JP2008052911A - プラズマ照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ照射装置は、ガス分子を導入してこれを励起してプラズマを発生するプラズマ発生管30、40と、このプラズマ発生管30、40の中のガス分子を励起する電極33、43とを有し、プラズマ発生管30、40の一端からプラズマを放出する。そして、プラズマ発生管30、40の一端から真空槽1の中に設置した処理物6に向けて筒状のプラズマ放射用の延長ノズル31、41を延長している。
【選択図】図1
Description
しかしながら、例えば電子顕微鏡のように処理物に向けて電子ビームを照射する電子光学機構や二次電子を検出する検出器が設けられている場合、特許文献2に記載された如く処理物の表面にノズルを真っ直ぐに向けて設けることは出来ない。そのため、必然的に処理物から離れてその表面に斜めや横からプラズマを照射する構造となり、十分な処理効果を期待することが難しい。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
さらにプラズマ発生管30の外側は、円筒形のカバー36で覆われている。
図3は、このプラズマ照射装置4を水平にした状態の断面図である。
この他方のフランジ48には、内周に雌のねじを設けたねじ管51が取り付けられている。このねじ管51は、フランジ48に対して回転自在であるが、プラズマ発生管40の軸方向へは移動しないよう保持されている。さらにこのねじ管51の外周側には送りつまみ50が嵌め込まれ、固定されている。この送りつまみ50の回転操作により、これに固定された雌のねじ管51が回転される。
このような構成により、送りつまみ50を回転してこれに固定された雌のねじ管51を回転すると、ねじによる対偶をなしている雄のねじ管49がねじのリードに従って図3に矢印で示すように移動し、延長ノズル41がフランジ47から延び或いは後退する。このとき、電極43はプラズマ発生管40に対してスライドし、フランジ47に対して一定の位置を保つ。
3 プラズマ発生装置
4 プラズマ発生装置
6 処理物
30 プラズマ発生管
31 延長ノズル
40 プラズマ発生管
41 延長ノズル
Claims (3)
- ガス分子を導入し、これを励起してプラズマを発生するプラズマ発生管(30)、(40)と、このプラズマ発生管(30)、(40)の中のガス分子を励起する電極(33)、(43)とを有し、プラズマ発生管(30)、(40)の一端からプラズマを放出するプラズマ照射装置において、プラズマ発生管(30)、(40)の一端から真空槽(1)の中に設置した処理物(6)に向けて筒状のプラズマ放射用のノズル(31)、(41)を延長したことを特徴とするプラズマ照射装置。
- 延長ノズル(3)は、真空槽(1)の中に設置した処理物(6)に向けて近接・後退可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ照射装置。
- プラズマ発生管(30)、(40)の中のガス分子を励起する電極(33)、(43)は、プラズマ発生管(30)、(40)を囲むように設けたリング状または筒状のものであり、プラズマ発生管(30)、(40)はこの電極(33)、(43)に対してその軸方向に移動可能となっていることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ照射装置。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5483376A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Fujitsu Ltd | Plasma treatment equipment |
JPS63297566A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH04206719A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JPH08990A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-09 | Komatsu Ltd | ガス噴射による表面処理方法および表面処理装置 |
JPH09115887A (ja) * | 1995-10-14 | 1997-05-02 | Speedfam Co Ltd | プラズマエッチング方法及びその装置 |
JPH1050622A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Komatsu Ltd | 表面処理装置用ノズル、表面処理装置およびこれを用いた表面処理方法 |
JPH11167891A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 走査電子顕微鏡装置 |
JP2000054149A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-22 | Leybold Syst Gmbh | 引っ掻き防止層と反射防止層系とを被着させるための方法および該方法を実施するための装置 |
JP2001308666A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片および水晶振動片の製造方法と水晶デバイス |
JP2004253647A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
-
2006
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5483376A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Fujitsu Ltd | Plasma treatment equipment |
JPS63297566A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH04206719A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JPH08990A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-09 | Komatsu Ltd | ガス噴射による表面処理方法および表面処理装置 |
JPH09115887A (ja) * | 1995-10-14 | 1997-05-02 | Speedfam Co Ltd | プラズマエッチング方法及びその装置 |
JPH1050622A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Komatsu Ltd | 表面処理装置用ノズル、表面処理装置およびこれを用いた表面処理方法 |
JPH11167891A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 走査電子顕微鏡装置 |
JP2000054149A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-22 | Leybold Syst Gmbh | 引っ掻き防止層と反射防止層系とを被着させるための方法および該方法を実施するための装置 |
JP2001308666A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片および水晶振動片の製造方法と水晶デバイス |
JP2004253647A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
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