JP2008042011A - アルミニウム−炭化珪素質複合体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板状の炭化珪素質多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸してなり、両主面に平均厚みが10〜150μmのアルミニウムを主成分とする金属からなるアルミニウム合金層を有するアルミニウム−炭化珪素質複合体を、(1)応力を掛けながら、温度400〜500℃で30秒間以上加熱処理することにより、クリープ変形させて所定の反り量を付与し、(2)凹型方向の反り付けを行った面を、平面研削加工してアルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させ、(3)温度500〜560℃で1分間以上加熱処理することにより、反り付け時のクリープ変形を除去して、アルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させた面に凸型の反りを形成させることを特徴とするアルミニウム−炭化珪素質複合体の製造方法。
【選択図】図2
Description
(1)応力を掛けながら、温度400〜500℃で30秒間以上加熱処理することにより、クリープ変形させて所定の反り量を付与し、
(2)凹型方向の反り付けを行った面を、平面研削加工してアルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させ、
(3)温度500〜560℃で1分間以上加熱処理することにより、反り付け時のクリープ変形を除去して、
アルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させた面に凸型の反りを形成させることを特徴とするアルミニウム−炭化珪素質複合体の製造方法である。
原料である炭化珪素粉末(必要に応じて例えばシリカ等の結合材を添加する)を、成形、焼成してプリフォームを作製する。得られたプリフォームは、所定の平面度を確保する為に、必要に応じて面加工を行う場合もある。このプリフォームを積層して一つのブロックとする方法は特に限定されるものではないが、例えば、次の方法が挙げられる。前記プリフォームを、離型剤を塗布した離型板で挟み積層して一つのブロックとする方法、前記プリフォームの両面に、アルミナまたはシリカを主成分とする繊維を直接接するように配置し、離型板で挟み、一つのブロックとする方法、更には、複数の部材から組み合わされた所望形状の空間と、前記空間と外部とを連結する1個以上の孔とを形成せしめる型枠を用いて、前記プリフォームをこの型枠内の空間の中に配置して離型剤を塗布した離型板で挟み積層して一つのブロックとする方法である。
(1)応力を掛けながら、温度400〜500℃で30秒間以上加熱処理することにより、クリープ変形させて所定の反り量を付与し、
(2)凹型方向の反り付けを行った面を、平面研削加工してアルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させ、
(3)温度500〜560℃で1分間以上加熱処理することにより、反り付け時のクリープ変形を除去して、アルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させた面に凸型の反りを形成させる
炭化珪素粉末A(大平洋ランダム社製:NG−150、平均粒径:100μm)100g、炭化珪素粉末B(大平洋ランダム社製:NG−220、平均粒径:60μm)100g、炭化珪素粉末C(屋久島電工社製:GC−1000F、平均粒径:10μm)100g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)30gを秤取し、攪拌混合機で30分間混合した後、190mm×140mm×5.5mmの寸法の平板状に圧力10MPaでプレス成形した。
実施例1のアルミニウム−炭化珪素質複合体を縁周部8カ所に直径7mmの貫通穴、4カ所にφ10−4mmの皿穴を加工し、外周のアルミニウム層の部分をNC旋盤で加工して、187mm×137mm×5.8mmの形状とした後、輪郭形状測定機(東京精密社製;コンターレコード1600D−22)を使用し、長さ10cm当たりの反り量を測定した結果を表3に示す。次に、表3に示す曲率半径の球面を設けたカーボン製の凹凸型を準備し、この凹凸型を熱プレス機に装着し、加熱して型の表面温度を470℃とした。この凹凸型の間に前記複合体を配置し40KPaでプレスした。この際、当該複合体の側面に熱電対を接触させ測温した。複合体の温度が450℃になった時点から3分間保持後、加圧を解除し、50℃まで自然冷却した。次に、歪み除去のために、電気炉で350℃の温度で1時間アニール処理を行った。比較例1は、反り付けを行わなかった。得られた複合体は、輪郭形状測定機(東京精密社製;コンターレコード1600D−22)を使用し、長さ10cm当たりの反り量を測定した。その結果を表3に示す。
炭化珪素粉末A(太平洋ランダム社製:NG−150、平均粒径:100μm)200g、炭化珪素粉末C(屋久島電工社製:GC−1000F、平均粒径:10μm)100g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)30gを原料として用いた以外は、実施例1と同様の方法で相対密度が66%のSiCプリフォームを得た。得られたSiCプリフォームは、平面研削盤でダイヤモンド製の砥石を用いて、5.8mmの厚みに面加工した後、マシニングセンターで190mm×140mmに外周部を加工した。
実施例8のプリフォーム形状を180×110×5.8mm(図1参照)に変更した以外は、実施例1と同様の方法でアルミニウム−炭化珪素質複合体を作製し、反り付け、機械加工、めっき処理を行った。得られた複合体は、実施例1と同様の評価を行い、その結果を表5に示す。
b)アルミニウム合金
c)φ7mmの貫通穴
d)表面アルミニウム合金層
e)アルミニウム−炭化珪素質複合体
f)φ10−4mmの皿穴
g)アルミニウム−炭化珪素質複合体
h)M4mmのタップネジ
Claims (5)
- 平板状の炭化珪素質多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸してなり、両主面に平均厚みが10〜150μmのアルミニウムを主成分とする金属からなるアルミニウム合金層を有するアルミニウム−炭化珪素質複合体を、
(1)応力を掛けながら、温度400〜500℃で30秒間以上加熱処理することにより、クリープ変形させて所定の反り量を付与し、
(2)凹型方向の反り付けを行った面を、平面研削加工してアルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させ、
(3)温度500〜560℃で1分間以上加熱処理することにより、反り付け時のクリープ変形を除去して、
アルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させた面に凸型の反りを形成させることを特徴とするアルミニウム−炭化珪素質複合体の製造方法。 - アルミニウム−炭化珪素質複合体が高圧鍛造法で製造されてなることを特徴とする請求項1記載のアルミニウム−炭化珪素質複合体の製造方法。
- アルミニウム−炭化珪素質複合体を露出させた面の反り量が長さ10cmあたり20〜200μmであり、かつ、面内の窪み深さが50μm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の製造方法により得られるアルミニウム−炭化珪素質複合体。
- 熱伝導率が180W/mK以上、並びに、温度150℃の熱膨張係数が9×10−6/K以下であることを特徴とする請求項3記載のアルミニウム−炭化珪素質複合体。
- 請求項3または4記載のアルミニウム−炭化珪素質複合体に、Niめっき処理を施して厚さ1〜20μmのめっき皮膜を形成し、半導体搭載用セラミックス基板を接合してなることを特徴とする放熱部品。
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