JP2008074042A - 微細成形モールド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微細成形モールドは、高融点金属または高融点金属の化合物からなり成形面の一部を形成し分断されている硬質膜を備える。
【選択図】図1
Description
(第一実施形態)
図1は本発明による微細成形モールドの製造方法の第一実施形態を示す断面図である。
以上、犠牲モールド12を形成する方法について説明した。
図2は本発明による微細成形モールドの製造方法の第二実施形態を示す断面図である。
はじめに図2Aに示すように、単結晶Siウェハからなる犠牲基板20上に微細成形モールド2の基板29(図2E参照)を形成するためのシード層21と基膜22とを堆積させる。犠牲基板20には石英、ガラス、結晶化ガラス、SiNx、AlNx、AlO等を用いても良い。シード層21は例えばスパッタによりCrを犠牲基板20の表面に0.02μm析出させ、続いてCuをスパッタにより0.1μm析出させることにより形成する。シード層21の形成にCVD等を用いても良い。基膜22は例えばCuをシード層21の表面に電解めっきにより200μm析出させることにより形成される。基膜22には例えばCuなどの金属の中でも相対的に熱伝導率が高い材料を用いることが望ましい。尚、Cuの代わりにスズやはんだ等の低融点金属や樹脂を基膜22の材料に用いても良い。
図3A、図3B、図3C、図3Dは本発明による微細成形モールドの製造方法の第三実施形態を示す断面図である。
はじめに図3Aに示すように、微細成形モールド3(図3D参照)の基板35を形成するための材料基板30に凹凸領域を形成し、凹凸領域上に微細成形モールド3の突部34を形成するためのシード層31、硬質膜32、導熱膜33を順次堆積させる。材料基板30には例えば単結晶Siを用い、凹凸領域の形成方法は第一実施形態に準ずる。
図3A、図3B、図3C、図3Eは本発明による微細成形モールドの製造方法の第四実施形態を示す断面図である。
第三実施形態に準じて図3Cに示すように導熱膜33と硬質膜32とシード層31の表層を材料基板30が露出するまで研削、研磨等により除去した後に、導熱膜33をエッチングにより選択的に除去し、材料基板30をダイシングにより分断すると、図3Eに示す微細成形モールド4が完成する。
図4は本発明による微細成形モールドの製造方法の第五実施形態を示す断面図である。
Claims (8)
- 高融点金属または高融点金属の化合物からなり成形面の一部を形成し分断されている硬質膜を備える、
微細成形モールド。 - 基板と、
前記基板の表面に接合され表層の少なくとも一部が前記基板の表面より硬度が高い前記硬質膜で形成されている複数の突部と、
を備える請求項1に記載の微細成形モールド。 - 前記突部を形成している前記硬質膜は、前記基板の表面の凹部の側面と底面とに密着している、
請求項2に記載の微細成形モールド。 - 前記高融点金属の化合物は、高融点金属の窒化物または酸化窒化物である、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の微細成形モールド。 - 犠牲基板の表面に凹凸領域を形成し、
前記硬質膜を前記凹凸領域上に堆積させ、
前記犠牲基板が露出するまで前記硬質膜を除去し、
前記犠牲基板上と前記硬質膜上とに前記微細成形モールドの前記基板を形成するための膜を堆積させ、
前記犠牲基板を除去することにより前記突部を形成する、
請求項2に記載の微細成形モールドの製造方法。 - 犠牲基板上に微細成形モールドの前記基板を形成するための膜を堆積させ、
前記基板を形成するための膜に至る複数の通孔を前記犠牲基板に形成し、
前記硬質膜を前記犠牲基板の上と前記通孔内に露出している前記基板を形成するための膜の上とに堆積させ、
前記犠牲基板が露出するまで前記突部を形成するための膜の表層を除去した後に、前記犠牲基板を除去することにより前記突部を形成する、
請求項2に記載の微細成形モールドの製造方法。 - 微細成形モールドの前記基板を形成するための材料基板の表面に凹凸領域を形成し、
前記微細成形モールドの前記突部を形成するための前記硬質膜を前記凹凸領域上に堆積させ、
前記材料基板が露出するまで前記硬質膜を除去し、
前記材料基板の表層を除去することにより前記突部と前記基板とを形成する、
請求項2に記載の微細成形モールドの製造方法。 - 微細成形モールドの前記基板を形成するための材料基板の表面にフォトレジストのパターンを形成することにより前記材料基板の表面と前記フォトレジストの表面とからなる凹凸領域を形成し、
前記硬質膜を前記凹凸領域内に露出している前記材料基板上に電解めっきにより堆積させ、
前記フォトレジストを除去することにより前記突部を形成する、
ことを含む請求項2に記載の微細成形モールドの製造方法。
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