JP2008053400A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008053400A5 JP2008053400A5 JP2006227386A JP2006227386A JP2008053400A5 JP 2008053400 A5 JP2008053400 A5 JP 2008053400A5 JP 2006227386 A JP2006227386 A JP 2006227386A JP 2006227386 A JP2006227386 A JP 2006227386A JP 2008053400 A5 JP2008053400 A5 JP 2008053400A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- film
- manufacturing
- hole
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227386A JP4567643B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | コンデンサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227386A JP4567643B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | コンデンサ及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010052876A Division JP2010187384A (ja) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053400A JP2008053400A (ja) | 2008-03-06 |
JP2008053400A5 true JP2008053400A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2009-12-24 |
JP4567643B2 JP4567643B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=39237171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006227386A Expired - Fee Related JP4567643B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4567643B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4947220B2 (ja) | 2010-05-13 | 2012-06-06 | オムロン株式会社 | 音響センサ及びマイクロフォン |
JP5588745B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-09-10 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン |
CN111095949B (zh) * | 2017-09-18 | 2021-06-18 | 美商楼氏电子有限公司 | 减少声换能器中噪声的方法和麦克风组件 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2579190Y2 (ja) * | 1991-07-29 | 1998-08-20 | 株式会社オーディオテクニカ | コンデンサマイクロホン |
JP3299829B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2002-07-08 | 株式会社オーディオテクニカ | 可変指向性コンデンサマイクロホン |
DK1469701T3 (da) * | 2000-08-11 | 2008-08-18 | Knowles Electronics Llc | Ophöjede mikrostrukturer |
JP2004128957A (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 音響検出機構 |
JP4244885B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2009-03-25 | パナソニック株式会社 | エレクトレットコンデンサー |
JP4539450B2 (ja) * | 2004-11-04 | 2010-09-08 | オムロン株式会社 | 容量型振動センサ及びその製造方法 |
JP2007274334A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Yamaha Corp | コンデンサマイクロホン |
JP4944494B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2012-05-30 | 日本放送協会 | 静電容量型センサ |
-
2006
- 2006-08-24 JP JP2006227386A patent/JP4567643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9681234B2 (en) | MEMS microphone structure and method of manufacturing the same | |
JP2008504679A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
BRPI0708934A2 (pt) | microfone de condensador | |
JP2005235858A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2012085239A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
EP1931173A3 (en) | Condenser microphone having flexure hinge diaphragm and method of manufacturing the same | |
JP5877907B2 (ja) | 寄生容量が低減されたmemsマイクロフォン | |
US20160112801A1 (en) | Microphone and method of manufacturing the same | |
US9674618B2 (en) | Acoustic sensor and manufacturing method of the same | |
US9866970B2 (en) | Method of manufacturing a microphone | |
TW403969B (en) | Method for manufacturing metal oxide semiconductor | |
US20160112802A1 (en) | Microphone and method of manufacturing the same | |
JP6307171B2 (ja) | Memsマイクロホン | |
JP2008053400A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
US20100084723A1 (en) | Mems structure and method of manufacturing the same | |
JP2008016919A (ja) | 音響感応装置 | |
JP2007267081A (ja) | コンデンサ型マイクロホン及びその製造方法 | |
CN108609573A (zh) | 一种mems器件及其制备方法、电子装置 | |
CN107799388B (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
US9059192B2 (en) | Metal-insulation-metal device | |
JP2010030020A (ja) | 電子装置 | |
CN104979217B (zh) | 阵列基板及其制作方法以及显示装置 | |
CN207475874U (zh) | 一种mems麦克风中的背极及mems麦克风 | |
JP2004253806A (ja) | ダイオードの製造方法及び構造 | |
JP4567643B2 (ja) | コンデンサ及びその製造方法 |