JP2008075149A - エアロゾル吐出ノズルおよび被膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】内部形状が微小な寸法精度と複雑な形状とを必要とする場合にも、部品点数が少なく短時間に製作可能なエアロゾル吐出ノズルおよび該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材表面に向けて吐出し衝突させて被膜を形成するためのエアロゾル吐出ノズル2であって、該エアロゾル吐出ノズル2は、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形され、エアロゾルを導入するための導入開口2daとエアロゾルを吐出する吐出開口2dbとを有し、導入開口2daの断面が円形であり、吐出開口2dbの断面がアスペクト比 5 以上の矩形である。
【選択図】図1
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材表面に向けて吐出し衝突させて被膜を形成するためのエアロゾル吐出ノズル2であって、該エアロゾル吐出ノズル2は、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形され、エアロゾルを導入するための導入開口2daとエアロゾルを吐出する吐出開口2dbとを有し、導入開口2daの断面が円形であり、吐出開口2dbの断面がアスペクト比 5 以上の矩形である。
【選択図】図1
Description
本発明は、微粒子を含むエアロゾルを基板等に吹付け、被膜や構造物を基板上に形成するエアロゾルデポジション(以下、ADと記す)法において使用されるエアロゾル吐出ノズルおよび該エアロゾル吐出ノズルを用いた被膜形成装置に関する。
基板上の膜の形成方法として、微粒子ビーム堆積法あるいはAD法と呼ばれる脆性材料の膜や構造物の形成方法がある。AD法は、脆性材料の微粒子を含むエアロゾルをノズルから基板に向けて吐出し、基板に微粒子を衝突させて、その機械的衝撃力を利用して脆性材料の多結晶構造物を基板上にダイレクトに形成する方法である。
AD法によって構造物を作製する場合、エアロゾルを噴射させるための矩形の吐出開口の長辺方向を拡大し、かつ吐出開口から吐出されるエアロゾル濃度が均一になるように、エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体の内部形状を工夫することによって、均一な膜厚の構造物を短時間で作製する方法が知られている(特許文献1参照)。
AD法によって構造物を作製する場合、エアロゾルを噴射させるための矩形の吐出開口の長辺方向を拡大し、かつ吐出開口から吐出されるエアロゾル濃度が均一になるように、エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体の内部形状を工夫することによって、均一な膜厚の構造物を短時間で作製する方法が知られている(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1ではノズル本体の内部形状が微小な寸法精度と複雑な形状とを必要とし、単純な機械加工では製作できず、分割製作となり、部品点数が多くなるという問題がある。また機械加工されたノズルは 2 つ割品となるため、接合部が生じる。接合部では必ず表面に接合段差が生じるため、ノズル内の接合段差を通過するエアロゾルの流れに乱れが生じ、所期の被膜が得られないという欠点がある。
一方、樹脂製ノズルは軽量で取り扱いも容易であり、部品点数が少なくて済むため、機械加工品と比較して短時間に作製が可能となることや、使用に際し交換作業の作業性が向上するなどの利点があるが、複雑な形状を持ったノズルを容易に作成することはできない。例えば射出成形加工では型抜きなどの動作から、一回の加工で目的の形状を得ることが困難であり、射出成形加工後に成形品を目的形状にするために、成形品の切削、接合、張り合わせ等数次にわたる追加工が必要となるという問題がある。
特開2003−247080号公報
本発明はこのような問題に対処するためになされたものであり、内部形状が微小な寸法精度と複雑な形状とを必要とする場合にも、部品点数が少なく短時間に製作可能なエアロゾル吐出ノズルおよび該ノズルを用いた被膜形成装置を提供することを目的とする。
本発明のエアロゾル吐出ノズルは、微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材表面に向けて吐出し衝突させて被膜を形成するためのエアロゾル吐出ノズルであって、該エアロゾル吐出ノズルは、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形されることを特徴とする。
また、上記エアロゾル吐出ノズルは、上記エアロゾルを導入するための導入開口と、該導入開口と連続的に繋がり上記エアロゾルを吐出する吐出開口とを有し、上記導入開口の断面が円形であり、上記吐出開口の断面がアスペクト比 5 以上の矩形であることを特徴とする。なお、各断面はエアロゾル吐出方向と垂直な断面であり、アスペクト比は、矩形吐出開口における長辺/短辺の値である。
また、上記エアロゾル吐出ノズルは、上記エアロゾルを導入するための導入開口と、該導入開口と連続的に繋がり上記エアロゾルを吐出する吐出開口とを有し、上記導入開口の断面が円形であり、上記吐出開口の断面がアスペクト比 5 以上の矩形であることを特徴とする。なお、各断面はエアロゾル吐出方向と垂直な断面であり、アスペクト比は、矩形吐出開口における長辺/短辺の値である。
上記微粒子は、セラミックス微粒子であることを特徴とする。
本発明の被膜形成装置は、微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー内でエアロゾル吐出ノズルから基材上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置であって、上記エアロゾル吐出ノズルが、本発明のエアロゾル吐出ノズルであることを特徴とする。
本発明のエアロゾル吐出ノズルは、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形されるので、部品点数が少なくて済み、機械加工品と比較して短時間に作製が可能となる。また光造形法により積層作製を実施するため、容易に複雑な形状とすることができる。
特に、エアロゾルを導入するための導入開口と、この導入開口と連続的になめらかに繋がりエアロゾルを吐出する吐出開口とを有し、導入開口の断面が円形であり、吐出開口の断面がアスペクト比 5 以上の矩形であるような複雑で微小な寸法精度が要求される形状のノズルとできる。
また、本発明のエアロゾル吐出ノズルは樹脂製であることから、金属製ノズルと比較して磨耗しにくく、形成される被膜に不純物の混入が少なくなる。また、軽く、部品点数も少なくなるため交換作業の作業性が向上する。
特に、エアロゾルを導入するための導入開口と、この導入開口と連続的になめらかに繋がりエアロゾルを吐出する吐出開口とを有し、導入開口の断面が円形であり、吐出開口の断面がアスペクト比 5 以上の矩形であるような複雑で微小な寸法精度が要求される形状のノズルとできる。
また、本発明のエアロゾル吐出ノズルは樹脂製であることから、金属製ノズルと比較して磨耗しにくく、形成される被膜に不純物の混入が少なくなる。また、軽く、部品点数も少なくなるため交換作業の作業性が向上する。
本発明の被膜形成装置は、上記本発明のエアロゾル吐出ノズルを用いるので、AD法において、不純物の混入が少ない被膜を効率よく形成でき、ノズルの交換作業も容易にできメンテナンス性に優れる。
本発明のエアロゾル吐出ノズルは、基材表面に優れた被膜を形成するためエアロゾル吐出の流れの最適化に必要な微小な寸法精度と複雑な形状を有し、光造形法により作製される。
光造形法について図7を用いて説明する。図7は光造形法の手順を示す図である。図7に示すように、まず目的のノズル形状をCADデータとしてコンピュータ上で作製するか外部からコンピュータに入力する(S1)。次にCADにより三次元の静止画像データに変換する(S2)。この三次元形状を1軸方向に直交する面で所定の厚さ毎にスライスして各層毎の断面形状データを得る(S3)。
この断面形状データに基づき、実際の成形を行なう。液状の光硬化性樹脂が満たされた容器内に少なくとも上下方向に駆動されるテーブルを配置する(S4)。
このテーブル面が一層分の厚みだけ樹脂液面下の位置にくるようにセットするとともに、テーブル上の樹脂層にレーザを照射しながら最下層の断面形状をなぞるように走査する。すると、樹脂層の内レーザがあてられた部分だけが硬化してテーブル上に最下層形状が形成される。次に、テーブルを一層分の厚みだけ下方に変位させる。すると既に形成されている最下層形状の面上を一層分の厚みの液体樹脂層が覆うことになる。この状態で第2層目の断面形状をなぞるようにレーザ走査し、最下層形状の面上に第2層形状が光硬化して形成される。以下順次にテーブルの下方移動と各層毎の断面データに基づくレーザ走査を繰り返し、各層毎の形状を形成し、最終的に目的形状のノズルが造形される(S5)。
なお、このような光造形を行なう光造形装置としては、ディーメック社製SCS−300Pを挙げることができる。
光造形法について図7を用いて説明する。図7は光造形法の手順を示す図である。図7に示すように、まず目的のノズル形状をCADデータとしてコンピュータ上で作製するか外部からコンピュータに入力する(S1)。次にCADにより三次元の静止画像データに変換する(S2)。この三次元形状を1軸方向に直交する面で所定の厚さ毎にスライスして各層毎の断面形状データを得る(S3)。
この断面形状データに基づき、実際の成形を行なう。液状の光硬化性樹脂が満たされた容器内に少なくとも上下方向に駆動されるテーブルを配置する(S4)。
このテーブル面が一層分の厚みだけ樹脂液面下の位置にくるようにセットするとともに、テーブル上の樹脂層にレーザを照射しながら最下層の断面形状をなぞるように走査する。すると、樹脂層の内レーザがあてられた部分だけが硬化してテーブル上に最下層形状が形成される。次に、テーブルを一層分の厚みだけ下方に変位させる。すると既に形成されている最下層形状の面上を一層分の厚みの液体樹脂層が覆うことになる。この状態で第2層目の断面形状をなぞるようにレーザ走査し、最下層形状の面上に第2層形状が光硬化して形成される。以下順次にテーブルの下方移動と各層毎の断面データに基づくレーザ走査を繰り返し、各層毎の形状を形成し、最終的に目的形状のノズルが造形される(S5)。
なお、このような光造形を行なう光造形装置としては、ディーメック社製SCS−300Pを挙げることができる。
本発明のエアロゾル吐出ノズルを形成するための光硬化性樹脂としては、ウレタンアクリレート系樹脂、エポキシ系樹脂を挙げることができる。ウレタンアクリレート系樹脂の市販品としては帝人製機製TSR−1938Nがあり、エポキシ系樹脂の市販品としては旭電化工業製HS−681、帝人製機製TSR−821、JSR社製SCR−9100シリーズ、SCR−710シリーズ、VANTICO社 (旧チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社)製SL−7540等がある。
本発明の一実施例に係るエアロゾル吐出ノズルを図1に基づいて説明する。図1は本発明のエアロゾル吐出ノズルの作製手段で作製されたエアロゾル吐出ノズルを示す斜視図である。図2は図1のエアロゾル吐出ノズルの内部開口形状を示す図である。
図1に示すように、本発明のエアロゾル吐出ノズル2は、円形状の導入開口2daを有する導入部2aと、矩形形状の吐出開口2dbを有する吐出部2bとを有し、内部空間2dは筐体2cに囲まれて形成される。吐出開口2dbの断面積は導入開口2daの断面積から連続的に減少する。吐出開口2dbの矩形形状はアスペクト比(長辺/短辺)5 以上である。
図1に示すように、本発明のエアロゾル吐出ノズル2は、円形状の導入開口2daを有する導入部2aと、矩形形状の吐出開口2dbを有する吐出部2bとを有し、内部空間2dは筐体2cに囲まれて形成される。吐出開口2dbの断面積は導入開口2daの断面積から連続的に減少する。吐出開口2dbの矩形形状はアスペクト比(長辺/短辺)5 以上である。
図2に示すようにエアロゾル吐出ノズルの内部空間2d形状は、吐出開口2dbの短辺方向と対応する導入開口2daの部位から、吐出開口2dbの短辺方向の部位に向かって短辺方向寸法を連続的に減少させていくとともに、吐出開口2dbの長辺方向と対応する導入開口2daの部位から、吐出開口2dbの長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法を連続的に拡大させていく形状である。
本発明の他の実施例に係るエアロゾル吐出ノズルを図3〜図5に基づいて説明する。図3〜図5はエアロゾル吐出ノズルの内部形状を示す斜視図である。
図3に示すように吐出開口2ebの短辺方向と対応する導入開口2eaの部位から、吐出開口2ebの短辺方向の部位に向かって短辺方向寸法をノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Aから連続的に減少させていくとともに、吐出開口2ebの長辺方向と対応する導入開口2eaの部位から、吐出開口2ebの長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法をノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Aから連続的に拡大させていくノズル内部空間2eを示す。
図3に示すように吐出開口2ebの短辺方向と対応する導入開口2eaの部位から、吐出開口2ebの短辺方向の部位に向かって短辺方向寸法をノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Aから連続的に減少させていくとともに、吐出開口2ebの長辺方向と対応する導入開口2eaの部位から、吐出開口2ebの長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法をノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Aから連続的に拡大させていくノズル内部空間2eを示す。
図4は吐出開口2fbの短辺方向と対応する導入開口2faの部位から、吐出開口2fbの短辺方向に向かって短辺方向寸法を連続的に減少させていくとともに、吐出開口2fbの長辺方向と対応する導入開口2faの部位から、吐出開口2fbの長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法を連続的に拡大させ、かつ吐出開口2fbを含む部分には断面積が一定の部分を有するノズル内部空間2fを示す。
図5は吐出開口2gbの短辺方向と対応する導入開口2gaの部位から、吐出開口2gbの短辺方向の部位に向かって短辺方向寸法をノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Bから連続的に減少させていくとともに、吐出開口2gbの長辺方向と対応する導入開口2gaの部位から、吐出開口2gbの長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法を上記ノズル本体のエアロゾル通過空間の任意の位置Bから連続的に拡大させ、かつ吐出開口2gbを含む部分には断面積が一定の部分を有する内部空間2gを示す。
本発明において使用できる微粒子としては被膜形成可能なものであればよく、主にセラミックス微粒子が挙げられる。セラミックス微粒子としては、例えば、アルミナ、ジルコニア、チタニア等の酸化物、炭化ケイ素、窒化ケイ素等の微粒子が挙げられる。
セラミックス微粒子以外でも、シリコン、ゲルマニウムなどのへき開性の強い脆性材料の微粒子を使用することも可能である。
セラミックス微粒子以外でも、シリコン、ゲルマニウムなどのへき開性の強い脆性材料の微粒子を使用することも可能である。
本発明において使用する微粒子の平均粒子径は、0.1μm〜2μm であることが好ましい。0.1μm 未満では凝集しやすくエアロゾル化は困難であり、2μm をこえるとAD法での膜形成はできない(膜成長しない)。なお、本発明において平均粒子径は日機装株式会社製:レーザー式粒度分析計マイクロトラックMT3000によって測定した値である。
また、被膜形成を良好に行なうため、基材への衝突時に微粒子が容易に粉砕するように、ボールミル、ジェットミル等の粉砕機を用いて微粒子にクラックを予め形成しておくことが好ましい。
また、被膜形成を良好に行なうため、基材への衝突時に微粒子が容易に粉砕するように、ボールミル、ジェットミル等の粉砕機を用いて微粒子にクラックを予め形成しておくことが好ましい。
本発明のエアロゾル吐出ノズルを用いた被膜形成装置を図6に基づいて説明する。図6は金属平板基材上にセラミックス被膜を形成する場合の被膜形成装置を示す図である。
図6に示すように、AD法による被膜形成装置3は、エアロゾル発生装置4と、真空チャンバー5を有する。真空チャンバー5内には、セラミックス被膜形成対象である基材6と、本発明のエアロゾル吐出ノズル1とが配設されている。真空チャンバー5の内部は真空ポンプ7によって減圧されるとともに、セラミックス微粒子の混入を防止するため、真空ポンプ7の直前に微粒子フィルター8が設けられている。基材6は、真空チャンバー5内において、XYテーブル9上に固定され水平方向に移動させられる(図中A)。
図6に示すように、AD法による被膜形成装置3は、エアロゾル発生装置4と、真空チャンバー5を有する。真空チャンバー5内には、セラミックス被膜形成対象である基材6と、本発明のエアロゾル吐出ノズル1とが配設されている。真空チャンバー5の内部は真空ポンプ7によって減圧されるとともに、セラミックス微粒子の混入を防止するため、真空ポンプ7の直前に微粒子フィルター8が設けられている。基材6は、真空チャンバー5内において、XYテーブル9上に固定され水平方向に移動させられる(図中A)。
内部にセラミックス微粒子を有するエアロゾル発生装置4は、外部にガス供給設備10を備え、ガス供給設備10から供給される搬送ガスによってセラミックス微粒子と搬送ガスとからなるエアロゾルが形成され、搬送ガスの流れと真空ポンプ7の吸引とによりエアロゾルは真空チャンバー5内のエアロゾル吐出ノズル1の導入開口(図1等参照)に供給される。エアロゾルの搬送ガスとしては、不活性ガスを使用する。使用可能な不活性ガスとしては、アルゴン、窒素、ヘリウム等が挙げられる。
なお、以上の構成において、エアロゾル吐出ノズル以外のエアロゾル発生装置等については、AD法において通常使用される任意の装置・部品等を利用できる。
なお、以上の構成において、エアロゾル吐出ノズル以外のエアロゾル発生装置等については、AD法において通常使用される任意の装置・部品等を利用できる。
本発明の被膜形成装置においてエアロゾル吐出ノズル1は、1本であっても複数本であってもよい。また、エアロゾル吐出ノズル1は、真空チャンバー5内で変位可能に構成してもよい。
エアロゾル吐出ノズル1の吐出開口(図1等参照)からエアロゾルを吐出しつつ、基材6をXYテーブル9により水平方向に移動させて、または、エアロゾル吐出ノズル1を移動させて、基材6上に所望の形状・厚さの被膜を形成する。
エアロゾル吐出ノズル1の吐出開口(図1等参照)からエアロゾルを吐出しつつ、基材6をXYテーブル9により水平方向に移動させて、または、エアロゾル吐出ノズル1を移動させて、基材6上に所望の形状・厚さの被膜を形成する。
図1に示す半径 6 mm の円形状の導入開口2daと、10 mm×1 mm の矩形状の吐出開口2dbとが、高さ 80 mm 間で連続して変位している内部空間2dを有し、上端が半径 10 mm の円形状の導入部2aと、底面が半径 20 mm の円形状の吐出部2bとで構成される円錐形の外部形状を有するエアロゾル吐出ノズル2を以下に示す方法で作製した。
実施例1
上記形状のエアロゾル吐出ノズルを、光硬化性樹脂としてJSR社製、光硬化性樹脂SCR−735を、光造形装置としてディーメック社製SCS−300Pをそれぞれ用いて、作製した。
得られたエアロゾル吐出ノズルは一工程で製作可能であった。
上記形状のエアロゾル吐出ノズルを、光硬化性樹脂としてJSR社製、光硬化性樹脂SCR−735を、光造形装置としてディーメック社製SCS−300Pをそれぞれ用いて、作製した。
得られたエアロゾル吐出ノズルは一工程で製作可能であった。
比較例1
上記形状のエアロゾル吐出ノズルを、ノズル基材としてJIS−SUS304を用い、放電加工、機械加工により作製した。
ノズル本体を少なくとも2分割する必要があり一工程での製作は不可能であった。また分割品を組み立てて得られたエアロゾル吐出ノズルの内面を研磨仕上げする必要があった。
上記形状のエアロゾル吐出ノズルを、ノズル基材としてJIS−SUS304を用い、放電加工、機械加工により作製した。
ノズル本体を少なくとも2分割する必要があり一工程での製作は不可能であった。また分割品を組み立てて得られたエアロゾル吐出ノズルの内面を研磨仕上げする必要があった。
実施例2〜実施例4および比較例2〜比較例3
図6に示す被膜形成装置3を用い、基材6(SUJ2製、30 mm×30 mm×2 mm (表面粗さ:Ra 0.25))の表面にアルミナ微粒子からなる被膜をAD法により形成した。エアロゾル噴射ノズル1としては、表1に示すアスペクト比の吐出開口部を持ったノズルを用いた。これらのノズルは、実施例1と同じ光硬化性樹脂および光造形装置により作製した。
AD法は、真空チャンバー3内において 300 Pa 以下の減圧下で、固定したエアロゾル噴射ノズル2からアルミナ微粒子を含むエアロゾルを、基材6に向けて噴射して被膜形成を行なった。基材6は 0.1 mm/分の速度で、往復移動させつつ、 20分間成膜した。
アルミナ微粒子は、大明化学工業社製:タイミクロンTM−DARを用い、平均粒子径 0.16μm で、加熱乾燥処理して使用した。なお、搬送ガスには窒素を用い、粒子速度は搬送ガス流量で制御した。得られた被膜の外観を観察し、剥れが生じていないものを成膜状態が良好と評価し「○」を、剥れが生じたものを不良と評価して「×」を、それぞれ表1に併記した。
図6に示す被膜形成装置3を用い、基材6(SUJ2製、30 mm×30 mm×2 mm (表面粗さ:Ra 0.25))の表面にアルミナ微粒子からなる被膜をAD法により形成した。エアロゾル噴射ノズル1としては、表1に示すアスペクト比の吐出開口部を持ったノズルを用いた。これらのノズルは、実施例1と同じ光硬化性樹脂および光造形装置により作製した。
AD法は、真空チャンバー3内において 300 Pa 以下の減圧下で、固定したエアロゾル噴射ノズル2からアルミナ微粒子を含むエアロゾルを、基材6に向けて噴射して被膜形成を行なった。基材6は 0.1 mm/分の速度で、往復移動させつつ、 20分間成膜した。
アルミナ微粒子は、大明化学工業社製:タイミクロンTM−DARを用い、平均粒子径 0.16μm で、加熱乾燥処理して使用した。なお、搬送ガスには窒素を用い、粒子速度は搬送ガス流量で制御した。得られた被膜の外観を観察し、剥れが生じていないものを成膜状態が良好と評価し「○」を、剥れが生じたものを不良と評価して「×」を、それぞれ表1に併記した。
本発明のエアロゾル吐出ノズルは、複雑な内部形状で高い寸法精度のエアロゾル吐出ノズルであり、一工程で効率よく作製されるので、各種産業部品等へのセラミックス被膜形成用のエアロゾル吐出ノズルとして好適に利用できる。
1 エアロゾル吐出ノズル
2 エアロゾル吐出ノズル
2a 導入部
2b 吐出部
2c 筐体
2d 内部空間
3 被膜形成装置
4 エアロゾル発生装置
5 真空チャンバー
6 基材
7 真空ポンプ
8 微粒子フィルター
9 XYテーブル
10 ガス供給設備
2 エアロゾル吐出ノズル
2a 導入部
2b 吐出部
2c 筐体
2d 内部空間
3 被膜形成装置
4 エアロゾル発生装置
5 真空チャンバー
6 基材
7 真空ポンプ
8 微粒子フィルター
9 XYテーブル
10 ガス供給設備
Claims (4)
- 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材表面に向けて吐出し衝突させて被膜を形成するためのエアロゾル吐出ノズルであって、
該エアロゾル吐出ノズルは、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形されることを特徴とするエアロゾル吐出ノズル。 - 前記エアロゾル吐出ノズルは、前記エアロゾルを導入するための導入開口と、該導入開口と連続的に繋がり前記エアロゾルを吐出する吐出開口とを有し、前記導入開口の断面が円形であり、前記吐出開口の断面がアスペクト比 5 以上の矩形であることを特徴とする請求項1記載のエアロゾル吐出ノズル。
- 前記微粒子は、セラミックス微粒子であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のエアロゾル吐出ノズル。
- 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー内でエアロゾル吐出ノズルから基材上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置であって、
前記エアロゾル吐出ノズルが、請求項1、請求項2または請求項3記載のエアロゾル吐出ノズルであることを特徴とする被膜形成装置。
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JP2011195885A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Fujitsu Ltd | エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 |
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