JP2008077772A - 垂直磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】より一層の高記録密度化を実現することができる垂直磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置を提供する。
【解決手段】ＤＣイレーズ処理が施されたＤＣイレーズ部４２にサーボパターン２２が位置しており、ＡＣイレーズ処理が施されたＡＣイレーズ部４１に記録トラック２１及びトラック溝部３１（ディスクリート部）が位置している。トラック溝部３１は円周方向に延びている。ＡＣイレーズ部４１及びＤＣイレーズ部４２は、いずれも磁性材料からなる。サーボパターン２２には、ほぼ半径方向に延びる４列のプリアンブル部３２、及び島状に配置された複数のピット部３３が２列をなして形成されている。ピット部３３は、磁気ヘッドによる走査方向に関し、プリアンブル部３２よりも後方に位置している。
【選択図】図４

Description

本発明は、高記録密度化に好適な垂直磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置に関する。

記録装置の１つであるハードディスク装置では、記録密度が対数的に増加している。そして、高記録密度化を目的として、これまで、磁気記録媒体の表面と平行な方向に磁化させる長手記録方式が用いられているのに対し、磁気記録媒体の表面に垂直な方向に磁化させる垂直磁気記録方式に対する研究が進められている。

図２２に示すように、垂直磁気記録方式では、磁気ヘッドの主磁極１０３からの磁場に応じて垂直磁気記録媒体１０５の記録層が垂直方向に磁化されて情報が記録される。磁気ヘッドには、主磁極に繋がったリターンヨーク（補助磁極）１０２、及び磁界を発生させるコイル１０１、垂直記録媒体から情報を読み出す再生素子１０４も設けられている。

図２３に示すように、垂直磁気記録媒体では、ガラス基板１１１上に、密着層１１２、軟磁性裏打ち層１１３、中間層１１４、グラニュラ層（記録層）１１５、キャップ層１１６、保護層１１７及び潤滑層１１８が積層されている。このような構造の垂直磁気記録媒体では、軟磁性裏打ち層１１３の存在により、磁気ヘッドからの記録磁界を還流させ、良好な記録特性を得ることができる。なお、垂直磁気記録方式では、図２４に示すように、記録媒体の表面から反磁界が発生する。このため、初期化状態によって記録再生特性が変化する。例えば、図２５に示すように、垂直磁気記録媒体に垂直な方向から磁界Ｈを印加した場合の磁化Ｍの変化を示す曲線（Ｍ−Ｈ曲線）は、反磁界の影響がない場合には、ほぼ垂直に立ち上がるのに対し（破線）、反磁界の影響がある場合には、傾斜したものになる（実線）。このような反磁界の影響を考慮すると、磁化が揃っているよりも磁化が細かく反転している方がエネルギ的に安定であるため、垂直磁気記録方式は高密度記録に好適であるといえる。

また、高記録密度化を目的として、ディスクリートトラック媒体とよばれる記録媒体に対する研究も進められている。図２６に示すように、従来の記録媒体１２１では、複数の記録トラック１２２が互いに近接しながら配置されており、記録トラック１２２に記録済部１２９が形成されている。ところが、このような構造では、図２７に示すように、記録時に、所定の記録トラック１２２からその隣の記録トラック１２２に寄せ書きが生じたり、書きにじみが生じたりする。この結果、当該隣の記録トラック１２２に既に記録されている情報が消去されることがある。

このような状況に対し、ディスクリートトラック媒体では、図２８に示すように、記録トラック１２２間に溝部１２３を設けたり、図２９〜図３１に示すように、磁性部１２４及び非磁性部１２５を設けたりしている。図２９に示す例では、基部である磁性部１２４の表面に複数の非磁性部１２５が形成され、この間が記録トラック１２２となる。図３０に示す例では、基部である磁性部１２４の内部に複数の非磁性部１２５が埋め込まれ、この間が記録トラック１２２となる。図３１に示す例では、基部である非磁性部１２５の表面に複数の磁性部１２４が形成され、磁性部１２４自体が記録トラック１２２となる。

そして、図２８に示すディスクリートトラック媒体では、図３２に示すように、記録済部１２９が形成され、図２９に示すディスクリートトラック媒体では、図３３に示すように、記録済部１２９が形成される。この時、記録トラック１２２間に溝部１２３又は非磁性部１２５が存在するため、寄せ書き又は書きにじみが生じたとしても、隣の記録トラック１２２での情報の消去（サイドイレーズ）は防止される。図３０又は図３１に示すディスクリートトラックでも同様である。

このように、高記録密度化のためには、垂直磁気記録方式の採用及びディスクリートトラック媒体の採用が有効である。

しかしながら、現状では、これらの技術を組み合わせることができない。これは、垂直磁気記録方式に採用されているＡＣイレーズ処理とよばれる初期化処理をディスクリートトラック媒体に行うと、適切な再生が困難となるからである。これは、本願発明者が初めて気付いた事実である。

特開２００６−３１８４６号公報 特開２００６−４８７５１号公報

本発明の目的は、より一層の高記録密度化を実現することができる垂直磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置を提供することにある。

垂直磁気記録方式の初期化処理として有力なＡＣイレーズ処理を行う場合、図３４に示すように、磁気ヘッド駆動電流として交流の電流を磁気ヘッド１３２に供給する。この結果、記録層１３１内で、互いに隣接するビットの磁化が反転する。なお、面内磁気記録方式の初期化処理としては、従来、ＤＣイレーズ処理が行われている。これを垂直磁気記録方式に採用する場合、図３５に示すように、磁気ヘッド駆動電流として直流の電流を磁気ヘッド１３２に供給する。この結果、記録層１３１内で、すべてのビットが同一方向に揃う。図３５では、磁化の方向を上向きとしているが、直流電流の正負を変えて下向きに揃えることもある。

ここで、垂直磁気記録方式においてＡＣイレーズ処理が採用されている理由について説明する。図３６に、ＡＣイレーズ処理を行った２個のＡＣイレーズ部間に、ＤＣイレーズ処理を行った１個のＤＣイレーズ部が配置された垂直磁気記録媒体に、一定の周波数の信号を記録した場合の再生信号を示す。ＤＣイレーズ部に信号を記録した場合は、反磁界の影響が大きく、図３６に示すような信号のオフセットが発生しやすい。このため、磁気ヘッドの検出する信号（再生信号）のアシンメトリが大きくなり、記録再生特性が低下する。また、ＤＣイレーズ部では、反磁界により常に一方向に磁界が印加されている状態と同様であるため、時間の経過に連れて逆磁区が発生したり、磁化の一部の反転（熱緩和）が発生したりする虞がある。一方、ＡＣイレーズ部では、オフセットが生じず、また、逆磁区及び熱緩和が生じる虞がない。このような理由から、垂直磁気記録方式では、初期化処理として、ＡＣイレーズ処理が採用されているのである。但し、上述のように、ディスクリートトラック媒体にＡＣイレーズ処理を行うと、適切な再生が困難になる。

ここで、ディスクリートトラック媒体にＡＣイレーズ処理を行った場合の問題点について説明する。図３７は、サーボパターン及びこれを間に挟む記録トラックを示す図である。この例では、磁性部６４に円周方向に延びる複数のディスクリート部６１が形成され、その間が記録トラックとなっている。ディスクリート部６１は、図２８の溝部１２３と同様の溝により構成されている。また、選択的にサーボパターンが形成されており、サーボパターンには、プリアンブル部６２及びピット部６３が含まれている。情報の記録及び再生時には、磁気ヘッドを所望の記録トラック上に位置させるためのトラッキングを行うが、この際にサーボパターンを検出する必要がある。

しかしながら、本願発明者が検証したところ、ディスクリートトラック媒体にＡＣイレーズ処理を行った場合には、図３７に示すように、信号出力が常にゼロレベルとなり、プリアンブル部６２及びピット部６３を検出することができないことが判明した。即ち、サーボパターンを検出することができず、トラッキングを行うことができなくなってしまう。また、ＤＣイレーズ処理を行った場合には、図３７に示すように、プリアンブル部６２及びピット部６３を検出することは可能となるが、上述のように、ディスクリート部６１の間に位置する記録トラックにおける、再生信号のアシンメトリ及び熱緩和等が発生しやすい。

このように、従来の技術では、垂直磁気記録方式とディスクリートトラック媒体とを組み合わせると、トラッキングに支障が生じて、適切な再生が困難となっているのである。本願発明者は、このような原因を突き止めた上で、これを解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。

本発明に係る垂直磁気記録媒体には、互いに平行に延びる複数の記録トラックと、前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンと、が設けられている。そして、前記記録トラックにＡＣイレーズ処理が施され、前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理が施されている。

本発明に係る磁気記録装置には、上述の垂直磁気記録媒体と、前記垂直磁気記録媒体への情報の記録及び前記垂直磁気記録媒体からの情報の再生を行う磁気ヘッドと、が設けられている。

本発明に係る垂直磁気記録媒体の製造方法では、互いに平行に延びる複数の記録トラック、及び前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンを形成し、その後に、前記記録トラック及び前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理を施す。次に、前記記録トラックにＡＣイレーズ処理を施す。

本発明によれば、記録トラックでのオフセットを防止すると共に、サーボパターンの検出を確実に行うことができる。従って、ディスクリートトラック媒体を用いても、高精度でのトラッキングサーボ制御が可能であり、より一層の高記録密度化を実現することができる。

以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。

（第１の実施形態）
先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る磁気記録装置（ハードディスク装置）の構造を示す模式図である。

このハードディスク装置では、ベース１上に、磁気記録媒体２、スピンドルモータ３、磁気ヘッド４、サスペンション５、ボイスコイルモータ６、制御回路７及びランプ８が配置されている。そして、ハードディスク装置は、スピンドルモータ３により所定の回転数で円板状の磁気記録媒体２を回転させながら、磁気ヘッド４を用いて磁気記録媒体２に情報を記録したり、磁気記録媒体２から情報を再生したりする。ハードディスク装置の動作時には、磁気ヘッド４は、磁気記録媒体２の表面から１０ｎｍ程度浮上しており、この浮上量はサスペンション５により保持されている。また、磁気記録媒体２には、図２に示すように、円周状に複数の記録トラック２１が設けられると共に、磁気ヘッド４のトラッキングのために用いられるサーボパターン２２が設けられている。トラッキングに際しては、制御回路７が、磁気ヘッド４を介して入力されたサーボパターン２２からの信号に基づいて、磁気ヘッド４を駆動するボイスコイルモータ６により磁気ヘッド４の位置を調整することにより、磁気ヘッド４を所望の記録トラック２１上に位置させる。なお、ランプ８は、磁気記録媒体２が停止している時に磁気ヘッド４が退避する部位である。

また、図３に示すように、磁気記録媒体２としては、ディスクリートトラック媒体が用いられている。そして、例えば、ディスクリート部を構成するトラック溝の深さは１０ｎｍ程度であり、トラック溝の幅は４０ｎｍ程度であり、トラック溝のテーパ角は６０°程度であり、ランド（記録トラック）の幅は８０ｎｍ程度である。

また、図４に、記録トラック２１及びこれを横切るサーボパターン２２の詳細を示す。なお、図３は、図４中のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する。本実施形態では、ＤＣイレーズ処理が施されたＤＣイレーズ部４２にサーボパターン２２が位置しており、ＡＣイレーズ処理が施されたＡＣイレーズ部４１に記録トラック２１及びトラック溝部３１（ディスクリート部）が位置している。トラック溝部３１は円周方向に延びている。ＡＣイレーズ部４１及びＤＣイレーズ部４２は、いずれも磁性材料からなる。サーボパターン２２には、ほぼ半径方向に延びる４列のプリアンブル部３２、及び島状に配置された複数のピット部３３が２列をなして形成されている。ピット部３３は、磁気ヘッド４による走査方向に関し、プリアンブル部３２よりも後方に位置している。

また、制御回路７には、図５に示す回路が含まれている。つまり、磁気ヘッド４から出力された信号が入力されるバンドパスフィルタ５１、微分フィルタ５２、プリアンブル検出部５３及びピット検出部５４がこの順で接続されている。また、プリアンブル検出部５３によるプリアンブル部３２の検出結果に応じてクロック信号を発生させるＰＬＬ回路５５、ピット検出部５４によるピット部３３の検出結果とクロック信号とを比較する比較器５６、比較器５６による比較の結果に応じてトラッキングのためのＲＯ（ＲＵＮ ＯＵＴ）信号を検出するＲＯ信号検出部５７が設けられている。このような構成の回路によって、サーボパターン２２上を移動する磁気ヘッド４の位置が検出され、ＲＯ信号検出部５７からの出力信号がボイルコイルモータ６に入力されて、磁気ヘッド４のトラッキングが行われる。このように、制御回路７により、磁気ヘッド４のサーボ制御が行われる。

そして、このように構成されたハードディスク装置では、記録トラック２１に情報が記録されていない場合、図４に示すように、記録トラック２１からの再生信号（信号出力）にオフセットは生じない。これは、記録トラック２１が、ＡＣイレーズ処理が施されたＡＣイレーズ部４１内に位置するからである。

一方、サーボパターン２２に関しては、プリアンブル部３２及びピット部３３の位置に応じた再生信号が出力される。これは、プリアンブル部３２及びピット部３３が、ＤＣイレーズ処理が施されたＤＣイレーズ部４２内に位置するからである。

従って、本実施形態によれば、サーボパターン２２を用いた高精度のトラッキングを行いながら、出力信号のアシンメトリ及び熱緩和等を防止することができる。このため、垂直磁気記録方式とディスクリートトラック媒体とを組み合わせることが可能となり、より一層の高記録密度化を実現することができる。

また、本実施形態では、図４に示すように、プリアンブル部３２が記録トラック２１と交差しているため、磁気ヘッド４が４列のプリアンブル部３２上を確実に移動する。図３７に示す従来の技術では、４列のプリアンブル部６２が断続的に形成されているため、磁気ヘッドの移動経路によっては、プリアンブル部６２の全部又は一部を認識できない可能性があるが、本実施形態では、このような不具合が防止される。

次に、第１の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法について説明する。図６は、第１の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。

先ず、図７に示すように、基板７１上に下地層７２を形成する。基板７１としては、例えば強化ガラスからなるものを用いる。また、下地層７２としては、例えばＮｉＣｒ層をめっき法により形成する。次に、下地層７２に凹部を形成することにより、トラック溝部３１、プリアンブル部３２及びピット部３３を形成する。この凹部の形成に当たっては、金型を下地層７２に加圧転写する。金型を形成する際には、図８に示すように、先ず、基板に原板レジストを塗布する（ステップＳ１１）。次に、電子線を原板レジストに照射する（ステップＳ１２）。次いで、原板レジストの現像を行う（ステップＳ１３）。その後、基板にメタライズ処理を行う（ステップＳ１４）。更に、メタライズ処理を行った部分に対してＮｉめっき処理を行う（ステップＳ１５）。そして、基板の洗浄を行う（ステップＳ１６）。次に、基板の裏面を研磨し（ステップＳ１７）、外形の加工を行う（ステップＳ１８）。図８中のステップＳ１９は、上述の下地層７２の形成に相当し、ステップＳ２０は、凹部の形成に相当する。

下地層７２に凹部を形成した後には、図７に示すように、下地層７２上に、軟磁性裏打ち層７３、中間層７４及びグラニュラ層７５を、例えばスパッタリング法により順次形成する。軟磁性裏打ち層７３としては、例えばＦｅＣｏＣｒＢ層、Ｒｕ層及びＦｅＣｏＣｒＢ層からなる積層体を形成する。中間層７４としては、例えばＴａ層及びＲｕ層からなる積層体を形成する。グラニュラ層７５（記録層）としては、例えばＣｏＣｒＰｔ層の粒界に多量のＴｉＯ₂粒子が分散した層を形成する。従って、グラニュラ層７５内では、ＣｏＣｒＰｔからなる結晶粒がＴｉＯ₂粒子に取り囲まれている。更に、グラニュラ層７５上にキャップ層７６を形成する。キャップ層７６としては、例えばＣｏＣｒＰｔＢ層をスパッタリング法により形成する。次いで、キャップ層７６上に保護層７７を形成する。保護層７７としては、例えばダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層を低温ＣＶＤ法により形成する。続いて、保護層７７上に潤滑層７８を形成する。潤滑層７８としては、例えば引き上げ法により潤滑材であるフォンブリン（フッ素樹脂）の層を形成する。このようにして、磁気記録媒体２の原型となる元ディスクが形成される。なお、磁気記録媒体２の表面には、下地層７２に形成された凹部を反映する凹部が存在する。

その後、図６のステップＳ１において、第１の初期化処理として、元ディスクに対して全体的なＤＣイレーズ処理を行う。このＤＣイレーズ処理では、元ディスクに垂直に磁界が通るように、例えばＮｄＦｅＣｏの永久磁石を配置し、元ディスクを回転させながら、元ディスクの全体に磁界を印加する。この結果、グラニュラ層７５内の磁化が元ディスクの表面に垂直な方向に揃う。

図９は、ＤＣイレーズ処理後の元ディスクの状態を示す模式図である。図９に示すように、ＤＣイレーズ処理後においては、元ディスクのほぼ全面がＤＣイレーズ部４２となっている。また、元ディスクには、上述のように、トラック溝部３１、プリアンブル部３２及びピット部３３が既に形成されており、トラック溝部３１間が記録トラックとして機能する。そして、トラック溝部３１内には大気が入り込むため、トラック溝部３１内と記録トラックとの間では、磁気的特性が不連続となっているといえる。また、トラック溝部３１を間に挟んで隣り合う２個の記録トラックは、当該トラック溝部３１により磁気的に分離されているといえる。なお、プリアンブル部３２及びピット部３３からサーボパターン２２が構成されている。

そして、このような状態で再生ヘッドが軌跡Ｉ上を走査すると、プリアンブル部３２及
びピット部３３の各凹部を反映した信号出力が得られ、制御回路７は、記録トラック上を正確に移動していると認識する。一方、再生ヘッドが軌跡ＩＩ上を走査すると、トラック溝部３１上を移動する際に信号出力が低下すると共に、ピット部３３の一方のみを反映した信号出力が得られる。従って、制御回路７は、再生ヘッドが内側に寄り気味であることを認識する。そして、これらの情報に基づいてトラッキング制御が行われる。このように、プリアンブル部３２及びピット部３３の検出が確実に行われるのは、ＤＣイレーズ処理が施され、これらの凹部において信号出力が低下するからである。しかしながら、ＤＣイレーズ処理のみが施されているため、図９に示すように、いずれの場合にも、オフセットが生じてしまう。

続いて、ステップＳ２において、第２の初期化処理として、図１０に示すように、元ディスクに対して選択的なＡＣイレーズ処理を行う。即ち、サーボパターン２２の周囲はＤＣイレーズ部４２としたまま、記録トラック２１を構成する部分に対してＡＣイレーズ処理を行うことにより、ＡＣイレーズ部４１を形成する。このＡＣイレーズ処理では、例えば、トレーリングシールドタイプのライトヘッドと酸化アルミニウム層を磁気抵抗効果層とするＴＭＲ（Tunnel Magneto-Resistive）素子を備えた再生ヘッドとを組み合わせた磁気ヘッドを用いる。また、例えば、この磁気ヘッドには、ＤＦＨ（Dynamic Flying Height）制御用のヒータを設けておき、ヒータに電流を流すことにより、浮上量を調整する。そして、例えば、トラッキング位置をずらしながら、７０．９Ｍｂｐｍ（＝１８００ｋＢＰＩ）の記録密度でＡＣイレーズ処理を行う。このようなＡＣイレーズ処理を行うことにより、図１０に示すように、記録トラック２１でのオフセットが消滅する。

なお、ディスクリートトラック用の物理的凹凸を形成していない垂直磁気記録媒体において、上述のものと同様の磁気ヘッドを用いて、ＤＦＨ制御により浮上量を変えながら５００ｋＦＣＩの信号を記録してＳ／Ｎ比を評価したところ、図１１に示す結果が得られた。つまり、浮上量が１ｎｍ変化すると、Ｓ／Ｎ比が約０．４ｄＢ変化した。このことから、本実施形態では、信号出力が約６０％に低下すると考えられる。これは、本実施形態では、トラック溝部３１の深さが１０ｎｍ程度であるからである。

ＡＣイレーズ処理を行った後には、ステップＳ３において、ピット部３３からの信号に基づくトラックサーボを開始し、ステップＳ４において、磁気記録媒体２のフォーマットを実行する。

このような一連の処理を実行することにより、第１の実施形態における磁気記録媒体２を製造することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。第１の実施形態では、プリアンブル部３２及びピット部３３を含むサーボパターン２２を用いて所望のトラックへのトラッキングを行うことが可能である。しかし、図１２に示すように、プリアンブル部３２及び／又はピット部３３の近傍に微小欠陥３４等が存在すると、正確に信号を検出することができなくなり、正確なトラッキングが困難となる。これは、次の理由のためである。即ち、記録トラック２１にユーザ情報等として記録される信号は、磁化の向きに合わせて＋方向及び−方向のピーク・トゥー・ピーク（Peak to Peak）値として検出されるのに対し、サーボトラック２２の信号はゼロ・トゥー・ピーク（Zero to Peak）値として検出される。このため、サーボトラック２２の検出信号は、その変調振幅が最大の場合であっても、記録トラック２１の検出信号の半分となる。つまり、トラッキングの利得が半分以下であり、微小欠陥３４等が存在すると、正確な検出が困難となるのである。第２の実施形態は、このような不具合の解消を図っている。

第２の実施形態では、図１３に示すように、磁気ヘッド４の走査方向に関し、サーボパターン２２とそのすぐ後方に位置する記録トラック２１との間に、サーボパターン２３が位置している。サーボパターン２３には、ＳＹＮＣ部（同期部）３５、バースト部３６及びアドレス部３７が含まれている。但し、サーボパターン２２とは異なり、ＳＹＮＣ部３５、バースト部３６及びアドレス部３７は、すべて平坦なＡＣイレーズ部４１内に、サーボ制御信号の記録により形成されている。即ち、ＳＹＮＣ部３５、バースト部３６及びアドレス部３７と、これらを取り囲む領域（ＡＣイレーズ部４１）との間では、材料が同一であり、また、断面形状も同一であるため、磁気的特性が連続しているといえる。

このような第２の実施形態によれば、プリアンブル部３２及び／又はピット部３３の近傍に微小欠陥３４等が存在しても、サーボパターン２３に基づく正確なトラッキングを行うことができる。そして、サーボパターン２３に記録されている信号は、ピーク・トゥー・ピーク値として検出されるので、高い利得に基づく検出が可能である。従って、第２の実施形態によれば、第１の実施形態よりも高い精度でトラッキングを行うことができる。

次に、第２の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法について説明する。図１４は、第２の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。

先ず、第１の実施形態と同様に、ＡＣイレーズ部４１の形成までの処理を行う（ステップＳ１及びＳ２）。但し、磁気ヘッド４の走査方向に関し、サーボパターン２２とそのすぐ後方に位置するトラック溝部３１との間隔を第１の実施形態よりも広くし、この部分もＡＣイレーズ部４１とする。

次に、ステップＳ３において、ピット部３３からの信号に基づくトラックサーボを開始し、ステップＳ５において、サーボ制御信号をＡＣイレーズ部４１内に選択的に記録することにより、ＳＹＮＣ部３５、バースト部３６及びアドレス部３７を形成する。

次いで、ステップＳ６において、サーボパターン２２を用いてトラッキング制御を行った場合とサーボパターン２３を用いてトラッキング制御を行った場合のオフセットを確認する。オフセットがある場合には、その量に応じた補正をサーボパターン２３に対して行う。なお、実動作時にオフセットの量に応じた補正を検出信号に対して行ってもよい。

その後、ステップＳ７において、サーボパターン２３からの信号に基づくトラックサーボを開始し、ステップＳ８において、磁気記録媒体２のフォーマットを実行する。

このような一連の処理を実行することにより、第２の実施形態における磁気記録媒体２を製造することができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図１５は、本発明の第３の実施形態における磁気記録媒体２を示す模式図である。

第２の実施形態では、サーボパターン２２がＤＣイレーズ部４２内に設けられているが、第３の実施形態では、ＤＣイレーズ部４２に対してもＡＣイレーズ処理を行うことにより、サーボパターン２３の周囲をＡＣイレーズ部４３としている。

このような第３の実施形態によれば、図１５に示すように、サーボパターン２２からは信号が検出されなくなるため、必然的に実動作時のトラッキング制御はサーボパターン２３に基づいて行うこととなる。このため、図１６に示すように、サーボパターン２２に異物の付着等の微小欠陥３４が存在する場合でも、これに伴って発生するサーマルアスペリティを無視した正確な制御が可能となる。即ち、異物が存在する場合、磁気ヘッド４と異物とが衝突し、これに伴って温度が上昇し、出力値の変動（サーマルアスペリティ）が生じることがあるが、第３の実施形態によれば、これをサーボ制御信号と誤検出する虞がない。従って、より一層正確なトラッキング制御が可能となる。

（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。第４の実施形態では、磁気記録媒体２の製造方法が第２の実施形態と相違している。図１７は、本発明の第４の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。

第４の実施形態では、ステップＳ３におけるトラックサーボの開始から、ステップＳ５におけるＳＹＮＣ部３５、バースト部３６及びアドレス部３７の形成までの間に、テストライト（ステップＳ８）及びトラックプロファイルの確認（ステップＳ９）を行う。

ステップＳ８のテストライトでは、ステップＳ３のトラックサーボを継続したまま、トラッキング位置を少しずつずらしながら、記録トラック２１に予め定められた信号を記録する。

そして、ステップＳ９では、記録された信号を再生して、トラックプロファイルの確認を行う。トラックプロファイルとして信号の振幅（ＲＦ信号出力振幅）を検証した場合には、例えば、図１８に示すようなプロファイルが得られる。また、トラックプロファイルとして信号のバイトエラー率（byte error rate）を検証した場合には、例えば、図１９に示すようなプロファイルが得られる。図１８及び図１９には、任意に選択した３箇所での検証結果を示してある。そして、振幅の検証を行った場合には、極大値同士を比較し、図１８に示すように、極大値が最大となる位置を記録ヘッドの最適位置と判断すると共に、その時の再生ヘッドの位置とのずれ量を最適オフセット量と判断する。一方、バイトエラー率を検証した場合には、極小値同士を比較し、図１９に示すように、極小値が最小となる位置を記録ヘッドの最適位置と判断すると共に、その時の再生ヘッドとのずれ量を最適オフセット量と判断する。一例として、図２０に、最適オフセット量が０ｎｍの場合にバイトエラー率が極小となる位置をプロットした結果を示す。

記録ヘッドの最適位置及び最適オフセット量を求めた後には、第２の実施形態と同様にして、サーボパターン２３の形成以降の処理を実行する。

このような第４の実施形態によれば、サーボパターン２３を所望の位置に確実に形成することができる。第２の実施形態では、例えば、ピット部３３同士の中心位置にずれが発生する虞がある。また、上述のように、サーボパターン２２からの信号の振幅は比較的小さいため、十分な精度が得られないことがある。このような場合、記録ヘッドの位置を適切に定めることができず、サーボパターン２３を所望の位置に形成することができないこともある。これに対し、第４の実施形態によれば、記録ヘッドの位置を調整した後に、サーボパターン２３を形成するため、より正確なサーボパターン２３を得ることができる。そして、このサーボパターン２３を用いてトラッキング制御を行うこととなるため、より正確な再生を行うことが可能となる。即ち、情報の記録再生特性をより一層向上することができる。

なお、第４の実施形態に対して、第３の実施形態のように、ＤＣイレーズ部４２をＡＣイレーズ部４３としてもよい。この場合、図２１に示すように、フォーマット（ステップＳ４）を行う前に、ＤＣイレーズ部４２に対してＡＣイレーズ処理を行えばよい。このような処理を行うことにより、第３及び第４の実施形態の効果を得ることができる。

また、これらの実施形態では、ディスクリートトラック媒体の形成に当たり、トラック溝部３１を用いることとしているが、図２９〜図３１に示すような磁性部と非磁性部とを組み合わせた構成のディスクリートトラック媒体を形成してもよい。また、互いに保磁力等の磁気特性の異なる材料同士を組み合わせた構成のディスクリートトラック媒体等を形成してもよい。つまり、ディスクリートトラック媒体の種類を問わず、本願発明の効果は発揮され得る。

以下、本発明の諸態様を付記としてまとめて記載する。

（付記１）
互いに平行に延びる複数の記録トラックと、
前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンと、
を有する垂直磁気記録媒体であって、
前記記録トラックにＡＣイレーズ処理が施され、
前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。

（付記２）
前記複数の記録トラック同士を磁気的に分離するディスクリート部を有することを特徴とする付記１に記載の垂直磁気記録媒体。

（付記３）
前記サーボパターンは、
前記記録トラックが延びる方向と交差する方向に延びるプリアンブル部と、
前記記録トラックに記録された情報を読み取る再生ヘッドが移動する方向において前記プリアンブル部よりも後方に位置するピット部と、
を有することを特徴とする付記１又は２に記載の垂直磁気記録媒体。

（付記４）
前記記録トラックと前記サーボパターンとの間に設けられ、磁気的なサーボ制御情報が記録された第２のサーボパターンを有し、
前記第２のサーボパターンにＡＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。

（付記５）
前記第２のサーボパターンを構成する材料の磁気的特性は、それを取り囲む領域の材料の磁気的特性と実質的に同一であり、
前記第２のサーボパターンとそれを取り囲む領域とが実質的に平坦となっていることを特徴とする付記４に記載の垂直磁気記録媒体。

（付記６）
互いに平行に延びる複数の記録トラックと、
前記記録トラックの途中に設けられ、磁気的なサーボ制御情報が記録されたサーボパターンと、
を有する垂直磁気記録媒体であって、
前記記録トラック及び前記第２のサーボパターンにＡＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。

（付記７）
付記１乃至６のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体と、
前記垂直磁気記録媒体への情報の記録及び前記垂直磁気記録媒体からの情報の再生を行う磁気ヘッドと、
を有することを特徴とする磁気記録装置。

（付記８）
互いに平行に延びる複数の記録トラック、及び前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンを形成する工程と、
前記記録トラック及び前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理を施す工程と、
前記記録トラックにＡＣイレーズ処理を施す工程と、
を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記９）
前記複数の記録トラックを形成する工程は、前記複数の記録トラック同士を磁気的に分離するディスクリート部を形成する工程を有することを特徴とする付記８に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記１０）
前記サーボパターンを形成する工程は、前記記録トラックが延びる方向と交差する方向に延びるプリアンブル部、及び前記記録トラックに記録された情報を読み取る再生ヘッドが移動する方向において前記プリアンブル部よりも後方に位置するピット部を形成する工程を有することを特徴とする付記８又は９に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記１１）
前記ＡＣイレーズ処理を施す工程において、前記記録トラックと前記サーボパターンとの間の領域にもＡＣイレーズ処理を施し、
その後に、前記記録トラックと前記サーボパターンとの間のＡＣイレーズ処理が施された領域内に、磁気的なサーボ制御情報を第２のサーボパターンとして記録する工程を有することを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記１２）
前記サーボ制御情報が記録される領域の材料の磁気的特性を、それを取り囲む領域の材料の磁気的特性と実質的に同一なものとし、
前記サーボ制御情報が記録される領域とそれを取り囲む領域とを実質的に平坦としておくことを特徴とする付記１１に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記１３）
前記第２のサーボパターンを形成する工程の後に、前記サーボパターンにＡＣイレーズ処理を施す工程を有することを特徴とする付記１１又は１２に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

（付記１４）
前記サーボ制御情報を記録する工程の前に、前記サーボパターンに基づくトラッキング制御を行いながら前記記録トラックにテストライトを行う工程を有し、
前記サーボ制御情報を記録する工程において、前記テストライトの結果に基づいて記録ヘッドの位置を制御することを特徴とする付記１１乃至１３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

本発明の第１の実施形態に係る磁気記録装置（ハードディスク装置）の構造を示す模式図である。 磁気記録媒体２の概要を示す図である。 磁気記録媒体２の断面形状を示す図である。 第１の実施形態におけるパターンの詳細を示す模式図である。 制御回路７の構成を示すブロック図である。 第１の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。 磁気記録媒体２の層構成を示す図である。 凹部を形成する方法を示すフローチャートである。 ＤＣイレーズ処理後の元ディスクの状態を示す模式図である。 ＡＣイレーズ処理後の元ディスクの状態を示す模式図である。 磁気ヘッドの浮上量とＳ／Ｎ比との関係を示すグラフである。 微小欠陥に伴う不具合を示す模式図である。 本発明の第２の実施形態におけるパターンの詳細を示す模式図である。 第２の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。 本発明の第３の実施形態におけるパターンの詳細を示す模式図である。 第３の実施形態の作用を示す模式図である。 本発明の第４の実施形態における磁気記録媒体２を製造する方法を示すフローチャートである。 ＲＦ信号出力振幅のプロファイルの一例を示すグラフである。 バイトエラー率のプロファイルの一例を示すグラフである。 最適オフセット量が０ｎｍの場合にバイトエラー率が極小となる位置を示すグラフである。 第４の実施形態に第３の実施形態を適用する場合の磁気記録媒体２を製造する方法をフローチャートである。 垂直磁気記録方式における磁気ヘッド及び磁気記録媒体を示す模式図である。 従来の垂直磁気記録媒体の層構成を示す図である。 反磁界を示す図である。 従来の垂直磁気記録媒体の記録再生特性を示すグラフである。 従来の記録媒体を示す図である。 従来の記録媒体における不具合を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第１の例を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第２の例を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第３の例を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第４の例を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第１の例の作用を示す図である。 ディスクリートトラック媒体の第２の例の作用を示す図である。 ＡＣイレーズ処理の概要を示す図である。 ＤＣイレーズ処理の概要を示す図である。 ＡＣイレーズ部及びＤＣイレーズ部の再生信号を示す図である。 従来の磁気記録媒体におけるパターンの詳細を示す模式図である。

符号の説明

１：ベース
２：磁気記録媒体
３：スピンドルモータ
４：磁気ヘッド
５：サスペンション
６：ボイスコイルモータ
７：制御回路
８：ランプ
２１：記録トラック
２２：サーボパターン
３１：トラック溝部
３２：プリアンブル部
３３：ピット部
３４：微小欠陥
３５：ＳＹＮＣ部
３６：バースト部
３７：アドレス部
４１：ＡＣイレーズ部
４２：ＤＣイレーズ部

Claims (10)

1. 互いに平行に延びる複数の記録トラックと、
   前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンと、
   を有する垂直磁気記録媒体であって、
   前記記録トラックにＡＣイレーズ処理が施され、
   前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
2. 前記複数の記録トラック同士を磁気的に分離するディスクリート部を有することを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
3. 前記記録トラックと前記サーボパターンとの間に設けられ、磁気的なサーボ制御情報が記録された第２のサーボパターンを有し、
   前記第２のサーボパターンにＡＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の垂直磁気記録媒体。
4. 互いに平行に延びる複数の記録トラックと、
   前記記録トラックの途中に設けられ、磁気的なサーボ制御情報が記録されたサーボパターンと、
   を有する垂直磁気記録媒体であって、
   前記記録トラック及び前記第２のサーボパターンにＡＣイレーズ処理が施されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体と、
   前記垂直磁気記録媒体への情報の記録及び前記垂直磁気記録媒体からの情報の再生を行う磁気ヘッドと、
   を有することを特徴とする磁気記録装置。
6. 互いに平行に延びる複数の記録トラック、及び前記記録トラックの途中に位置するサーボパターンを形成する工程と、
   前記記録トラック及び前記サーボパターンにＤＣイレーズ処理を施す工程と、
   前記記録トラックにＡＣイレーズ処理を施す工程と、
   を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
7. 前記複数の記録トラックを形成する工程は、前記複数の記録トラック同士を磁気的に分離するディスクリート部を形成する工程を有することを特徴とする請求項６に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
8. 前記ＡＣイレーズ処理を施す工程において、前記記録トラックと前記サーボパターンとの間の領域にもＡＣイレーズ処理を施し、
   その後に、前記記録トラックと前記サーボパターンとの間のＡＣイレーズ処理が施された領域内に、磁気的なサーボ制御情報を第２のサーボパターンとして記録する工程を有することを特徴とする請求項６又は７に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
9. 前記第２のサーボパターンを形成する工程の後に、前記サーボパターンにＡＣイレーズ処理を施す工程を有することを特徴とする請求項８に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
10. 前記サーボ制御情報を記録する工程の前に、前記サーボパターンに基づくトラッキング制御を行いながら前記記録トラックにテストライトを行う工程を有し、
    前記サーボ制御情報を記録する工程において、前記テストライトの結果に基づいて記録ヘッドの位置を制御することを特徴とする請求項８又は９に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。

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