JP2008076162A - 塗布部材及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板4に溶液を塗布する塗布部材1であって、内部に毛細菅流路9を有する突起部と、基板4に対向し突起部15内の毛細菅流路9中からの溶液がメニスカスを形成する突起部15先端の第1の基準面8と、突起部15を包囲し、第1の基準面8より更に基板方向に突出して基板4に接する第2の基準面6を有する支持部14と、を備え、支持部14は、基板4に接して当該基板とともに突起部15周辺に閉空間を形成するとともに、毛細菅流路9に毛細菅力を発生するため当該閉空間に通じる空気穴16とを有する。
【選択図】図1
Description
別の方法としては、スポッティング法という方法がある。この方法は、先端が鋭利に尖ったピンを生物活性物質の溶液に浸し、このピンを基板に近づけて、基板に溶液を塗布する方法である。
この方法では、所定の形状のノズルが取り付けられた容器を用いる。容器及びノズル内には、生物活性物質の溶液を充填しておく。ノズル内に、加熱などにより気泡を発生させて、気泡の発生による体積の増加分だけ、ノズル先端から溶液を押し出すことができる。
2 ベース面
3 生物活性物質
4 基板
5 寸法
6 B面
7 寸法
8 A面
9 貫通穴
10 端部
11 端部
12 A面8と反対側の面
13 寸法
14 空気抜き穴
15 シリコン基板
16 第1のレジスト
17 第1のマスク
18 遮光部
19 光
20 第2のレジスト
21 第2のマスク
22 マスター基板
23 型枠
24 寸法
25 シリコン層
26 シリコン樹脂
27 空洞
28 プラスチック樹脂
29 切断線
30 プラスチック基板
31 固定ジグ
32 空洞
33 液高さ
34 貯留槽
35 液面
Claims (6)
- 基板に溶液を塗布する塗布部材であって、
内部に毛細菅流路を有する突起部と、
前記基板に対向し前記突起部内の毛細菅流路中からの溶液がメニスカスを形成する突起部先端の第1の基準面と、
前記突起部を包囲し、前記第1の基準面より更に前記基板方向に突出して前記基板に接する第2の基準面を有する支持部と、を備え、
前記支持部は、前記基板に接して当該基板とともに前記突起部周辺に閉空間を形成するとともに、前記毛細菅流路に毛細菅力を発生するため当該閉空間に通じる空気穴とを有することを特徴とする塗布部材。 - 前記第1の基準面は、略円形状又は矩形状であることを特徴とする請求項1に記載の塗布部材。
- 前記第1の基準面の面積と基板との空隙に形成される液体メニスカスの容積にて、塗布すべき溶液量を決定することを特徴とする請求項1に記載の塗布部材。
- 前記第1の基準面を前記基板の下側に配置して溶液を塗布することを特徴とする請求項1に記載の塗布部材。
- 基板に溶液を塗布する塗布方法であって、
内部に毛細菅流路を有する突起部を前記基板に対し所定の間隙を保持して設置し、
前記毛細菅流路より塗布すべき溶液を供給し、
前記突起部端面と前記基板との隙間にて液体メニスカスを形成し、
前記形成される液体メニスカスの容積にて所定量の溶液を前記基板に塗布することを特徴とする塗布方法。 - 前記第1の基準面を前記基板の下側に配置して溶液を塗布することを特徴とする請求項5に記載の塗布方法。
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