JP2008036995A - 低圧熱圧着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着フィルムにより少なくとも2つの被着体を熱圧着するため、所定の溶融粘度を有する薄膜Aステージ樹脂フィルムを介して低圧で熱圧着する熱圧着装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
(社)プラスチック成形加工学会編 「先端成形加工技術」 シグマ出版 1999年12月25日
所定の温度及び真空圧の下、少なくとも2つの被着体を所定の接着フィルムを介して被加工物として、低圧で熱圧着する装置であって、
前記接着フィルムは、所定の溶融粘度を有する薄膜Aステージ樹脂フィルムである、
ことを特徴とする。
<第1実施形態>
図1に示すように、第1実施形態に係る熱圧着装置100は、被着体110、112、114を接着フィルム120、122を介して被加工物として熱圧着するため、一対の定盤142a、142bと、各定盤に設けられた鏡仕上げされたプレート144a、144bとからなる熱圧着手段140と、真空発生手段(図示しない)により真空状態で接着フィルムを介して被着体を熱圧着可能とするハウジング150とから構成されている。また、熱圧着手段140は、所定の温度で熱圧着するための加熱手段(図示せず)を有している。
接着フィルムとして、WO2005/100435公報に開示したAステージ樹脂フィルム、すなわち、(I)フェノール骨格とビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、及び重量平均分子量が10,000〜200,000であり、かつ水酸基を有する二官能性直鎖状エポキシ樹脂よりなる群から選択される1種以上のエポキシ樹脂と、(II)フェノール性水酸基の少なくとも一部を脂肪酸でエステル化した変性フェノールノボラックと、場合により(III)イソシアナート化合物と、を含むワニスをPETフィルムに塗布し、90℃で乾燥させたフィルムを採用した。上記フィルムの溶融粘度は、100℃で100Pa・s、150℃で1000Pa・s、180℃で28850Pa・sであった。第1実施形態に係る熱圧着装置を用いて、装置内の真空圧が1torrで、かつ、熱圧着温度が100℃〜180℃の条件の下、0.05MPa〜1.00MPaの範囲の圧力で被着体110等を熱圧着させた結果、接着フィルムの厚さの設定が2〜90μmであっても、熱圧着後の接着フィルムがAステージ状態のままで、かつ、被着体への良好な埋め込み性と位置合わせ精度とが実現できることを確認できた。
図2に示すように、第2実施形態に係る熱圧着装置200は、被着体210、212、214を接着フィルム220、222を介して被加工物として熱圧着するため、一対の定盤242a、242bと、各定盤に設けられた鏡仕上げされたプレート244a、244bとからなる熱圧着手段240と、真空発生手段(図示しない)により真空状態で被着体を熱圧着可能とするハウジング250とから構成されている。第1実施形態に係る熱圧着装置100と同様に、熱圧着手段240は、所定の温度で熱圧着するための加熱手段(図示せず)を有している。
図3に示すように、第3実施形態に係る熱圧着装置300は、被着体310、312、314を接着フィルム320、322を介して被加工物として熱圧着するため、一対の定盤342a、342bと、各定盤に設けられた鏡仕上げされたプレート344a、344bとからなる熱圧着手段340と、真空発生手段(図示しない)により真空状態で被着体を熱圧着可能とするハウジング350とから構成されている。第1実施形態及び第2実施形態に係る熱圧着装置と同様に、熱圧着手段340は、所定の温度で熱圧着するための加熱手段(図示せず)を有している。
図4に示すように、第4実施形態に係る熱圧着装置400は、被着体410、412、414を接着フィルム420、422を介して被加工物として熱圧着するため、一対の定盤442a、442bと、各定盤に設けられた鏡仕上げされたプレート444a、444bとからなる熱圧着手段440と、真空発生手段(図示しない)により真空状態で被着体を熱圧着可能とするハウジング450とから構成されている。上述の実施形態に係る熱圧着装置と同様に、熱圧着手段440は、所定の温度で熱圧着するための加熱手段(図示せず)を有している。
図5は、定盤142aと、プレート144aと、定盤142aとプレート144aとの間にクッション部材146aとを備えた熱圧着手段140を示す概念図である。図5のように、定盤142aと鏡面仕上げされたプレート144aとの間に、クッション部材146aを有することから、プレート144aを介して、被着体110を接着フィルム120に熱圧着するだけでなく、鏡面仕上げされたプレート144aの平面形状を保持したまま、多層化された被着体110等と接着フィルム120等と間の空気を抜き出させる動きが可能となり、被着体と接着フィルムとを密着して圧着することができる。
110、112、114 被着体
120、122 接着フィルム
130 ロール・ツー・ロール手段
132 搬送補助フィルム
134 搬送補助フィルム巻き出し部
136 搬送補助フィルム巻き取り部
140 熱圧着手段
142a 定盤
144a プレート
145c チャンバ
146a クッション部材
146c クッション部材
147c 第1クッション部材
148c 第2クッション部材
149c 流路
150 ハウジング
210、212、214 被着体
220、222 接着フィルム
230 ロール・ツー・ロール手段
232 搬送補助フィルム
234 搬送補助フィルム巻き出し部
236 搬送補助フィルム巻き取り部
240 熱圧着手段
250 ハウジング
260、280 被着体フィルム巻き出し部
262、282 被覆フィルム巻き取り部
290 被加工物巻き取り部
310、312、314 被着体
320、322 接着フィルム
330 ロール・ツー・ロール手段
332 搬送補助フィルム
334 搬送補助フィルム巻き出し部
336 搬送補助フィルム巻き取り部
340 熱圧着手段
350 ハウジング
360、370、380 被着体フィルム巻き出し部
362、382 被覆フィルム巻き取り部
390 被加工物工場巻き取り部
410、412、414 被着体
430 ロール・ツー・ロール手段
420、422 接着フィルム
432 搬送補助フィルム
434 搬送補助フィルム巻き出し部
436 搬送補助フィルム巻き取り部
440 熱圧着手段
450 ハウジング
470、480、490 被着体フィルム巻き出し部
472、482 被覆フィルム巻き取り部
540 熱圧着手段
Claims (8)
- 所定の温度及び真空圧の下、少なくとも2つの被着体を所定の接着フィルムを介して被加工物として、低圧で熱圧着する装置であって、
前記接着フィルムは、所定の溶融粘度を有する薄膜Aステージ樹脂フィルムである、
ことを特徴とする装置。 - 前記被着体は少なくとも1つの枚葉の被着体を含む、
請求項1記載の装置。 - 搬送補助フィルムを巻き出す第1ロール手段と、前記被加工物と前記搬送補助フィルムとが熱圧着された後に前記被加工物から前記搬送補助フィルムを巻き取る第2ロール手段と、前記被加工物と前記搬送補助フィルムとが熱圧着された後に前記搬送補助フィルムから前記被加工物を剥離する剥離手段とを備えるロール・ツー・ロール手段を有する、
請求項1又は2記載の装置。 - 前記被着体は一の被着体と他の被着体とを含み、
前記被加工物は、前記一の被着体が前記接着フィルムを介して前記他の被着体に密着して熱圧着され、
前記一の被着体および/または前記他の被着体は被着体フィルムであり、
前記被着体フィルムには、前記接着フィルムが所定の厚さで貼着されている、
請求項1〜3のいずれか一項記載の装置。 - 前記少なくとも2つの被着体を前記接着フィルムを介して被加工物として、低圧で熱圧着する熱圧着手段を有し、
前記熱圧着手段は、前記熱圧着手段と前記被加工物との間に、クッション部材を有し、
前記クッション部材は、前記被加工物との間に鏡面仕上げされたプレートを有するとともに、前記クッション部材の内部に熱媒が充填されたときに、前記接着フィルムを介して前記被着体を密着して熱圧着させる、
請求項1〜4のいずれか一項記載の装置。 - 前記クッション部材は、前記被加工物を圧接する第1クッション部材と、前記第1クッション部材と連結する前記熱媒の流路を有するとともに前記被加工物を圧接する第2クッション部材とを含み、
前記熱媒は前記第1クッション部材から前記第2クッション部材の順に充填される、 請求項5記載の装置。 - 前記少なくとも2つの被着体を前記接着フィルムを介して被加工物として、低圧で熱圧着する熱圧着手段を有し、
前記熱圧着手段は一対のロール手段である、
請求項1〜4のいずれか一項記載の装置。 - 前記接着フィルムは、真空圧かつ20℃〜220℃の条件の下、溶融する薄膜Aステージ樹脂フィルムであって、少なくとも2つの被着体とともに、0.05MPa〜1.00MPaの圧力で加圧されたとき、前記接着フィルムの厚さが2〜90μmに加工され、熱圧着後の前記接着フィルムがAステージ樹脂である、
請求項1〜7のいずれか一項記載の装置。
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