JP2008039626A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 容量変化型圧力センサと、圧電振動子とを、それぞれ個々に収容する複数のキャビティを備えたパッケージ内に収容した構造を有し、
   加えられた圧力の変化に応じて、前記容量変化型圧力センサの容量が変化することで、圧電振動子の共振周波数または反共振周波数が変化することに基づいて、該圧力の変化を検出する構成としたことを特徴とする圧力検出装置。
2. 前記パッケージが、個々に配線基板を有する２つのキャビティを上下に重ねて形成したものであり、一方のキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
3. 前記パッケージが、共通の配線基板を挟んで、上下に２つのキャビティを形成したパッケージであり、一方のキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
4. 前記パッケージが、ひとつのキャビティ内に、これよりも小さなキャビティを収容した構成であり、該小さなキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
5. 前記容量変化型圧力センサと、前記圧電振動子とを、電気的に並列に接続したことを特徴とする請求項１乃至４の何れか1項に記載の圧力検出装置。