JP2008027769A - 電子顕微鏡用試料保持部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は電子顕微鏡用試料保持部材に関し、変形の少ない高分解能高傾斜観察可能な試料保持部材を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を保持する電子顕微鏡用試料保持部材30であって、その先端部にグリッドメッシュ25aを設けたグリッドメッシュ薄片25と、前記グリッドメッシュ25aを補強するための薄片の補強用リブ26を複数枚設けたものとを積層構成とした。これにより、グリッドメッシュ25aの変形を防止することができる。
【選択図】図1
【解決手段】試料を保持する電子顕微鏡用試料保持部材30であって、その先端部にグリッドメッシュ25aを設けたグリッドメッシュ薄片25と、前記グリッドメッシュ25aを補強するための薄片の補強用リブ26を複数枚設けたものとを積層構成とした。これにより、グリッドメッシュ25aの変形を防止することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は電子顕微鏡用試料保持部材に関する。
従来より電子顕微鏡においては、カートリッジタイプの試料装置が用いられていたが、カートリッジタイプの試料装置は交換が面倒であることから、試料ホルダと、該試料ホルダに脱着自在に装着されるカートリッジ本体と、該カートリッジ本体の先端に形成されたメッシュ状部を備えた電子顕微鏡の試料装置が開発されるに至っている。このようなメッシュ状の支持板上に、その粒子状又は薄切片状の検体を分散又は保持させ、物体(検体)の形状、粒径、粒度、粒度分布及びその断面等を観察・測定するようになっている。
この支持板は、図8に示すような構成をしている。図において、1は試料保持部材であり、その内部には1aに示すようなグリッドメッシュが形成されている。試料保持部材1の径は2.3〜3.0mmφ程度である。グリッドメッシュ1aは、その上に検体を支持させるのに適した種々の形状の開口を有しているものが一般的に使用されている。上記開口を格子状とした場合、1個の格子の面積は例えば25μm×25μm程度である。
従来のこの種の装置としては、その先端部にフォトエッチングにより加工されたおおよそ30〜50μmの厚さを持つグリッドメッシュを持つものが知られている(例えば特許文献1参照)。また、試験片チップを有するホルダ本体及び試験片チップのための冷却源を含み、試験片グリッドはグリッド開口を形成するように交差する複数のグリッドバーを有し、グリッド開口の各々は長さ及び幅を有し、各グリッド開口の長さはホルダ本体の長手軸線に実質上垂直で当該グリッド開口の幅より大であり、試験片チップは水平から両方向に少なくとも約90°の角度にわたって回転できるようにされる試験片低温移送ホルダが知られている(例えば特許文献2参照)。
図9は試料ホルダの構成例を示す図である。図8と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、2は試料ホルダ、1は試料ホルダ2の先端部に取り付けられた試料保持部材である。該試料保持部材としては、例えば銅等が用いられる。該試料保持部材1のグリッドメッシュには試料(図示せず)が載置されている。グリッドメッシュの形成方法には、エッチング法等の種々の方法が用いられる。試料保持部材1を試料ホルダ2に取り付ける方法としては、試料ホルダ2内に差し込んで固定する方法や、試料ホルダ2にネジ止めする方法等が採用される。試料ホルダ2は、図に示す回転方向に所定角回転させることができるようになっている。EBは試料に照射される電子ビームである。電子顕微鏡が透過型電子顕微鏡である場合、試料を透過したEBは結像系(図示せず)に入り、所望の試料画像が表示されることになる。
図10は試料保持部材の構成断面図である。図において、1はその内部にグリッドメッシュ1aが形成された試料保持部材、11、12は試料のグリッドメッシュ(図示せず)を保持し補強するためのグリッドメッシュ保持部材である。グリッドメッシュ1aをグリッドメッシュ保持部材11で下側から支え、上側からグリッドメッシュ保持部材12で押さえている。
特開平8−17381号公報(段落0010、図1、図2)
特許第3605119号公報(第4頁第22行〜第5頁第23行、図1)
前述した図10に示す試料保持部材の場合、試料保持部材1は厚さが数10μmと薄いので、曲がりやすく変形しやすい。そこで、図10に示すような補強部材を設ける必要がある。この場合、グリッドメッシュ保持部材11,12はその機能を維持する程度の厚みを持たせる必要がある。この厚さのため、試料ホルダ2を傾斜させた場合に、これらグリッドメッシュ保持部材の厚さのために視野が狭くなるという問題がある。
図11は試料保持部材の傾斜を示す図である。図10と同一のものは、同一の符号を付して示す。グリッドメッシュ保持部材11,12の厚さのために、視野が狭くなっている。図に示す例の場合、視野の短径はdとなり、グリッドメッシュのかなりの領域が観察できない状態となっている。
また、市販されているグリッドメッシュ1aの径は、そのほとんどがφ2.3〜φ3mm程度であり、高分解能形電子顕微鏡に備えられた対物レンズ内の狭い空間で高分解能観察下で高傾斜することは困難である場合が多い。また、前記特許文献1に記載の試料装置では、上記の問題は解決されるものの、30μmの厚さを持つグリッドメッシュ部の周囲に例えば60μmの補強リブを設けることは不可能である。なぜなら、図12に示す補強部材20をエッチングする場合、21に示すようにエッチング面を全面均一の加工深さにするコントロールは不可能なので、グリッドメッシュ部にはピンホールが発生し、所望のグリッドメッシュ形状・寸法を加工することはできない。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、変形の少ない高分解能高傾斜観察可能な試料保持部材を提供することを目的としている。
(1)請求項1記載の発明は、試料を保持する電子顕微鏡用試料保持部材であって、その先端部にグリッドメッシュを設けたグリッドメッシュ薄片と、前記グリッドメッシュを補強するための薄片の補強用リブを複数枚設けたものとを積層構成としたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、前記補強用リブ及びグリッドメッシュ薄片は、互いに拡散接合により接合されることを特徴とする。ここで、拡散接合とは、材料同士を融点以下の温度に加熱、加圧密着させ、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合することをいう。
(3)請求項3記載の発明は、前記グリッドメッシュは、矩形状又は円状であることを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、前記補強用リブ及びグリッドメッシュ薄片は、互いに拡散接合により接合されることを特徴とする。ここで、拡散接合とは、材料同士を融点以下の温度に加熱、加圧密着させ、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合することをいう。
(3)請求項3記載の発明は、前記グリッドメッシュは、矩形状又は円状であることを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、グリッドメッシュ薄片と、グリッドメッシュを補強するための薄片の補強用リブを積層構成とすることにより、全体として試料保持部材の厚さを薄くすることができ、高分解能傾斜観察可能な試料保持部材を提供することができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、グリッドメッシュ薄片とグリッドメッシュを補強する薄片の補強用リブを拡散結合により接合させることにより、全体として試料保持部材の厚さを薄くすることができ、しかもグリッドメッシュ薄片の強度を強めることができ、変形の少ない試料保持部材を提供することができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、グリッドメッシュの形状を、矩形状又は円状のものとすることができ、最適な状態で試料をその上に載置させることができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、グリッドメッシュ薄片とグリッドメッシュを補強する薄片の補強用リブを拡散結合により接合させることにより、全体として試料保持部材の厚さを薄くすることができ、しかもグリッドメッシュ薄片の強度を強めることができ、変形の少ない試料保持部材を提供することができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、グリッドメッシュの形状を、矩形状又は円状のものとすることができ、最適な状態で試料をその上に載置させることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。
図1は本発明の構成例を示す図である。図において、25はその先端にグリッドメッシュ25aが形成されたグリッドメッシュ薄片である。26はグリッドメッシュ薄片25を補強するための補強用薄片(リブ)である。26aは補強用リブ26に設けられた開口である。該開口26aは、グリッドメッシュ25aに対応する位置に設けられており、グリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26が積層形成された時に、電子ビームEBを通過させるためのものである。グリッドメッシュ薄片25及び補強用リブ26としては、金属製のものが用いられる。材料としては銅やモリブデン等が好適に用いられる。これらグリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26を積層構成したものが試料保持部材30である。これらグリッドメッシュ薄片及び補強用リブの厚さとしては、例えば10μm程度のものが用いられる。試料保持部材30の厚さとしては、30μm程度が用いられるが、その厚さは補強用リブ26の使用枚数を変化させることにより、任意の厚さとすることができる。
図1は本発明の構成例を示す図である。図において、25はその先端にグリッドメッシュ25aが形成されたグリッドメッシュ薄片である。26はグリッドメッシュ薄片25を補強するための補強用薄片(リブ)である。26aは補強用リブ26に設けられた開口である。該開口26aは、グリッドメッシュ25aに対応する位置に設けられており、グリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26が積層形成された時に、電子ビームEBを通過させるためのものである。グリッドメッシュ薄片25及び補強用リブ26としては、金属製のものが用いられる。材料としては銅やモリブデン等が好適に用いられる。これらグリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26を積層構成したものが試料保持部材30である。これらグリッドメッシュ薄片及び補強用リブの厚さとしては、例えば10μm程度のものが用いられる。試料保持部材30の厚さとしては、30μm程度が用いられるが、その厚さは補強用リブ26の使用枚数を変化させることにより、任意の厚さとすることができる。
25bはグリッドメッシュ薄片25に設けられた取り付け穴でネジ止め時の回転を防止するため2個設けられている。26bは補強用リブ26に設けられた取り付け穴で2個設けられている。これら穴は、積層構成された後、試料ホルダに固定するためのものである。図2は試料保持部材30の取り付け状態を示す図である。図において、31は試料ホルダであり、該試料ホルダ31にネジ止めすることで固定される。32はネジであり、図1に示すネジ穴25b、26bにネジ32を通し、ネジ止めすることにより固定されるものである。このネジにより、試料保持部材30は着脱可能になっている。
試料保持部材30の製作方法は、以下の通りである。先ず、図1に示すように、最下にグリッドメッシュ薄片25を配置し、その上に補強用リブ26を順に積層形成する。この時の積層形成する方法としては、前述した拡散結合が好適に用いられる。図では、補強用リブ26を3枚用いた場合を示しているが、これに限るものではなく、必要に応じて任意の数の補強用リブを用いることができる。そして、グリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26は図に示す順番で拡散結合により積層形成され試料保持部材30を構成する。
図3は拡散結合による試料保持部材作製の説明図である。一番下にグリッドメッシュ薄片25が配置され、その上に補強用リブ26が拡散結合により固着される。拡散結合は、前述したように、材料同士を融点以下の温度に加熱、加圧密着させ、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合するものである。拡散結合によれば、固相で接合できるので、溶融接合に比べて精度の高い接合を行なうことができる。グリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26とは、温度変化時のクラックの発生を防止するため、同一材料が用いられる。
なお、図3に示す実施の形態例では、グリッドメッシュ薄片25の上に3枚の補強用リブ26を配置した場合を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、図4に示すように、グリッドメッシュ薄片25の上下に補強用リブ26を配置することも可能である。
試料の搭載方法は以下の通りである。従来のグリッドメッシュの場合と同様に、必要に応じて支持膜作成等の前処理を施し、試料を搭載する。試料を搭載後、試料ホルダ31にネジ32でネジ止めして固定する。グリッドメッシュ薄片25と補強用リブ26が積層形成されて試料用保持部材30を構成している。本発明によれば、着脱可能な試料保持部材30自体がグリッドメッシュ25a及び試料保持部材26を兼ねているので、高傾斜時の視野制限に影響を及ぼす部位の厚さを極限まで薄くすることが可能であり、従来のものよりも高傾斜時の視野も広く確保することができる。また、補強用のリブを備えているので、グリッドメッシュ部25aの変形が起こり難い。
図5は本発明による試料保持部材の構成断面を示す図である。図において、30は試料保持部材であり、図9の座標系の内のY方向の断面を示している。中央近辺が凹んでいるのは、開口26a(図1参照)が設けられていることに基づく。図のjが試料の搭載範囲を示している。即ち、凹んだ領域がグリッドメッシュ部25aに相当しており、この範囲に試料を搭載することができることを示している。
図6は本発明による試料保持部材の傾斜を示す図である。Y軸に沿った方向に傾斜するようになっている。この傾斜は、試料ホルダ31を回転させることにより実現される。図6に示す傾斜角θはすこし極端であるが、傾斜角θを65°程度に設定すれば、視野の短径は図11に示す従来のものと比較して十分に大きくすることができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、グリッドメッシュ薄片と、グリッドメッシュを補強するための薄片の補強用リブを積層構成とすることにより、全体として試料保持部材の厚さを薄くすることができ、高分解能傾斜観察可能な試料保持部材を提供することができる。また、本発明によればグリッドメッシュ薄片とグリッドメッシュを補強する薄片の補強用リブを拡散結合により接合させることにより、全体として試料保持部材の厚さを薄くすることができ、しかもグリッドメッシュ薄片の強度を強めることができ、変形の少ない試料保持部材を提供することができる。
図7は本発明による他の構成例を示す図である。図1と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、35はその内部にグリッドメッシュ部35aが形成されたグリッドメッシュ薄片、36は該グリッドメッシュ薄片35を補強するためグリッドメッシュ薄片35に拡散結合で形成された補強用リブである。これらグリッドメッシュ薄片35と補強用リブ36とで試料保持部材40を構成している。この実施の形態例は、グリッドメッシュ部35aの形状が円形になっている他は図1に示した試料保持部材30と同じである。グリッドメッシュの形状を、矩形状又は円状のものとすることができ、最適な状態で試料をその上に載置させることができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のように効果が得られる。
1)着脱可能な試料ホルダ先端部材にグリッドメッシュ及びグリッドメッシュ部の形状を維持するための複数枚の金属薄片を拡散結合した補強用リブを設けたことにより、変形の少ない高分解能高傾斜観察な試料保持部材が製作可能になる。
2)拡散結合法を用いることで、例えば接着剤やスポット溶接を用いた場合の剥がれ、電荷のチャージが無く、また積層材料間の隙間がないことからガスの溜まりがなく真空面での使用に優れる。
3)補強用リブの使用枚数を必要に応じた枚数選択することで所望の厚さの試料保持部材を製作することができる。
1)着脱可能な試料ホルダ先端部材にグリッドメッシュ及びグリッドメッシュ部の形状を維持するための複数枚の金属薄片を拡散結合した補強用リブを設けたことにより、変形の少ない高分解能高傾斜観察な試料保持部材が製作可能になる。
2)拡散結合法を用いることで、例えば接着剤やスポット溶接を用いた場合の剥がれ、電荷のチャージが無く、また積層材料間の隙間がないことからガスの溜まりがなく真空面での使用に優れる。
3)補強用リブの使用枚数を必要に応じた枚数選択することで所望の厚さの試料保持部材を製作することができる。
25 グリッドメッシュ薄片
25a グリッドメッシュ
25b 取り付け穴
26 補強リブ
26a 開口
26b 取り付け穴
30 試料保持部材
25a グリッドメッシュ
25b 取り付け穴
26 補強リブ
26a 開口
26b 取り付け穴
30 試料保持部材
Claims (3)
- 試料を保持する電子顕微鏡用試料保持部材であって、その先端部にグリッドメッシュを設けたグリッドメッシュ薄片と、前記グリッドメッシュを補強するための薄片の補強用リブを複数枚設けたものとを積層構成としたことを特徴とする電子顕微鏡用試料保持部材。
- 前記補給用リブ及びグリッドメッシュ薄片は、互いに拡散接合により接合されることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料保持部材。
- 前記グリッドメッシュは、矩形状又は円状であることを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用試料保持部材。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006199729A JP2008027769A (ja) | 2006-07-21 | 2006-07-21 | 電子顕微鏡用試料保持部材 |
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Publications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010014252A2 (en) * | 2008-08-01 | 2010-02-04 | Omniprobe, Inc. | Grid holder for stem analysis in a charged particle instrument |
-
2006
- 2006-07-21 JP JP2006199729A patent/JP2008027769A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010014252A2 (en) * | 2008-08-01 | 2010-02-04 | Omniprobe, Inc. | Grid holder for stem analysis in a charged particle instrument |
WO2010014252A3 (en) * | 2008-08-01 | 2010-04-01 | Omniprobe, Inc. | Grid holder for stem analysis in a charged particle instrument |
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