JP2008047721A - 太陽電池用基板およびその製造方法、並びに、それを用いた太陽電池およびその製造方法 - Google Patents
太陽電池用基板およびその製造方法、並びに、それを用いた太陽電池およびその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】プラスチックフィルム1を、該プラスチックフィルムの融点より20〜100℃低い温度に加熱しながら、1組のエンボスロールとバックアップロールとで挟み込み、該プラスチックフィルムに凹凸2を形成する凹凸形成工程と、該凹凸上に、接着層3を形成する接着層形成工程を具備する太陽電池用基板の製造方法。光反射電極8上に、プラズマCVD法を用いて光電変換層7,6,5を形成し、その後、該光電変換層の前記光反射電極が形成された面と逆側の面上にスパッタ法を用いて透明電極を形成し、該透明電極と太陽電池用基板の接着層を重ね、熱圧着すること。表面に凹凸形状を有するフィルム上に接着層が形成された太陽電池用基板であって、前記接着層の融点を130〜150℃とすること。
【選択図】図1
Description
光入射側から、透明基板、透明電極、p型半導体層、i型半導体層、n型半導体層、裏面電極の順に形成される構造、
光入射側から、透明基板、透明電極、n型半導体層、i型半導体層、p型半導体層、裏面電極の順に形成される構造が汎用されている。
そのため、基板の材料としてポリイミド等の耐熱性プラスチックを用いる手法が検討されている。
前記接着層の融点が130〜150℃であることを特徴とする太陽電池用基板である。
プラスチックフィルムを、該プラスチックフィルムの融点より20〜100℃低い温度に加熱しながら、1組のエンボスロールとバックアップロールとで挟み込み、該プラスチックフィルムに凹凸を形成する凹凸形成工程と、
該凹凸上に、接着層を形成する接着層形成工程を具備する太陽電池用基板の製造方法である。
原料ガスおよび原料ガス流量;SiH4:3sccm、H2:48sccm、PH3:2sccm
圧力;27Pa
放電電力;30W
マイクロ波周波数;13.56MHz
基板温度;180℃
原料ガスおよび原料ガス流量;SiH4:5sccm、H2:50sccm
圧力;200Pa
放電電力;20W
マイクロ波周波数;13.56MHz
基板温度;140℃
原料ガスおよび原料ガス流量;SiH4:7sccm、H2:50sccm、B2H6:50sccm
圧力;200Pa
放電電力;25W
マイクロ波周波数;13.56MHz
基板温度;140℃
ターゲット;ZnO・Ga2O3(Ga2O3 5.6wt%)
スパッタガス:Ar
ガス圧力;65Pa
投入電力;0.5W/cm2
基板温度;225℃
ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムに凹凸を設けなかったこと以外は実施例と同様にして太陽電池を作製し、実施例と同様に電池特性を測定した。
2・・・凹凸形状を有するプラスチックフィルム
3・・・接着層
4・・・透明電極
5・・・p型結晶質シリコン層
6・・・i型結晶質シリコン層
7・・・n型シリコン層
8・・・光反射電極
Claims (9)
- 表面に凹凸形状を有するプラスチックフィルム上に接着層が形成された太陽電池用基板であって、
前記接着層の融点が100〜150℃であることを特徴とする太陽電池用基板。 - 前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンテレフタレート(PET)またはポリエチレンナフタレート(PEN)からなることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用基板。
- 前記接着層が、40〜80%の酢酸ビニルを含有するEVA(エチレン酢酸ビニル共重合樹脂)からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池用基板。
- 光電変換層の一方の面に光反射電極が形成され、前記光電変換層の前記光反射電極が形成された面と逆側の面上に透明電極が形成され、該透明電極と請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池用基板の接着層を接着したことを特徴とする太陽電池。
- 前記光電変換層が、pin接合からなる半導体層であることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池。
- 前記光電変換層が、pn接合からなる半導体層であることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池。
- 前記光反射電極が、ステンレスからなることを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池用基板の製造方法であって、
プラスチックフィルムを、該プラスチックフィルムの融点より20〜100℃低い温度に加熱しながら、1組のエンボスロールとバックアップロールとで挟み込み、該プラスチックフィルムに凹凸を形成する凹凸形成工程と、
該凹凸上に、接着層を形成する接着層形成工程を具備する太陽電池用基板の製造方法。 - 前記光反射電極上に、プラズマCVD法を用いて光電変換層を形成し、その後、該光電変換層の前記光反射電極が形成された面と逆側の面上にスパッタ法を用いて透明電極を形成し、該透明電極と請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池用基板の接着層を重ね、熱圧着することを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2006
- 2006-08-17 JP JP2006222256A patent/JP2008047721A/ja active Pending
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