JP2008071880A - Manufacturing method of stacked electronic component - Google Patents

Manufacturing method of stacked electronic component Download PDF

Info

Publication number
JP2008071880A
JP2008071880A JP2006248320A JP2006248320A JP2008071880A JP 2008071880 A JP2008071880 A JP 2008071880A JP 2006248320 A JP2006248320 A JP 2006248320A JP 2006248320 A JP2006248320 A JP 2006248320A JP 2008071880 A JP2008071880 A JP 2008071880A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
green sheet
arrangement
green
electrode pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006248320A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Chiri Sakuma
智理 佐久間
Takayoshi Ito
考喜 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2006248320A priority Critical patent/JP2008071880A/en
Publication of JP2008071880A publication Critical patent/JP2008071880A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a stacked electronic component capable of further improving electric endurance characteristics. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the stacked electronic component laminates a green sheet 14A and a green sheet 14B so that a placement region 30A of an electrode pattern 20 on the green sheet 14A overlaps a non-placement region 40B of the electrode pattern 20 on the green sheet 14B and that a non-placement region 30B of the electrode pattern 20 on the green sheet 14A overlaps a placement region 40A of the pattern 20 on the green sheet 14B. Therefore, a thickness of the green sheet 14 increases between the electrode patterns 20 and 20. In addition, a defect of the green sheet 14 does not expand beyond a sheet interface, thereby reducing possibility of a defect occurring on the same position on the green sheets 14 and 14. The electric endurance characteristics of a ceramic capacitor 1 can thus be improved. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、積層型電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer electronic component.

従来、この種の技術の分野における積層型電子部品の製造方法では、一定のピッチで電極パターンを印刷したグリーンシートをシート状に切り出して複数層積層したグリーンシート積層体を形成する。そして、グリーンシート積層体に所定温度の焼成処理を施すことにより、内部電極を有する誘電体層を作製する(例えば特許文献1参照)。
特開2005−72121号公報
Conventionally, in a method for manufacturing a multilayer electronic component in the field of this type of technology, a green sheet laminate in which a plurality of layers are laminated by cutting out a green sheet on which an electrode pattern is printed at a constant pitch is formed. And the dielectric material layer which has an internal electrode is produced by performing the baking process of predetermined temperature to a green sheet laminated body (for example, refer patent document 1).
JP-A-2005-72121

ところで、積層型電子部品の耐電圧特性を向上させる方法としては、誘電体層の厚さを厚くする方法が効果的であることが一般に知られている。前述した積層型電子部品の製造方法においても、準備するグリーンシートの厚さを厚くすることで、作製された積層型電子部品の耐電圧特性をある程度向上させることが可能である。これに対し、本願の発明者らは、単に誘電体層の厚さを厚くしただけの積層型電子部品に比べて、耐電圧特性の更なる向上が図られた積層型電子部品を作製する技術を新たに見出した。   By the way, it is generally known that a method of increasing the thickness of the dielectric layer is effective as a method of improving the withstand voltage characteristics of the multilayer electronic component. Also in the manufacturing method of the multilayer electronic component described above, the withstand voltage characteristics of the manufactured multilayer electronic component can be improved to some extent by increasing the thickness of the prepared green sheet. On the other hand, the inventors of the present application provide a technique for producing a multilayer electronic component in which the withstand voltage characteristics are further improved as compared with a multilayer electronic component in which the thickness of the dielectric layer is simply increased. Newly found.

すなわち、本発明は、耐電圧特性の更なる向上を図ることができる積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。   That is, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer electronic component that can further improve the withstand voltage characteristics.

本発明に係る積層型電子部品の製造方法では、グリーンシート上に電極パターンが配置された配置領域と電極パターンが配置されない非配置領域とを所定の配列パターンで形成した第1のシートと、グリーンシート上に第1のシートと異なる配列パターンで配置領域と非配置領域とを形成した第2のシートとを形成するシート形成工程と、第1のシートと第2のシートとを複数層積層してシート積層体を形成する積層体形成工程と、シート積層体を焼成する焼成工程とを備え、積層体形成工程において、第1のシートの配置領域と、第2のシートの非配置領域とが積層方向に重ね合わさり、かつ第1のシートの非配置領域と、第2のシートの配置領域とが積層方向に重ね合わさるように、第1のシートと第2のシートとを積層することを特徴としている。   In the method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention, a first sheet in which an arrangement area where an electrode pattern is arranged on a green sheet and a non-arrangement area where no electrode pattern is arranged are formed in a predetermined arrangement pattern, A sheet forming step of forming a second sheet in which an arrangement region and a non-arrangement region are formed in an arrangement pattern different from that of the first sheet on the sheet; and a plurality of layers of the first sheet and the second sheet are laminated. A laminated body forming step for forming the sheet laminated body and a firing step for firing the sheet laminated body. In the laminated body forming step, an arrangement area of the first sheet and a non-arrangement area of the second sheet are provided. The first sheet and the second sheet are stacked such that the first sheet non-arrangement area and the second sheet arrangement area overlap each other in the lamination direction. It is.

この積層型電子部品の製造方法では、積層体形成工程において、第1のシートの配置領域と、第2のシートの非配置領域とが積層方向に重ね合わさり、かつ第1のシートの非配置領域と、第2のシートの配置領域とが積層方向に重ね合わさるように、第1のシートと第2のシートとを積層する。したがって、作製したシート積層体を断面方向から見た場合、第1のシートの電極パターンの間には、少なくとも2層のグリーンシートが介在し、第2のシードの電極パターンの間にも、少なくとも2層のグリーンシートが介在する。このため、実質的に電極パターン間のグリーンシートの厚さを増大化でき、耐電圧特性の十分な確保が可能となる。また、電極パターン間に複数層のグリーンシートを介在させることで、グリーンシートに割れ・欠け等の欠陥が生じたとしても、その欠陥がシート界面を超えて増長することはなく、上下のグリーンシートにおいて同じ位置に欠陥が生じる確率も極めて低く抑えられる。したがって、この積層型電子部品の製造方法では、作製した積層型電子部品の耐電圧特性の更なる向上を図ることができる。   In this method for manufacturing a laminated electronic component, in the laminated body forming step, the first sheet placement area and the second sheet non-placement area overlap each other in the stacking direction, and the first sheet non-placement area. Then, the first sheet and the second sheet are stacked so that the arrangement area of the second sheet overlaps with the stacking direction. Accordingly, when the produced sheet laminate is viewed from the cross-sectional direction, at least two green sheets are interposed between the electrode patterns of the first sheet, and at least between the electrode patterns of the second seed. Two layers of green sheets intervene. For this reason, the thickness of the green sheet between electrode patterns can be increased substantially, and sufficient withstand voltage characteristics can be ensured. Also, by interposing multiple layers of green sheets between the electrode patterns, even if defects such as cracks or chips occur in the green sheets, the defects do not increase beyond the sheet interface, and the upper and lower green sheets The probability that a defect will occur at the same position in is also kept very low. Therefore, in this method for manufacturing a multilayer electronic component, it is possible to further improve the withstand voltage characteristics of the manufactured multilayer electronic component.

また、所望の耐電圧特性に基づいて、シート積層体の積層方向における電極パターン間の層間厚さと、電極パターン間に介在させるグリーンシートのシート数とを決定するシート条件決定工程を更に備えたことが好ましい。シート条件決定工程において、所望の耐電圧特性に基づく最適な層間厚さ及びシート数を選択することにより、かかる所望の耐電圧特性を有する積層型電子部品を効率良く作製できる。   In addition, a sheet condition determining step for determining the interlayer thickness between the electrode patterns in the stacking direction of the sheet laminate and the number of green sheets interposed between the electrode patterns based on desired withstand voltage characteristics is further provided. Is preferred. By selecting the optimum interlayer thickness and the number of sheets based on the desired withstand voltage characteristics in the sheet condition determining step, it is possible to efficiently produce a multilayer electronic component having such desired withstand voltage characteristics.

また、シート形成工程において、可撓性を有するフィルム上に第1のシート及び第2のシートの各グリーンシートをそれぞれ形成すると共に、前記配置領域及び前記非配置領域を囲うように、各グリーンシート上にダミー電極パターンを形成することが好ましい。この場合、ダミー電極パターンによって、配置領域及び非配置領域の周りの部分の第1のシート及び第2のシートの厚み及び強度を増加させることができる。これにより、積層体形成工程において、第1のシートと第2のシートとを積層する際に、第1のシート及び第2のシートから可撓性を有するフィルムを容易に剥離することが可能となる。また、フィルムを剥離する際のシート周縁部での裂けの発生も抑止できる。   Further, in the sheet forming step, the green sheets of the first sheet and the second sheet are respectively formed on the flexible film, and each green sheet is enclosed so as to surround the placement area and the non-placement area. It is preferable to form a dummy electrode pattern thereon. In this case, the thickness and strength of the first sheet and the second sheet around the placement area and the non-placement area can be increased by the dummy electrode pattern. Thereby, when laminating the first sheet and the second sheet in the laminate forming step, it is possible to easily peel the flexible film from the first sheet and the second sheet. Become. Moreover, the generation | occurrence | production of the tear in the sheet | seat peripheral part at the time of peeling a film can also be suppressed.

本発明に係る積層型電子部品の製造方法によれば、耐電圧特性の更なる向上を図ることができる。   According to the method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention, the withstand voltage characteristics can be further improved.

以下、図面を参照しながら、本発明に係る積層型電子部品の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment of a method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る積層型電子部品の製造方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの構成を示す断面図である。図1に示すように、セラミックコンデンサ1は、略直方体形状をなす素子部2と、この素子部2の長手方向における両端部に形成された一対の端子電極3,3とを備えている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a ceramic capacitor manufactured by using a multilayer electronic component manufacturing method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the ceramic capacitor 1 includes an element portion 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape, and a pair of terminal electrodes 3 and 3 formed at both ends in the longitudinal direction of the element portion 2.

素子部2は、誘電体層4と、内部電極層5とを有し、誘電体層4と内部電極層5とが交互に積層されて構成されている。また、素子部2の積層方向の両端には、内部電極層5が形成されていない誘電体層4が保護層としてそれぞれ積層されている。なお、図1では簡略化されているが、誘電体層4と内部電極層5とは、実際には約300層程度積層されている。   The element unit 2 includes dielectric layers 4 and internal electrode layers 5, and the dielectric layers 4 and the internal electrode layers 5 are alternately stacked. In addition, dielectric layers 4 on which the internal electrode layer 5 is not formed are laminated as protective layers at both ends of the element unit 2 in the lamination direction. Although simplified in FIG. 1, the dielectric layer 4 and the internal electrode layer 5 are actually laminated by about 300 layers.

上下に隣り合う内部電極層5,5同士は、一定の面積で対向していると共に、誘電体層4によって互いに電気的に絶縁されている。内部電極層5,5の一端は、所定のギャップLをもって、互いに異なる一方の端子電極3,3と離間している。また、内部電極層5,5の他端は、誘電体層4の端まで延在し、互いに異なる他方の端子電極3,3に電気的に接続されている。したがって、端子電極3,3に所定の電圧を印加すると、上下で対向する内部電極層5,5間に、対向面積に比例する電荷が蓄えられる。   The internal electrode layers 5 and 5 adjacent to each other in the upper and lower sides face each other with a certain area and are electrically insulated from each other by the dielectric layer 4. One end of each of the internal electrode layers 5 and 5 is separated from one of the different terminal electrodes 3 and 3 with a predetermined gap L. The other ends of the internal electrode layers 5 and 5 extend to the end of the dielectric layer 4 and are electrically connected to the other terminal electrodes 3 and 3 different from each other. Therefore, when a predetermined voltage is applied to the terminal electrodes 3, 3, charges proportional to the facing area are stored between the internal electrode layers 5, 5 facing vertically.

続いて、上述したセラミックコンデンサ1の製造方法について説明する。このセラミックコンデンサの製造方法は、主としてシート条件決定工程、シート形成工程、積層体形成工程、及び焼成工程の4工程を備えている。   Then, the manufacturing method of the ceramic capacitor 1 mentioned above is demonstrated. This method for manufacturing a ceramic capacitor mainly includes four steps of a sheet condition determining step, a sheet forming step, a laminate forming step, and a firing step.

[シート条件決定工程]
シート条件決定工程では、セラミックコンデンサ1における所望の耐電圧特性に基づいて、内部電極層5,5間に介在させる誘電体層4の条件を決定する。より具体的には、後述するシート積層体25における積層方向の電極パターン20,20の層間厚さと、電極パターン20,20間に介在させるグリーンシート14のシート数を決定する(図5(a)参照)。かかるシート条件の決定には、以下の式(1)を用いる。
T=t+t+…+t …(1)
[Sheet condition determination process]
In the sheet condition determining step, the condition of the dielectric layer 4 interposed between the internal electrode layers 5 and 5 is determined based on a desired withstand voltage characteristic in the ceramic capacitor 1. More specifically, the interlayer thickness of the electrode patterns 20 and 20 in the stacking direction in the sheet stack 25 described later and the number of green sheets 14 interposed between the electrode patterns 20 and 20 are determined (FIG. 5A). reference). The following formula (1) is used to determine the sheet condition.
T = t 1 + t 2 +... + T n (1)

式(1)において、Tは、セラミックコンデンサ1における所望の耐電圧特性を得るために必要とされる電極パターン20,20間の層間隔である。また、nは、グリーンシート14の厚さを確保するために電極パターン20,20間に介在させるグリーンシート14のシート数であり、tは、各グリーンシート14の厚さである。 In the formula (1), T is a layer interval between the electrode patterns 20 and 20 required for obtaining a desired withstand voltage characteristic in the ceramic capacitor 1. Further, n is the number of the green sheets 14 interposed between the electrode patterns 20 and 20 in order to ensure the thickness of the green sheet 14, and t n is the thickness of each green sheet 14.

図2に、セラミックコンデンサ1の耐電圧特性に対する層間厚さT及びシート数nの設定例を示す。図2に示す例では、耐電圧が6.3Vである場合には、T=2.8μm、n=2枚となっており、耐電圧が25Vである場合には、T=4.2μm、n=3枚となっている。また、耐電圧が50Vである場合には、T=5.6μm、n=4枚となっており、耐電圧が100Vである場合には、T=7.0μm、n=5枚となっている。本実施形態では、耐電圧が6.3Vである場合について、以下の説明を進める。 Figure 2 illustrates the interlayer thickness T for the withstand voltage characteristics of the ceramic capacitor 1, and an example of setting the number of sheets n. In the example shown in FIG. 2, when the withstand voltage is 6.3V, T = 2.8 μm and n = 2 sheets, and when the withstand voltage is 25V, T = 4.2 μm, n = 3. When the withstand voltage is 50V, T = 5.6 μm and n = 4 sheets, and when the withstand voltage is 100V, T = 7.0 μm and n = 5 sheets. Yes. In the present embodiment, the following description will be made on the case where the withstand voltage is 6.3V.

[シート形成工程]
シート形成工程では、まず、図3に示すように、例えばドクターブレード装置10を用いることにより、繰出ローラ及び巻取ローラ(図示しない)によって搬送される長尺状のキャリアフィルム11(可撓性のフィルム)の表面に、セラミック粉体を含むスラリー12を塗布する。これにより、キャリアフィルム11の表面に未乾燥状態のセラミックグリーンシート13を形成する。そして、キャリアフィルム11上のセラミックグリーンシート13を所定の乾燥工程によって乾燥させ、厚さ約1.4μmのグリーンシート14を形成する。
[Sheet formation process]
In the sheet forming step, first, as shown in FIG. 3, for example, by using a doctor blade device 10, a long carrier film 11 (flexible film) conveyed by a feeding roller and a take-up roller (not shown). A slurry 12 containing ceramic powder is applied to the surface of the film. As a result, an undried ceramic green sheet 13 is formed on the surface of the carrier film 11. Then, the ceramic green sheet 13 on the carrier film 11 is dried by a predetermined drying process to form a green sheet 14 having a thickness of about 1.4 μm.

グリーンシート14を形成した後、例えばAgを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷する。これにより、グリーンシート14の表面に、電極パターン20が配置された配置領域と電極パターンが配置されない非配置領域とを形成する。形成する電極パターン20の配列パターンの種類は、シート条件決定工程で定めたシート数nに応じてn種類のパターンを準備する。本実施形態では、シート数nが2であるので、図4(a)及び(b)にそれぞれ示すように、配置領域及び非配置領域の配列パターンが互いに異なる2種類のグリーンシート(第1のシート)14Aとグリーンシート(第2のシート)14Bとを形成する。   After forming the green sheet 14, for example, a conductive paste mainly containing Ag is screen-printed. Thereby, the arrangement | positioning area | region where the electrode pattern 20 is arrange | positioned, and the non-arrangement area | region where an electrode pattern is not arrange | positioned are formed in the surface of the green sheet 14. FIG. As the types of arrangement patterns of the electrode patterns 20 to be formed, n types of patterns are prepared according to the number of sheets n determined in the sheet condition determining step. In the present embodiment, since the number n of sheets is 2, as shown in FIGS. 4A and 4B, two types of green sheets (first sheets) having different arrangement patterns of the arrangement area and the non-arrangement area are provided. Sheet) 14A and green sheet (second sheet) 14B are formed.

グリーンシート14Aの表面には、図4(a)に示すように、5行×5列のマトリクス状に矩形の電極パターン20を形成する。電極パターン20の各列は、電極パターン20の幅よりも広い間隔d1をもって、隣り合う電極パターン20の列と離間した状態となっている。これにより、電極パターン20の各列に沿う領域は配置領域30Aとなり、隣り合う電極パターン20の列間は、電極パターン20が配置されていない非配置領域40Aとなっている。   On the surface of the green sheet 14A, as shown in FIG. 4A, rectangular electrode patterns 20 are formed in a matrix of 5 rows × 5 columns. Each column of the electrode pattern 20 is in a state of being separated from the column of adjacent electrode patterns 20 with an interval d1 wider than the width of the electrode pattern 20. Thereby, the area | region along each row | line | column of the electrode pattern 20 becomes the arrangement | positioning area | region 30A, Between the row | line | columns of the adjacent electrode pattern 20 becomes the non-arrangement area | region 40A where the electrode pattern 20 is not arrange | positioned.

一方、グリーンシート14Bの表面には、図4(b)に示すように、5行×4列のマトリクス状に矩形の電極パターン20を形成する。また、隣り合う電極パターン20の列間と、電極パターン20の両端列よりも外側の領域とには、電極パターン20の幅よりも広い間隔d1をもって、電極パターン20が形成されていない領域が設けられている。そして、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の配置領域30B及び非配置領域40Bの配列パターンは、グリーンシート14Aにおける電極パターン20の配置領域30A及び非配置領域40Aの配列パターンに対して反転した状態となっている。   On the other hand, a rectangular electrode pattern 20 is formed on the surface of the green sheet 14B in a matrix of 5 rows × 4 columns as shown in FIG. 4B. In addition, a region where the electrode pattern 20 is not formed is provided between the columns of the adjacent electrode patterns 20 and a region outside the both end columns of the electrode pattern 20 with a distance d1 wider than the width of the electrode pattern 20. It has been. The arrangement pattern of the arrangement area 30B and the non-arrangement area 40B of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B is inverted with respect to the arrangement pattern of the arrangement area 30A and the non-arrangement area 40A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A. ing.

したがって、グリーンシート14Aにおける電極パターン20の配置領域30A及び非配置領域40Aと、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の配置領域30B及び非配置領域40Bとの配置関係を対比すると、グリーンシート14Aの配置領域30Aとグリーンシート14Bの非配置領域40Bとが対応し、グリーンシート14Bの配置領域30Bとグリーンシート14Aの非配置領域40Aとが対応するようになっている。   Therefore, when the arrangement relationship between the arrangement region 30A and non-arrangement region 40A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A and the arrangement region 30B and non-arrangement region 40B of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B is compared, the arrangement region of the green sheet 14A 30A corresponds to the non-arrangement area 40B of the green sheet 14B, and the arrangement area 30B of the green sheet 14B and the non-arrangement area 40A of the green sheet 14A correspond to each other.

また、グリーンシート14A及びグリーンシート14Bの表面には、電極パターン20と同様の導電ペーストをスクリーン印刷することにより、ダミー電極パターン21をそれぞれ形成する。ダミー電極パターン21の配列パターンは、例えば4つのダミー電極パターン21で一辺が構成される矩形状かつ環状のパターンとする。そして、電極パターン20の配置領域30A,40A及び非配置領域30B,40Bをそれぞれ囲うようにダミー電極パターン21を配置する。なお、ダミー電極パターン21の外側には、位置合わせ用のマーキング(図示しない)を形成する。   Also, dummy electrode patterns 21 are formed on the surfaces of the green sheet 14A and the green sheet 14B by screen printing a conductive paste similar to the electrode pattern 20, respectively. The arrangement pattern of the dummy electrode patterns 21 is, for example, a rectangular and annular pattern in which one side is constituted by the four dummy electrode patterns 21. And the dummy electrode pattern 21 is arrange | positioned so that the arrangement | positioning area | regions 30A and 40A and the non-arrangement area | regions 30B and 40B of the electrode pattern 20 may be enclosed, respectively. In addition, an alignment marking (not shown) is formed outside the dummy electrode pattern 21.

電極パターン20、ダミー電極パターン21、及びマーキングを形成した後、ブレードカッター等を用いて、上述した配置領域30A,40A、非配置領域30B,40B、及びダミー電極パターン21の外縁の切断線23に沿ってグリーンシート14を矩形に切断する。これにより、グリーンシート14からグリーンシート14Aとグリーンシート14Bとを切り出す。   After forming the electrode pattern 20, the dummy electrode pattern 21, and the marking, using the blade cutter or the like, the arrangement regions 30 </ b> A and 40 </ b> A, the non-arrangement regions 30 </ b> B and 40 </ b> B, and the cutting line 23 at the outer edge of the dummy electrode pattern 21 are Then, the green sheet 14 is cut into a rectangle. Thereby, the green sheet 14A and the green sheet 14B are cut out from the green sheet 14.

[積層体形成工程]
積層体形成工程では、図5(a)に示すように、切り出したグリーンシート14Aとグリーンシート14Bとからキャリアフィルム11をそれぞれ剥離し、マーキングによる位置合わせをしながらグリーンシート14Aにグリーンシート14Bを積層する。これにより、積層したグリーンシート14A,14Bを、図4におけるY方向に直交する断面でみた場合に、グリーンシート14Aにおける電極パターン20の配置領域30Aと、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の非配置領域40Bとが積層方向に重ね合わさり、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の配置領域30Bと、グリーンシート14Aにおける電極パターン20の非配置領域40Aとが積層方向に重ね合わさる。
[Laminated body forming step]
In the laminated body forming step, as shown in FIG. 5A, the carrier film 11 is peeled off from each of the cut green sheet 14A and the green sheet 14B, and the green sheet 14B is placed on the green sheet 14A while performing alignment by marking. Laminate. Accordingly, when the stacked green sheets 14A and 14B are viewed in a cross section orthogonal to the Y direction in FIG. 4, the arrangement area 30A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A and the non-arrangement area of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B. 40B overlaps in the stacking direction, and the arrangement region 30B of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B and the non-arrangement region 40A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A overlap in the stacking direction.

一組目のグリーンシート14A,14Bの積層が完了した後、二組目のグリーンシート14A,14Bを積層する。このとき、二組目のグリーンシート14A,14Bのマーキングの位置と、一組目のグリーンシート14A,14Bのマーキングの位置とが、図4におけるY方向にギャップL(図1参照)の分だけオフセットするようにして、一組目のグリーンシート14A,14Bに二組目のグリーンシート14A,14Bを積層する。   After the lamination of the first set of green sheets 14A and 14B is completed, the second set of green sheets 14A and 14B is laminated. At this time, the marking positions of the second set of green sheets 14A and 14B and the marking positions of the first set of green sheets 14A and 14B are equivalent to the gap L (see FIG. 1) in the Y direction in FIG. The second set of green sheets 14A and 14B is stacked on the first set of green sheets 14A and 14B so as to be offset.

以下、同様の手順を繰り返してグリーンシート14Aとグリーンシート14Bとを交互に積層し、最後にグリーンシート14における積層方向の両端面に、電極パターン20を形成していないグリーンシート14を保護層として各2層ずつ積層すると、図5(b)に示すように、シート積層体25が形成される。   Thereafter, the green sheet 14A and the green sheet 14B are alternately laminated by repeating the same procedure, and finally the green sheet 14 in which the electrode pattern 20 is not formed on both end faces in the lamination direction of the green sheet 14 is used as a protective layer. When two layers are laminated, a sheet laminate 25 is formed as shown in FIG.

[焼成工程]
焼成工程では、積層体形成工程で得られたシート積層体25をプレス等によって圧着した後、所定のサイズにチップ化し、所定の温度で脱脂・焼成する。これにより、素子部2が形成される。その後、素子部2の両端に導体ペーストを塗布・焼付けして端子電極3,3を形成すると、図1に示したセラミックコンデンサ1が完成する。
[Baking process]
In the firing step, the sheet laminate 25 obtained in the laminate formation step is pressure-bonded by a press or the like, and then chipped into a predetermined size, and degreased and fired at a predetermined temperature. Thereby, the element part 2 is formed. Thereafter, a conductor paste is applied and baked on both ends of the element portion 2 to form the terminal electrodes 3 and 3, thereby completing the ceramic capacitor 1 shown in FIG.

以上説明したように、この積層型電子部品の製造方法では、積層体形成工程において、グリーンシート14Aにおける電極パターン20の配置領域30Aと、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の非配置領域40Bとが積層方向に重ね合わさり、かつグリーンシート14Aにおける電極パターン20の非配置領域30Bと、グリーンシート14Bにおける電極パターン20の配置領域40Aとが積層方向に重ね合わさるように、グリーンシート14Aとグリーンシート14Bとを積層する。   As described above, in this multilayer electronic component manufacturing method, in the laminated body forming step, the arrangement region 30A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A and the non-arrangement region 40B of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B are laminated. The green sheet 14A and the green sheet 14B so that the non-arrangement region 30B of the electrode pattern 20 in the green sheet 14A and the arrangement region 40A of the electrode pattern 20 in the green sheet 14B overlap in the stacking direction. Laminate.

したがって、作製したシート積層体25を断面方向から見た場合、電極パターン20,20の間には2層のグリーンシート14が介在しており、実質的に電極パターン20,20間のグリーンシート14の厚さが増大化する。また、電極パターン20,20間に複数層のグリーンシート14を介在させることで、グリーンシート14に割れ・欠け等の欠陥が生じたとしても、その欠陥がシート界面を超えて増長することはなく、上下のグリーンシート14,14において同じ位置に欠陥が生じる確率も極めて低く抑えられる。したがって、この積層型電子部品の製造方法では、作製したセラミックコンデンサ1の耐電圧特性の更なる向上を図ることができる。   Therefore, when the produced sheet laminate 25 is viewed from the cross-sectional direction, the two layers of the green sheet 14 are interposed between the electrode patterns 20 and 20, and the green sheet 14 between the electrode patterns 20 and 20 is substantially interposed. Increases in thickness. Moreover, even if a defect such as a crack or a chip occurs in the green sheet 14 by interposing a plurality of layers of the green sheet 14 between the electrode patterns 20 and 20, the defect does not increase beyond the sheet interface. In addition, the probability that a defect occurs at the same position in the upper and lower green sheets 14 and 14 can be suppressed to an extremely low level. Therefore, in this method for manufacturing a multilayer electronic component, the withstand voltage characteristics of the manufactured ceramic capacitor 1 can be further improved.

また、この積層型電子部品の製造方法では、所望の耐電圧特性に基づいて、グリーンシート14のシート厚と、積層方向から見て同位置に位置する電極パターン20,20の間に介在するグリーンシート14のシート数とを決定する。このように、所望の耐電圧特性に基づく最適なシート厚及びシート数を選択することにより、かかる所望の耐電圧特性を有するセラミックコンデンサ1を効率良く作製できる。   Further, in this multilayer electronic component manufacturing method, the green thickness interposed between the sheet thickness of the green sheet 14 and the electrode patterns 20 and 20 located at the same position when viewed from the stacking direction is based on desired withstand voltage characteristics. The number of sheets 14 is determined. Thus, by selecting the optimum sheet thickness and number of sheets based on the desired withstand voltage characteristics, the ceramic capacitor 1 having such desired withstand voltage characteristics can be efficiently manufactured.

さらに、この積層型電子部品の製造方法では、シート形成工程において、配置領域30A,40A及び非配置領域30B,40Bをそれぞれ囲うように、各グリーンシート14上にダミー電極パターン21を形成している。そのため、ダミー電極パターン21によって、配置領域30A,40A及び非配置領域30B,40Bの周りの部分のグリーンシート14Aとグリーンシート14Bの厚み及び強度を増加させることができる。これにより、積層体形成工程において、グリーンシート14Aとグリーンシート14Bとを積層する際に、グリーンシート14Aとグリーンシート14Bからキャリアフィルム11を容易に剥離することが可能となる。また、キャリアフィルム11の剥離が容易になると、キャリアフィルム11を剥離する際のシート周縁部での裂けの発生も抑止され、仮に裂けが発生したとしても、配置領域30A,40A及び非配置領域30B,40Bへの裂けの到達も防止される。なお、このようなダミー電極パターン21は、図4に示したような矩形状かつ環状のパターンに限られず、例えば配置領域30A,40A及び非配置領域30B,40Bの列方向と平行な方向にのみ形成するようにしてもよい。   Furthermore, in this multilayer electronic component manufacturing method, the dummy electrode pattern 21 is formed on each green sheet 14 so as to surround the placement areas 30A and 40A and the non-placement areas 30B and 40B in the sheet forming step. . Therefore, the dummy electrode pattern 21 can increase the thickness and strength of the green sheet 14A and the green sheet 14B around the arrangement regions 30A and 40A and the non-arrangement regions 30B and 40B. Thereby, when laminating | stacking the green sheet 14A and the green sheet 14B in a laminated body formation process, it becomes possible to peel the carrier film 11 from the green sheet 14A and the green sheet 14B easily. Further, when the carrier film 11 is easily peeled off, the occurrence of tearing at the peripheral edge of the sheet when the carrier film 11 is peeled is suppressed, and even if tearing occurs, the placement regions 30A and 40A and the non-placement region 30B , 40B is also prevented from reaching the tear. Such a dummy electrode pattern 21 is not limited to the rectangular and annular pattern as shown in FIG. 4, for example, only in a direction parallel to the column direction of the arrangement regions 30A and 40A and the non-arrangement regions 30B and 40B. You may make it form.

本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えばシート形成工程においてグリーンシート14に形成する電極パターン20の配列パターンは、種々の変形を適用し得る。例えば、図6(a)に示すように、電極パターン20を略市松模様状に形成し、電極パターン20の配置領域30Cと非配置領域40Cとが、行方向及び列方向に互い違いに位置するようなグリーンシート14Cと、図6(b)に示すように、グリーンシート14Cに対して配列パターンを反転させた配置領域30D及び非配置領域40Dを有するグリーンシート14Dとを形成してもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, various modifications can be applied to the arrangement pattern of the electrode patterns 20 formed on the green sheet 14 in the sheet forming process. For example, as shown in FIG. 6A, the electrode pattern 20 is formed in a substantially checkered pattern, and the arrangement region 30C and the non-arrangement region 40C of the electrode pattern 20 are alternately positioned in the row direction and the column direction. As shown in FIG. 6B, a green sheet 14C having an arrangement area 30D and a non-arrangement area 40D obtained by inverting the arrangement pattern with respect to the green sheet 14C may be formed.

また、上述した実施形態では、一組目のグリーンシート14A,14Bに二組目のグリーンシート14A,14Bを積層する際に、二組目のグリーンシート14A,14Bの積層位置を図4におけるY方向にギャップLの分だけオフセットさせているが、シート形成工程において、グリーンシート14A,14Bの電極パターン20に対してギャップL分だけY方向に電極パターン20の形成位置を予めオフセットさせたグリーンシート(図示しない)をそれぞれ形成し、積層体形成工程において、積層位置をオフセットさせずに各グリーンシートを積層するようにしてもよい。   In the above-described embodiment, when the second set of green sheets 14A and 14B is stacked on the first set of green sheets 14A and 14B, the stacking position of the second set of green sheets 14A and 14B is indicated by Y in FIG. The sheet is offset by the gap L, but in the sheet forming process, the green sheet 14A, 14B is formed by offsetting the electrode pattern 20 formation position in the Y direction in advance in the Y direction with respect to the electrode pattern 20 of the green sheet 14A, 14B. (Not shown) may be formed, and the green sheets may be stacked without offsetting the stacking position in the stack forming step.

本発明の一実施形態に係る積層型電子部品の製造方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the ceramic capacitor manufactured using the manufacturing method of the multilayer electronic component which concerns on one Embodiment of this invention. シート条件の設定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a setting of sheet | seat conditions. セラミックグリーンシートの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of a ceramic green sheet. グリーンシートにおける電極パターンの配置領域及び非配置領域の配列パターンを示した図である。It is the figure which showed the arrangement pattern of the arrangement | positioning area | region and non-arrangement area | region of the electrode pattern in a green sheet. シート積層体の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of a sheet laminated body. グリーンシートにおける電極パターンの配置領域及び非配置領域の配列パターンの変形例を示した図である。It is the figure which showed the modification of the arrangement pattern of the arrangement | positioning area | region of the electrode pattern in a green sheet, and a non-arrangement | positioning area | region.

符号の説明Explanation of symbols

1…セラミックコンデンサ(積層型電子部品)、11…キャリアフィルム(可撓性を有するフィルム)、14…グリーンシート、14A,14C…グリーンシート(第1のシート)、14B,14D…グリーンシート(第2のシート)、20…電極パターン、21…ダミー電極パターン、25…シート積層体、30A〜30D…配置領域、40A〜40D…非配置領域。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic capacitor (laminated type electronic component), 11 ... Carrier film (flexible film), 14 ... Green sheet, 14A, 14C ... Green sheet (first sheet), 14B, 14D ... Green sheet (first 2), 20 ... electrode pattern, 21 ... dummy electrode pattern, 25 ... sheet laminate, 30A-30D ... arrangement region, 40A-40D ... non-arrangement region.

Claims (3)

グリーンシート上に電極パターンが配置された配置領域と前記電極パターンが配置されない非配置領域とを所定の配列パターンで形成した第1のシートと、グリーンシート上に前記第1のシートと異なる配列パターンで前記配置領域と前記非配置領域とを形成した第2のシートとを形成するシート形成工程と、
前記第1のシートと前記第2のシートとを複数層積層してシート積層体を形成する積層体形成工程と、
前記シート積層体を焼成する焼成工程とを備え、
前記積層体形成工程において、前記第1のシートの前記配置領域と、前記第2のシートの前記非配置領域とが積層方向に重ね合わさり、かつ前記第1のシートの前記非配置領域と、前記第2のシートの前記配置領域とが積層方向に重ね合わさるように、前記第1のシートと前記第2のシートとを積層することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
A first sheet in which an arrangement area in which an electrode pattern is arranged on a green sheet and a non-arrangement area in which the electrode pattern is not arranged is formed in a predetermined arrangement pattern, and an arrangement pattern different from the first sheet on a green sheet A sheet forming step of forming a second sheet in which the placement area and the non-placement area are formed;
A laminate forming step of forming a sheet laminate by laminating a plurality of layers of the first sheet and the second sheet;
A firing step of firing the sheet laminate,
In the laminated body forming step, the arrangement region of the first sheet and the non-arrangement region of the second sheet overlap in the lamination direction, and the non-arrangement region of the first sheet, A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising: stacking the first sheet and the second sheet so that the arrangement region of the second sheet overlaps in the stacking direction.
所望の耐電圧特性に基づいて、前記シート積層体の積層方向における前記電極パターン間の層間厚さと、前記電極パターン間に介在させる前記グリーンシートのシート数とを決定するシート条件決定工程を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の積層型電子部品の製造方法。   A sheet condition determining step of determining an interlayer thickness between the electrode patterns in the stacking direction of the sheet laminate and a number of sheets of the green sheet interposed between the electrode patterns based on desired withstand voltage characteristics; The method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 1, wherein: 前記シート形成工程において、可撓性を有するフィルム上に前記第1のシート及び前記第2のシートの各グリーンシートをそれぞれ形成すると共に、前記配置領域及び前記非配置領域を囲うように、前記各グリーンシート上に前記ダミー電極パターンを形成することを特徴とする請求項1又は2記載の積層型電子部品の製造方法。   In the sheet forming step, the green sheets of the first sheet and the second sheet are respectively formed on a flexible film, and each of the green sheets is surrounded by the placement area and the non-placement area. 3. The method of manufacturing a multilayer electronic component according to claim 1, wherein the dummy electrode pattern is formed on a green sheet.
JP2006248320A 2006-09-13 2006-09-13 Manufacturing method of stacked electronic component Pending JP2008071880A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006248320A JP2008071880A (en) 2006-09-13 2006-09-13 Manufacturing method of stacked electronic component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006248320A JP2008071880A (en) 2006-09-13 2006-09-13 Manufacturing method of stacked electronic component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008071880A true JP2008071880A (en) 2008-03-27

Family

ID=39293230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006248320A Pending JP2008071880A (en) 2006-09-13 2006-09-13 Manufacturing method of stacked electronic component

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008071880A (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09180939A (en) * 1995-12-22 1997-07-11 Murata Mfg Co Ltd Multilayer coil part
JPH11204369A (en) * 1998-01-20 1999-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Multiply-connected stacked ceramic capacitor
JP2003289012A (en) * 2002-03-28 2003-10-10 Koa Corp Laminate ceramic component and manufacturing method therefor
JP2004014668A (en) * 2002-06-05 2004-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of laminated ceramic electronic part

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09180939A (en) * 1995-12-22 1997-07-11 Murata Mfg Co Ltd Multilayer coil part
JPH11204369A (en) * 1998-01-20 1999-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Multiply-connected stacked ceramic capacitor
JP2003289012A (en) * 2002-03-28 2003-10-10 Koa Corp Laminate ceramic component and manufacturing method therefor
JP2004014668A (en) * 2002-06-05 2004-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of laminated ceramic electronic part

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070092657A (en) Laminated ceramic electronic component
JP4502130B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JP2011151281A (en) Method of manufacturing electronic component
JP4023622B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JP4623305B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JP2010238991A (en) Method for manufacturing laminated ceramic electronic component
JP4539489B2 (en) Manufacturing method of multilayer capacitor
TWI447977B (en) A piezoelectric multilayered component part
JP2006278565A (en) Stacked electronic component and its manufacturing method
JPH09260187A (en) Manufacture of ceramic electronic part
JP2008071880A (en) Manufacturing method of stacked electronic component
JPWO2014125930A1 (en) Ceramic electronic component and manufacturing method thereof
JP4650616B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JPH06283375A (en) Manufacture of layered electronic components
JP4548612B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP4525733B2 (en) Manufacturing method of multilayer electronic component
JP4702342B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JP2009224503A (en) Multilayer capacitor
JP4900759B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP4479687B2 (en) Manufacturing method of laminated electronic component
JP2006245042A (en) Ceramic element
JPH0828138B2 (en) Method for manufacturing ceramic laminate
JP2005051073A (en) Method of manufacturing ceramic electronic component
JP4450158B2 (en) Manufacturing method of ceramic electronic component
JP2006015616A (en) Plate for gravure printing, and manufacturing method for laminated ceramic electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20091130

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20091208

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100406