に近づくことができると判断できる。
ステップS17に進んだ場合には、厚さHSSCを最適値に固定し、ステップS14で新たに取得された差の2乗平均を第2の平均として記憶するとともに、フィラメントSF12の幅WSSCをさらに半分に減じて(1/2倍とし)、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS14に戻り、ステップS17で取得した信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する。
また、ステップS18に進んだ場合には、厚さHSSCを最適値に固定し、ステップS14で新たに取得された差の2乗平均を第2の平均として記憶するとともに、フィラメントSF12の幅WSSCを3/2倍して、PEEC法を実行して信号配線MLの信号周波数ごとの抵抗値を取得する。
続いて、ステップS14に戻り、ステップS16で取得した信号周波数ごとの抵抗値について、ステップS2で得たリファレンスの信号周波数ごとの抵抗値との差を取って、差の2乗平均を新たに取得する。
ステップS17に進んだ場合も、ステップS18に進んだ場合も、ステップS15およびS16での処理については、先に説明した動作と基本的に同じであり、単に、扱うデータが異なるだけである。
ステップS14、S15、S16およびS17で構成されるループ処理を繰り返す、あるいはステップS14、S15、S16およびS18で構成されるループ処理を繰り返す、あるいは両ループを交互に繰り返すことで、フィラメントSF12の幅WSSCを最適値に近づけることができ、最終的にはステップS15において差の2乗平均が目標値以下となって、幅WSSCの最適値を決定することができる。
なお、ステップS14、S15、S16およびS17で構成されるループ処理、およびステップS14、S15、S16およびS18で構成されるループ処理の繰り返し回数は合計で10回程度で最適値を決定することができる。
また、以上の説明では、ステップS11において、フィラメントSF12の幅WSSCを基板幅の半分に設定するものとしたが、これに限定されるものではなく、基板幅の1/3、1/4等に設定しても良い。
また、ステップS13およびS17において、フィラメントSF12の厚さHSSCを1/2倍し、ステップS18においては、フィラメントSF12の厚さHSSCを3/2倍する例を示したがこれに限定されるものではなく、1/2倍の代わりに1/(予め定めた整数)倍すれば良く、3/2倍の代わりに、1/(予め定めた整数)よりも大きな値を係数として使用すれば良い。
幅WSSCの最適値を決定した後は、フィラメントSF12厚さHSSCおよび幅WSSCを、それぞれの最適値に固定し、シリコン基板SBを6フィラメントに分割した状態で、配線の全長に渡ってPEEC法を繰り返し実行することで、近接効果を考慮した配線MLの寄生パラメータを得ることができる。
<HSSC、WSSCの一例>
図4および図5を用いて説明したフローを経て決定したフィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCの一例について、図6を用いて説明する。
図4および図5を用いて説明したフローを経て決定したフィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCの一例について、図6を用いて説明する。
図6は、フィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCと、平均自乗誤差との関係を示す図であり、X軸に厚さHSSC(μm)を示し、Y軸に幅WSSC(μm)を示し、Z軸に平均自乗誤差(%)を示している。
図6においてA点で示される位置が、HSSCおよびWSSCの最適値を示す位置であり、図6より、HSSCおよびWSSCが共に10μmである場合がフィラメントSF12の最適値ということが判る。
<シミュレーション時間について>
図3に示したように、本発明の実施の形態においては、シリコン基板SBを6フィラメントに分割し、信号配線MLに対面するフィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCの最適値を求めるように、PEEC法によるシミュレーションを繰り返している。
図3に示したように、本発明の実施の形態においては、シリコン基板SBを6フィラメントに分割し、信号配線MLに対面するフィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCの最適値を求めるように、PEEC法によるシミュレーションを繰り返している。
ここで、フィラメント数とPEEC法によるシミュレーションに費やす計算時間との関係を図7に示す。
図7においては横軸にフィラメント数を示し、縦軸にCPU(Central Processing Unit)での計算時間(SEC)を示している。
図7に示されるように、フィラメント数が100を越えると計算時間が飛躍的に増加し、フィラメント数が1000の場合では1000秒、フィラメント数が2000の場合では10000秒に達することが判る。一方、フィラメント数が10以下の場合は計算時間は1秒に満たないことが判る。
従って、シリコン基板SBを6フィラメントに分割した場合には、PEEC法によるシミュレーションを繰り返しても、計算に費やす時間は少なくて済むという利点がある。
なお、一旦、HSSCおよびWSSCの最適値が決定すると、フィラメントSF12の厚さHSSCおよび幅WSSCを最適値に固定した状態で、PEEC法を実行すれば良い。
すなわち、1の配線幅については、図4において説明したステップS2における基板を2000フィラメントに分割してPEEC法を実行する作業は1回で済み、HSSCおよびWSSCの最適値を決定した後は、基板を6フィラメントに分割した状態で、配線の全長に渡ってPEEC法を繰り返し実行すれば良いので、基板を数千のフィラメントに分割してPEEC法を繰り返し実行する従来の方法に比べて、PEEC法の実行時間を大幅に削減することができる。
また、一旦、HSSCおよびWSSCの最適値が決定すると、配線の基板からの高さが変わってもHSSCおよびWSSCを再計算する必要はなく、HSSCおよびWSSCの最適値に固定した状態で配線の全長に渡ってPEEC法を実行すれば良い。
例えば、第2層配線に対して、上述したHSSCおよびWSSCの最適値を決定し、当該HSSCおよびWSSCを用いてPEEC法により第4層配線の抵抗値やインダクタンス値を求めた場合、両者の差は10%以内となることが判っている。
<効果>
以上説明した実施の形態に係る回路シミュレーション方法においては、シリコン基板を6フィラメントに分割し、配線と対面するフィラメントの厚さおよび幅を最適化し、当該最適化された厚さおよび幅に基づいて、配線の全長に渡ってPEEC法を実行するので、配線と基板との間の近接効果の影響を考慮して配線の寄生抵抗や寄生インダクタンスを求める回路シミュレーションに費やす時間を大幅に短縮することができる。
以上説明した実施の形態に係る回路シミュレーション方法においては、シリコン基板を6フィラメントに分割し、配線と対面するフィラメントの厚さおよび幅を最適化し、当該最適化された厚さおよび幅に基づいて、配線の全長に渡ってPEEC法を実行するので、配線と基板との間の近接効果の影響を考慮して配線の寄生抵抗や寄生インダクタンスを求める回路シミュレーションに費やす時間を大幅に短縮することができる。
なお、シリコン基板を6フィラメントに分割することで、フィラメントSF11〜13の下部にもそれぞれフィラメントSF21〜SF23を配置することができ、PEEC法を実行する際の計算精度を高めることができる。
<変形例1>
以上説明した実施の形態においては、図3を用いて説明したように、シリコン基板SBを6つのフィラメントに分割する基板モデルを用いてPEEC法を実行する例を示したが、分割数は6つに限定されるものではなく、例えば図8に示すように4つに分割した4フィラメントモデルを使用しても良い。
以上説明した実施の形態においては、図3を用いて説明したように、シリコン基板SBを6つのフィラメントに分割する基板モデルを用いてPEEC法を実行する例を示したが、分割数は6つに限定されるものではなく、例えば図8に示すように4つに分割した4フィラメントモデルを使用しても良い。
すなわち、図8においては、シリコン基板SBは、信号配線MLに対面する部分がフィラメントSF12として区分され、フィラメントSF12の両隣は、フィラメントSF12の厚さと同じ厚さを有するフィラメントSF11およびSF13として区分され、フィラメントSF11〜SF13の下部全域はフィラメントSF2として区分されている。
フィラメントSF12の厚さをHSSC、フィラメントSF12の幅(信号配線MLの幅方向と平行な方向の長さ)をWSSCとすると、フィラメントSF11およびSF13のそれぞれの幅は、シリコン基板SBの全幅WTから、フィラメントSF12の幅WSSCを差し引いて二等分した長さに相当し、フィラメントSF2においても同様である。
また、フィラメントSF2の厚さは、シリコン基板SBの全厚HTからフィラメントSF12の厚さHSSCを差し引いた厚さとなる。
このような構成の基板モデルにおいて、図4および図5を用いて説明した処理を経て、HSSCおよびWSSCの最適値を決定することで、配線と基板との間の近接効果の影響を考慮して配線の寄生抵抗や寄生インダクタンスを求める回路シミュレーションに費やす時間を大幅に短縮することができる。
なお、4フィラメントモデルを使用することで、6フィラメントモデルを使用する場合に比べて、計算時間を若干の短縮することができる。
<変形例2>
以上説明した実施の形態においては、図4のステップS2においてシリコン基板SBを水平方向に100分割、垂直方向に20分割して、合計2000フィラメント程度に等分割してPEEC法を実行し、信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用する例を示したが、これの代わりにDUT(device under test:被試験装置)を作成して寄生抵抗値の測定を行い、得られた実測値をリファレンスとして使用しても良い。この場合、図2に示した特性C1のような実測値が得られることになる。
以上説明した実施の形態においては、図4のステップS2においてシリコン基板SBを水平方向に100分割、垂直方向に20分割して、合計2000フィラメント程度に等分割してPEEC法を実行し、信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用する例を示したが、これの代わりにDUT(device under test:被試験装置)を作成して寄生抵抗値の測定を行い、得られた実測値をリファレンスとして使用しても良い。この場合、図2に示した特性C1のような実測値が得られることになる。
実測値をリファレンスとして使用することで、より厳密にHSSCおよびWSSCの最適値を決定することができ、回路シミュレーションの精度を高めることができる。
<変形例3>
以上説明した実施の形態においては、図4のステップS2においてシリコン基板SBを水平方向に100分割、垂直方向に20分割して、合計2000フィラメント程度に等分割してPEEC法を実行し、信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用する例を示したが、PEEC法の代わりにFEM(Finite Element Method: 有限要素法)を用いて信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用しても良い。
以上説明した実施の形態においては、図4のステップS2においてシリコン基板SBを水平方向に100分割、垂直方向に20分割して、合計2000フィラメント程度に等分割してPEEC法を実行し、信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用する例を示したが、PEEC法の代わりにFEM(Finite Element Method: 有限要素法)を用いて信号周波数ごとの信号配線MLの抵抗値を取得し、それをリファレンスとして使用しても良い。
この場合、計算リソースは多く必要となるが、より精度の高いリファレンスを得ることができ、回路シミュレーションの精度を高めることができる。
なお、FEMを用いる場合、4000メッシュ程度に区切ると、計算時間は10秒から20秒となり、それはPEEC法においてる数百フィラメントに分割する場合に対応する。
<変形例4>
以上説明した実施の形態においては、フィラメントSF12の厚さHSSCの最適値を求めた後、幅WSSCの最適値を求める例を説明したが、順序は逆でも良く、幅WSSCの最適値を求めた後、厚さHSSCの最適値を求めるようにしても良い。
以上説明した実施の形態においては、フィラメントSF12の厚さHSSCの最適値を求めた後、幅WSSCの最適値を求める例を説明したが、順序は逆でも良く、幅WSSCの最適値を求めた後、厚さHSSCの最適値を求めるようにしても良い。
ML 信号配線、SB シリコン基板、SF11〜SF13,SF21〜SF23 フィラメント。
Claims (7)
- 半導体基板上に配設された配線の寄生パラメータを求める回路シミュレーション方法であって、
(a)前記半導体基板の中央の主面上方に前記配線を設定するステップと、
(b)前記寄生パラメータについて、参照値となるリファレンスの寄生パラメータを取得するステップと、
(c)前記半導体基板の断面において、前記配線に対面する部分が、前記半導体基板の厚さ方向および幅方向に、それぞれ所定の寸法を有する第1のフィラメントとして区分され、前記第1のフィラメントの両隣が、前記第1のフィラメントと同じ厚さを有する第2および第3のフィラメントとして区分され、第1ないし第3のフィラメントの下部が1または複数の下部フィラメントとして区分されるように、前記半導体基板を複数のフィラメントに分割するステップと、
(d)前記第1のフィラメントの厚さおよび幅の一方を第1のパラメータ、他方を第2のパラメータとし、前記第1のパラメータの増減を繰り返し、繰り返す毎に前記第1のパラメータにおける前記寄生パラメータと前記リファレンスの寄生パラメータを比較することで、前記第1のパラメータの最適値を決定するステップと、
(e)前記第1のパラメータを前記最適値に固定し、前記第2のパラメータの増減を繰り返し、繰り返す毎に前記第2のパラメータにおける前記寄生パラメータと前記リファレンスの寄生パラメータを比較することで、前記第2のパラメータの最適値を決定するステップと、
(f)前記第1および第2のパラメータのそれぞれの最適値に基づいて、前記配線の全長に渡って前記部分等価回路法を実行するステップと、を備える回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(d)は、
(d−1)前記第1のパラメータを、1/(予め定めた整数)倍し、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(d−2)前記ステップ(d−1)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータと、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の2乗平均を第1の平均として記憶するステップと、
(d−3)前記ステップ(d−2)の後、前記第1のフィラメントの前記第1のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)倍した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(d−4)前記ステップ(d−3)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータと、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の2乗平均を新たに取得するステップと、
(d−5)前記ステップ(d−4)で取得した前記新たな2乗平均と、予め設定した目標値とを比較し、前記新たな2乗平均が前記目標値以下であれば、前記新たな2乗平均を与える前記第1のフィラメントの前記第1のパラメータを最適値として採用して、前記第2のパラメータの最適値を決定するステップに進み、一方、前記新たな2乗平均が前記目標値よりも大きければ次のステップ(d−6)に進むステップと、
(d−6)前記第1の平均と、前記新たな2乗平均との比較を行い、前記新たな2乗平均が減少している場合にはステップ(d−7)に進み、一方、前記新たな2乗平均が減少していない場合にはステップ(d−8)に進むステップと、
(d−7)前記新たな2乗平均を、前記第1の平均として記憶するとともに、前記第1のフィラメントの前記第1のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)倍した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(d−8)前記新たな2乗平均を、前記第1の平均として記憶するとともに、前記第1のフィラメントの前記第1のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)よりも大きな値を係数として変更した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、を備え、
前記ステップ(d−7)および(d−8)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータは、前記ステップ(d−4)において、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の前記2乗平均の取得に使用され、前記ステップ(d−4)〜(d−8)を繰り返すことで、前記第1のパラメータを最適化し、
前記ステップ(e)は、
(e−1)前記第1のフィラメントの前記第1のパラメータを前記最適値に固定し、前記第2のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)倍し、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(e−2)前記ステップ(e−1)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータと、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の2乗平均を第2の平均として記憶するステップと、
(e−3)前記ステップ(e−2)の後、前記第1のフィラメントの前記第2のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)倍した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(e−4)前記ステップ(e−3)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータと、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の2乗平均を新たに取得するステップと、
(e−5)前記ステップ(e−4)で取得した前記新たな2乗平均と、予め設定した目標値とを比較し、前記新たな2乗平均が前記目標値以下であれば、前記新たな2乗平均を与える前記第1のフィラメントの前記第2のパラメータを最適値として採用し、一方、前記新たな2乗平均が前記目標値よりも大きければ次のステップ(e−6)に進むステップと、
(e−6)前記第2の平均と、前記新たな2乗平均との比較を行い、前記新たな2乗平均が減少している場合にはステップ(l−7)に進み、一方、前記新たな2乗平均が減少していない場合にはステップ(l−8)に進むステップと、
(e−7)前記新たな2乗平均を、前記第2の平均として記憶するとともに、前記第1のフィラメントの前記第2のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)倍した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、
(e−8)前記新たな2乗平均を、前記第2の平均として記憶するとともに、前記第1のフィラメントの前記第2のパラメータを、前記1/(予め定めた整数)よりも大きな値を係数として変更した後、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得するステップと、を備え、
前記ステップ(e−7)および(e−8)で得た前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータは、前記ステップ(e−4)において、前記リファレンスの寄生パラメータとの差の前記2乗平均の取得に使用され、前記ステップ(e−4)〜(e−8)を繰り返すことで、前記第2のパラメータを最適化する、回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(b)は、
前記半導体基板を、断面において、等間隔に1000〜2000のフィラメントに等分割し、前記部分等価回路法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得して、前記リファレンスの寄生パラメータとするステップを含む、請求項1記載の回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(b)は、
有限要素法を実行して、前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを取得して、前記リファレンスの寄生パラメータとするステップを含む、請求項1記載の回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(b)は、
前記半導体基板および前記配線を模擬した被試験装置から得られた前記配線の周波数ごとの前記寄生パラメータを、前記リファレンスの寄生パラメータとして取得するステップを含む、請求項1記載の回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(c)は、
前記下部フィラメントとして、前記第1のフィラメントの下部を、前記第1のフィラメントと同じ幅を有する第4のフィラメントとして区分し、前記第2および第3のフィラメントの下を、それぞれ前記第4のフィラメントと同じ厚さを有する第5および第6のフィラメントとして分割するステップを含む、請求項1記載の回路シミュレーション方法。 - 前記ステップ(c)は、
前記下部フィラメントとして、前記第1〜第3のフィラメントの下部全域に渡る第4のフィラメントとして分割するステップを含む、請求項1記載の回路シミュレーション方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006260201A JP2008083775A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 回路シミュレーション方法 |
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CN102508975A (zh) * | 2011-11-15 | 2012-06-20 | 华东师范大学 | 一种互连延迟寄生参数的分析方法 |
CN102521468A (zh) * | 2011-12-30 | 2012-06-27 | 中国科学院微电子研究所 | 一种提取互连线寄生参数的方法和装置 |
-
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- 2006-09-26 JP JP2006260201A patent/JP2008083775A/ja active Pending
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