JP2008046450A - ミラー制御装置およびミラー制御方法 - Google Patents
ミラー制御装置およびミラー制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008046450A JP2008046450A JP2006223063A JP2006223063A JP2008046450A JP 2008046450 A JP2008046450 A JP 2008046450A JP 2006223063 A JP2006223063 A JP 2006223063A JP 2006223063 A JP2006223063 A JP 2006223063A JP 2008046450 A JP2008046450 A JP 2008046450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- bias voltage
- resonance frequency
- voltage
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラー制御装置は、回動可能に支持されたミラー230と、ミラー230から離間して配置された電極340a〜340dと、ミラー230の所望の傾斜角に応じた駆動電圧を電極毎に生成する駆動電圧生成手段401と、ミラー230の共振周波数を検出するミラー共振周波数検出手段402と、各電極340a〜340dに共通のバイアス電圧を生成し、バイアス電圧と電極毎の駆動電圧とを加算して、加算後の電圧を対応する電極340a〜340dに印加するバイアス電圧印加手段403とを備える。バイアス電圧印加手段403は、ミラー230の共振周波数が所望の値になるようにバイアス電圧を制御する。
【選択図】 図3
Description
ミラー基板200は、板状の枠部210と、枠部210の開口内に配設された可動枠220と、可動枠220の開口内に配設されたミラー230とを有する。枠部210、トーションバネ211a,211b,221a,221b、可動枠220およびミラー230は、例えば単結晶シリコンで一体形成されている。ミラー230の表面には例えば3層のTi/Pt/Au層が形成されている。一対のトーションバネ211a,211bは、枠部210と可動枠220とを連結している。可動枠220は、一対のトーションバネ211a,211bを通る図1の可動枠回動軸xを軸として回動することができる。同様に、一対のトーションバネ221a,221bは、可動枠220とミラー230とを連結している。ミラー230は、一対のトーションバネ221a,221bを通る図1のミラー回動軸yを軸として回動することができる。可動枠回動軸xとミラー回動軸yとは、互いに直交している。結果として、ミラー230は、直交する2軸で回動する。
また、本発明のミラー制御装置の1構成例において、前記ミラー共振周波数検出手段は、前記ミラーの反射光の周期性に基づいて前記ミラーの共振周波数を検出するようにしたものである。
また、本発明のミラー制御装置の1構成例において、前記ミラー共振周波数検出手段は、前記電極に流れる駆動電流の周期性に基づいて前記ミラーの共振周波数を検出するようにしたものである。
また、本発明のミラー制御装置の1構成例において、前記バイアス電圧印加手段は、前記ミラーの共振周波数の上昇に応じて前記バイアス電圧を上昇させ、前記ミラーの共振周波数の低下に応じて前記バイアス電圧を低下させるようにしたものである。
また、本発明は、回動可能に支持されたミラーとこのミラーから離間して配置された複数の電極とを備えたミラー制御装置に対して、前記電極に駆動電圧を印加することより前記ミラーの動きを制御するミラー制御方法であって、前記ミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を前記電極毎に生成する駆動電圧生成ステップと、各電極に共通のバイアス電圧を生成し、このバイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する前記電極に印加するバイアス電圧印加ステップとを備え、前記バイアス電圧印加ステップは、前記ミラーの共振周波数が所望の値になるように、前記ミラーの共振周波数が前記所望の値より高い場合には前記バイアス電圧を上昇させ、前記ミラーの共振周波数が前記所望の値より低い場合には前記バイアス電圧を低下させるようにしたものである。
ミラー電圧印加手段400は、枠部210とトーションバネ211a,211bと可動枠220とトーションバネ221a,221bとを介してミラー230に接地電位を印加する。
図4に示すように傾斜角が周期的に変化するようにミラー230を振動させて、光源500からのレーザ光をミラー230で反射させ、対象物体501をレーザ光で走査する共振型スキャナの場合、ミラー230の反射光の位置は周期的に変化する。そこで、図4に示すようにミラー230と対象物体501との間の光路から外れた位置にフォトダイオードなどの受光素子502を設置して、この受光素子502にもミラー230の反射光が入射するようにしておけば、反射光が受光素子502に入射する周波数を検出することにより、ミラー230の共振周波数を検出できることになる。
ミラー230を振動させる方法としては、所望の共振周波数に近い正弦波信号を駆動電圧として電極340a〜340dに印加する第1の方法と、ステップ関数あるいはインパルス関数などの信号を駆動電圧として電極340a〜340dに印加する第2の方法がある。第2の方法は、後述する初期化時やメンテナンス時に利用する方法である。
以上のようなフィードバック制御により、バイアス電圧印加手段403は、ミラー230の共振周波数fが基準共振周波数frefと一致するようにバイアス電圧Vbを制御する。
一方、メンテナンス時のみ行う制御方法の場合は、ミラー230の共振周波数の変化が例えば経時変化のように緩やかな場合で、装置のメンテナンスに合わせた定期的な(あるいは間欠的な)共振周波数の補正でも十分対応しうる場合を想定している。
Claims (5)
- 回動可能に支持されたミラーと、
このミラーから離間して配置された複数の電極と、
前記ミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を前記電極毎に生成する駆動電圧生成手段と、
前記ミラーの共振周波数を検出するミラー共振周波数検出手段と、
各電極に共通のバイアス電圧を生成し、このバイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する前記電極に印加するバイアス電圧印加手段とを備え、
前記バイアス電圧印加手段は、前記ミラーの共振周波数が所望の値になるように前記バイアス電圧を制御することを特徴とするミラー制御装置。 - 請求項1記載のミラー制御装置において、
前記ミラー共振周波数検出手段は、前記ミラーの反射光の周期性に基づいて前記ミラーの共振周波数を検出することを特徴とするミラー制御装置。 - 請求項1記載のミラー制御装置において、
前記ミラー共振周波数検出手段は、前記電極に流れる駆動電流の周期性に基づいて前記ミラーの共振周波数を検出することを特徴とするミラー制御装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のミラー制御装置において、
前記バイアス電圧印加手段は、前記ミラーの共振周波数の上昇に応じて前記バイアス電圧を上昇させ、前記ミラーの共振周波数の低下に応じて前記バイアス電圧を低下させることを特徴とするミラー制御装置。 - 回動可能に支持されたミラーとこのミラーから離間して配置された複数の電極とを備えたミラー制御装置に対して、前記電極に駆動電圧を印加することより前記ミラーの動きを制御するミラー制御方法であって、
前記ミラーの所望の傾斜角に応じた駆動電圧を前記電極毎に生成する駆動電圧生成ステップと、
各電極に共通のバイアス電圧を生成し、このバイアス電圧と前記電極毎の駆動電圧とをそれぞれ加算して、加算後の電圧を対応する前記電極に印加するバイアス電圧印加ステップとを備え、
前記バイアス電圧印加ステップは、前記ミラーの共振周波数が所望の値になるように、前記ミラーの共振周波数が前記所望の値より高い場合には前記バイアス電圧を上昇させ、前記ミラーの共振周波数が前記所望の値より低い場合には前記バイアス電圧を低下させることを特徴とするミラー制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223063A JP4392010B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | ミラー制御装置およびミラー制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223063A JP4392010B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | ミラー制御装置およびミラー制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008046450A true JP2008046450A (ja) | 2008-02-28 |
JP4392010B2 JP4392010B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=39180234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006223063A Expired - Fee Related JP4392010B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | ミラー制御装置およびミラー制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4392010B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008129424A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Topcon Corp | ねじり振動鏡の調整方法、ねじり振動鏡、及び光偏向器、眼科装置、距離測定装置 |
WO2011077841A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ、光スキャナを用いた画像表示装置、及び光スキャナ駆動制御方法 |
JP2013171219A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Memsミラー装置の制御方法およびmemsミラー装置 |
JP2019113830A (ja) * | 2017-11-13 | 2019-07-11 | 株式会社村田製作所 | 中央支持部を備えたmems反射器 |
-
2006
- 2006-08-18 JP JP2006223063A patent/JP4392010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008129424A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Topcon Corp | ねじり振動鏡の調整方法、ねじり振動鏡、及び光偏向器、眼科装置、距離測定装置 |
WO2011077841A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ、光スキャナを用いた画像表示装置、及び光スキャナ駆動制御方法 |
JP2011133728A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Brother Industries Ltd | 光スキャナ、光スキャナを用いた画像表示装置、光スキャナ駆動制御方法、光スキャナ駆動制御プログラム。 |
JP2013171219A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Memsミラー装置の制御方法およびmemsミラー装置 |
JP2019113830A (ja) * | 2017-11-13 | 2019-07-11 | 株式会社村田製作所 | 中央支持部を備えたmems反射器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4392010B2 (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6769616B2 (en) | Bidirectional MEMS scanning mirror with tunable natural frequency | |
US7426066B2 (en) | MEMS scanning mirror with tunable natural frequency | |
CN109991732B (zh) | 扫描反射器设备和用于驱动反射器系统的方法 | |
JP6789438B2 (ja) | 光走査装置およびその制御方法 | |
WO2008013271A1 (fr) | Dispositif de commande de miroir | |
JP4392010B2 (ja) | ミラー制御装置およびミラー制御方法 | |
JP5184909B2 (ja) | 揺動体装置及び光偏向装置 | |
WO2008044506A1 (en) | Optical switch | |
JP5098319B2 (ja) | 光スキャナ装置 | |
JP4537429B2 (ja) | ミラー制御装置 | |
JP6790264B2 (ja) | 光走査装置及びその制御方法並びに移動体 | |
JP2016080978A (ja) | 光偏向ミラー、光偏向装置、光走査装置、及び画像投影装置 | |
JP2006320963A (ja) | 静電容量型memsアクチュエータ | |
US20230139572A1 (en) | Optical scanning device and method of driving micromirror device | |
JP2009210955A (ja) | 光スキャナ | |
JP2007245246A (ja) | 静電容量型memsアクチュエータ | |
JP4773301B2 (ja) | ミラー制御装置 | |
JP2007058105A (ja) | マイクロミラー素子及び可動構造 | |
JP4973064B2 (ja) | アクチュエータ、投光装置、光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP4773300B2 (ja) | ミラー制御方法 | |
JP4755049B2 (ja) | ミラー制御装置およびミラー制御方法 | |
WO2012176492A1 (ja) | 共振駆動アクチュエーター、マイクロスキャナおよび光学機器 | |
JP2008096673A (ja) | 光スイッチ、光スイッチの制御方法、光スイッチの制御プログラムおよび記録媒体 | |
JP2006201519A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
KR100719102B1 (ko) | 마이크로 구동 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091006 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091008 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4392010 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |