JP2008010770A - 半導体装置基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】周辺部における配線層絶縁膜の剥れを抑制した半導体装置基板を提供する。
【解決手段】本発明の1態様による半導体装置基板は、半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜を含む第2の層間絶縁膜と、前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグとを具備し、前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1の絶縁膜の端部が前記第2の絶縁膜で覆われていることを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の1態様による半導体装置基板は、半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜を含む第2の層間絶縁膜と、前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグとを具備し、前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1の絶縁膜の端部が前記第2の絶縁膜で覆われていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置を形成した半導体装置基板に係り、特に、半導体装置基板周辺部において改善された構造の配線層絶縁膜を備えた半導体装置基板に関する。
半導体装置の微細化とともに、配線層間絶縁膜に低誘電率絶縁膜が広く使用されてきている。一般に、1つの配線層間絶縁膜は複数層の低誘電率絶縁膜を含む。
例えば、デュアルダマシンによる銅配線技術では、配線層間絶縁膜は、上下の配線を接続するビアプラグが配置されるビア層低誘電率絶縁膜、配線が配置される配線層低誘電率絶縁膜及び機械的強度が弱い配線層低誘電率絶縁膜を保護する配線層保護絶縁膜の3層から構成される。配線層の形成工程中又は形成後に、平坦化プロセス、例えば、CMP(Chemical Mechanical Polishing)によって半導体装置基板全面が平坦化される。CMP時には周辺部に大きな圧力が加わったり、斜めに研磨されたりするために、半導体装置基板周辺部で配線層間絶縁膜の一部の層が剥れることがある。配線層間絶縁膜の剥れが生ずると、隣接する配線間のリーク電流を増加させる等の、半導体装置の電気的特性を劣化させることがある。
配線層間絶縁膜の剥れを防止するために、半導体装置基板周辺領域において配線層低誘電率絶縁膜を半導体装置基板エッジから数mm程度除去する方法がある。その1つの配線層間絶縁膜の構造が、特許文献1に開示されている。この構造では、半導体装置基板周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜を半導体装置基板エッジから除去し、配線層低誘電率絶縁膜をさらにその内側まで除去している。その上に形成する配線層保護絶縁膜は、その端部がビア層低誘電率絶縁膜と一致するように周辺を除去している。この方法では、ビア層低誘電率絶縁膜と配線層保護絶縁膜とが直接接触する部分が形成される。一般にビア層低誘電率絶縁膜と配線層保護絶縁膜との間の密着性向上処理は行われないため、この密着性が十分でない場合には、半導体装置基板周辺部において配線層低誘電率絶縁膜の段差部付近で配線層保護絶縁膜が剥れることがある。
特開2005−294722号公報
本発明は、半導体装置基板周辺部における配線層絶縁膜の剥れを抑制した半導体装置基板を提供する。
本発明の1態様による半導体装置基板は、半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜を含む第2の層間絶縁膜と、前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグとを具備し、前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1の絶縁膜の端部が前記第2の絶縁膜で覆われていることを特徴とする。
本発明の他の1態様による半導体装置基板は、半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜を含む第2の層間絶縁膜と、前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグと、前記第2の層間絶縁膜上に形成された第4の絶縁膜、第5の絶縁膜、及び第6の絶縁膜を含む第3の層間絶縁膜と、前記第5の絶縁膜及び第6の絶縁膜中に配置された第3の配線と、前記第4の絶縁膜中に配置され、前記第2の配線と前記第3の配線とを接続するビアプラグとを具備し、前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1及び第4の絶縁膜の端部がそれぞれ前記第2又は第5の絶縁膜で覆われていることを特徴とする。
本発明によって、半導体装置基板周辺部における配線層絶縁膜の剥れを抑制した半導体装置基板を提供することができる。
本発明の実施形態を、添付した図面を参照して以下に詳細に説明する。図では、対応する部分は、対応する参照符号で示している。以下の実施形態は、一例として示されたもので、本発明の精神から逸脱しない範囲で種々の変形をして実施することが可能である。
本発明の実施形態による半導体装置基板は、半導体素子、例えば、MOSトランジスタの上方に形成したビア層絶縁膜、配線層絶縁膜、及び配線層保護絶縁膜を含む多層配線の層間絶縁膜を具備する。この半導体装置基板は、その周辺領域においてビア層絶縁膜と配線層保護絶縁膜とが直接接触しない構造とすることにより、層間絶縁膜の剥れが発生することを防止している。本明細書において、半導体基板は、半導体装置を製造するための出発材料である半導体材料からなる基板を指し、半導体装置基板は、半導体基板上に半導体装置を形成した基板又は形成している工程の加工された基板を指す。
一般的な半導体装置基板900の周辺部は、図1に示したような配線及び層間絶縁膜の構造を有する。半導体装置基板900のエッジ(図の右端)は、一般に面取りされて丸みを帯びているが、ここでは、簡略化して長方形断面で示している。半導体基板10上に半導体素子(図示せず)が形成される。半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜20中に第1の配線24が設けられる。第1の配線24上に形成された第2の層間絶縁膜30zは、ビア層低誘電率絶縁膜32z、配線層低誘電率絶縁膜34z、及び配線層保護絶縁膜36zを含む。配線層低誘電率絶縁膜34zは、例えば、有機ポリマ膜であり、ここに第2の配線42が設けられる。ビア層低誘電率絶縁膜32zは、例えば、有機シリコン酸化膜であり、第1の配線24及び第2の配線42を接続するビアプラグ40が設けられる。配線層保護絶縁膜36zは、機械的強度が弱い配線層低誘電率絶縁膜34zを保護するための膜であり、例えば、TEOS−CVD(tetraethylorthosilicate-chemical vapor deposition)膜を使用できる。半導体装置基板900の周辺領域では、層間絶縁膜30zの一部、例えば、配線層低誘電率絶縁膜34zを半導体装置基板900のエッジから除去している(以降、周辺除去と呼ぶ)。これは、平坦化処理、例えば、CMP(chemical mechanical polishing)における加工性を向上させるためである。図1に示したように、通常は、配線層低誘電率絶縁膜34zを周辺除去している。これにより、半導体装置基板900の周辺領域では、ビア層低誘電率絶縁膜32zと配線層保護絶縁膜36zとが直接接触している。このような半導体装置基板900をCMPすると、周辺部では、積層された層間絶縁膜20,30z全体がだれるように斜めに研磨される。周辺除去をした配線層低誘電率絶縁膜34zの端部近くでは、配線層保護絶縁膜36zは斜めに研磨されて楔状になることがある。ビア層低誘電率絶縁膜32zと配線層保護絶縁膜36zとの接着性は、一般に良くない。このため、この楔状の配線層保護絶縁膜36zが剥れ、半導体装置基板表面に傷をつけてスクラッチが発生する等によりCMPの加工特性を劣化させることがある。
本発明は、半導体装置基板の周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜を周辺除去する。この周辺除去をしたビア層低誘電率絶縁膜の端部を覆うように配線層低誘電率絶縁膜を形成し、その上に配線層保護絶縁膜を形成する。これによって、ビア層低誘電率絶縁膜と配線層保護絶縁膜とが接触しない構造にした半導体装置基板を提供する。
以下に、いくつかの実施形態を例に本発明を説明するが、これらに限定されることはない。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態による半導体装置基板は、ビア層低誘電率絶縁膜、配線層低誘電率絶縁膜及び配線層保護絶縁膜を含む層間絶縁膜を具備し、半導体装置基板の周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜の周辺除去幅を配線層低誘電率絶縁膜の周辺除去幅よりも大きくした半導体装置基板である。これによりビア層低誘電率絶縁膜は、配線層低誘電率絶縁膜で覆われ配線層保護絶縁膜とは直接接触しない。その結果、例えば、CMPのような平坦化処理において、配線層保護絶縁膜等の剥れを抑制した半導体装置基板を提供することができる。
本発明の第1の実施形態による半導体装置基板は、ビア層低誘電率絶縁膜、配線層低誘電率絶縁膜及び配線層保護絶縁膜を含む層間絶縁膜を具備し、半導体装置基板の周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜の周辺除去幅を配線層低誘電率絶縁膜の周辺除去幅よりも大きくした半導体装置基板である。これによりビア層低誘電率絶縁膜は、配線層低誘電率絶縁膜で覆われ配線層保護絶縁膜とは直接接触しない。その結果、例えば、CMPのような平坦化処理において、配線層保護絶縁膜等の剥れを抑制した半導体装置基板を提供することができる。
ここで、半導体装置基板は、周辺部の半導体装置が形成されていない周辺領域と、その内側の半導体装置が形成された装置領域とを含む。周辺領域には、半導体装置の電気的特性を評価するための素子、例えば、TEG(test element group)等を形成したり、半導体装置製造の一部の工程を実行したりすることがあるが、これらは、本明細書中では半導体素子又は半導体装置とは呼ばない。
図2は、本実施形態の半導体装置基板100の周辺部の断面構造の一例を説明するために示す断面図である。
本実施形態の半導体装置基板100は、半導体基板10上に形成された半導体素子(図示せず)、例えば、MOSトランジスタと、半導体素子の上方に形成された第1の配線層110と、第1の配線層110上に形成された第2の配線層120とを備える。半導体装置は、複数の半導体素子によって構成される。
第1の配線層110は、MOSトランジスタを覆って形成された第1の層間絶縁膜20、第1の層間絶縁膜20中に第1のバリアメタル22を介して形成された第1の配線24、第1の配線24を覆って全面に形成された第1の拡散防止絶縁膜26とを備える。
第1の層間絶縁膜20は、比誘電率が3.0以下の低誘電率絶縁膜であることが好ましく、例えば、炭素含有シリコン酸化膜(SiOC、SiOCHなど)を使用することができる。第1のバリアメタル22は、配線材料が第1の層間絶縁膜20中へ拡散することを防止するための膜であり、例えば、窒化タンタル膜(TaN)、窒化チタン膜(TiN)を使用することができる。第1の配線24は、例えば、銅(Cu)を使用することができる。第1の配線24の形成は、まず、第1の層間絶縁膜20に形成された配線溝を埋めるように、例えば、電解メッキによりCuを堆積する。そして、第1の層間絶縁膜20の表面に堆積したCuを、例えば、CMPにより除去することにより第1の配線24を形成できる。第1の拡散防止絶縁膜26は、配線材料、例えば、Cuが周囲の層間絶縁膜に拡散することを防止する能力がある絶縁膜であり、例えば、CVD(chemical vapor deposition)により堆積した、炭化シリコン膜(SiC)、炭窒化シリコン膜(SiCN)、シリコン窒化膜(Si3N4)を使用することができる。
第2の配線層120は、第2の層間絶縁膜30及び第2の層間絶縁膜30中に形成された第2の配線42を含む。第2の層間絶縁膜30は、第1の拡散防止絶縁膜26上に形成されたビア層低誘電率絶縁膜32、ビア層低誘電率絶縁膜32を覆って形成された配線層低誘電率絶縁膜34、配線層低誘電率絶縁膜34上に形成された配線層保護絶縁膜36、及び配線層保護絶縁膜36を覆って形成された第2の拡散防止絶縁膜44を含む。第2の配線層120は、ビア層低誘電率絶縁膜32中に第2のバリアメタル38を介して形成されたビアプラグ40、配線層低誘電率絶縁膜34及び配線層保護絶縁膜36中に第2のバリアメタル38を介して形成された第2の配線42を備える。
ビア層低誘電率絶縁膜32は、例えば、有機シリコン酸化膜であり、スピン塗布により形成され、比誘電率が3.0以下であることが好ましい。ビア層低誘電率絶縁膜32として、例えば、MSQ(メチルシスセスキオキサン:methyl silsesquioxane)、HSQ(ハイドロジェンシスセスキオキサン:hydrogen silsesquioxane)、OSG(有機シリケートガラス:organo-silicate glass)、炭素含有シリコン酸化膜(SiOC)を使用することができる。半導体装置基板100周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜32は、周辺除去される。ビア層低誘電率絶縁膜32をスピン塗布によって形成した場合には、例えば、シクロヘキサンのような有機溶剤を用いたエッジリンスによりビア層低誘電率絶縁膜32を周辺除去できる。周辺除去幅は、半導体基板10上に半導体装置を形成した装置領域にかからない周辺領域内であり、半導体装置基板100のエッジから、例えば、1mmから5mmの範囲の幅とすることができる。
配線層低誘電率絶縁膜34は、例えば、有機ポリマ膜であり、スピン塗布によりビア層低誘電率絶縁膜32を覆うように形成され、比誘電率が3.0以下であることが好ましい。配線層低誘電率絶縁膜34を形成する前に、ビア層低誘電率絶縁膜膜32と配線層低誘電率絶縁膜34との接着性を向上させるための処理を行うことが好ましい。配線層低誘電率絶縁膜34は、例えば、PAR(ポリアリーレン)、PAE(ポリアリーレンエーテル)、PCS(ポリカルボシラン)等を使用できる。そして、上記のビア層低誘電率絶縁膜32の周辺除去と同様に、半導体装置基板100周辺領域において配線層低誘電率絶縁膜34は、周辺除去される。周辺除去幅は、配線層低誘電率絶縁膜34の端部が、ビア層低誘電率絶縁膜32端部の外側になるように半導体装置基板100のエッジからの除去幅をビア層低誘電率絶縁膜32の除去幅より狭く設定する。このように配線層低誘電率絶縁膜34の周辺除去を行うことによって、周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜32は、配線層低誘電率絶縁膜34によって完全に覆われ露出しない。
配線層保護絶縁膜36は、配線層低誘電率絶縁膜34を覆うように形成される。配線層保護絶縁膜36は、機械的強度が弱い低誘電率絶縁膜からなる配線層低誘電率絶縁膜34を保護するための絶縁膜である。配線層保護絶縁膜36を形成する前に、配線層低誘電率絶縁膜34と配線層保護絶縁膜36との接着性を向上させるための処理を行うことが好ましい。配線層保護絶縁膜36は、例えば、CVD、TEOS−CVD、P−CVD(plasma−CVD)等により形成したシリコン酸化膜(SiO2)を使用できる。配線層保護絶縁膜36は、ビア層低誘電率絶縁膜32とは直接接触しない。
ビアプラグ40及び第2の配線42は、ビア層低誘電率絶縁膜32に形成したビアホール、及び配線層低誘電率絶縁膜34と配線層保護絶縁膜36中に形成した配線溝に、第2のバリアメタル38を介して、例えば、デュアルダマシンによりCuを電解メッキして堆積させることにより形成できる。
さらに。全面を覆うように第2の拡散防止絶縁膜44を形成する。
第2のバリアメタル38及び第2の拡散防止絶縁膜44は、それぞれ第1のバリアメタル22及び第1の拡散防止絶縁膜26と同様の膜を使用できる。
ビア層低誘電率絶縁膜32及び配線層低誘電率絶縁膜34の比誘電率は、半導体装置の設計によって異なるが、3.0以下であることが好ましい。さらに、これらの膜の比誘電率は、非常に小さな孔を導入してこれらの膜を多孔質化して、膜密度を小さくすることによって所望の値に調整できる。半導体装置設計上の要求に応じて、例えば、2.7前後、2.3前後、2.0前後、等の値に調整することが可能である。
本実施形態によれば、半導体装置基板100の周辺領域においてビア層低誘電率絶縁膜32と配線層保護絶縁膜36とが直接接触しない。その結果、例えば、CMP等の処理によって配線層保護絶縁膜36が剥れることを防止できる。
以上説明したように、本実施形態によって、半導体装置基板周辺部における配線層絶縁膜の剥れを抑制した半導体装置基板を提供することができる。
本実施形態は、上記の実施形態に限定されることなく種々の変形をして実施することができる。そのいくつかを下記に説明する。
変形例1は、配線層低誘電率絶縁膜34aの周辺除去を行わない半導体装置基板100aである。本変形例による半導体装置基板100a周辺部の断面構造の一例を図3に示す。
本変形例の第2の層間絶縁膜30aは、ビア層低誘電率絶縁膜32、配線層低誘電率絶縁膜34a及び配線層保護絶縁膜36を含む。ビア層低誘電率絶縁膜32は、上記の実施形態と同様に第1の拡散防止絶縁膜26上に第1の配線24を覆って形成され、半導体装置基板100aのエッジから、例えば、1mmから5mmの幅で周辺除去される。ビア層低誘電率絶縁膜32上に配線層低誘電率絶縁膜34a及び配線層保護絶縁膜36を順に堆積する。これらの膜は、周辺除去を行わない。このような構造とすることによって、ビア層低誘電率絶縁膜32と配線層保護絶縁膜36とが、直接接触しないようにすることができる。したがって、半導体装置基板周辺部における層間絶縁膜30aの剥れを抑制した半導体装置基板100aを提供することができる。
変形例2による半導体装置基板100b周辺部の断面構造の一例を図4に示す。本変形例は、ビア層低誘電率絶縁膜32の端部を丁度覆うように配線層低誘電率絶縁膜34bを周辺除去した半導体装置基板100bである。このように配線層低誘電率絶縁膜34bを形成することによって、ビア層低誘電率絶縁膜32と配線層保護絶縁膜36とが、直接接触しないようにすることができる。したがって、半導体装置基板周辺部における層間絶縁膜30bの剥れを抑制した半導体装置基板100bを提供することができる。
(第2の実施形態)
本発明は、3層以上の多層配線にも適用するこができる。本発明の第2の実施形態は、多層配線に適用した例である。ここでは、説明を容易にするために3層配線を例に説明するが、任意の数の複数の層を含む多層配線に適用することができる。
本発明は、3層以上の多層配線にも適用するこができる。本発明の第2の実施形態は、多層配線に適用した例である。ここでは、説明を容易にするために3層配線を例に説明するが、任意の数の複数の層を含む多層配線に適用することができる。
図5は、本発明の第2の実施形態による半導体装置基板200周辺部の断面構造の一例を説明するために示す断面図である。本実施形態は、第1の実施形態で説明した配線構造を3層多層配線に適用した半導体装置基板200の例である。
本実施形態の半導体装置基板200は、半導体基板10上に形成された半導体素子(図示せず)、例えば、MOSトランジスタと、半導体素子の上方に形成された第1の配線層210と、第1の配線層210上に形成された第2の配線層220と、第2の配線層220上に形成された第3の配線層230とを備える。
第1の配線層210及び第2の配線層220は、第1の実施形態の第1の配線層110及び第2の配線層120と同様であるため、簡単に説明する。
第1の配線層210は、MOSトランジスタを覆って形成された第1の層間絶縁膜20、第1の層間絶縁膜20中に第1のバリアメタル22を介して形成された第1の配線24、第1の配線24を覆って全面に形成された第1の拡散防止絶縁膜26を備える。
第2の配線層220は、第2の層間絶縁膜30及び第2の層間絶縁膜30中に形成された第2の配線42を含む。第2の層間絶縁膜30は、第1の拡散防止絶縁膜26上に形成された第1のビア層低誘電率絶縁膜32、第1のビア層低誘電率絶縁膜32を覆って形成された第2の配線層低誘電率絶縁膜34、第2の配線層低誘電率絶縁膜34上に形成された第2の配線層保護絶縁膜36、及び第2の配線層保護絶縁膜36を覆って形成された第2の拡散防止絶縁膜44を含む。第2の配線層220は、第1のビア層低誘電率絶縁膜32中に第2のバリアメタル38を介して形成された第1のビアプラグ40、第2の配線層低誘電率絶縁膜34及び第2の配線層保護絶縁膜36中に第2のバリアメタル38を介して形成された第2の配線42を備える。
第1のビア層低誘電率絶縁膜32は、半導体装置基板200の周辺領域において半導体装置基板200のエッジから、例えば、1mmから5mmの範囲の幅で周辺除去される。第1の配線層低誘電率絶縁膜34は、第1のビア層低誘電率絶縁膜32を覆うように形成され、第1の配線層低誘電率絶縁膜34の端部が第1のビア層低誘電率絶縁膜32の外側になるように周辺除去される。第1の配線層保護絶縁膜36は、第1の配線層低誘電率絶縁膜34を覆うように形成される。半導体装置基板200の周辺領域において第1のビア層低誘電率絶縁膜32と第1の配線層保護絶縁膜36とが直接接触しない。
第2の配線層220上に第3の配線層230が形成される。第3の配線層230は、第3の層間絶縁膜50及び第3の層間絶縁膜50中に形成された第3の配線62を含む。第3の層間絶縁膜50は、第2の拡散防止絶縁膜44上に形成された第2のビア層低誘電率絶縁膜52、第2のビア層低誘電率絶縁膜52を覆って形成された第3の配線層低誘電率絶縁膜54、第3の配線層低誘電率絶縁膜54上に形成された第3の配線層保護絶縁膜56、及び第3の配線層保護絶縁膜56上に形成された第3の拡散防止絶縁膜64を含む。第3の配線層230は、第2のビア層低誘電率絶縁膜52中に第3のバリアメタル58を介して形成されたビアプラグ60、第3の配線層低誘電率絶縁膜54及び第3の配線層保護絶縁膜56中に第3のバリアメタル58を介して形成された第3の配線62を備える。
半導体装置基板200の周辺領域における第2のビア層低誘電率絶縁膜52及び第3の配線層低誘電率絶縁膜54の周辺除去幅は、第2の配線層200の第1のビア層低誘電率絶縁膜32及び第2の配線層低誘電率絶縁膜34の周辺除去幅とそれぞれほぼ一致するように設定することが好ましい。これは、プロセス条件及び装置を共通にできるためである。しかし、第2のビア層低誘電率絶縁膜52と第3の配線層保護絶縁膜56とが直接接触しないような構造であれば、上記の周辺除去幅に限定されず、第2の配線層220と第3の配線層230とで、それぞれの周辺除去幅を異なる値に設定することができる。
本実施形態によれば、半導体装置基板200の周辺領域において各配線層のビア層低誘電率絶縁膜32,52と配線層保護絶縁膜36,56とが直接接触しない構造を実現できる。その結果、例えば、CMP等の処理によって配線層保護絶縁膜36,56の剥れを防止できる。
ここでは、第1の実施形態で説明した配線構造を3層多層配線に適用した半導体装置基板200を例に説明したが、これに限定されることなく、上記の変形例1、2に示した配線構造あるいは本発明の主旨に沿ったその他の配線構造を適用して多層配線を形成することができる。
以上説明したように、本実施形態によって、半導体装置基板周辺部における配線層絶縁膜の剥れを抑制した多層配線を具備する半導体装置基板200を提供することができる。
本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の精神及び範囲から逸脱しないで、種々の変形を行って実施することができる。それゆえ、本発明は、ここに開示された実施形態に制限することを意図したものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において他の実施形態にも適用でき、広い範囲に適用されるものである。
100,200,900…半導体装置基板,10…半導体基板,20…第1の層間絶縁膜,30…第2の層間絶縁膜,50…第3の層間絶縁膜,22,38,58…バリアメタル,24…第1の配線,26,44…拡散防止絶縁膜,32,52…ビア層低誘電率絶縁膜,34,54…配線層低誘電率絶縁膜,36,56…配線層保護絶縁膜,42…第2の配線,62…第3の配線,110,210…第1の配線層,120,220…第2の配線層,230…第3の配線層。
Claims (5)
- 半導体基板上に形成された半導体素子と、
前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、
前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜とを含む第2の層間絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、
前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグと
を具備する半導体装置基板であって、
前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1の絶縁膜の端部が前記第2の絶縁膜で覆われていることを特徴とする半導体装置基板。 - 前記第1及び第2の絶縁膜は、低誘電率絶縁膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置基板。
- 前記第1の絶縁膜は、有機シリコン酸化膜であり、前記第2の絶縁膜は、有機ポリマ膜であることを特徴とする請求項1若しくは2に記載の半導体装置基板。
- 半導体基板上に形成された半導体素子と、
前記半導体素子を覆って形成された第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜中に配置された第1の配線と、
前記第1の層間絶縁膜上に形成された第1の絶縁膜、第2の絶縁膜、及び第3の絶縁膜を含む第2の層間絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜及び第3の絶縁膜中に配置された第2の配線と、
前記第1の絶縁膜中に配置され、前記第1の配線と前記第2の配線とを接続するビアプラグと、
前記第2の層間絶縁膜上に形成された第4の絶縁膜、第5の絶縁膜、及び第6の絶縁膜を含む第3の層間絶縁膜と、
前記第5の絶縁膜及び第6の絶縁膜中に配置された第3の配線と、
前記第4の絶縁膜中に配置され、前記第2の配線と前記第3の配線とを接続するビアプラグと
を具備する半導体装置基板であって、
前記半導体装置基板の周辺領域において、前記第1及び第4の絶縁膜の端部がそれぞれ前記第2又は第5の絶縁膜で覆われていることを特徴とする半導体装置基板。 - 前記第1及び第4の絶縁膜は、前記半導体装置基板の周辺領域において端部の位置が合わせられていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置基板。
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JP2006182231A JP2008010770A (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 半導体装置基板 |
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JP2009038061A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Renesas Technology Corp | 半導体ウエハおよび半導体装置の製造方法 |
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2006
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