JP2008042796A - 固体撮像素子カバーおよび撮像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化、低背化、および低価格化に対応しつつ、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバーおよび撮像装置を得ること。
【解決手段】ガラスカバー３に回折格子５１が一体で形成され１つの部品を構成しており、固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０全体として部品数を少なくできる。したがって、固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０の小型化、低背化、および低価格化を可能にできる。また、可視光領域の各波長に対して１次回折光の回折効率Ｉ₁を略一定に保つことができ、０次回折光の回折効率Ｉ₀を少なくすることができる。したがって、凸部６、凹部７は、各波長において入射光強度に対し一定の回折光強度を取り出せる光学ローパスフィルタとして機能し、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０を得ることができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ等に用いられる固体撮像素子カバーおよび撮像装置に関する。

デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ等には撮像装置が用いられている。これら携帯デジタル機器では、小型化、低価格化が進んでいる。それに伴い、撮像装置の小型化、低背化、低価格化も求められている。
撮像装置は複数の構成部品からなり、固体撮像素子、固体撮像素子を外部環境から保護するためのパッケージ、パッケージを封止する固体撮像素子カバー等を備えている（特許文献１参照）。
また、固体撮像素子の素子密度の向上により、撮影像に含まれる空間的な高周波成分を抑制する光学ローパスフィルタが必要となってきている。
光学ローパスフィルタとしての回折格子を撮像装置に取り込んで、デジタル機器全体として部品数を減らした構成が知られている（特許文献２および特許文献３参照）。

特開平９−６９６１８号公報（第４頁、図３） 特許第２９６８３５７号公報（第３および４頁、図６） 特開平５−２７３５０１号公報（第２頁、図２）

回折格子を光学ローパスフィルタとして使用した場合、可視光領域の各波長に渡って一定の回折効率が得られず波長によって強度差が生じ、被写体の色調を忠実に再現できないという問題があった。
本発明の目的は、小型化、低背化、および低価格化に対応しつつ、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバーおよび撮像装置を得ることにある。

本発明の固体撮像素子カバーは、固体撮像素子が収納されたパッケージを封止する固体撮像素子カバーであって、前記固体撮像素子カバーはガラスカバーを有し、前記ガラスカバーの光の入射面には、回折格子が形成されていることを特徴とする。

この発明によれば、ガラスカバーに回折格子が一体で形成されて１つの部品を構成しており、固体撮像素子カバー全体として部品数が少なくなる。したがって、固体撮像素子カバーの小型化、低背化、および低価格化が可能になる。

本発明では、前記回折格子は、前記入射面に形成された凹部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有しているのが好ましい。
この発明では、ガラスカバーの入射面に直接凹部が形成されているので、より部品点数が少なくなる。

本発明では、前記回折格子は、前記入射面に形成された二酸化ケイ素による凸部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有しているのが好ましい。
この発明では、回折格子を形成する材料として耐久性に優れた誘電体を用いているので、信頼性の高い固体撮像素子カバーが得られる。

本発明では、前記回折格子は、前記入射面に形成された紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂による凸部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有しているのが好ましい。
この発明では、凸部が樹脂を含んでいるため、固体撮像素子カバーの低価格化に対応できる。

本発明では、前記回折格子は断面形状が周期的な凹凸を有し、第１の屈折率を有する凸部と、前記第１の屈折率とは異なる第２の屈折率を有する凹部とを備え、前記凸部の厚みおよび前記凹部の厚みは、可視光領域における回折効率が略一定となるようにそれぞれ設定されているのが好ましい。
この発明では、可視光領域の各波長に対して回折効率が略一定に保たれる。したがって、回折格子は、各波長において入射光強度に対し一定の回折光強度を取り出せる光学ローパスフィルタとして機能し、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバーが得られる。

本発明では、前記凸部は二酸化ケイ素、前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含むのが好ましい。
この発明では、回折格子を形成する材料として耐久性に優れた誘電体を用いているので、信頼性の高い固体撮像素子カバーが得られる。

本発明では、前記凸部は紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂、前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含むのが好ましい。
この発明では、凸部が樹脂を含んでいるため、固体撮像素子カバーの低価格化に対応できる。

本発明では、前記回折格子を二つ備え、前記回折格子間に１／４波長板が配置され、前記回折格子の互いの回折方向は略直交しているのが好ましい。
この発明では、２つの回折格子の回折方向を直交させて用いているので、４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた固体撮像素子カバーが得られる。

本発明では、複屈折板と１／４波長板とを備え、前記回折格子と前記複屈折板との間に前記１／４波長板が配置され、前記複屈折板の複屈折方向と前記回折格子の回折方向とが略直交しているのが好ましい。
この発明では、複屈折方向と回折方向が略直交した４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた固体撮像素子カバーが得られる。

本発明の撮像装置は、固体撮像素子と、前記固体撮像素子を収納するパッケージと、前記パッケージを封止する固体撮像素子カバーとを備え、前記固体撮像素子カバーはガラスカバーを有し、前記ガラスカバーの光の入射面には、回折格子が形成されていることを特徴とする。

この発明によれば、ガラスカバーに回折格子が一体で形成され１つの部品を構成しており、撮像装置全体として部品数が少なくなる。したがって、撮像装置の小型化、低背化、および低価格化が可能になる。

本発明では、前記回折格子は、第１の屈折率を有する凸部と、前記第１の屈折率とは異なる第２の屈折率を有する凹部とを備え、前記凸部と前記凹部とが交互に配置され、前記凸部の厚みおよび前記凹部の厚みは、可視光領域における回折効率が略一定となるようにそれぞれ設定されているのが好ましい。
この発明では、可視光領域の各波長に対して回折効率が略一定に保たれる。したがって、回折格子は、各波長において入射光強度に対し一定の回折光強度を取り出せる光学ローパスフィルタとして機能し、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる撮像装置が得られる。

本発明では、前記凸部は二酸化ケイ素、前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含むのが好ましい。
この発明では、回折格子を形成する材料として耐久性に優れた誘電体を用いているので、信頼性の高い撮像装置が得られる。

本発明では、前記凸部は紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂、前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含むのが好ましい。
この発明では、凸部が樹脂を含んでいるため、撮像装置の低価格化に対応できる。

本発明では、前記回折格子を二つ備え、前記回折格子間に１／４波長板が配置され、前記回折格子の互いの回折方向は略直交しているのが好ましい。
この発明では、２つの回折格子の回折方向を直交させて用いているので、４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた撮像装置が得られる。

本発明では、複屈折板と１／４波長板とを備え、前記回折格子と前記複屈折板との間に１／４波長板が配置され、前記複屈折板の複屈折方向と前記回折格子の回折方向とが略直交しているのが好ましい。
この発明では、複屈折方向と回折方向が略直交した４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた撮像装置が得られる。

以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１（ａ）は、本実施形態の固体撮像素子カバー４０および撮像装置１０の概略斜視図、同図（ｂ）は、（ａ）における正断面図を示している。
図１において、撮像装置１０は、固体撮像素子１とパッケージ２とパッケージ２を封止する固体撮像素子カバー４０とを備えている。
固体撮像素子１は、升形状のパッケージ２の底部に収納されている。パッケージ２の開口部は、固体撮像素子カバー４０が接着剤４によって開口部に固定されることによって塞がれ、固体撮像素子１が封止されている。

固体撮像素子１には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）、ＣＰＤ（Charge Priming Device）等を用いることができる。
パッケージ２には、セラミック、熱硬化性のエポキシ樹脂，熱可塑性のポリスルフォン系であるポリフェニレンサルファイド樹脂を成形したものを用いることができる。

固体撮像素子カバー４０は、ガラスカバー３と回折格子５とを備えている。回折格子５は、ガラスカバー３の光の入射面３０に形成されている。

ガラスカバー３には、可視光領域の光を透過するガラスを用いることができる。ガラスとしては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラス等を使用することができる。
外部からの入射光は、固体撮像素子カバー４０を透過し、パッケージ２内の固体撮像素子１に到達する。
回折格子５は、断面形状が周期的な凹凸を有している。図１では、凹凸の凸部５２および凹部５３の断面形状は矩形状であるが、台形状等であってもよい。
回折格子５の形成方法としては、ガラスカバー３の入射面３０をエッチングして凹部５３を形成して凹凸とする方法であってもよい。また、ガラスカバー３の入射面３０に、凸部５２を、二酸化ケイ素等の誘電体層を蒸着や、スパッタ等の成膜手段によって形成してもよい。さらに、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いて凸部５２を形成してもよい。

回折格子５は、二点分離の光学ローパスフィルタとして働く。回折格子５の好ましい格子の高さは、０．１〜１μｍであり、凸部５２の幅および周期は、固体撮像素子１の画素周期に応じて設定することができる。
図２に、本実施形態の回折格子５の１次回折光の回折効率Ｉ₁を実線で示した。横軸は波長λで、縦軸は回折効率Ｉを表している。
１次回折光の回折効率Ｉ₁は、可視光領域で６００ｎｍにピークを持つ山型の波長依存性を示す。

接着剤４には、エポキシ系、酢酸ビニル系、アクリル系、スチレン系、セルロース系、ポリアミド系、フェノール系等からなる樹脂を用いることができる。
回折格子５の表面および入射面３０には、表面での反射を防ぐために反射防止層を設けることができる。反射防止層は、可視光領域に渡って反射を抑える多層反射防止層を用いるのがよい。

このような本実施形態によれば以下の効果がある。
（１）ガラスカバー３に回折格子５が一体で形成され１つの部品を構成しており、固体撮像素子カバー４０および撮像装置１０全体として部品数を少なくできる。したがって、固体撮像素子カバー４０および撮像装置１０の小型化、低背化、および低価格化を可能にできる。

（２）ガラスカバー３の入射面３０に直接凹部５３が形成されているので、より部品点数を少なくできる。

（３）回折格子５を形成する材料として耐久性に優れた誘電体を用いているので、信頼性の高い固体撮像素子カバー４０および撮像装置１０を得ることができる。

（４）凸部５２が樹脂を含んでいるため、固体撮像素子カバー４０および撮像装置１０の低価格化に対応できる。

（第２実施形態）
図３（ａ）は、本実施形態の固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０の正断面図、同図（ｂ）は、（ａ）における拡大正断面図を示している。
図３（ａ）において、第１実施形態と異なる点は、ガラスカバー３の入射面３０に凸部６および凹部７を備えた回折格子５１が形成されていることである。
凸部６と凹部７とは交互に配置され、断面形状が周期的な凹凸となっている。
凸部６は、低屈折率材料からなり、凹部７は、高屈折率材料からなる。

以下に、図３（ｂ）を参照して、凸部６の厚みおよび凹部７の厚みの関係を説明する。これらの厚みは、可視光領域における回折効率Ｉが略一定となるようにそれぞれ設定されている。

凸部６の幅Ｗと周期Ｐとの比Ｗ／Ｐは、０．５に設定してある。
凸部６の厚みをｄ_L、屈折率をｎ_L、凹部７の厚みをｄ_H、屈折率をｎ_Hとする。
ここで、回折効率のｍ次回折光の回折効率をＩ_mとすると、回折効率Ｉ_mは、Ｐ、Ｗ、Γによって式（１）のような関数によって示すことができる。
Ｉ_m＝ｆ（Ｐ，Ｗ，Γ）・・・（１）
Γは位相変調量である。
位相変調量Γは、波長により変化するため、異なる波長で回折効率Ｉ_mを同じ値にするためには、波長が変化しても位相変調量Γが変化しないように補償すればよい。

位相変調量Γは、式（２）のように示すことができる。
Γ＝｛（ｎ_H−ｎ_L）ｄ_H＋（１−ｎ_L）（ｄ_L−ｄ_H）｝／λ・・・（２）
ここで、波長λ₁での凸部６の屈折率をｎ_L1、凹部７の屈折率をｎ_H1とし、波長λ₂での凸部６の屈折率をｎ_L2、凹部７の屈折率をｎ_H2とすると、波長λ₁における位相変調量Γ₁、および波長λ₂における位相変調量Γ₂は、式（３）、（４）のように示すことができる。
Γ₁＝｛（ｎ_H1−ｎ_L1）ｄ_H＋（１−ｎ_L1）（ｄ_L−ｄ_H）｝／λ₁・・・（３）
Γ₂＝｛（ｎ_H2−ｎ_L2）ｄ_H＋（１−ｎ_L2）（ｄ_L−ｄ_H）｝／λ₂・・・（４）
波長λ₁および波長λ₂における回折効率Ｉ_mを同じにするには、Γ₁＝Γ₂であれば良いから、式（５）を満足するように各条件を設定すればよい。
｛（ｎ_H1−ｎ_L1）ｄ_H＋（１−ｎ_L1）（ｄ_L−ｄ_H）｝／λ₁＝｛（ｎ_H2−ｎ_L2）ｄ_H＋（１−ｎ_L2）（ｄ_L−ｄ_H）｝／λ₂・・・（５）

次に、可視光領域を想定して、ｄ_Lおよびｄ_Hの関係を求める。
凸部６を二酸化ケイ素、凹部７を五酸化タンタル、波長λ₁を４００ｎｍ、波長λ₂を７００ｎｍとする。各波長λ₁およびλ₂における二酸化ケイ素、五酸化タンタルの屈折率は次のようになる。波長λ₁＝４００ｎｍのとき、二酸化ケイ素の屈折率は１．４９５、五酸化タンタルの屈折率は２．３１２であり、波長λ₂＝８００ｎｍのとき、二酸化ケイ素の屈折率は１．４６７、五酸化タンタルの屈折率は２．１５８となる。
これらの値を式（５）に代入して式（６）の結果が得られる。
ｄ_L＝２．８７ｄ_H・・・（６）

したがって、式（６）を満たすように凸部６の厚みｄ_Lと凹部７の厚みｄ_Hとを設定すれば、可視光領域における０次回折光の回折効率Ｉ₀を略同じに設定することができる。また１次回折光の回折効率Ｉ₁も略同じに設定することができる。
ここで、２点に分離する場合を考えると、０次回折光の回折効率Ｉ₀が略０であって、１次回折光の回折効率Ｉ₁が最大となるように設定すればよいから、略Γ１＝Γ２＝０．５であればよい。さらにｄ_Hおよびｄ_Lは、式（３）に式（６）を代入することで求められ、ｄ_L＝５３７４ｎｍ、ｄ_H＝１８７２ｎｍが得られる。ここで得られた値は波長λ₁＝４００ｎｍにおける最適値である。そこで、可視光域内で最も良い効率が得られるように、式（２）を用いてｄ_Hおよびｄ_Lを微調整し、使用する波長範囲内で最適化した。この結果ｄ_H＝１７００ｎｍ、ｄ_L＝４８７８ｎｍが得られた。

図４に、波長と回折効率Ｉ₀、Ｉ₁との関係をシミュレーションした結果を示した。
最適化前として、波長λ₁＝４００ｎｍにおける最適値である凸部６の厚みｄ_L＝５３７４ｎｍ、凹部７の厚みｄ_H＝１８７２ｎｍに設定したときの結果を細線で示した。
最適化後として、使用する波長範囲内でさらに最適化した凸部６の厚みｄ_L＝４８７８ｎｍ、凹部７の厚みｄ_H＝１７００ｎｍに設定したときの結果を太線で示した。
この図４に示すシミュレーション結果から、凸部６の厚みｄ_Lと凹部７の厚みｄ_Hとを最適化することにより、可視光領域における回折効率Ｉ₁を略同じに設定でき、かつ０次光の回折効率Ｉ₀のピークが無くなり、０次光はほとんど回折されないことが確認された。

凸部６に二酸化ケイ素、凹部７に二酸化チタンまたは五酸化タンタルの誘電体を用いた場合には、例えば、以下のように凸部６、凹部７を形成する。
ガラスカバー３に真空蒸着やスパッタ等の成膜手段によって二酸化ケイ素膜を形成後、フォトリソグラフィ法およびエッチング法によって二酸化ケイ素膜をエッチング、パターニングして凸部６を形成し、二酸化ケイ素膜を除去した箇所に二酸化チタンまたは五酸化タンタルを真空蒸着やスパッタによって形成し凹部７を形成する。

凸部６に紫外線硬化樹脂を用いる場合には、例えば、以下のように回折格子を形成する。
ガラスカバー３に、二酸化チタンまたは五酸化タンタルを真空蒸着やスパッタによって形成する。次にフォトリソグラフィ法およびエッチング法によって選択的にエッチングを行う。二酸化チタンまたは五酸化タンタルが除去された場所に紫外線硬化樹脂を塗布し、ガラスカバー３を介して、裏側から紫外線を照射して感光させる。二酸化チタンまたは五酸化タンタルの存在する部分は、紫外線の透過率が低下し、紫外線硬化樹脂が感光しない。したがって、剥離液を用いて未硬化の紫外線硬化樹脂の除去ができる。

また、フォトリソグラフィ法、エッチング法以外に、ナノインプリント技術と呼ばれるナノオーダーのパターンを有する金型を利用して格子を形成してもよい。

このような本実施形態によれば第１実施形態の効果に加え、以下のような効果がある。
（５）可視光領域の各波長に対して１次回折光の回折効率Ｉ₁を略一定に保つことができ、０次回折光の回折効率Ｉ₀を少なくすることができる。したがって、凸部６、凹部７は、各波長において入射光強度に対し一定の回折光強度を取り出せる光学ローパスフィルタとして機能し、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０を得ることができる。

（第３実施形態）
本実施形態は、第２実施形態で得られた固体撮像素子カバー４１にさらに別の回折格子を組み合わせて４点分離の光学ローパスフィルタの機能を持たせたものである。
図５（ａ）には、本実施形態の固体撮像素子カバー４２および撮像装置１００の概略斜視図が示されている。同図（ｂ）は、（ａ）における正断面図である。
凸部６、凹部７上には、１／４波長板８が配置され、さらにその上に、回折格子５４が形成されたガラスカバー３１が配置されている。
回折格子５４は、ガラスカバー３に形成されている凸部６、凹部７と同様に二つの回折格子からなっていても、１つの回折格子からなっていてもよい。
また、回折格子５４は、その回折方向が、凸部６、凹部７の回折方向と略直交するように配置されている。

このような本実施形態によれば以下のような効果がある。
（６）凸部６、凹部７と回折格子５４との回折方向を直交させて用いているので、４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた固体撮像素子カバー４２および撮像装置１００を得ることができる。

（第４実施形態）
本実施形態は、第２実施形態で得られた固体撮像素子カバー４１にさらに複屈折板９を組み合わせて４点分離の光学ローパスフィルタの機能を持たせたものである。
図６（ａ）には、本実施形態の固体撮像素子カバー４３および撮像装置１１０の概略斜視図が示されている。同図（ｂ）は、（ａ）における正断面図である。
凸部６、凹部７上には、１／４波長板８が配置され、さらにその上に、複屈折板９が配置されている。
複屈折板９は、その複屈折方向と凸部６、凹部７の回折方向とが略直交するように配置されている。

このような本実施形態によれば以下のような効果がある。
（７）複屈折方向と回折方向が略直交した４点分離の光学ローパスフィルタが構成され、より高性能の光学ローパスフィルタを備えた固体撮像素子カバー４３および撮像装置１１０を得ることができる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

また、本発明を実施するための最良の方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、使用する材料、形状その他の詳細な事項において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。したがって、上記に開示した材料、形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの材料、形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した記載は、本発明に含まれるものである。

（ａ）は、本発明の第１実施形態にかかる固体撮像素子カバーおよび撮像装置の概略斜視図、（ｂ）は、正断面図。 第１実施形態の回折効率を示す図。 （ａ）は、本発明の第２実施形態にかかる固体撮像素子カバーおよび撮像装置の正断面図、（ｂ）は、拡大正断面図。 波長と回折効率との関係を示した図。 （ａ）は、本発明の第３実施形態にかかる固体撮像素子カバーおよび撮像装置の概略斜視図、（ｂ）は正断面図。 （ａ）は、本発明の第４実施形態にかかる固体撮像素子カバーおよび撮像装置の概略斜視図、（ｂ）は正断面図。

符号の説明

１…固体撮像素子、２…パッケージ、３，３１…ガラスカバー、５，５１，５４…回折格子、６，５２…凸部、７，５３…凹部、８…１／４波長板、９…複屈折板、１０，２０，１００，１１０…撮像装置、３０…入射面、４０，４１，４２，４３…固体撮像素子カバー。

Claims (15)

1. 固体撮像素子が収納されたパッケージを封止する固体撮像素子カバーであって、
   前記固体撮像素子カバーはガラスカバーを有し、
   前記ガラスカバーの光の入射面には、回折格子が形成されている
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
2. 請求項１に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記回折格子は、前記入射面に形成された凹部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有している
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
3. 請求項１に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記回折格子は、前記入射面に形成された二酸化ケイ素による凸部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有している
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
4. 請求項１に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記回折格子は、前記入射面に形成された紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂による凸部によって得られる、断面形状が周期的な凹凸を有している
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
5. 請求項１に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記回折格子は断面形状が周期的な凹凸を有し、
   第１の屈折率を有する凸部と、
   前記第１の屈折率とは異なる第２の屈折率を有する凹部とを備え、
   前記凸部の厚みおよび前記凹部の厚みは、
   可視光領域における回折効率が略一定となるようにそれぞれ設定されている
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
6. 請求項５に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記凸部は二酸化ケイ素、
   前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含む
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
7. 請求項５に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記凸部は紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂、
   前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含む
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
8. 請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   前記回折格子を二つ備え、
   前記回折格子間に１／４波長板が配置され、
   前記回折格子の互いの回折方向は略直交している
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
9. 請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の固体撮像素子カバーにおいて、
   複屈折板と１／４波長板とを備え、
   前記回折格子と前記複屈折板との間に前記１／４波長板が配置され、
   前記複屈折板の複屈折方向と前記回折格子の回折方向とが略直交している
   ことを特徴とする固体撮像素子カバー。
10. 固体撮像素子と、
    前記固体撮像素子を収納するパッケージと、
    前記パッケージを封止する固体撮像素子カバーとを備え、
    前記固体撮像素子カバーはガラスカバーを有し、
    前記ガラスカバーの光の入射面には、回折格子が形成されている
    ことを特徴とする撮像装置。
11. 請求項１０に記載の撮像装置において、
    前記回折格子は断面形状が周期的な凹凸を有し、
    第１の屈折率を有する凸部と、
    前記第１の屈折率とは異なる第２の屈折率を有する凹部とを備え、
    前記凸部の厚みおよび前記凹部の厚みは、
    可視光領域における回折効率が略一定となるようにそれぞれ設定されている
    ことを特徴とする撮像装置。
12. 請求項１１に記載の撮像装置において、
    前記凸部は二酸化ケイ素、
    前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含む
    ことを特徴とする撮像装置。
13. 請求項１１に記載の撮像装置において、
    前記凸部は紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂、
    前記凹部は二酸化チタンまたは五酸化タンタルを含む
    ことを特徴とする撮像装置。
14. 請求項１０〜請求項１３のいずれか一項に記載の撮像装置において、
    前記回折格子を二つ備え、
    前記回折格子間に１／４波長板が配置され、
    前記回折格子の互いの回折方向は略直交している
    ことを特徴とする撮像装置。
15. 請求項１０〜請求項１３のいずれか一項に記載の撮像装置において、
    複屈折板と１／４波長板とを備え、
    前記回折格子と前記複屈折板との間に前記１／４波長板が配置され、
    前記複屈折板の複屈折方向と前記回折格子の回折方向とが略直交している
    ことを特徴とする撮像装置。
    

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