JP2008036835A

JP2008036835A - インクジェット記録ヘッド

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Publication number: JP2008036835A
Application number: JP2006209995A
Authority: JP
Inventors: Kiyouta Miyazaki; 京太宮崎; Toshiaki Hirozawa; 稔明広沢; Shuzo Iwanaga; 周三岩永
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2006-08-01
Filing date: 2006-08-01
Publication date: 2008-02-21

Abstract

【課題】寸法精度が得られにくい積層セラミック基板と液体吐出基板の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドの提供。
【解決手段】パッドをチップ長手の両端で不均等に配置する。チップのパッド配置は回路上・スペース上制約があるため、パッド数の少ない端には、チップ内で配線を引き回せず、チップの両端に配置しなければならない端子に限定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、インク等の記録液を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に適用される記録ヘッドに関するものである。なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有する各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことからインクジェット記録装置は、プリンタ、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。

インクジェット記録装置におけるインク吐出方式として、発熱素子を用いた方式がある。発熱素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、液体吐出基板の液室内に発熱素子を設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることによりインクに熱エネルギーを与える。そのときのインクの相変化により生じるインクの発泡時(沸騰時)の気泡圧力をインク滴の吐出に利用したものであり、微小な吐出口から微小なインク滴を吐出させて記録媒体に対し記録を行うものとなっている。

一般にインクジェット記録ヘッドは、インク滴を形成するための液体吐出基板と、液体吐出基板にインクを供給するインク供給系と、液体吐出基板に電気的エネルギーを与える電気回路系とから構成される。

液体吐出基板の一実施態様として、以下の構成が挙げられる。すなわち、液体吐出基板の中央に長溝状のインク供給口が形成されており、表面のインク供給口を挟んだ長手方向の両側に記録素子である複数の発熱素子が配列されている。液体吐出基板の表面上には樹脂材料でできた吐出口形成部材が形成されており、発熱素子に対応する複数の吐出口と各吐出口に連通する液室が形成されている。液体吐出基板の裏面には配線部材の導体パターンと電気的に接続して発熱素子に電力や電気信号を供給するための電極が形成されている。

インクジェット記録ヘッドの液体吐出基板はインクを供給する支持部材に接着剤等で固定され、液体吐出基板のインク供給口と支持部材の供給穴が外部と連通しないように密閉された状態でインクが供給される。一方、電気配線部材の導体パターンと液体吐出基板の電極が電気的に接続されることによって、液体吐出基板の回路駆動に必要な電気信号、電力がプリンタ、ファクシミリ本体から供給される。通常、電気接続部はインクが接触しないように接着剤や封止剤で密閉されている。

近年フォトプリンタと呼ばれる複数の色インクを用いて写真のような色空間を高速度に表現できるようなプリンターが販売されている。高速化のために液体吐出基板のノズルの数は増加の一途をたどり、たとえば合計3072本といったノズルを配列した高密度の記録ヘッドも開発されている。さらに、解像度も高画質化の要求から増加しており、例えば、4800×2400dpiなどの高解像度で記録できる記録ヘッドが開発されている。このような状況のもと、更なる高速度、高解像度のプリンタを達成するための記録ヘッドが望まれている。一方、プリンタの低価格化も進んでおり、高速度、高解像度を低価格で実現する記録ヘッドが望まれている。

したがって、液体吐出基板においてはノズル数の増加による高速化と、ノズルピッチの狭化による高解像度化と、更にコストダウンが同時に望まれている。

例えば、特開平11-192705にインクジェット記録ヘッドの一例が開示されている（図１０）。開示されているインクジェット記録ヘッドは、液体吐出基板（明細書中はプリントヘッド218として記載）の裏面に電気接続部があり、そのそばにインクの流路となるインク補充スロット（232）やインク補充流路（242）が形成されている。電気接続部はプリントヘッド（218）のシリコンダイ（252）表面や支持基板（220）表面に形成された誘電体層、誘電体層上に形成された相互接続金属（280）、相互接続金属上に形成された濡れ金属（268,276）、プリントヘッド（218）と支持基板（220）のそれぞれの濡れ金属間を接続するはんだバンプ（278）より構成されている。インクがプリントヘッド（218）と支持基板（220）の間の境界面で漏れないようにするために封止をしなければならない。開示されているインクジェット記録ヘッドでは、はんだバンプ（278）に耐腐食性であり、溶着されたはんだバンプによってインクが境界面で漏れないように封止し、流体隔壁が画定されるとしている。一方、特開平11-192705にも開示されているとおり、接着剤または封止剤を使用して流体隔壁を形成するアンダーフィル処理（underfill process）が実施される方法も考えられる。一般に、はんだバンプ（278）が耐腐食性を発現できるインクは限られており、多種類のインクに対応する汎用的なインクジェット記録ヘッドを構成するためには流体隔壁を形成するアンダーフィル処理を実施しなければならない。

特開平11-192705に開示されているインクジェット記録ヘッドにおける電気配線保護の問題点を解決し、さらに放熱性を向上して、製造コストを削減する方法として積層セラミック基板を用いたインクジェット記録ヘッドが提案されている。

提案されているインクジェット記録ヘッドの液体吐出基板には、発熱素子に電力と駆動信号を供給する第１の電極端子が形成されている。液体吐出基板を支持する支持部材の支持面には第１の電極端子と接続する第２の電極端子を備えている。支持部材は導体配線とビアホールとが設けられたセラミックシートを複数枚積層してなり、支持部材の内部には第２の電極端子と電気的に繋がる立体電気配線が導体配線と導体が充填されたビアホールによって形成されている。

図２は積層セラミック基板を用いたインクジェット記録ヘッドの一部を示す外観斜視図である。図３は液体吐出基板の長辺側の端部付近の断面を示しており、立体配線付き支持部材と液体吐出基板を接続する電極近傍における断面図である。図４は液体吐出基板の長辺側の中央付近の断面を示しており、立体配線付き支持部材が液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図である。

インクジェット記録ヘッドは図３、４に示すように、立体配線付き支持部材H1200と、支持部材H1200の上にマウントされた液体吐出基板H1100と、支持部材H1200の液体吐出基板H1100側とは反対側に接着剤H1301で接合されている記録液供給部材H1300とから構成されている。

この記録ヘッドは、インクジェット記録装置本体に搭載されているキャリッジ（不図示）に設けられた位置決め手段及び電気的接点によって固定支持される。さらに、記録ヘッドにはインクタンク（不図示）が取り付けられている。液体吐出基板H1100の表面にはインク等の記録液を吐出するための吐出口H1107が開口しており、吐出口H1107が複数列をなすことで、吐出口列を形成している。液体吐出基板H1100の裏面側には記録液を供給するための液体供給口H1102が、吐出口列の長さとほぼ等しい長さで開口している。液体供給口H1102からの記録液は発泡室H1109（液室）に入り一時的に貯留され、吐出エネルギー発生手段である発熱素子H1103によって記録液が発泡し、吐出口H1107から記録液の吐出が行われることとなる。また、液体吐出基板H1100の裏面には発熱素子H1103等に電気的な信号を送るための複数の第１の電極端子H1111が形成されている。第１の電極端子H1111からは、液体吐出基板H1100を貫通する不図示の貫通配線を介して、液体吐出基板H1100の発熱素子H1103へと配線がつながっている。

支持部材H1200は、図３、４に示すように、セラミックシートH1201が積層されることで構成されている。支持部材H1200の表面には液体吐出基板H1100へ駆動信号を供給するための第２の電極端子H1202が形成されており、更に本体から電気信号を受け取るための不図示の電極端子が裏面や側面に形成されている。また、これらの電極は、内部導体配線H1204と導体が充填されたビアH1205によって支持部材H1200の内部を引き回されることで相互に接続されている。液体吐出基板H1100と支持基板H1200はバンプH1105により電気的に接合され、さらに、封止剤H1206（あるいは接着剤）により封止されており、電気接合部を記録液による腐食などから保護している。

また、支持部材H1200には表面から裏面まで貫通した液体供給穴H1207が形成されている。支持部材H1200と接合される記録液供給部材H1300にも液体供給溝H1302が形成されている。これにより、それぞれの部材の液体供給口同士が連通することで、インクタンク（不図示）から供給される記録液がフィルタ（不図示）を介して記録液供給部材H1300に入り、液体供給溝H1302を通って支持部材H1200の液体供給穴H1207に入り、さらに、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102と順に供給される。なお、図４に示した支持部材H1200の液体供給穴H1207、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102の近傍の電気接続部は必須の構成ではない。

液体吐出基板H1100の第１の電極端子H1111と接合する支持部材H1200の第２の電極端子H1202およびバンプH1105は、電気的な信号を送るのに用いても良いが、液体吐出基板H1100より発生する熱を支持部材H1102へ逃がす放熱目的で使用しても良い。
特開平１１−１９２７０５号公報

インクジェット記録ヘッドに搭載される液体吐出基板は、液体吐出基板を支持する支持部材に実装する際の絶対位置精度が必要になる。これは、液体吐出基板の電極端子と支持部材の電極端子同士を確実に接合し、液体吐出基板に所望の駆動信号、電力を伝えるためである。また、液体吐出基板及び支持部材中を流れる液体が外部に漏れ出さないように両者の液体流路を接合し、封止するためである。

また、プリンターのフルカラー化の要求から、ひとつのインクジェット記録ヘッドに複数の液体吐出基板を搭載するマルチチップ化が進んでいる。そこで、上記の絶対位置精度に加え、液体吐出基板同士の相対位置精度が必要になる。液体吐出基板同士の相対位置のズレ、すなわち液体吐出基板上に形成された液体を吐出する吐出口のズレは、印字品位の低下を招く印字物の色ズレの原因となるためである。

そこで、液体吐出基板を支持する支持部材に形成される電極端子、および液体供給穴には高い寸法精度が要求される。

しかし、支持部材を積層セラミック基板で形成した場合、支持部材として要求される寸法精度を満たせない可能性がある。これは以下の理由による。すなわち、積層セラミック基板はシート状に成形されたセラミック粉体を積層後に焼成して形成するが、焼成の際に不可避である材料の収縮量を制御することが困難であるため、高い寸法精度を確保することが難しい。

一方、液体吐出基板は半導体工程で製造されるため、液体吐出基板の電極端子、および液体供給口は精度良く形成される。

そこで、寸法精度が良い液体吐出基板の電極端子と確実に接合させるために、寸法精度を確保することが難しい支持部材の複数の電極端子を離れた位置に配置するのでは無く、可能な限り近接した領域に配置するのが望ましい。

しかし、液体吐出基板の電極端子の配置においては、以下に述べる２点を考慮しなければならない。

１. 極めて狭い領域に液体吐出基板の電極端子を配置しなければならない
２. 液体吐出基板の電極端子を配置する領域に制約がある
１．狭い領域
液体吐出基板は一般の半導体と同様の工程で製造される。このため、望まれているコストダウンを実現するためには一枚のウエハ当たりの取り個数を増やす必要があり、これには液体吐出基板の寸法をシュリンクする方法が最も有効である。しかし、液体吐出基板の場合は液体供給口を設ける必要があるため、寸法をシュリンクした場合には電極端子を配置する領域が極めて限定されてしまう。
２．領域の制約
一般に液体吐出基板は、トランジスター等を制御するロジック回路用の信号系の配線と、発熱素子等を駆動する電力を供給する電力系の配線を有する。

このうち電力系の配線において、例えば駆動のために一定の電力が必要な発熱素子が電極端子から離れた位置にあった場合、液体吐出基板内の配線抵抗が大きくなるために電圧降下によって素子に所望の電力量が供給できない場合が考えられる。特に、長さが幅と比較して例えば30倍以上になる細長い形状の液体吐出基板においては配線抵抗の増大の影響が顕著となる。

電圧降下を回避する手段として、電極端子から離れた位置にある素子に繋がる配線を太くする方法が考えられるが、これは液体吐出基板の大型化を招き、コストアップの要因となるので好ましくない。

また、液体吐出基板上の配線が長い場合、一般にノイズを拾いやすくなってしまい、例えば液体吐出基板上に設けられた温度センサーの信号に外部雑音が入り込んで正確な測定を妨げ、誤作動を招く可能性がある。

よって、液体吐出基板の電極端子は液体吐出基板全体の中でバランスよく配置しなければならず、一箇所の近接した領域に配置することは好ましくない。

さらに、電極端子を一箇所の近接した領域に配置した場合、実装上の課題も懸念される。液体吐出基板の電極端子と支持部材の電極端子の接合は、金等の金属バンプを利用した加熱加圧接合、超音波接合が考えられる。または、導電性接着剤による接合や熱硬化性接着剤により電極端子同士を圧接する方法が考えられるが、いずれの方法を選択した場合でも、加圧しながらの接合となる。この場合、複数の電極端子を近接した領域に配置すると、液体吐出基板が傾いた状態で接合される可能性があり、印字の際に悪影響が出ることが懸念される。

そこで本発明の目的は、液体吐出基板の電極端子の配置に関する制約を回避し、液体吐出基板とこれを支持する積層セラミック基板の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドを提供することにある。

記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出する吐出口と、該吐出口から前記記録液を吐出するためのエネルギーを発生する発熱素子と、該発熱素子や前記液体吐出基板の駆動回路に電力と駆動信号を供給する配線と、該配線と電気的に繋がる第１の電極端子とを備えた液体吐出基板と、該液体吐出基板を支持する支持面を有し、前記液体吐出基板の前記液体供給口と連通する略長方形の液体供給穴と、前記第１の電極端子と接続する第２の電極端子を前記支持面に備えた支持部材とを有し、該支持部材は導体配線とビアホールとが設けられたセラミックシートを複数枚積層してなり、前記支持部材の内部に前記第２の電極端子と電気的に繋がる立体電気配線が前記導体配線と前記ビアホールによって形成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記液体吐出基板の前記第１の電極端子と前記支持部材の前記第２の電極端子は前記支持部材の略長方形の前記液体供給穴の外周部に配置されており、前記液体供給穴の長辺の両端の一方の端に配置された前記第１、および前記第２の電極端子数が、他方の端に配置された前記第1、および前記第２の電極端子数より少なく、かつ前記第１、および前記第２の電極端子数が少ない端の電極端子は、前記液体供給穴の長辺と平行な仮想線１本当りに１ヶ設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドとすることである。

以上説明したように本発明の実施形態を採用することによって、液体吐出基板の電極端子の配置に関する制約を回避し、液体吐出基板とこれを支持する積層セラミック基板の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドが得られる。

（実施例１）
本発明の第1の実施例について図を用いて説明する。

図１は本実施例で用いた液体吐出基板H1100と、これを支持する支持部材1200の外観斜視図である。液体吐出基板H1100、支持部材1200とも相手部材との接合面が上向きになる状態で示しされている。実際の組立では、図中の矢印方向に液体吐出基板H1100を引っくり返して実装される。支持部材1200の表面には、支持部材1200の第２の電極端子H1202が設けられており、液体吐出基板H1100が実装された際に液体吐出基板H1100の第1の電極端子H1111と接合する位置に配置されている。また、支持部材1200と液体吐出基板H1100が実装された際に、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102と支持部材1200の液体供給穴H1207は連通する位置に配置され、不図示の封止剤や接着剤により封止されている。

支持部材1200は液体供給穴H1207を３つ有して多色印刷が可能なヘッド形態を示しているが、記録ヘッド１ヶ当たりの液体供給穴H1207の数は１つであっても、２つ以上の複数個であっても良い。

液体吐出基板H1100の第1の電極端子H1111と支持部材1200の第２の電極端子H1202は金属バンプによって接合されている。この他、導通性接着剤による接合、熱硬化性接着剤により電極同士を互いに圧接する方法で接合しても良い。また、熱硬化性接着剤が導電粒子を含んでいても良い。

本実施例では、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が少ない端部において、液体供給口H1102の長辺と平行な仮想線一本当たりに１ヶの電極端子が設けられている。電極数が少ない端部に設けた電極は、液体吐出基板H1100の駆動に必要な電力を供給する配線に繋がる電極端子である。具体的には、発熱素子の駆動、およびロジック回路の駆動電力供給に関わる配線に繋がる電極端子とした。いずれも液体吐出基板H1100全体の中でバランスよく配置しなければならない電極端子で、例えば電圧降下が生じた場合、所望の電力が供給されず、液体吐出基板H1100の動作に支障をきたす電極である。更に、ロジック回路の駆動電力に関係する電極のうち、グランド配線の電位によって液体吐出基板H1100全体の基準電位が決定される。このため、当該電極は液体吐出基板H1100全体の中で特にバランスよく配置しなければならないものである。

液体吐出基板H1100を支持部材1200に実装する際に、より精度を高めるために、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が多い端部を実装の基準位置に近い側に配置することが望ましい。本実施例では、支持部材1200より突き出している両側の突起部を実装の基準位置として、液体吐出基板H1100を支持部材1200に実装した。また、液体供給穴H1207の長辺両端部に配置されている第２の電極端子H1202のうち、電極数の少ない端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズを、電極数の多い端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズより大きくしている。これは、実装の基準から離れた位置、つまり支持部材H1200の寸法精度が確保し難い領域で、第１の電極端子H1111と第２の電極端子H1202同士の接合をより確実に行なうためである。

液体吐出基板H1100が支持部材1200に実装された状態の外観斜視図を図５に示した。また、図６に本実施例で述べた液体吐出基板H1100の他の形態を示した。図６では、液体吐出基板H1100の電極端子数の少ない端側に設けられた第1の電極端子H1111の配置を示している。

本実施例で示した方法によって、精度の確保が難しい積層セラミック基板で形成された支持部材1200を用いた場合でも、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドを実装することができた。

（実施例２）
本発明の第２の実施例について図を用いて説明する。

本実施例では図７に示したように第1の電極端子H1111、および液体供給口H1102が形成された液体吐出基板H1100を用いた。支持部材1200の第２の電極端子H1202、および液体供給穴H1207は、それぞれ液体吐出基板H1100を実装した際に液体吐出基板H1100の第1の電極端子H1111、および液体供給口H1102のそれぞれ対応する位置に設けた。本実施例では、実施例１と同様に、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が少ない端部において、液体供給口H1102の長辺と平行な仮想線一本当たりに１ヶの電極端子が設けた。また、電極数が少ない端部に設けた電極は、液体吐出基板H1100の駆動に必要な電力を供給する配線に繋がる電極端子とした。さらに、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が多い端部を実装の基準位置に近い側に配置した。また、液体供給穴H1207の長辺両端部に配置されている第２の電極端子H1202のうち、電極数の少ない端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズを、電極数の多い端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズより大きくしている。これは、実装の基準から離れた位置、つまり支持部材H1200の寸法精度が確保し難い領域で、第１の電極端子H1111と第２の電極端子H1202同士の接合をより確実に行なうためである。

本実施例では、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102の長手方向の中心Ａが、液体吐出基板H1100全体の長手方向の中心Ｂとずれて配置されている。具体的には、液体供給口H1102の長手方向の中心Ａが、第1の電極端子H1111の数が少ない端側に寄った位置に配置されている。これは、液体供給口H1102の端部から電極端子までの距離Ｃ、およびＤを、液体吐出基板H1100の両側でおおよそ揃えるためである。実施例１では、電極端子が多い端部における液体供給口H1102の端部から電極端子までの距離が、電極端子が少ない端部と比較して短かったため、液体吐出基板H1100と支持部材1200の間の空間を埋める封止剤や接着剤が十分に行き届かず、電極端子周辺に封止不良が起きる可能性があった。

本実施例で示した方法によって、精度の確保が難しい積層セラミック基板で形成された支持部材1200を用いた場合でも、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドを実装することができた。更に、電極端子周辺における封止不良を防止することができた。

（実施例３）
本発明の第３の実施例について図を用いて説明する。

本実施例では図８に示したようにひとつの液体吐出基板H1100に３つの液体供給口H1102が形成され、これに合わせて第1の電極端子H1111が配置された液体吐出基板H1100を用いた。本実施例で述べる最良の形態は、液体供給口H1102が３つ形成されたものには限定されず、１つであっても、あるいは２つ以上の複数個形成されたものであっても良い。支持部材1200の第２の電極端子H1202、および液体供給穴H1207は、それぞれ液体吐出基板H1100を実装した際に液体吐出基板H1100の第1の電極端子H1111、および液体供給口H1102のそれぞれ対応する位置に設けた。本実施例では、実施例１と同様に、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が少ない端部において、液体供給口H1102の長辺と平行な仮想線一本当たりに１ヶの電極端子が設けた。本実施例では、液体吐出基板H1100の発熱素子に電気的に繋がる電極端子を、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102、および支持部材1200の液体供給穴H1207の長辺に沿って配置した。

電極数が少ない端部に設けた電極は、液体吐出基板H1100の駆動に必要な電力を供給する配線に繋がる電極端子とした。さらに、液体吐出基板H1100と支持部材1200の電極端子が多い端部を実装の基準位置に近い側に配置した。また、液体供給穴H1207の長辺両端部に配置されている第２の電極端子H1202のうち、電極数の少ない端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズを、電極数の多い端部に設けられている第２の電極端子H1202のサイズより大きくしている。これは、実装の基準から離れた位置、つまり支持部材H1200の寸法精度が確保し難い領域で、第１の電極端子H1111と第２の電極端子H1202同士の接合をより確実に行なうためである。同様の理由から、電極端子数が少ない端側における隣接する電極端子間の距離は、電極端子数が多い側と比較して、大きくなっている。

液体吐出基板H1100が支持部材1200に実装された状態の外観斜視図を図９に示した。

本発明の第1の実施例の液体吐出基板と支持部材の外観斜視図である。本発明のインクジェット記録ヘッドの外観斜視図である。本発明のインクジェット記録ヘッドにおいて、液体吐出基板の端部付近の断面図である。本発明のインクジェット記録ヘッドにおいて、液体吐出基板の中央付近の断面図である。本発明の第1の実施例において、液体吐出基板が実装された支持部材の外観斜視図。本発明の第1の実施例における液体吐出基板の他の実施形態。本発明の第２の実施例の液体吐出基板の実装面から見た正面図。本発明の第３の実施例の液体吐出基板と支持部材の外観斜視図である。本発明の第３の実施例において、液体吐出基板が実装された支持部材の外観斜視図。従来例のインクジェット記録ヘッドの断面図である。

符号の説明

H1100 液体吐出基板
H1102 液体供給口
H1103 発熱素子
H1105 バンプ
H1107 吐出口
H1109 発泡室
H1111 第1の電極端子
H1200 立体配線付の支持部材
H1201 セラミックシート
H1202 第２の電極端子
H1204 内部導体配線
H1205 ビア
H1206 封止剤
H1207 液体供給穴

Claims

記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出する吐出口と、該吐出口から前記記録液を吐出するためのエネルギーを発生する発熱素子と、該発熱素子や前記液体吐出基板の駆動回路に電力と駆動信号を供給する配線と、該配線と電気的に繋がる第１の電極端子とを備えた液体吐出基板と、
該液体吐出基板を支持する支持面を有し、前記液体吐出基板の前記液体供給口と連通する略長方形の液体供給穴と、前記第１の電極端子と接続する第２の電極端子を前記支持面に備えた支持部材とを有し、該支持部材は導体配線とビアホールとが設けられたセラミックシートを複数枚積層してなり、前記支持部材の内部に前記第２の電極端子と電気的に繋がる立体電気配線が前記導体配線と前記ビアホールによって形成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記液体吐出基板の前記第１の電極端子と前記支持部材の前記第２の電極端子は前記支持部材の略長方形の前記液体供給穴の外周部に配置されており、前記液体供給穴の長辺の両端の一方の端に配置された前記第１、および前記第２の電極端子数が、他方の端に配置された前記第1、および前記第２の電極端子数より少なく、
かつ前記第１、および前記第２の電極端子数が少ない端の電極端子は、前記液体供給穴の長辺と平行な仮想線１本当りに１ヶ設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
前記第1、および前記第２の電極端子数が少ない端の電極端子は、前記液体吐出基板の駆動に必要な電力を供給する配線に繋がる端子であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第1、および前記第２の電極端子数が少ない端の電極端子は、電極端子数が多い端と比較して、隣接する電極端子間の距離が長いことを特徴とする請求項１、２に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記液体吐出基板の長手方向の中心と、前記液体吐出基板の前記液体供給口の長手方向の中心が一致しないことを特徴とする請求項１〜３に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記液体吐出基板の前記第１の電極端子、および前記支持部材の前記第２の電極端子のうち、前記液体吐出基板の前記発熱素子に電力を供給する前記配線に繋がる前記第１、および第２の電極端子は、それぞれ前記液体吐出基板の前記液体供給口、あるいは前記支持部材の前記液体供給穴の長辺に沿って配置されていることを特徴とする請求項１〜４に記載のインクジェット記録ヘッド。