CN207475874U - 一种mems麦克风中的背极及mems麦克风 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风，包括背极本体以及设置在背极本体上的通孔；其中，所述背极本体上设置有至少一个延伸至通孔内的延伸部，所述延伸部与背极本体是一体的。本实用新型的背极及MEMS麦克风，由于采用了延伸部，使得通孔可以做的较大，以降低声阻，提高声音的传递效率。同时，该延伸部既可以阻挡灰尘通过通孔进入到背极与振膜之间，也可以提高背极与振膜之间的相对面积，从而在防止异物进入的同时，提高了麦克风的性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的振膜；本实用新型还涉及一种MEMS麦克风。
背景技术
MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件，振膜、背极板构成了电容器并集成在硅晶片上，实现声电的转换。
为了使声波可以通过背极并作用到振膜上，通常会在背极上设置通孔；外界的声音可以通过背极上的通孔再传递到麦克风的振膜上。背极上通孔的孔径不能太大，否则异物会通过该通孔进入到背极与振膜之间，从而影响振膜的振动性能；导电的异物还有可能会引起背极与振膜的短路；另外过大的孔径会影响背极与振膜之间相对的面积。该通孔的孔径也不能太小，否则会形成声阻，影响声音能量的传递效率。
实用新型内容
本实用新型的一个目的是提供一种MEMS麦克风中的背极。
根据本实用新型的一个方面，提供一种MEMS麦克风中的背极，包括背极本体以及设置在背极本体上的通孔；其中，所述背极本体上设置有至少一个延伸至通孔内的延伸部，所述延伸部与背极本体是一体的。
可选地，所述延伸部设置有多个，间隔分布在通孔的周向方向上。
可选地，所述延伸部跨越通孔的两侧，以将所述通孔分开。
可选地，所述延伸部设置有一个。
根据本实用新型的另一方面，还提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜、支撑部、以及上述背极构成的平板电容器结构。
可选地，所述衬底上形成的是背极在下、振膜在上的平板电容器结构。
可选地，所述衬底上形成的是背极在上、振膜在下的平板电容器结构。
可选地，所述背极设置有两个，分别位于振膜的两侧。
可选地，两个背极上通孔、延伸部的结构一致。
本实用新型的背极及MEMS麦克风，由于采用了延伸部，使得通孔可以做的较大，以降低声阻，提高声音的传递效率。同时，该延伸部既可以阻挡灰尘通过通孔进入到背极与振膜之间，也可以提高背极与振膜之间的相对面积，从而在防止异物进入的同时，提高了麦克风的性能。
通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例，并且连同说明书一起用于解释本实用新型的原理。
图1是本实用新型麦克风的结构示意图。
图2是本实用新型背极的结构示意图。
图3是本实用新型背极另一实施方式的结构示意图。
图4是本实用新型麦克风另一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
参考图2，本实用新型提供了一种MEMS麦克风中的背极5，其包括背极本体50以及设置在背极本体50上的通孔6。背极可以采用本领域技术人员所熟知的单晶硅或者多晶硅的材料。在MEMS麦克风的成型工艺中，通常通过沉积的方式形成背极层，并通过刻蚀的方式在背极本体50上形成通孔6。通孔6的数量可以根据具体需求而定。
本实用新型的背极5,在所述背极本体50上设置有至少一个延伸至通孔6内的延伸部60，该延伸部60与背极本体50是一体的，其从背极本体50上延伸至通孔6内。具体在成型的时候，可以根据设计的需要，在背极本体50上刻蚀通孔的图案，形成上述的通孔6以及延伸部60。
参考图2，每个通孔中的延伸部60可以设置有多个，该多个延伸部60间隔分布在通孔6的周向方向上，使得该通孔6整体呈齿状。所述多个延伸部60例如可以朝向通孔6的中心方向延伸。
在本实用新型另一个具体的实施方式中，参考图3，所述延伸部60跨越通孔6的两端，以将所述通孔6分开。所述延伸部60可以设置有一个，该延伸部60穿过通孔6的中心位置，以将通孔6一分为二。当然对于本领域的技术人员而言，所述延伸部60也可以设置有两个，该两个延伸部60交叉且穿过通孔6的中心，例如该两个延伸部60呈十字形，以将通孔6一分为四。
本实用新型的背极5可以应用到MEMS麦克风中，为此本实用新型还提供了一种MEMS麦克风。参考图1，本实用新型的MEMS麦克风，其包括具有背腔的衬底1，在所述衬底1上设置有振膜3以及上述的背极5。本实用新型的振膜3、背极5可通过依次沉积的方式形成在衬底1上，所述衬底1可以采用单晶硅材料，所述振膜3、背极5可以采用单晶硅或者多晶硅材料，这种材料的选择以及沉积的工艺属于本领域技术人员的公知常识，在此不再具体说明。
所述背极5与振膜3构成了平板电容器结构，该平板电容器结构例如可以是背极5在上、振膜3在下的方式，也可以是背极5在下、振膜3在上的方式。为了便于描述，现以背极5在上、振膜3在下的平板电容器结构为例来描述本实用新型的技术方案。
为了实现振膜3与衬底1之间的绝缘，在所述振膜3与衬底1之间连接的位置设置有绝缘层2，该绝缘层2可以采用本领域技术人员所熟知的二氧化硅材料。为了保证背极5与振膜3之间可以构成具有一定间隙的平板电容器结构，在所述背极5与振膜3之间还设置有用于支撑的支撑部4，所述支撑部4在起到支撑背极5的同时，还可以保证背极5与振膜3之间的绝缘。这种电容器的MEMS麦克风结构属于本领域技术人员的公知常识，在此不再具体说明。
在本实用新型另一个具体的实施方式中，本实用新型的麦克风也可以是双背极结构，此时，所述背极设置有两个，分别记为第一背极7、第二背极8，参考图4。所述第一背极7、第二背极8分别位于振膜3的两侧，并与振膜3分别形成了一电容器结构。这种双背极的麦克风结构属于本领域技术人员的公知常识，在此不再具体说明。
其中，所述第一背极7、第二背极8分别采用上述的通孔结构以及延伸部结构，该两个背极上的通孔以及延伸部可以相同，也可以不同，在此不再具体说明。
本实用新型的背极及MEMS麦克风，由于采用了延伸部，使得通孔可以做的较大，以降低声阻，提高声音的传递效率。同时，该延伸部既可以阻挡灰尘通过通孔进入到背极与振膜之间，也可以提高背极与振膜之间的相对面积，从而在防止异物进入的同时，提高了麦克风的性能。
虽然已经通过示例对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上示例仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。
Claims (9)
1.一种MEMS麦克风中的背极，其特征在于：包括背极本体以及设置在背极本体上的通孔；其中，所述背极本体上设置有至少一个延伸至通孔内的延伸部，所述延伸部与背极本体是一体的。
2.根据权利要求1所述的背极，其特征在于：所述延伸部设置有多个，间隔分布在通孔的周向方向上。
3.根据权利要求1所述的背极，其特征在于：所述延伸部跨越通孔的两侧，以将所述通孔分开。
4.根据权利要求3所述的背极，其特征在于：所述延伸部设置有一个。
5.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜、支撑部、以及根据权利要求1至4任一项所述背极构成的平板电容器结构。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述衬底上形成的是背极在下、振膜在上的平板电容器结构。
7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述衬底上形成的是背极在上、振膜在下的平板电容器结构。
8.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背极设置有两个，分别位于振膜的两侧。
9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于：两个背极上通孔、延伸部的结构一致。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111031460A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-17 | 歌尔微电子有限公司 | 一种mems芯片、制备方法及包括其的mems麦克风 |
| CN111757223A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-10-09 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种mems麦克风芯片 |
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