JP2008053604A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008053604A JP2008053604A JP2006230440A JP2006230440A JP2008053604A JP 2008053604 A JP2008053604 A JP 2008053604A JP 2006230440 A JP2006230440 A JP 2006230440A JP 2006230440 A JP2006230440 A JP 2006230440A JP 2008053604 A JP2008053604 A JP 2008053604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- substrate
- pod
- heating
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】処理炉の加熱温度誤検知を防止し、ウェーハの熱処理不良を防止し、歩留りの向上、熱処理の信頼性を向上させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段3と、該加熱手段3の温度を熱電対15,16,17,18の検出電圧に基づき検出し、該熱電対15,16,17,18により検出された温度に基づき前記加熱手段3を制御する制御手段23を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対15,16,17,18と前記制御手段23とは複数系列の補償導線87,88により接続され、前記加熱手段3の温度は前記複数系列の補償導線87,88を切換える切換手段89、90を備える構成とする。
【選択図】図4
【解決手段】基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段3と、該加熱手段3の温度を熱電対15,16,17,18の検出電圧に基づき検出し、該熱電対15,16,17,18により検出された温度に基づき前記加熱手段3を制御する制御手段23を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対15,16,17,18と前記制御手段23とは複数系列の補償導線87,88により接続され、前記加熱手段3の温度は前記複数系列の補償導線87,88を切換える切換手段89、90を備える構成とする。
【選択図】図4
Description
本発明は半導体装置を製造する1工程であり、シリコンウェーハ、ガラス基板等の基板に薄膜の生成、不純物の拡散、アニール処理、エッチング等の基板処理を行う基板処理装置に関するものである。
半導体装置の製造の1工程を実行する基板処理装置は、所定枚数の基板を一度に処理するバッチ式の基板処理装置と、1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置とがあり、いずれの形式の基板処理装置に於いても、処理炉を具備し、処理炉内の処理室に収納された基板を処理温度に加熱し、又処理室に基板の処理内容に対応した処理ガスを導入しつつ排気して、基板処理を行っている。
例えば、バッチ式基板処理装置の1つである縦型基板処理装置では、直立した円筒状の処理室を有し、該処理室に水平多段に保持された基板(以下ウェーハ)を収納し、処理室の周囲を覆う加熱手段であるヒータによって処理室、ウェーハを加熱している。
又、バッチ処理に於ける基板間の処理の均一性を保証する為、前記ヒータは上下方向に複数のゾーンに分割され、各ゾーン毎に独立して加熱が制御されている。
前記ヒータのゾーンを独立して制御する為、各ゾーンにはヒータの加熱温度を検出する為の温度センサである熱電対が設けられ、該熱電対が検出する温度に基づき各ゾーンの加熱制御が行われている。
図5は、従来のヒータ制御系統図であり、図5により従来のゾーン加熱制御について説明する。
図5中、1は処理室2を画成する反応管であり、前記処理室2の周囲にはヒータユニット3が設けられ、該ヒータユニット3は加熱ゾーン4,5,6,7(図中では4ゾーンの場合を示している)、それぞれに対応したヒータ8,9,10,11を有し、該ヒータ8,9,10,11はそれぞれ電力ケーブル12、電力調節器13を介してヒータ電源14に接続されている。
又、前記ヒータ8,9,10,11の加熱温度を検出する熱電対15,16,17,18が前記ヒータ8,9,10,11に対応してそれぞれ設けられている。
各熱電対15,16,17,18の温度検出部は前記ヒータ8,9,10,11の近傍に配置され、前記熱電対15,16,17,18のリード線はそれぞれ補償導線19に個別に接続され、該補償導線19はモニタ回路21に接続される。前記補償導線19は、一般的には前記ヒータ8,9,10,11からの加熱の影響を受けない温度の低い部分に配線されている。
前記モニタ回路21は前記補償導線19を介して前記熱電対15,16,17,18が出力する電位を検出し、検出温度信号に変換して制御回路22にフィードバックしている。尚、前記モニタ回路21と前記制御回路22は制御手段である温度調整器23を構成している。
前記制御回路22には上位コントローラ24から設定温度が設定されており、該設定温度となる様に前記電力調節器13を制御して各加熱ゾーン4,5,6,7への供給電力を調節し、更に前記熱電対15,16,17,18によって検出される加熱温度が設定温度に対して偏差があれば、偏差分を修正する様に電力の供給をしていた。
上記した熱電対は異種金線を溶着した温度検出部を有し、該温度検出部が加熱された場合に生じる異種金属間の起電力を検出することで温度を検出する様になっている。
前記補償導線19は、熱電対の素線と同様の効果を持ち、配線した時に素線内の温度変化の影響を補償するものであり、相互に絶縁されたプラスリード線、マイナスリード線のペア線であり、それぞれ熱電対の異種金属線に接続されている。
上記した様に、前記補償導線19は、熱電対の素線と同様の効果を有するので、前記補償導線19が、熱変形等、何らかの原因で短絡した場合は、短絡箇所は温度検出部として機能し、短絡した箇所が温度に対応した熱起電力を発生する様になる。
例えば、前記ヒータ9に対応する前記熱電対16の補償導線19が短絡した場合、前記モニタ回路21には、前記熱電対16からの熱起電力ではなく、前記補償導線19の短絡部分の熱起電力が入力され、前記モニタ回路21は実際のヒータ温度ではなく、ヒータ温度に比べ著しく低い短絡部分の温度を認知する。従って、前記ヒータ9に過度に電力を供給し異常加熱させる虞れがあり、ウェーハの熱処理にも大きな影響を与える虞れがある。
従って、補償導線19の短絡検出を行う必要があり、従来では隣接する熱電対の検出温度差を監視し、一方の熱電対の温度差を検出し、温度差が所定温度以上となった場合、例えば200℃以上となった場合は、短絡していると判断していた。
斯かる従来の方法であると、前記ヒータ8,9,10,11を急速に昇温、又は急速に降温した場合に、隣接するヒータ8,9,10,11の温度差が大きくなることもあり、誤検知の虞れがあった。
本発明は斯かる実情に鑑み、基板処理装置に於ける処理炉の加熱温度誤検知を防止し、ウェーハの熱処理不良を防止し、歩留りの向上、熱処理の信頼性を向上させるものである。
本発明は、基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段と、該加熱手段の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対により検出された温度に基づき前記加熱手段を制御する制御手段を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対と前記制御手段とは複数系列の補償導線により接続され、前記加熱手段の温度は前記複数系列の補償導線を切換えながら検出する様構成した基板処理装置に係るものである。
本発明によれば、基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段と、該加熱手段の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対により検出された温度に基づき前記加熱手段を制御する制御手段を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対と前記制御手段とは複数系列の補償導線により接続され、前記加熱手段の温度は前記複数系列の補償導線を切換えながら検出する様構成したので、補償導線のいずれか1つに異常があると検出温度に差を生じ、補償導線の短絡等の異常を検出することができ、加熱異常を防止でき、熱処理不良の防止、歩留りの向上、熱処理の信頼性の向上が図れる等の優れた効果を発揮する。
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
先ず、本発明が実施される基板処理装置について説明する。図1、図2は基板処理装置の一例として縦型の基板処理装置を示している。尚、該基板処理装置に於いて処理される基板は、一例としてシリコン等から成るウェーハが示されている。
図1及び図2に示されている様に、基板処理装置26は筐体27を備えている。該筐体27の正面壁28の正面前方部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口29が開設され、該正面メンテナンス口29は正面メンテナンス扉31によって開閉される。
前記筐体27の前記正面壁28にはポッド搬入搬出口32が前記筐体27の内外を連通する様に開設されており、前記ポッド搬入搬出口32はフロントシャッタ(搬入搬出口開閉機構)33によって開閉され、前記ポッド搬入搬出口32の正面前方側にはロードポート(基板搬送容器受渡し台)34が設置されており、該ロードポート34は載置されたポッド35を位置合せする様に構成されている。
該ポッド35は、密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によって前記ロードポート34上に搬入され、又、該ロードポート34上から搬出される様になっている。
前記筐体27内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚(基板搬送容器格納棚)36が設置されており、該回転式ポッド棚36は複数個のポッド35を格納する様に構成されている。
前記回転式ポッド棚36は垂直に立設されて間欠回転される支柱37と、該支柱37に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板(基板搬送容器載置棚)38とを備えており、該棚板38はポッド35を複数個宛それぞれ載置した状態で格納する様に構成されている。
前記回転式ポッド棚36の下方には、ポッドオープナ(基板搬送容器蓋体開閉機構)40が設けられ、該ポッドオープナ40は前記ポッド35を載置し、又該ポッド35の蓋を開閉可能な構成を有している。
前記ロードポート34と前記回転式ポッド棚36、前記ポッドオープナ40との間には、ポッド搬送装置(容器搬送装置)41が設置されており、該ポッド搬送装置41は、前記ポッド35を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっており、前記ロードポート34、前記回転式ポッド棚36、前記ポッドオープナ40との間で前記ポッド35を搬送する様に構成されている。
前記筐体27内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体42が後端に亘って設けられている。該サブ筐体42の正面壁43にはウェーハ(基板)49を前記サブ筐体42内に対して搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口(基板搬入搬出口)44が一対、垂直方向に上下2段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口44,44に対して前記ポッドオープナ40がそれぞれ設けられている。
該ポッドオープナ40は前記ポッド35を載置する載置台45と、前記ポッド35の蓋を開閉する開閉機構46とを備えている。前記ポッドオープナ40は前記載置台45に載置された前記ポッド35の蓋を前記開閉機構46によって開閉することにより、前記ポッド35のウェーハ出入れ口を開閉する様に構成されている。
前記サブ筐体42は前記ポッド搬送装置41や前記回転式ポッド棚36が配設されている空間(ポッド搬送空間)から気密となっている移載室47を構成している。該移載室47の前側領域にはウェーハ移載機構(基板移載機構)48が設置されており、該ウェーハ移載機構48は、ウェーハを載置する所要枚数(図示では5枚)のウェーハ載置プレート50を具備し、該ウェーハ載置プレート50は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。前記ウェーハ移載機構48はボート(基板保持具)51に対してウェーハ49を装填及び払出しする様に構成されている。
前記移載室47の後側領域には、前記ボート51を収容して待機させる待機部52が構成され、該待機部52の上方には縦型の処理炉53が設けられている。該処理炉53の下端部は、炉口部となっており、該炉口部は炉口シャッタ(炉口開閉機構)54により開閉される様になっている。
前記筐体27の右側端部と前記サブ筐体42の前記待機部52の右側端部との間には前記ボート51を昇降させる為のボートエレベータ(基板保持具昇降機構)55が設置されている。該ボートエレベータ55の昇降台に連結されたアーム56には蓋体としてのシールキャップ57が水平に取付けられており、該シールキャップ57は前記ボート51を垂直に支持し、前記処理炉53の下端部を気密に閉塞可能となっている。
前記ボート51は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50枚〜125枚程度)のウェーハ49を、その中心を揃えて水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。
前記ボートエレベータ55側と対向した位置にはクリーンユニット58が配設され、該クリーンユニット58は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア59を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。前記ウェーハ移載機構48と前記クリーンユニット58との間には、ウェーハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置(図示せず)が設置されている。
前記クリーンユニット58から吹出されたクリーンエア59は、ノッチ合せ装置(図示せず)及び前記ウェーハ移載機構48、前記ボート51に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、前記筐体27の外部に排気がなされるか、若しくは前記クリーンユニット58の吸込み側である一次側(供給側)に迄循環され、再び該クリーンユニット58によって、前記移載室47内に吹出される様に構成されている。
前記基板処理装置26の作動について説明する。
前記ポッド35が前記ロードポート34に供給されると、前記ポッド搬入搬出口32が前記フロントシャッタ33によって開放される。前記ロードポート34上の前記ポッド35は前記ポッド搬送装置41によって前記筐体27の内部へ前記ポッド搬入搬出口32を通して搬入され、前記回転式ポッド棚36の指定された前記棚板38へ載置される。前記ポッド35は前記回転式ポッド棚36で一時的に保管された後、前記ポッド搬送装置41により前記棚板38からいずれか一方のポッドオープナ40に搬送されて前記載置台45に移載されるか、若しくは前記ロードポート34から直接前記載置台45に移載される。
この際、前記ウェーハ搬入搬出口44は前記開閉機構46によって閉じられており、前記移載室47には前記クリーンエア59が流通され、充満している。例えば、前記移載室47にはクリーンエア59として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、前記筐体27の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
前記載置台45に載置された前記ポッド35はその開口側端面が前記サブ筐体42の前記正面壁43に於ける前記ウェーハ搬入搬出口44の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が前記開閉機構46によって取外され、ウェーハ出入れ口が開放される。
前記ポッド35が前記ポッドオープナ40によって開放されると、ウェーハ49は前記ポッド35から前記ウェーハ移載機構48によって取出され、ノッチ合せ装置(図示せず)に移送され、該ノッチ合せ装置にてウェーハ49を整合した後、前記ウェーハ移載機構48はウェーハ49を前記移載室47の後方にある前記待機部52へ搬入し、前記ボート51に装填(チャージング)する。
該ボート51にウェーハ49を受渡した前記ウェーハ移載機構48はポッド35に戻り、次のウェーハ49を前記ボート51に装填する。
一方(上段又は下段)のポッドオープナ40に於ける前記ウェーハ移載機構48によるウェーハ49の前記ボート51への装填作業中に、他方(下段又は上段)のポッドオープナ40には前記回転式ポッド棚36から別のポッド35が前記ポッド搬送装置41によって搬送されて移載され、前記他方のポッドオープナ40によるポッド35の開放作業が同時進行される。
予め指定された枚数のウェーハ49が前記ボート51に装填されると、前記炉口シャッタ54によって閉じられていた前記処理炉53の炉口部が、前記炉口シャッタ54によって開放される。続いて、前記ボート51は前記ボートエレベータ55によって上昇され、前記処理炉53内へ搬入(ローディング)される。
ローディング後は、前記シールキャップ57によって炉口部が気密に閉塞され、前記処理炉53にてウェーハ49に所要の処理が実行される。
処理後は、ノッチ合せ装置(図示せず)でのウェーハ49の整合工程を除き、上記と逆の手順で、ウェーハ49及びポッド35は前記筐体27の外部へ払出される。
次に、前記処理炉53について図3、図4により説明する。尚、図3、図4中、図5中で示したものと同等のもには同符号を付してある。
該処理炉53は加熱手段としてのヒータユニット3を有する。該ヒータユニット3は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース60に支持されることにより垂直に設置されている。又、前記ヒータユニット3は垂直方向に複数の加熱ゾーン4,5,6,7に分割(図示では4分割)され、各加熱ゾーン4,5,6,7に対応してヒータ8,9,10,11が設けられ、該ヒータ8,9,10,11は独立して制御可能となっている。
前記ヒータユニット3の内側には、該ヒータユニット3と同心円状に反応管1が配設されている。該反応管1は内部反応管61と、その外側に同心に設けられた外部反応管62とから構成されている。
前記内部反応管61は、例えば石英(SiO2 )又は炭化シリコン(SiC)等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状であり、前記外部反応管62は、例えば石英又は炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状となっている。
前記内部反応管61の内部には処理室2が画成され、該処理室2にはウェーハ49が前記ボート51によって保持され、収納可能となっている。該ボート51は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、所定枚数のウェーハ49を水平姿勢で且つ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持する様に構成されている。尚、前記ボート51の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板63が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、前記ヒータユニット3からの熱が炉口側に伝わり難くなる様構成されている。
前記外部反応管62の下方には、該外部反応管62と同心円状にマニホールド64が配設されている。該マニホールド64は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状となっており、該マニホールド64の上端に前記外部反応管62が気密に立設され、前記マニホールド64の内壁に突設された内フランジ70に前記内部反応管61が立設されている。前記反応管1と前記マニホールド64により反応容器が形成され、前記マニホールド64の下端開口は炉口部を形成する。
前記シールキャップ57にはガス導入部としてのノズル65が前記処理室2に連通する様に設けられ、前記ノズル65にはガス供給管66が接続されている。該ガス供給管66には、ガス流量制御器67を介して図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続され、更に前記ガス供給管66にはガス給排の為の開閉弁、例えば前記ガス流量制御器67の上流側、下流側には第1開閉弁68、第2開閉弁69が設けられている。
前記ガス流量制御器67には、ガス流量制御部71が電気的に接続されており、供給するガスの流量が所望の量となる様所望のタイミングにて制御する様に構成されている。
前記マニホールド64には、前記処理室2の雰囲気を排気する排気管72が設けられている。該排気管72は、前記内部反応管61と前記外部反応管62との間に形成される筒状空間73の下端部に連通している。前記排気管72には圧力センサ74及び圧力調整装置75を介して真空ポンプ等の真空排気装置76が接続されており、前記処理室2の圧力が所定の圧力(真空度)となる様真空排気し得る様に構成されている。
前記圧力調整装置75及び前記圧力センサ74には、圧力制御部77が電気的に接続されており、該圧力制御部77は前記圧力センサ74により検出された圧力に基づいて前記圧力調整装置75により前記処理室2の圧力が所望の圧力となる様所望のタイミングにて制御する様に構成されている。
前記炉口部は前記シールキャップ57によって気密に閉塞可能である。該シールキャップ57は例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。該シールキャップ57の下面側には、前記ボート51を回転させる回転機構78が設置されている。該回転機構78の回転軸79は前記シールキャップ57を貫通してボート受け台81に連結されており、前記回転機構78を駆動することで前記ボート51を介してウェーハ49を回転させる様に構成されている。前記シールキャップ57は前記ボートエレベータ55によって垂直方向に昇降される様に構成されており、これにより前記ボート51を前記処理室2に対し装入引出しすることが可能となっている。前記回転機構78及び前記ボートエレベータ55には、駆動制御部82が電気的に接続されており、所望の作動をする様所望のタイミングにて制御する様に構成されている。
前記筒状空間73には温度センサ83が前記内部反応管61の下部から上部に掛渡って立設され、前記ヒータユニット3と前記温度センサ83には、電気的に温度制御部84が接続されている。
前記温度センサ83は、保護管(図示せず)内部に複数の熱電対15,16,17,18が挿入され、該熱電対15,16,17,18の温度検出部の位置は前記ヒータ8,9,10,11に対応する様に高さ方向の位置が異なる様に配置されており、前記温度制御部84は、前記熱電対15,16,17,18からのそれぞれの検出温度に基づき前記ヒータ8,9,10,11への給電状態を独立して調整し、前記処理室2の温度が所望の温度、温度分布となる様にゾーン加熱制御可能となっている。
前記ガス流量制御部71、前記圧力制御部77、前記駆動制御部82、前記温度制御部84は、操作部、入出力部をも構成し、基板処理装置全体を制御する主制御部85に電気的に接続されている。前記ガス流量制御部71、前記圧力制御部77、前記駆動制御部82、前記温度制御部84、前記主制御部85は制御装置86として構成されている。
次に、上記構成に係る処理炉53を用いて、半導体デバイスの製造工程の1工程として、CVD法によりウェーハ49上に薄膜を生成する方法について説明する。尚、以下の説明に於いて、基板処理装置を構成する各部の作動は前記制御装置86により制御される。
所定枚数のウェーハ49が前記ボート51に装填されると、該ボート51は、前記ボートエレベータ55によって上昇されて前記処理室2に装入される。この状態で、前記シールキャップ57は炉口部を気密に閉塞する。
前記処理室2が所望の圧力(真空度)となる様に前記真空排気装置76によって真空排気される。この際、前記処理室2の圧力は、前記圧力センサ74で検出され、検出結果に基づき前記圧力調整装置75が、前記処理室2の圧力をフィードバック制御する。
又、前記処理室2が所望の温度分布となる様に前記温度センサ83が検出した温度情報に基づき、前記温度制御部84によって該処理室2が所望の温度となる様に前記ヒータユニット3によってゾーン加熱制御される。続いて、前記回転機構78により、前記ボート51が回転される。該ボート51と一体にウェーハ49が回転され、該ウェーハ49に対する処理が均一化される。
又、前記第1開閉弁68、前記第2開閉弁69等、前記ガス供給管66に設けられた開閉弁の開閉作動が行われ、処理ガス供給源(図示せず)から処理ガスの供給が開始される。前記ガス流量制御器67にて所望の流量となる様に制御された処理ガスは、前記ガス供給管66を流通して前記ノズル65から前記処理室2に導入される。導入された処理ガスは該処理室2を上昇し、前記内部反応管61の上端開口で折返し、前記筒状空間73を流下して前記排気管72から排気される。処理ガスは前記処理室2を通過する際にウェーハ49の表面と接触し、この際に熱CVD反応によってウェーハ49の表面上に薄膜が成膜される。
予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源(図示せず)から不活性ガスが供給され、前記処理室2が不活性ガスに置換されると共に、該処理室2の圧力が常圧に復帰される。
前記ボートエレベータ55により前記シールキャップ57を介して前記ボート51が降下される。
処理後の処理済みウェーハ49の搬出については、上記説明と逆の手順で行われる。
次に、図4のヒータ制御系統図を参照して、上記実施の形態に於けるヒータの加熱温度検知及び補償導線の短絡検知について説明する。
前記熱電対15,16,17,18とモニタ回路21とを2系統の主補償導線87、及び副補償導線88によって接続し、前記熱電対15,16,17,18と前記主補償導線87、前記副補償導線88とは半導体リレー等の第1切換え手段89を介して接続し、前記主補償導線87、前記副補償導線88と前記モニタ回路21とは半導体リレー等の第2切換え手段90を介して接続する。
前記モニタ回路21は前記第1切換え手段89、前記第2切換え手段90の切換えを制御し、前記第1切換え手段89は前記熱電対15,16,17,18と前記主補償導線87と前記副補償導線88との接続状態を切替えるものであり、又前記第2切換え手段90は前記主補償導線87と前記副補償導線88と前記モニタ回路21との接続状態を切替えるものである。又、前記第1切換え手段89と前記第2切換え手段90とは同期して作動し、前記熱電対15,16,17,18と前記モニタ回路21とが前記主補償導線87によって接続されるか、前記副補償導線88によって接続されるかを切替える様になっている。
前記ヒータ8,9,10,11の加熱温度の検出は、前記主補償導線87により前記熱電対15,16,17,18と前記モニタ回路21とが接続状態となっている状態で行われ、例えば0.5秒周期で前記ヒータ8,9,10,11の加熱温度が検出され、モニタされる。又、例えば、前記第1切換え手段89、前記第2切換え手段90は5秒毎に接続状態を前記副補償導線88に切換え、前記ヒータ8,9,10,11の加熱温度を前記副補償導線88を介してそれぞれ個別にモニタする。
尚、前記主補償導線87で温度検出した場合と、前記副補償導線88で温度検出した場合とでは、個体差による誤差を生じると考えられるが、斯かる誤差については事前に補正しておく。
前記主補償導線87、前記副補償導線88が短絡していない場合は、前記主補償導線87による検出温度と、前記副補償導線88による検出温度は同一となる。
前記主補償導線87、前記副補償導線88は耐熱温度が90℃程度であるので、温度の低い部分に配線されている。例えば、前記主補償導線87が短絡していた場合は、該主補償導線87が検出する温度は前記副補償導線88により検出する温度より極端に低く、経験的には100℃以下となることが分っている。
又、昇温時等温度変化、例えば200℃/分、がある場合の、モニタ間隔温度差は17℃程度である。
従って、例えば前記熱電対15について、前記副補償導線88に切替えて温度検出した場合と、前記主補償導線87が温度検出した場合の温度差が、前記副補償導線88で検出した温度に対して所定温度、例えば30℃以上低い場合は、前記熱電対15に接続された前記主補償導線87が短絡した、或は該主補償導線87を介して検出する温度が異常と判断する。尚、前記主補償導線87で0.5秒間隔でモニタしているので、直前の前記主補償導線87による検出温度と前記副補償導線88に切替えた時の温度とを比較すれば、モニタ間隔温度差は殆どなくなる。
尚、同様にして前記副補償導線88が短絡した場合も検出することができる。
検出温度は、前記モニタ回路21に送出され、制御回路22で異常と判断した場合は、直ちに正常の補償導線に切替えて基板処理を続行する。上記の場合は、前記副補償導線88を使用して温度検出が行われる。尚、前記制御回路22は、表示部(図示せず)に短絡している旨の表示をし、或は前記制御回路22の内部の記憶部に短絡した旨の記録をする。
而して、前記主補償導線87、前記副補償導線88の短絡を確実に検出することが可能となると共に、前記主補償導線87、前記副補償導線88のいずれか一方が短絡した場合でも、他方の補償導線を使用することで基板処理を続行することができ、処理不良の発生を防止できる。又、前記補償導線は3本以上設けて交互に切替えて検出する様にしてもよい。
尚、本発明は、縦型炉、バッチ式の基板処理装置に限らず、熱電対を使用する全ての基板処理装置に実施可能であり、更に加熱手段に限らず温度検出に熱電対を用いた場合にも実施可能であることは言う迄もない。
(付記)
尚、本発明は以下の実施の態様を含む。
尚、本発明は以下の実施の態様を含む。
(付記1)被温度検出体の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対には複数系列の補償導線が接続され、所定周期で補償導線の接続状態を切換えながら、加熱手段の温度検出を行い、検出温度に差異が生じた場合に、前記補償導線の異常と判断することを特徴とする被温度検出体の温度検出方法。
(付記2)加熱手段の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対により検出された温度に基づき前記加熱手段を制御する加熱制御方法に於いて、前記熱電対に複数系列の補償導線を接続し、所定周期で補償導線の接続状態を切換えながら、前記加熱手段の温度検出を行いつつ、検出温度に基づき前記加熱手段を制御することを特徴とする加熱手段の制御方法。
(付記3)基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段と、該加熱手段の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対により検出された温度に基づき前記加熱手段を制御する制御手段を具備した基板処理装置による基板処理方法に於いて、前記熱電対と前記制御手段とは複数系列の補償導線により接続され、前記加熱手段の温度は前記複数系列の補償導線を所要周期で切換えながら検出することを特徴とする基板処理方法。
1 反応管
3 ヒータユニット
8 ヒータ
9 ヒータ
10 ヒータ
11 ヒータ
13 電力調節器
15 熱電対
16 熱電対
17 熱電対
18 熱電対
21 モニタ回路
23 温度調整器
87 主補償導線
88 副補償導線
89 第1切換え手段
90 第2切換え手段
3 ヒータユニット
8 ヒータ
9 ヒータ
10 ヒータ
11 ヒータ
13 電力調節器
15 熱電対
16 熱電対
17 熱電対
18 熱電対
21 モニタ回路
23 温度調整器
87 主補償導線
88 副補償導線
89 第1切換え手段
90 第2切換え手段
Claims (1)
- 基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段と、該加熱手段の温度を熱電対の検出電圧に基づき検出し、該熱電対により検出された温度に基づき前記加熱手段を制御する制御手段を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対と前記制御手段とは複数系列の補償導線により接続され、前記加熱手段の温度は前記複数系列の補償導線を切換えながら検出する様構成したことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230440A JP2008053604A (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230440A JP2008053604A (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053604A true JP2008053604A (ja) | 2008-03-06 |
Family
ID=39237335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006230440A Pending JP2008053604A (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008053604A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014178071A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置の異常検知装置、熱処理装置及び熱処理装置の異常検知方法、並びに、異常検知方法のプログラム |
WO2018087915A1 (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 理化工業株式会社 | 温度測定器、温度調節計及び短絡判別プログラム |
-
2006
- 2006-08-28 JP JP2006230440A patent/JP2008053604A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014178071A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置の異常検知装置、熱処理装置及び熱処理装置の異常検知方法、並びに、異常検知方法のプログラム |
WO2018087915A1 (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 理化工業株式会社 | 温度測定器、温度調節計及び短絡判別プログラム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6403431B2 (ja) | 基板処理装置、流量監視方法及び半導体装置の製造方法並びに流量監視プログラム | |
JP5188326B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、及び基板処理装置 | |
JP6545396B2 (ja) | 基板処理装置、振動検出システム及びプログラム | |
KR20080031621A (ko) | 기판처리장치 및 반도체장치의 제조방법 | |
US20210313205A1 (en) | Substrate Processing Apparatus, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Heater | |
JP2008053604A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5087283B2 (ja) | 温度制御システム、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP2009124105A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5123485B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP2011003689A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007258630A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2008130925A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2013062271A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2011146412A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007258632A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4928368B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2007243119A (ja) | 基板処理装置 | |
TWI837793B (zh) | 支撐件、基板處理裝置、及半導體裝置的製造方法 | |
WO2023053172A1 (ja) | 支持具、基板処理装置、および半導体装置の製造方法 | |
JP4422525B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2010040919A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009088314A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2005268689A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5885945B2 (ja) | 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法、並びにプログラム | |
JP2008072054A (ja) | 基板処理装置 |