JP2008058215A - 接点治具の製造方法及び接点治具 - Google Patents

接点治具の製造方法及び接点治具 Download PDF

Info

Publication number
JP2008058215A
JP2008058215A JP2006237280A JP2006237280A JP2008058215A JP 2008058215 A JP2008058215 A JP 2008058215A JP 2006237280 A JP2006237280 A JP 2006237280A JP 2006237280 A JP2006237280 A JP 2006237280A JP 2008058215 A JP2008058215 A JP 2008058215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
jig
plate
probe
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006237280A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Kato
穣 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Advance Technology Corp
Original Assignee
Nidec Read Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Read Corp filed Critical Nidec Read Corp
Priority to JP2006237280A priority Critical patent/JP2008058215A/ja
Publication of JP2008058215A publication Critical patent/JP2008058215A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)

Abstract

【課題】任意の突出高さを有し、剥離等の欠落が生じることがない突状の接点部を簡単な製造工程により低コストで形成することができる接点治具の製造方法及び接点治具を提供することである。
【解決手段】重ね合わされた接点支持プレート22とシート材31とに連なって設けられた貫通孔22a,31a内に、導電材23が挿通され、導電材23が挿通された貫通孔22a,23a内に固着材24が付加され、固着材24による固着が完了すると、シート材31の上面から突出している導電材23の部分が、カッター等の切除手段32により切除される。続いて、接点支持プレート31からシート材31が離反され、突状の接点部21を有する接点ユニット4が得られる。
【選択図】図4

Description

本発明は、接点治具の製造方法及び接点治具に関する。
プレート上面から突出する接点部を有する接点治具の従来の製造方法としては、プレートの表面に露出した導電線の端面にメッキ処理等により導電層を形成することにより、突状の接点部を形成するようにしたものがある(特許文献1、段落[0038]等)。
特許第3690796号公報
しかしながら、前記従来の製造方法では、煩雑なメッキ処理等が必要であるため、製造コストが嵩む。また、導電線の端面に導電層を積層して突状の接点部を形成するため、突出高さの大きな接点部を構成するのは困難であるとともに、導電層(接点部)の剥離が生じるおそれがある。
そこで、本発明の解決すべき課題は、任意の突出高さを有し、剥離等の欠落が生じることがない突状の接点部を簡単な製造工程により低コストで形成することができる接点治具の製造方法及び接点治具を提供することである。
上記の課題を解決するため、請求項1の発明では、プレートと、前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部とを備える接点治具の製造方法であって、重ね合わされた前記プレートとシート材とに連なって設けられた貫通孔内に、前記接点部を形成するための線状の導電材を挿通する工程と、前記貫通孔内に挿通された前記導電材を前記プレートと固着する工程と、前記シート材上に突出している前記導電材の部分を切除し、前記シート材の表面を面一に整形する工程と、前記プレートから前記シート材を離反させる工程とを備える。
また、請求項2の発明では、請求項1の発明に係る接点治具の製造方法において、前記導電材を前記プレートと固着する工程は、前記導電材と前記プレートを固着する固着材が付加される。
また、請求項3の発明では、請求項1又は請求項2の発明に係る接点治具の製造方法において、前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接続を得るための検査治具に用いられ、前記検査治具は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブと、前記プローブを支持する支持部材とを備え、前記支持部材は、前記プローブの後端部が挿通される挿通孔が設けられた後端支持部と、前記プレートを含んで構成され、前記後端支持部と対向するように配置される接点支持部とを備え、前記接点部の少なくとも先端部は、前記後端支持部の前記挿通孔内に進入可能な外径サイズを有し、前記挿通孔内に進入した状態で前記プローブの前記後端部と接触して電気接続される。
また、請求項4の発明では、請求項1又は請求項2の発明に係る接点治具の製造方法において、前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接点を得るための検査治具に用いられ、前記接点部は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブとして機能する。
また、請求項5の発明では、プレートと、前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部とを備え、前記接点部は、重ね合わされた前記プレートとシート材とに連なって設けられた貫通孔内に前記接点部を形成するための線状の導電材を貫通孔内に挿通し、前記導電材を前記プレートに固着し、前記シート材上に突出している前記導電材の部分を切除し、前記シート材の表面を面一に整形し、前記プレートから前記シート材を離反させることにより形成される。
また、請求項6の発明では、プレートと、前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部とを備え、前記接点部は、前記プレートを貫通して前記前面上に突出した導電材の先端部によって形成される。
また、請求項7の発明では、請求項5又は請求項6の発明に係る接点治具において、前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接続を得るための検査治具に用いられ、前記検査治具は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブと、前記プローブを支持する支持部材とを備え、前記支持部材は、前記プローブの後端部が挿通される挿通孔が設けられた後端支持部と、前記プレートを含んで構成され、前記後端支持部と対向するように配置される接点支持部とを備え、前記接点部の少なくとも先端部は、前記後端支持部の前記挿通孔内に進入可能な外径サイズを有し、前記挿通孔内に進入した状態で前記プローブの前記後端部と接触して電気接続される。
また、請求項8の発明では、請求項5又は請求項6の発明に係る接点治具において、前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接点を得るための検査治具に用いられ、前記接点部は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブとして機能する。
請求項1に記載の発明によれば、微細な複数の接点部を形成する場合であっても、容易に形成することができるとともに、メッキ処理等の煩雑処理工程が必要ないため、突状の接点部を有する接点治具を簡単な製造工程により低コストに製造できる。
また、接点部の突端部まで同一材質の導電材で形成することができるため、接点部に剥離等の欠落が生じることがない。
請求項2に記載の発明によれば、固着材を用いることにより、導電材をプレートの貫通孔内に確実に固着できる。
請求項3に記載の発明によれば、接点支持部を後端支持部に対向配置した際に、接点部が後端支持部の貫通孔内に進入してプローブの後端部と電気接続されるようになっている。このため、例えば、プローブの後端位置を後端支持部の貫通孔の後方開口の近傍に設定しておくことにより、接点部によってプローブの後端部が貫通孔の内方に押し込まれ、プローブに撓みが生じ、接点部とプローブとの間に適度な押圧力が付与された状態で両者が当接するようにすることができ、その結果、安定した電気接続が得られる。
請求項4に記載の発明によれば、先端部が突状の形態を有するプローブを容易に形成することができる。
また、プローブの先端部が突状になっているため、検査対象の検査点が凹所に設けられている場合等であっても、プローブを検査点に容易に電気接続させることができる。
請求項5に記載の発明によれば、接点部の突端部まで同一材質の導電材で形成することができるため、接点部に剥離等の欠落が生じることがない。
また、微細な複数の接点部を形成する場合であっても、容易に形成することができるとともに、メッキ処理等の煩雑処理工程が必要ないため、突状の接点部を有する接点治具を簡単な製造工程により低コストに製造できる。
請求項6に記載の発明によれば、接点部の突端部まで同一材質の導電材で形成することができるため、接点部に剥離等の欠落が生じることがない。
請求項7に記載の発明によれば、接点支持部を後端支持部に対向配置した際に、接点部が後端支持部の貫通孔内に進入してプローブの後端部と電気接続されるようになっている。このため、例えば、プローブの後端位置を後端支持部の貫通孔の後方開口の近傍に設定しておくことにより、接点部によってプローブの後端部が貫通孔の内方に押し込まれ、プローブに撓みが生じ、接点部とプローブとの間に適度な押圧力が付与された状態で両者が当接するようにすることができ、その結果、安定した電気接続が得られる。
請求項8に記載の発明によれば、先端部が突状の形態を有するプローブを容易に形成することができる。
また、プローブの先端部が突状になっているため、検査対象の検査点が凹所に設けられている場合等であっても、プローブを検査点に容易に電気接続させることができる。
[第1実施形態]
図1は本発明の第1実施形態に係る接点治具としての接点ユニットが適用された検査治具の斜視図であり、図2はその要部断面図であり、図3はその組立工程を示す図である。この検査治具1は、基板2(図2参照)の電気的特性を検査する基板検査装置に用いられ、検査対象との電気的な接続を得るために用いられる。なお、ここでは検査治具を基板検査装置に適用する場合について説明するが、検査治具を他の検査装置に用いるようにしてもよい。また、本明細書において「基板」とは、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板を含むものであり、それら種々の基板を総称して「基板」と称する。
この検査治具1は、図1ないし図3に示すように、ヘッドユニット3と、接点ユニット4とを備えている。ヘッドユニット3は、基板2の端子部等の検査点2aに直接又は間接に接触されて電気接続される複数のプローブ11と、そのプローブ11を支持する支持部材12とを備えている。
支持部材12には、密着して又は間隔をあけて配置された複数のプレート13,14とを備えている。最前部に配置されるプレート13には、プローブ11の先端部を保持する貫通孔13aが設けられている。最後部に配置される後端支持部としてのプレート14には、プローブ11の後端部が挿通される貫通孔14aが設けられている。図3に示すように、プローブ11に接点ユニット4の接点部21を接続しない状態では、プローブ11の後端位置が、プレート14の貫通孔14aの後方開口の近傍に設定されている。なお、この「近傍」とは、プローブ11の後端が貫通孔14aの後方開口から、貫通孔14aの内方及び外方に、接点ユニット4の接点部21の突出高さ分の範囲内に収まっている状態をいう。
接点ユニット4は、プローブ11の後端部に電気接続される複数の突状の接点部21と、その接点部21を支持する接点支持プレート22とを備えている。接点部21は、略板状の接点支持プレート22に設けられた貫通孔22aを介して、接点支持プレート22の前面側に突出した線状の導電材23の先端部によって構成されている。
導電材23は、貫通孔22a内に注入された固着材24(例えば、接着剤)によって接点支持プレート22に固定されている。導電材23としては、例えば1本又は複数本の導電線が用いられ、接点ユニット4外に引き出されて検査回路25に直接又は間接に電気接続される。このように導電材23に導電線を用いると、配線の接続及び引き出し等の点で有利である。
このような接点部21は、プローブ11の後端部が挿通されたプレート14の貫通孔14aとそれぞれ整合する位置に設けられ、接点部21の少なくとも先端部は、プレート14の貫通孔14aの径よりも小径に設定されている。
このため、ヘッドユニット3と接点ユニット4とが図3の如く互いに組み合わされるのに伴って、接点部21がプローブ11の後端部を貫通孔14a内に押し込むようにして、貫通孔14a内に入り込むようになっている。そして、内方に押し込まれることにより、図3の矢印Aで示すようにプローブ11に撓みが生じ、接点部21とプローブ11との間に適度な押圧力が付与された状態で両者が当接するようになっている。このため、接点部21とプローブ11との安定した電気接続が得られるようになっている。
次に、図4(a)ないし図4(d)を参照して、突状の接点部21を有する接点ユニット4の製造工程について説明する。
まず、図4(a)に示すように、重ね合わされた接点支持プレート22とシート材31とに連なって設けられた貫通孔22a,31a内に、導電材23が挿通される。貫通孔22a,31aは、接点支持プレート22とシート材31とを重ねあわせた状態で一度に形成するようにしてもよく、貫通孔22a,31aが形成された接点支持プレート22とシート材31とを重ね合わせるようにしてもよい。
ここで、シート材31の厚みは、形成する接点部21の設定支持プレート22の上面からの突出高さに応じて決定されるようになっている。接点部21の突出高さは、例えばプレート14の貫通孔14a内への進入深さや、後述する図7に示す被検査基板2の検査点2aが設けられる谷の深さなどに応じて決定されるようになっている。このため、シート材31の厚みを調節するだけで、接点部21の突出高さを容易に調節できるようになっている。
続いて、図4(b)に示すように、導電材23が挿通された貫通孔22a,23a内に固着材24が付加され、固着材24による固着が完了すると、シート材31の上面から突出している導電材23の部分が、シート材31の上面が面一となるようにカッター等の切除手段32により切除される。これによって、図4(c)に示す状態となる。
続いて、図4(d)に示すように、接点支持プレート22からシート材31が離反され、突状の接点部21を有する接点ユニット4が得られる。
なお、図4(a)ないし図4(d)に示す構成では、固着材24の注入量等を、実質的に貫通孔22a内で止まり、貫通孔31a内に進入しないように調節しているため、突状の接点部21の周囲に固着材24が実質的に付着していない。この点に関する変形例として、図5(a)及び図5(b)に示すように、固着材24を貫通孔22aだけでなく、貫通孔31a内の一部又は全体を満たすように充填することにより、接点部21の外周の一部又は全部が略円筒状に固着材24で覆われるようにしてもよい。
また、更なる変形例として、図6(a)及び図6(b)に示すように、接点支持プレート22を複数(ここでは2つ)のプレート221,222を重ね合わせて構成するようにしてもよい。各プレート221,222に設ける貫通孔223,224は、大径部223a,224aと小径部223b,224bとを有し、大径部223a,224a同士が向き合うようにしてプレート221,222が重ね合わされている。このため、接点支持プレート22の貫通孔22a全体として見ると、その中間部が内径が拡大された拡径部分22aaとなっている。そして、この拡径部分22aa内に固着材24を充填することにより、導電材23のプレート221,222への固着及びプレート221,222同士の固着を確実に行えるようになっている。また、プレート221,222の間に隙間Sを設けておくことにより、固着材24を貫通孔22a内に注入する際に、固着材24の隙間S内への進入が許容され、これによって固着材24を貫通孔22a内に隙間なく充填できるようになっている。
また、各プレート221,222に貫通孔223,224を設ける際、最初に大径部223a,224aを設け、その後でその大径部22a,224a内に小径部223b,224bを穿孔して形成することにより、厚みの厚いプレート221,222であっても細径の小径部223b,224bを高い精度で容易に形成できるようになっている。
なお、この孔形成工程において、シート材31は上側プレート221に重ね合わせた状態で上側プレート221への孔形成と同時に孔形成を行うようにしてもよく、上側プレート221への孔形成と別工程で孔形成を行うようにしてもよい。また、図6(b)に示す構成において下側のプレート222を省略し、上側のプレート221のみで接点支持プレート22を構成するようにしてもよい。
このような製法により、微細な複数の接点部21を形成する場合であっても、容易に形成することができるとともに、メッキ処理等の煩雑処理工程が必要ないため、突状の接点部21を有する接点ユニット4及び検査治具1を簡単な製造工程により低コストに製造できる。
構成のため、任意の突出高さを有する接点部21を容易に形成することができ、接点部21が接続される電気接続部の状況に柔軟に対応できる。
また、接点部21の突端部まで同一材質の導電材23で形成することができるため、接点部21に剥離等の欠落が生じることがない。
また、固着材24を用いることにより、導電材23を接点支持プレート22の貫通孔22a内に確実に固着できる。
[第2実施形態]
図7は本発明の第2実施形態に係る接点治具としてのヘッドユニットが適用された検査治具及び被検査基板の断面図であり、図8はその検査治具を用いて検査が行われているときの様子を示す断面図である。本実施形態に係る検査治具1Aの特徴点は、前述の第1実施形態に係る接点ユニット4の突状の接点部21をプローブとして利用する点である。このため、接点部21等の構成及び製法は前述の第1実施形態と同様であり、説明を省略するとともに、対応する部分には同一の参照符号を用いることとする。
本実施形態に係る検査治具1Aに備えられるヘッドユニット3Aは、検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブとして機能する接点部21と、その接点部21を支持する支持プレート22とを備えている。なお、図7に示す基板2の構成において、符号2aはC4半田パッドである検査点を示し、符号41は半田レジストを示しており、半田レジスト41が検査点2aを略取り囲むようにして設けられている。
そして、検査の際には、図8に示すように、突状の接点部21が被検査基板2の検査点2aが設けられた凹所内に入り込み、検査点2aに直接又は間接に電気接続されるようになっている。
なお、図7及び図8に示す構成では、弾性及び導電性を有する導電性保護シート42(例えば、導電ゴムシート)を介して接点部21が検査点2aに電気接続されるようになっている。これによって、接点部21が検査点21に接触して検査点21に傷等の損傷が生じるのを防止できるようになっている。但し、この導電性保護シート42は必須のものではなく、省略してよい。ここで、導電性保護シートとは、ゴム等の弾性材料に導電性粒子(例えば、カーボン粒子)を混入させることにより、押圧力を受けて押しつぶされるように弾性変形した際に、その弾性変形した部分で導電粒子同士が互いに接触し、その部分が電気的に導通する(又はその部分の電気抵抗が小さくなる)ようになっているものをいう。
このような構成により、接点支持プレート22からの突出高さ、太さ等について種々の形態の接点部(プローブ)21を容易に形成することができる。
また、接点部21のプレート22からの突出高さを調節することにより、検査対象の検査点2aが図7に示すように基板2上の凹所に設けられている場合等であっても、接点部21を検査点2aに容易に電気接続させることができる。
なお、図7及び図8に示す構成では、検査点2aであるC4半田パッドにC4半田が付与される前に検査を行うようにしたが、図9に示すように、検査点(C4半田パッド)2aにC4半田43が付与された後に、C4半田43を介して接点部21を検査点3aに直接又は間接に電気接続するようにしてもよい。
本発明の第1実施形態に係る接点治具としての接点ユニットが適用された検査治具の斜視図である。 図1の検査治具の要部断面図である。 図1の検査治具の組立工程を示す図である。 図4(a)ないし図4(d)は図1の検査治具に備えられる接点ユニットの製造工程を示す図である。 図5(a)及び図5(b)は図2の接点ユニットの変形例及びその製造工程を示す図である。 図6(a)及び図6(b)は図2の接点ユニットの更なる変形例及びその製造工程を示す図である。 本発明の第2実施形態に係る接点治具としてのヘッドユニットが適用された検査治具及び被検査基板の断面図である。 図7の検査治具を用いて検査が行われているときの様子を示す断面図である。 図7の被検査基板の変形例を示す図である。
符号の説明
1,1A 検査治具、2 基板、3,3A ヘッドユニット、4 接点ユニット、11 プローブ、12 支持部材、13,14 プレート、21 接点部、22 接点支持プレート、22a 貫通孔、23 導電材、24 固着材、31 シート材、31a 貫通孔。

Claims (8)

  1. プレートと、前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部とを備える接点治具の製造方法であって、
    重ね合わされた前記プレートとシート材とに連なって設けられた貫通孔内に、前記接点部を形成するための線状の導電材を挿通する工程と、
    前記貫通孔内に挿通された前記導電材を前記プレートと固着する工程と、
    前記シート材上に突出している前記導電材の部分を切除し、前記シート材の表面を面一に整形する工程と、
    前記プレートから前記シート材を離反させる工程と、
    を備えることを特徴とする接点治具の製造方法。
  2. 請求項1に記載の接点治具の製造方法において、
    前記導電材を前記プレートと固着する工程は、前記導電材と前記プレートを固着する固着材が付加されることを特徴とする接点治具の製造方法。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の接点治具の製造方法において、
    前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接続を得るための検査治具に用いられ、
    前記検査治具は、
    前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブと、
    前記プローブを支持する支持部材と、
    を備え、
    前記支持部材は、
    前記プローブの後端部が挿通される挿通孔が設けられた後端支持部と、
    前記プレートを含んで構成され、前記後端支持部と対向するように配置される接点支持部と、
    を備え、
    前記接点部の少なくとも先端部は、前記後端支持部の前記挿通孔内に進入可能な外径サイズを有し、前記挿通孔内に進入した状態で前記プローブの前記後端部と接触して電気接続されることを特徴とする接点治具の製造方法。
  4. 請求項1又は請求項2に記載の接点治具の製造方法において、
    前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接点を得るための検査治具に用いられ、
    前記接点部は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブとして機能することを特徴とする接点治具の製造方法。
  5. プレートと、
    前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部と、
    を備え、
    前記接点部は、
    重ね合わされた前記プレートとシート材とに連なって設けられた貫通孔内に前記接点部を形成するための線状の導電材を貫通孔内に挿通し、前記導電材を前記プレートに固着し、前記シート材上に突出している前記導電材の部分を切除し、前記シート材の表面を面一に整形し、前記プレートから前記シート材を離反させることにより形成されることを特徴とする接点治具。
  6. プレートと、
    前記プレートの前面から突出した少なくとも1つの接点部と、
    を備え、
    前記接点部は、前記プレートを貫通して前記前面上に突出した導電材の先端部によって形成されることを特徴とする接点治具。
  7. 請求項5又は請求項6に記載の接点治具において、
    前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接続を得るための検査治具に用いられ、
    前記検査治具は、
    前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブと、
    前記プローブを支持する支持部材と、
    を備え、
    前記支持部材は、
    前記プローブの後端部が挿通される挿通孔が設けられた後端支持部と、
    前記プレートを含んで構成され、前記後端支持部と対向するように配置される接点支持部と、
    を備え、
    前記接点部の少なくとも先端部は、前記後端支持部の前記挿通孔内に進入可能な外径サイズを有し、前記挿通孔内に進入した状態で前記プローブの前記後端部と接触して電気接続されることを特徴とする接点治具。
  8. 請求項5又は請求項6に記載の接点治具において、
    前記接点治具は、検査対象の電気的特性を検査するために前記検査対象との電気的な接点を得るための検査治具に用いられ、
    前記接点部は、前記検査対象に直接又は間接に電気接続されるプローブとして機能することを特徴とする接点治具。
JP2006237280A 2006-09-01 2006-09-01 接点治具の製造方法及び接点治具 Pending JP2008058215A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006237280A JP2008058215A (ja) 2006-09-01 2006-09-01 接点治具の製造方法及び接点治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006237280A JP2008058215A (ja) 2006-09-01 2006-09-01 接点治具の製造方法及び接点治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008058215A true JP2008058215A (ja) 2008-03-13

Family

ID=39241110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006237280A Pending JP2008058215A (ja) 2006-09-01 2006-09-01 接点治具の製造方法及び接点治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008058215A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08236180A (ja) * 1995-02-24 1996-09-13 Toyo Denshi Giken Kk コンタクト装置とその製造方法
JP2003222637A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Koyo Technos:Kk 検査冶具及びその製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08236180A (ja) * 1995-02-24 1996-09-13 Toyo Denshi Giken Kk コンタクト装置とその製造方法
JP2003222637A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Koyo Technos:Kk 検査冶具及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010237133A (ja) 検査ソケットおよびその製法
JP2007322136A (ja) プリント配線板の導通検査治具
JP2007279034A (ja) 平板表示素子テストのための検査装置及びその製造方法
JPWO2004072661A1 (ja) 電気的接続装置
JP2007178163A (ja) 検査ユニットおよびそれに用いる検査プローブ用外皮チューブ組立体
JP5098339B2 (ja) 基板検査治具の製造方法
JP2015075370A (ja) 検査用治具、電極部、プローブ、及び検査用治具の製造方法
JP2008216060A (ja) 電気的接続装置
JP2010122057A (ja) プローブユニット
CN100507578C (zh) 晶片级测试电路板的制造方法及其结构
JP2004235591A (ja) 電気的接続装置
JP2008058215A (ja) 接点治具の製造方法及び接点治具
JP2011112552A (ja) 半導体パッケージのソケット装置、及び半導体パッケージのテスト装置
JP2006003191A (ja) 電気的接続装置
JP2007155535A (ja) 検査治具および検査治具の製造方法
JP6286371B2 (ja) プローブユニット用ベース部材、プローブユニットおよびプローブユニット用ベース部材の製造方法
JP2009047636A (ja) プリント配線板の導通検査治具
JP2004138576A (ja) 電気的接続装置
JP2008309761A (ja) 検査治具
JP7281697B2 (ja) 検査治具、および検査装置
JP2006003252A (ja) 電気的接続装置
JPH11108954A (ja) コンタクトプローブ
JP2004226270A (ja) ワイヤプローブ装置及び検査冶具
US10184978B2 (en) Probe card and method for producing a probe card
JP2010276359A (ja) 基板検査装置用検査治具

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090824

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101006

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110609

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110613

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111017