JP2008055589A - 研磨装置に用いる砥石 - Google Patents
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Abstract
【課題】砥石の消耗量が小さく、かつ被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨装置を提供する。
【解決手段】 砥石1を接合したアルミ製のリング状の弾性体2の上部の表面に6個の圧電セラミック12をエポキシ接着剤を用いて接合する。さらに1KΩの抵抗17を圧電セラミック12の電極間にリード線27により接続する。そして、圧電セラミック12は表面に防水用の塗料を塗布している。ここに用いた圧電セラミック12は円弧状の形状であり、そして板厚方向に分極されている。
【選択図】図6
【解決手段】 砥石1を接合したアルミ製のリング状の弾性体2の上部の表面に6個の圧電セラミック12をエポキシ接着剤を用いて接合する。さらに1KΩの抵抗17を圧電セラミック12の電極間にリード線27により接続する。そして、圧電セラミック12は表面に防水用の塗料を塗布している。ここに用いた圧電セラミック12は円弧状の形状であり、そして板厚方向に分極されている。
【選択図】図6
Description
本発明は、ガラス、シリコン、セラミックおよび超硬金属および金属材料などを、研磨する研磨装置及びこれに用いる砥石に関する。
ガラス、シリコン、シリコンナイトライド、希土類磁石材料、超硬金属および金属材料などの被研磨物を研磨するために、円環状の砥石を備えた研磨装置が一般的に用いられている。
しかし、半導体材料、磁性材料、圧電材料および光学材料などにおいては、より高精度である研磨面が求められている。また金属材料などは製造コストを削減するために、より研磨速度を高めることが求められている。
これらの要求を満たすために超音波振動を利用することが提案されている。機械加工に超音波振動を利用することは従来から行われており、例えば、工作機械のバイトなどの工具に超音波振動を付与しながら加工対象物を切削している。このような切削方法は、超音波切削加工と呼ばれており、非特許文献1に詳しく記載されている。超音波切削加工は、加工対象物と工具との摩擦抵抗が小さくなるために、加工面の熱歪みが低減され、加工精度が高くなり、そして切削工具の寿命が長くなるなどの利点を有している。
図1は、特許文献1に記載の従来の超音波研磨装置の構成例を示す側面図であり、そして図2は、図1に示すA−A線よりの上面図である。図に示す符号1は、円環形状で厚さ5〜10mm、幅3〜8mmに形成された砥石1である。この砥石1は、ダイヤモンド砥粒と金属ボンドあるいは、レジボンドが含有構成されている。また、砥石1の上面には、同径で形成され、青銅、アルミ合金、ジュラルミン、ステンレスなどの振動伝達の優れた材質で圧電素子の変位を効率よく伝達する材質により形成された弾性体2が一体的に装着されている。この弾性体2の上面中央位置には、基端を駆動手段と接続構成された円柱状の研磨軸3が配設し、弾性体2及び砥石1を上下動自在に構成すると共に、左右方向に往復運動するように構成されている。
上記弾性体2の上面には、法線方向から一定角度傾斜した方向に小判形状の溝を形成し、その溝の中央にはそれぞれ一定角度傾斜した方向に変位するように矩形状に構成された積層型圧電アクチュエータ8がそれぞれエポキシ系接着剤で固定装着されている。また、上記積層型圧電アクチュエータと弾性体2の上記小判形状に生じた間隔には防湿用の樹脂9がそれぞれ埋設されている。また、上記積層型圧電アクチュエータ8は、それぞれパラレルに結線し、図示しない駆動回路により交番電圧を印加し、弾性体2と砥石1とを研磨面に対して平行に往復運動されるように構成されている。
砥石1の研磨面(下面)側には、砥石1より大径に形成されたワーク固定台5が配設されている。このワーク固定台5の上面には、被研磨物7であるガラスがホットメルト接着剤により貼着固定されている。また、ワーク固定台5の下面中央位置には、その基端に駆動手段と接続した円柱状のワーク固定台軸6が装着されて、被研磨物7を均等に研磨するため、上記研磨軸3とは一定間隔ずれた状態にて駆動するように配設されている。上記ワーク固定台5の上方位置には、スラリー供給手段と接続構成されたパイプよりスラリー4が被研磨物7上に噴出するように構成されている。
上記構成によれば、積層型圧電アクチュエータを用いているため、装置を小型に製造でき、非共振時においても大振幅が得られやすく、発熱がほとんど発生しないとされている。さらに研磨装置が安価に製造できるとされている。また、通常の研磨時間に比較して、約3分の1にすることができ、かつ研磨面も通常研磨に比較して非常に緻密に形成することができるとされている。さらに印加する電圧を調整することにより荒研磨と精密研磨ができるとされている。
特開平5−200659公報 超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p679−684
しかし、上記特許文献1の構成は、1KHz以下の非共振時においても数十ミクロン以下の大振幅が得られやすい積層型圧電アクチュエータを用いているが、これに用いている圧電材料は機械的品質係数が小さい、いわゆるLQ材を用いているため、超音波領域の共振時の発熱は非常に大きく、圧電材料の分極が消滅する恐れがある。もし、分極が消滅すると振動源として作用しなくなる。さらに、加工面精度も低下する。
また、積層型圧電アクチュエータは、1KHz以下で通常5μm以上の振動変位を励起するために用いられているが、5μm以上の大きな振動変位は、砥石の消耗が大きく、しかも加工面精度も低下する傾向にある。
本発明の目的は、砥石の消耗量を小さくする研磨装置を提供することにある。
研磨装置に使用する切削工具として、砥石を接合した弾性体に、圧電素子を接合し、前記圧電素子の電極間に抵抗を接続するものである。
前記弾性体に接合された砥石の平均粒度が50μm以下であるものとすることである。
本発明の研磨装置は、不要振動を減衰させることにより砥石の消耗量を小さくすることができる。
本発明の研磨装置はまた、不要振動を減衰させることにより、砥石と被研磨物との望ましくない接触を小さくできるので、被研磨物と砥石の温度の上昇も小さくできる。この効果により、研磨面精度を高めることができる。そして研磨速度も向上させることができる。
本発明の実施の形態について図3の側面図を説明する。加工テーブル10を回転させる加工テーブル回転軸11がある。加工テーブル回転軸11は、ケース21の中に収納された図示しないモータに接続されている。マグネットチャックを有する加工テーブル10上に、たとえば鋼製のワーク保持台13にホットメルトワックスを用い接着した被研磨物7であるリチウムナイオベイト基板を電磁力により保持固定する。
砥石1、圧電セラミック12及び抵抗17を接合した円環状の弾性体2は、弾性体2を回転させるための回転円板14に図示しないボルトにより接続されている。砥石1はビトリファイド砥石と呼ばれるものでダイヤモンド砥粒の平均粒度は800番であり、μmで表現するとその平均粒度は18〜22μmである。平均粒度を小さくすると砥石1と被研磨物7との摩擦力が大きくなる。このため、50μm以下の平均粒度の砥石には特に切削抵抗が問題になる場合が多い。
回転円板14と砥石1、圧電セラミック12及び抵抗17を接合した円環状の弾性体2の詳細な斜視図を図4に示す。回転円板14には、突起16が設けられ突起16を通る穴20が設けられている。そして弾性体2にはネジ穴23が設けられている。
図5は、回転円板14に取り付けた弾性体2を砥石回転軸18にボルト15により取り付けた状態を示す側面図である。まず、弾性体2のネジ穴23と回転円板14の突起16の穴20を合わせボルト15により締め付け一体化する。砥石回転軸18は図示しないモータに接続されている。
また、加工テーブル10の上方位置にパイプ19を通して切削水22が噴出するように配置されている。また砥石1にも砥石回転軸18の中心部を通り、切削水22が吹き付けられている。
図3に示した砥石1、圧電セラミック12及び抵抗17を接合した弾性体2の詳細を図6の平面図に、そして図6のA−A線での断面図である図7を用いて説明する。また砥石1と弾性体2を接合した構成は、カップ砥石またはグラインディングホイールなどの名称で呼ばれている。
アルミ製のリング状の弾性体2の上部の表面に6個の圧電セラミック12を、エポキシ接着剤を用いて接合する。さらに1KΩの抵抗を圧電セラミック12の電極間にリード線27により接続する。そして、圧電セラミック12は表面に防水用の塗料を塗布している。また弾性体2には6個のネジ穴23を設ける。この6個のネジ穴23は回転円板14に取り付けるためのものである。
ここに用いた圧電セラミック12は円弧状の形状であり、そして板厚方向に分極されている。
この研磨装置の運転方法について図3を用いて説明する。まず、加工テーブル10にリチウムナイオベイト基板を接着した鋼製のワーク保持台13を電磁力により吸着する。そして砥石1の位置を適正な位置になるように図示しない調整装置により合わせる。次にモータを起動して加工テーブル10を回転させる。これと同時にパイプ19を通して切削水22を噴出させる。また砥石回転軸18の中心部を通り切削水22を砥石1に当てる。次にモータの電源を入れて砥石1を毎分3000同転させ、リチウムナイオベイト基板を研磨する。そして、切込み量を0.02mmとした。
本研磨条件での砥石の消耗量は、約7μmであった。また、前記の抵抗を100KΩにしたものは、砥石の消耗量は、ほぼゼロであった。さらに抵抗を1MΩにしたものは約47μmであった。
また、抵抗を取り除いたものの砥石の消耗量は、約17μmであった。そして、通常の砥石1だけ接合した円環状の弾性体2を用いた研磨では、砥石の消耗量は約20μmであった。
このように、弾性体2に圧電セラミック12を接合し、さらにその圧電セラミック12に抵抗を接続することにより砥石の消耗量を、通常の方法に比較して大幅に改善することができた。
さらに、加工面の表面粗さについて測定した。ここで表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)を用いる。抵抗が1KΩであるときは、0.06μm、100KΩであるときは、0.24μm、1MΩであるときは0.08μmであった。また、抵抗を取り除いたものの砥石のRaは、ほぼ0.09μmであった。そして、通常の砥石1だけ接合した円環状の弾性体2を用いた研磨では、Raは0.07μmであった。このように表面粗さについても抵抗値により、調整できる。
円環状の弾性体2に接合した圧電セラミック12の電極間に抵抗17を接続するときの効果について考察する。砥石により被研磨物を研磨する際、砥石と被研磨物は、接触し、砥石に不要な振動を発生させる。この不要な砥石の振動は、被研磨物と不要な接触をさせる。このことにより砥石の磨耗は大きくなると考えられる。そこで、この不要な振動を減衰させれば、砥石の消耗量を小さくできることになると考察できる。
図8は、抵抗として、電気抵抗の高いインクを圧電セラミックの電極間に印刷し、さらに焼き付けた抵抗膜24ものである。このようにすると抵抗膜の質量が非常に小さいため回転バランスを改めて取る必要がない。
図9は図8に示した圧電セラミックの詳細を示す平面図である。圧電セラミックは厚さ方向に分極されており、かつ表面と裏面に銀電極が設けられている。また、裏面から表面に側に折り返し電極25が設けられている。もちろん、裏面電極と折り返し電極は連結している。この裏面の電極からの折り返し電極25は、表面で抵抗を接続、または抵抗インクを印刷するのに都合がよい。この表面に出た折り返し電極25と表面電極26を抵抗インクによる抵抗膜24で接続する。
本発明の研磨装置はまた、従来の研磨装置に市販の弾性体2に砥石を接合した構成に圧電セラミック12と抵抗を接合するだけでよい。したがって、安価なコストで研磨装置を提供することができる。
上記の実施の形態では、研磨装置に使用される砥石について説明した。砥石は、工作物の形状に応じていろいろな形のものが用いられる。研削を行うためには、工作物の形状に応じて円筒研削盤、内面研削盤、心なし研削盤、平面研削盤などがあり、本発明はこれらの砥石に用いることができる。
また、上記の実施の形態では、複数の圧電セラミックの形状を円弧状としたが、もちろん1個の円環状としてもよい。
さらに、上記の実施の形態では、圧電素子として、圧電セラミックを用いたが、例えばポリフッ化ビニリデンのような高分子圧電材料を用いてもよい。また、スパッタなどの方法によりPZTなどの圧電薄膜を作成して用いてもよい。
本発明の研磨装置は、ガラス、シリコン、シリコンナイトライド、希土類磁石材料、超硬金属および金属材料などの被研磨物を研磨するために用いられる。
1 砥石
2 弾性体
3 研磨軸
4 スラリー
5 ワーク固定台
6 ワーク固定台軸
7 被研磨物
8 積層型圧電アクチュエータ
9 防湿用の樹脂
10 加工テーブル
11 加工テーブル回転軸
12 圧電セラミック
13 ワーク保持台
14 回転円板
15 ボルト
16 突起
17 抵抗
18 砥石回転軸
19 パイプ
20 孔
21 ケース
22 切削水
23 ネジ穴
24 抵抗膜
25 折り返し電極
26 表面電極
27 リード線
2 弾性体
3 研磨軸
4 スラリー
5 ワーク固定台
6 ワーク固定台軸
7 被研磨物
8 積層型圧電アクチュエータ
9 防湿用の樹脂
10 加工テーブル
11 加工テーブル回転軸
12 圧電セラミック
13 ワーク保持台
14 回転円板
15 ボルト
16 突起
17 抵抗
18 砥石回転軸
19 パイプ
20 孔
21 ケース
22 切削水
23 ネジ穴
24 抵抗膜
25 折り返し電極
26 表面電極
27 リード線
Claims (2)
- 研磨装置に使用する切削工具として、砥石を接合した弾性体に、圧電素子を接合し、前記圧電素子の電極間に抵抗を接続することを特徴とする。
- 砥石の平均粒度が50μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006261439A JP2008055589A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 研磨装置に用いる砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006261439A JP2008055589A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 研磨装置に用いる砥石 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008055589A true JP2008055589A (ja) | 2008-03-13 |
Family
ID=39238926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006261439A Withdrawn JP2008055589A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 研磨装置に用いる砥石 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008055589A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102179733A (zh) * | 2011-04-11 | 2011-09-14 | 辽宁工业大学 | 圆环形超声抛光振子 |
CN102229109A (zh) * | 2011-04-28 | 2011-11-02 | 南京航空航天大学 | 磨具及采用弹性行波驱动磨具的控制方法 |
CN106737093A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 厦门麦科普睿科技有限公司 | 一种振动抛光装置 |
-
2006
- 2006-08-29 JP JP2006261439A patent/JP2008055589A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20091110 |