JP2008063665A - 気相成長装置の異常生成物除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜工程中の異常が発生した場合に、原料ガス供給装置13aから反応室11への原料ガスの供給を停止し、高圧不活性ガス導入部15bから反応室11に対して不活性ガスN2を供給し、さらに、不活性ガスN2の供給圧力を上昇させる。これにより、異常の原因となった生成物を除去できる場合がある。生成物が除去された場合、不活性ガスが反応室11に供給されるために、反応室11内の気圧が上昇する。したがって、生成物が除去されたか否かは、反応室11内の気圧が上昇したか否かによって検出される。気圧が上昇しなかった場合は、洗浄液収容部15aの洗浄液を用いて、反応室11内を洗浄する。
【選択図】図1
Description
11:反応室
11a:第1排気系
13:原料ガス供給系
13a:原料ガス供給装置
13b:原料液収納部
15:洗浄系
15a:洗浄液収納部
15b:高圧不活性ガス導入部
17a〜17i:第1〜第9配管
19a〜19l:第1〜第12バルブ
21:第1ベント
23:第2排気系
25:第2ベント
27:第3排気系
29:不活性ガス導入部
Claims (7)
- 基板上に膜を形成する反応室と、該反応室に原料ガスと洗浄液と不活性ガスとを供給する原料ガス供給装置と、該原料ガス供給装置に前記原料ガスを供給する原料ガス供給系と、前記原料ガス供給装置に洗浄液を供給する洗浄系と、前記反応室を排気する排気系とを有する気相成長装置の異常生成物除去方法であって、
前記原料ガス供給装置から前記反応室内に前記原料ガスを供給することにより前記基板上に前記膜を形成する成膜工程と、
該成膜工程中に前記原料ガス供給装置内で異常生成物が発生した時に、該原料ガス供給装置への前記原料ガスの供給を停止し、該原料ガス供給装置への前記不活性ガスの供給を開始し、さらに、該不活性ガスの供給圧力を上昇させたときの前記反応室内の気圧をモニターする不活性ガス送出工程と、
該不活性ガス送出工程で前記不活性ガスの供給圧力を上昇させても前記反応室内の気圧が上昇しなかった場合に、前記洗浄液を用いて前記原料ガス供給装置内および前記反応室内を洗浄する洗浄工程と、
を含むことを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項1に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記気相成長装置を立ち上げる際に、前記原料ガス供給装置内の大気を取り除くために、不活性ガスのパージおよび排気を繰り返す前処理を行い、
その後で、前記原料ガス供給装置に前記洗浄系の洗浄液を送り込んで洗浄する洗浄処理を行う、
ことを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項1に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記洗浄液は、前記反応室で形成を行う膜の原料と反応することなく前記原料を溶融することが可能な物質からなること特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項3に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記原料としてヘキサフルオロアセチルアセトナート・トリメチルビニルシラン・銅を用い、且つ、前記洗浄液としてトリメチルビニルシランを用いることを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項3に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記原料としてテトラキスジメチルアミノチタンまたはテトラキスジエチルアミノチタンを用い、且つ、前記洗浄液としてノルマルヘキサンを用いることを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項2に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記不活性ガスとして、前記洗浄液と反応しないものを用いることを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。 - 請求項6に記載の気相成長装置の異常生成物除去方法において、
前記不活性ガスとして、窒素、アルゴン又はヘリウムを用いることを特徴とする気相成長装置の異常生成物除去方法。
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JP24618896A Division JPH1088349A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 気相成長装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008063665A true JP2008063665A (ja) | 2008-03-21 |
JP4680246B2 JP4680246B2 (ja) | 2011-05-11 |
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JP2007259420A Expired - Lifetime JP4680246B2 (ja) | 2007-10-03 | 2007-10-03 | 気相成長装置の異常生成物除去方法 |
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